Transcript
電動アクチュエータ ■発塵量について 概要 商品体系 ●測定方法 クリーン度の測定は、 「JIS B 9926」に準拠しておこなっています。 ［ISO 規格］ クラス 3 1000 以下 102 以下 35 以下 クラス／粒径（μm） 0.1 0.3 0.5 クリーンチャンバー 空気の流れ スライダ 内部吸引 電動 スライダ EZ-Drive ELS EZ-Drive ELF 吸引ポンプ EZ-Drive ELX 排気 ULPAフィルタ EZ-Drive EZS EZS クリーン パーティクルカウンタ 吸引 1立方フィート （ｃ ｆ） /min EZS ●発塵量と吸引量の相関図 （実測値サンプルデータ） ◇ EZS3D050C1-A ◇ EZS4D050C1-A 粒子径 0.1μm以上 粒子径 0.3μm以上 粒子径 0.5μm以上 1,000,000 10,000,000 1,000,000 発塵量 [個/m3] 10,000,000 発塵量 [個/m3] クリーン 100,000,000 100,000,000 100,000 10,000 ストローク：500mm 設置条件：水平 運転速度：800mm/s 加速度 ：20m/s 2 搬送質量：0kg 運転duty ：50% 1,000 100 10 1 0 EZS 10 20 30 内部吸引量 [I/min] 40 50 粒子径 0.1μm以上 粒子径 0.3μm以上 粒子径 0.5μm以上 SPV 100,000 10,000 ストローク：500mm 設置条件：水平 100 運転速度：800mm/s 加速度 ：20m/s 2 10 搬送質量：0kg 運転duty ：50% 1 0 10 20 30 内部吸引量 [I/min] 電動 シリンダ 1,000 EZ-Drive ELC 40 ◇ EZS6D050C1-A 粒子径 0.1μm以上 粒子径 0.3μm以上 粒子径 0.5μm以上 10,000,000 発塵量 [個/m3] 1,000,000 共通 コントローラ 10,000 10 1 0 EZA 電動スライダ 電動シリンダ 100,000 100 50 PWA 100,000,000 1,000 ESR オプション ストローク：500mm 設置条件：水平 運転速度：800mm/s 加速度 ：20m/s 2 搬送質量：0kg 運転duty ：50% 10 20 30 内部吸引量 [I/min] コンパクト リニア アクチュエータ 40 DRS 50 DRL オプション ラック・ ピニオン システム LAS LUA 中空 ロータリー アクチュエータ DG オプション モーター ハンド MHK MHB CAD データ 取扱説明書 ホームページ www.orientalmotor.co.jp お問い合わせ お客様ご相談センター（フリーコール） 東京 0120-925-410 名古屋 0120-925-420 大阪 0120-925-430 F-79
