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冷凍機ユニット 取扱説明書
付録
Ｆ
外径寸法図
１. ＲＭ１０冷凍機ユニット･････････････････････････････F-2
２. ＲＭ１０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-3
３. ＲＭ２０冷凍機ユニット･････････････････････････････F-4
４. ＲＭ２０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-5
５. ＲＭ５０冷凍機ユニット･････････････････････････････F-6
６. ＲＭ５０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-7
７. ＲＭ８０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-8
８． ＲＭＳ１０冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-9
９.
ＲＭＳ１０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････F-10
１０. ＲＭＳ５０冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-11
１１.
ＲＭＳ５０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････ F-12
１２.
ＲＭＳ８０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････ F-13
１３. Ｒ１０・Ｒ１０Ｒ冷凍機ユニット･････････････････････F-14
１４.
Ｒ１０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-15
１５.
Ｒ２０・Ｒ２０Ｒ冷凍機ユニット･････････････････････F-16
１６.
Ｒ２０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-17
１７.
Ｒ５０・Ｒ５０Ｒ冷凍機ユニット･････････････････････F-18
１８.
Ｒ５０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-19
１９.
Ｒ８０・Ｒ８０ＲＴ冷凍機ユニット･･･････････････････F-20
２０． ＲＳ１０冷凍機ユニット･････････････････････････････F-21
２１.
ＲＳ１０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････F-22
２２. ＲＳ５０冷凍機ユニット･････････････････････････････ F-23
２３.
ＲＳ５０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-24
２４.
ＲＳ８０Ｔ冷凍機ユニット･･･････････････････････････ F-25
２５． ＲＳ１５０Ｔ冷凍機ユニット･････････････････････････F-26
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
F-1
(223.8)
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
8-M5タップ
+0.1
0
4.5
(185.9)
REFRIGERATOR
φ141.3
13
67.5
(199.9)
0.8
0.8
I.D.
±0.1
φ100
55.4
12.7
468.4
157.2
282.5
バキュームチャンバーフランジ面
11.1
2段ステージ
1段ステージ
B
9.5
0.1
6-M4タップ
φ66.8（等配）
RM10
4
4-M4タップ
φ33.3(等配)
2段ステージ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7（等配）
2-M2.5タップ
冷凍機ユニット
1段ステージ
3
B部詳細図(1/1)
6.4
45ﾟ
O-リング溝仕上げ
使用O-リング V100
O-リング溝詳細図
(36.8) (25.4)
4
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30 ﾟ
安全弁
147.7
30
ﾟ
電源コネクター
ヘリウムガスリターン
RM10
8-φ5.7
(φ141.3)
φ1
52.
4
(85.8)
30ﾟ
(67.5)
φ76.2
φ53.9
0.8 0.8
φ39.7
0
-0.1
ﾟ
30
RETURN
ヘリウムガスサプライ
30ﾟ
RETURN
SUPPLY
F-2
SUPPLY
ヘリウムガス流れ方向
外径寸法図
2.8
φ152.4
φ97
O-リング溝内径φ100
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30ﾟ
8-M5タップ
φ141.3
13
4.5
+0.1
0
(185.9)
RM10T REFRIGERATOR
30
ﾟ
30ﾟ
安全弁
147.7
30
ﾟ
30ﾟ
(223.8)
8-φ5.7
(φ141.3)
O-リング溝仕上げ
使用O-リング V100
O-リング溝詳細図
(36.8) (25.4)
0.8
0.8
I.D.
±0.1
φ100
55.4
12.7
468.4
157.2
バキュームチャンバーフランジ面
282.5
2段ステージ
1段ステージ
B
11.1
φ76.2
9.5
0.1
6-M4タップ
φ66.8（等配）
4
4-M4タップ
φ33.3(等配)
2段ステージ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7（等配）
2-M2.5タップ
RM10T 冷凍機ユニット
1段ステージ
3
B部詳細図(1/1)
6.4
45ﾟ
ﾟ
4
3相、200V
電源コネクタ
67.5
4
30
φ1
52.
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
ヘリウムガスリターン
φ53.9
0.8 0.8
φ39.7
0
-0.1
RETURN
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
30ﾟ
SUPPLY
ヘリウムガス流れ方向
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.8
φ152.4
(199.9)
φ97
O-リング溝内径φ100
F-3
30ﾟ
30ﾟ
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
8-M5タップ
(φ141.3)
13
0.8
12.7
±0.1
使用O-リングAS568-157
0.8
φ114.5
55.4
O-リング溝仕上げ
+0.12
0
3
(185.9)
REFRIGERATOR
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
ﾟ
安全弁
182
±0.1
0.8
φ115
O-リング溝仕上げ
使用O-リング G115
+0.1
0
3.6
518.9
バキュームチャンバーフランジ面
φ152.4
30ﾟ
30
電源コネクター
(36.8) (25.4)
0.8
67.5
0.8
ヘリウムガスリターン
333
1段ステージ
6.5
3.5
φ89
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
(85.8)
ヘリウムガスの流れ方向
φ63.6
0
-0.12
30ﾟ
(67.5)
ﾟ
30
RETURN
(271.3)
RM20
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
6-M4タップ
φ44.5（等配）
2段ステージ
22.5ﾟ
冷凍機ユニット
2段ステージ
6.3
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ50（等配）
φ57
0.8
RM20
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
30ﾟ
0
-0.1
RETURN
F-4
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
外径寸法図
2.2
2
195.2
φ152.4
φ101
(247.4)
O-リング溝内径
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
13
147.7
F-5
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30ﾟ
8-M5 タップ
(φ141.3)
(199.9)
安全弁
+0.12
0
3
12.7
55.4
±0.1
0.8
(I.D.)
φ114.5
+0.1
0
182
0.8
0.8
φ115
(I.D.)
±0.1
333
O-リング溝仕上げ
使用 O-リング G115
3.6
518.9
バキュームチャンバーフランジ面
O-リング溝仕上げ
使用 O-リング AS568-157
(185.9)
RM20T REFRIGERATOR
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30
ﾟ
3相、200V
電源コネクタ
(36.8) (25.4)
0.8
ヘリウムガスリターン
67.5
φ152.4
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
30 ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
RETURN
ヘリウムガスサプライ
1段ステージ
6.5
3.5
φ89
0.8
φ63.6
0.8
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ50（等配）
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
6-M4タップ
φ44.5（等配）
2段ステージ
22.5ﾟ
RM20T 冷凍機ユニット
2段ステージ
6.3
φ57
0
-0.12
SUPPLY
(223.8)
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
30ﾟ
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
(271.3)
2.4
30
ﾟ
30ﾟ
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
8-M5タップ
(φ141.3)
13
安全弁
電源コネクター
(185.9)
(36.8) (25.4)
12.7
±0.1
使用O-リング G115
0.8
φ115
O-リング溝仕上げ
+0.1
0
3.6
499
182
バキュームチャンバーフランジ面
使用O-リングAS568-157
0.8
φ114.5
±0.1
55.4
2
O-リング溝仕上げ
+0.12
0
3
67.5
0.8
ヘリウムガスリターン
195.2
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
(φ141.3)
8-φ5.7
φ15
(85.8)
(247.4)
0.8
30ﾟ
(67.5)
ﾟ
30
RETURN
ヘリウムガスサプライ
REFRIGERATOR
0.8
313
1段ステージ
6.5
3.5
φ89
φ63.5
0
-0.12
RM50
2段ステージ
6.3
φ57
0.8
RM50
22.5ﾟ
冷凍機ユニット
φ50(等配)
φ6-90°皿モミ
3-φ3.5
1段ステージ
8-M4タップ
φ79（等配）
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79(等配)
6-M4タップ
φ44.5(等配)
2段ステージ
30ﾟ
0
-0.1
RETURN
SUPPLY
F-6
SUPPLY
ヘリウムガス流れ方向
外径寸法図
2.2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
13
147.7
F-7
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30ﾟ
8-M5 タップ
(φ141.3)
RM50T REFRIGERATOR
(185.9)
(36.8) (25.4)
0.8
±0.1
0.8
I.D.
φ114.5
O-リング溝仕上げ
使用 O-リング AS568-157
+0.12
0
3
55.4
12.7
499
0.8
313
0.8
(3.4)
±0.1
6.5
1段ステージ
I.D.
φ115
O-リング溝仕上げ
使用 O-リング G115
3.6
182
+0.1
0
バキュームチャンバーフランジ面
φ152.4
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30
ﾟ
(199.9)
安全弁
3相、200V
電源コネクタ
67.5
0.8
ヘリウムガスリターン
φ89
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.5
(φ141.3)
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
RETURN
ヘリウムガスサプライ
φ63.5
0.8
6.3
2段ステージ
φ57
0
-0.12
SUPPLY
(223.8)
RM50T
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
6-M4タップ
φ44.5（等配）
2段ステージ
22.5ﾟ
冷凍機ユニット
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ50（等配）
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
30ﾟ
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
8-M5タップ
(φ141.3)
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
13
RM80T REFRIGERATOR
(185.9)
0.8
518.9
±0.1
φ114.5
12.7
使用O－リングAS568-157
O-リング溝詳細図
+0.12
0
3
55.74
182
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
12
333
3.5
0.8
±0.1
φ115
1段ステージ
使用O－リングG115
O-リング溝詳細図
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
φ108.8
30
ﾟ
30
ﾟ
安全弁
0.8
電源コネクタ
入力電源3相、200V
(36.8) (25.4)
0.8
67.5
0.8
ヘリウムガスリターン
12-M4タップ
φ100.6(等配)
1段ステージ
冷凍機ユニット
6-M4タップ
φ44.5(等配)
2段ステージ
RM80T
2段ステージ
6.3
φ50（等配）
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
60
ﾟ
30ﾟ
8-φ5.7
(φ141.3)
(88.2)
ヘリウムガス流れ方向
(φ90.2)
0
-0.12
φ57
0.8
30ﾟ
ﾟ
30
30ﾟ
(281.5)
30ﾟ
0
-0.1
ﾟ
30
RETURN
(71.5)
RETURN
SUPPLY
F-8
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
外径寸法図
2.2
2
φ152.4
φ110
195.2
O-リング溝内径
(247.4)
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
8-M5タップ
φ141.3
52.
4
13
安全弁
+0.1
0
0.8
0.8
0.8
0.8
φ100
±0.1
使用O－リング JIS B 2401 V100
O-リング溝詳細図
O-リング溝仕上げ
4.5
(185.9)
(36.8) (25.4)
2.8
F-9
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
φ1
電源コネクター
67.5
RMS10 REFRIGERATOR
ﾟ
30
30
ﾟ
30ﾟ
RETURN
SUPPLY
(223.8)
8-φ5.7
(φ141.3)
ヘリウムガスリターン
(199.9)
ﾟ
30
(85.8)
RETURN
(67.5)
55.4
343.1
12.7
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
157.2
バキュームチャンバーフランジ面
１段ステージ
9.5
φ76.2
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ
30ﾟ
RMS10 冷凍機ユニット
１段ステージ
φ66.8(等配)
6-M4タップ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7(等配)
冷凍機ユニット 取扱説明書
147.7
φ152.4
φ97
O-リング溝内径φ100
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
8-M5タップ
+0.1
0
0.8
0.8
0.8
0.8
φ100
±0.1
使用O－リング JIS B 2401 V100
O-リング溝詳細図
O-リング溝仕上げ
4.5
(185.9)
(36.8) (25.4)
2.8
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
30
ﾟ
(223.8)
φ141.3
13
3相、200V
電源コネクタ
67.5
RMS10T REFRIGERATOR
30ﾟ
30ﾟ
安全弁
(199.9)
30
ﾟ
ヘリウムガスリターン
55.4
343.1
12.7
バキュームチャンバーフランジ面
157.2
φ152.4
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
RETURN
F-10
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
１段ステージ
9.5
φ76.2
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ
30ﾟ
RMS10T 冷凍機ユニット
１段ステージ
φ66.8(等配)
6-M4タップ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7(等配)
外径寸法図
147.7
φ152.4
φ97
O-リング溝内径φ100
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
F-11
30ﾟ
8-M5タップ
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30
ﾟ
13
安全弁
195.2
ﾟ
30
SUPPLY
(271.4)
8-φ5.7
(φ141.3)
電源コネクター
±0.1
0.8
182
±0.1
0.8
φ115
O-リング溝仕上げ
使用O-リング G115
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
367.9
φ114.5
55.4
12.7
O-リング溝仕上げ
使用O-リングAS568-157
+0.12
0
3
(185.9)
(36.8) (25.4)
0.8
67.5
ヘリウムガスの流れ方向
0.8
ヘリウムガスリターン
(247.4)
0.8
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
RETURN
RMS50 REFRIGERATOR
0
-0.12
φ152.4
0.8
6.5
1段ステージ
φ89
0
-0.1
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
RMS50
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
冷凍機ユニット
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
22.5ﾟ
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
30ﾟ
30ﾟ
8-M5タップ
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
30
ﾟ
30ﾟ
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
ﾟ
30
(223.8)
8-φ5.7
(φ141.3)
(85.8)
30ﾟ
(67.5)
ﾟ
30
RETURN
SUPPLY
13
安全弁
3相、200V
電源コネクタ
67.5
±0.1
使用O-リングAS568-157
0.8
182
±0.1
0.8
φ115
I.D.
使用O-リング G115
O-リング溝仕上げ
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
367.9
φ114.5
I.D.
55.4
12.7
O-リング溝仕上げ
+0.12
0
3
(185.9)
(36.8) (25.4)
0.8
ヘリウムガスリターン
0.8
ヘリウムガスサプライ
147.7
0
-0.12
RETURN
RMS50T REFRIGERATOR
0.8
SUPPLY
F-12
φ152.4
0.8
6.5
1段ステージ
φ89
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ方向
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
RMS50T 冷凍機ユニット
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
22.5ﾟ
外径寸法図
2.2
2
φ152.4
φ101
(199.9)
O-リング溝内径
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
F-13
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
8-M5タップ（下穴深さ9.6)
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
30
ﾟ
30
安全弁
13
195.2
30ﾟ
8-φ5.5
(φ141.3)
入力電源3相、200V
電源コネクタ
ヘリウムガスリターン
67.5
0.8
ヘリウムガスサプライ
12.7
±0.1
185.8
0.8
±0.1
φ115
使用O－リングG115
O-リング溝詳細図
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
371.7
φ114.5
55.74
使用O－リングAS568-157
O-リング溝詳細図
+0.12
0
3
(185.9)
(36.8) (25.4)
0.8
88.2
1段ステージ
12
RMS80T
12-M4タップ
φ100.6(等配)
1段ステージ
冷凍機ユニット
30ﾟ
ﾟ
30
30ﾟ
SUPPLY
(281.5)
0.8
ﾟ
30
RETURN
(71.5)
RETURN
(247.4)
0.8
SUPPLY
RMS80T REFRIGERATOR
0
-0.12
φ152.4
0
-0.1
φ108.8
0.8
ヘリウムガス流れ方向
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ110
O-リング溝内径
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
(223.8)
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30ﾟ
8-M5タップ
+0.1
0
4.5
55.4
O-リング溝仕上げ
使用O-リング V100
O-リング溝詳細図
0.8
0.8
±0.1
φ100
468.4
157.2
φ152.4
φ141.3
13
R10 REFRIGERATOR
(185.9)
12.7
282.5
バキュームチャンバーフランジ面
2段ステージ
1段ステージ
B
11.1
φ76.2
9.5
0.1
6-M4タップ
4
※本外形図は、R10冷凍機の場合です。
※R10R冷凍機は、R10冷凍機と同じ外形寸法です。
4-M4タップ
φ33.3(等配)
2段ステージ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7（等配）
2-M2.5タップ
R10・R10R 冷凍機ユニット
1段ステージ
φ66.8（等配）
3
B部詳細図
6.4
45ﾟ
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
安全弁
147.7
30
ﾟ
電源コネクター
(36.8) (25.4)
4
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
RETURN
(67.5)
30
ヘリウムガスリターン
RETURN
ヘリウムガスサプライ
φ53.9
0.8 0.8
φ39.7
0
-0.1
SUPPLY
F-14
30ﾟ
ヘリウムガスの流れ方向
外径寸法図
2.8
φ152.4
φ97
O-リング溝内径φ100
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
13
4.5
+0.1
0
(185.9)
O-リング溝仕上げ
使用O-リング V100
O-リング溝詳細図
(36.8) (25.4)
0.8
0.8
I.D.
±0.1
φ100
55.4
12.7
468.4
157.2
バキュームチャンバーフランジ面
282.5
2段ステージ
1段ステージ
B
11.1
φ76.2
9.5
0.1
45ﾟ
4
R10RT 冷凍機ユニット
1段ステージ
φ66.8（等配）
6-M4タップ
3
B部詳細図(1/1)
6.4
4-M4タップ
φ33.3(等配)
2段ステージ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7（等配）
2-M2.5タップ
4
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30ﾟ
φ141.3
8-M5タップ
(223.8)
30
ﾟ
30ﾟ
安全弁
147.7
30
ﾟ
30ﾟ
8-φ5.7
(φ141.3)
3相、200V
電源コネクタ
67.5
R10RT REFRIGERATOR
ﾟ
30
SUPPLY
.4
30ﾟ
RETURN
φ1
52
ヘリウムガスリターン
ﾟ
30
(85.8)
RETURN
(67.5)
φ53.9
0
-0.1
φ39.7
0.8 0.8
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
30ﾟ
ヘリウムガスの流れ方向
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.8
φ152.4
φ97
O-リング溝内径φ100
F-15
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
8-M5タップ
(φ141.3)
13
195.2
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
30ﾟ
(271.3)
安全弁
0.8
12.7
±0.1
0.8
0.8
φ114.5
55.4
O-リング溝詳細図
O-リング溝仕上げ
使用O-リングAS568-157
+0.12
0
3
(185.9)
REFRIGERATOR
30ﾟ
30
ﾟ
電源コネクター
(36.8) (25.4)
0.8
0.8
O-リング溝詳細図
O-リング溝仕上げ
使用O-リング G115
+0.1
0
3.6
518.9
182
±0.1
φ115
バキュームチャンバーフランジ面
φ152.4
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
ヘリウムガスの流れ方向
0.8
ヘリウムガスリターン
333
1段ステージ
6.5
3.5
φ89
0.8
φ63.6
0
-0.12
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
6-M4タップ
φ44.5（等配）
2段ステージ
22.5ﾟ
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
※本外形図は、R20冷凍機の場合です。
※R20R冷凍機は、R20冷凍機と同じ外形寸法です。
R20・R20R 冷凍機ユニット
2段ステージ
6.3
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ50（等配）
φ57
0.8
R20
30ﾟ
0
-0.1
RETURN
F-16
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
外径寸法図
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
13
147.7
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30ﾟ
8-M5 タップ
(φ141.3)
(223.8)
安全弁
+0.12
0
3
12.7
55.4
±0.1
0.8
(I.D.)
+0.1
0
182
0.8
±0.1
333
使用 O-リング G115
0.8
φ115
(I.D.)
O-リング溝仕上げ
3.6
518.9
バキュームチャンバーフランジ面
φ114.5
(36.8) (25.4)
O-リング溝仕上げ
使用 O-リング AS568-157
(185.9)
R20RT REFRIGERATOR
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30
ﾟ
3相、200V
電源コネクタ
67.5
φ152.4
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
30ﾟ
(85.8)
0.8
ヘリウムガスリターン
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
RETURN
ヘリウムガスサプライ
1段ステージ
6.5
3.5
φ89
0.8
φ63.6
0.8
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ50（等配）
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
6-M4タップ
φ44.5（等配）
2段ステージ
22.5ﾟ
R20RT 冷凍機ユニット
2段ステージ
6.3
φ57
0
-0.12
SUPPLY
(223.8)
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
30ﾟ
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
F-17
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
30ﾟ
8-M5タップ
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
30
ﾟ
13
安全弁
195.2
30ﾟ
(φ141.3)
電源コネクター
0.8
55.4
±0.1
O-リング溝詳細図
使用O-リングAS568-157
0.8
0.8
182
+0.1
0
O-リング溝詳細図
0.8
0.8
±0.1
313
φ115
O-リング溝仕上げ
使用O-リング G115
3.6
499
バキュームチャンバーフランジ面
(25.4)
φ114.5
12.7
O-リング溝仕上げ
+0.12
0
3
(185.9)
(36.8)
0.8
ヘリウムガスリターン
REFRIGERATOR
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(85.8)
30 ﾟ
(67.5)
ﾟ
30
RETURN
ヘリウムガスサプライ
φ152.4
0.8
1段ステージ
6.5
3.5
φ63.5
0.8
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ50（等配）
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
6-M4タップ
φ44.5（等配）
2段ステージ
22.5ﾟ
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
※本外形図は、R50冷凍機の場合です。
※R50R冷凍機は、R50冷凍機と同じ外形寸法です。
R50・R50R 冷凍機ユニット
2段ステージ
6.3
φ57
0
-0.12
RETURN
F-18
SUPPLY
R50
30ﾟ
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ方向
外径寸法図
φ89
2.2
2
φ152.4
φ101
(271.3)
O-リング溝内径
30ﾟ
13
147.7
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30ﾟ
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30
ﾟ
R50RT REFRIGERATOR
(185.9)
0.8
I.D.
±0.1
φ114.5
O-リング溝仕上げ
使用 O-リング AS568-157
+0.12
0
3
55.4
499
+0.1
0
0.8
313
0.8
使用 O-リング G115
(3.4)
±0.1
6.5
1段ステージ
I.D.
φ115
O-リング溝仕上げ
3.6
182
φ152.4
8-M5 タップ
(φ141.3)
(223.8)
安全弁
12.7
バキュームチャンバーフランジ面
φ89
ﾟ
30
30ﾟ
30ﾟ
SUPPLY
30
ﾟ
ﾟ
30
RETURN
8-φ5.5
(φ141.3)
3相、200V
0.8
電源コネクタ
(36.8) (25.4)
0.8
67.5
RETURN
(85.8)
SUPPLY
(67.5)
φ63.5
0.8
6.3
2段ステージ
φ57
0
-0.12
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
6-M4タップ
φ44.5（等配）
2段ステージ
22.5ﾟ
R50RT 冷凍機ユニット
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ50（等配）
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
30ﾟ
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
F-19
195.2
8-M5タップ（下穴深さ9.6)
(φ141.3)
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
13
REFRIGERATOR
(185.9)
0.8
182
518.9
±0.1
φ114.5
12.7
使用O－リングAS568-157
O-リング溝詳細図
+0.12
0
3
55.74
φ152.4
30ﾟ
30ﾟ
333
12
0.8
±0.1
φ115
1段ステージ
(3.5)
使用O－リングG115
O-リング溝詳細図
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
ヘリウムガスサプライ
φ108.8
30
ﾟ
30
ﾟ
安全弁
0.8
電源コネクタ
入力電源3相、200V
0.8
(36.8)(25.4)
0.8
ヘリウムガスリターン
(φ90.2)
30ﾟ
8-φ5.5
(φ141.3)
88.2
φ6-90°皿モミ（φ50)
温度センサー取付穴（3-φ3.5)
6-M4タップ
φ44.5(等配)
2段ステージ
12-M4タップ
φ100.6(等配)
1段ステージ
※本外形図は、R80冷凍機の場合です。
※R80RT冷凍機は、R80冷凍機と同じ外形寸法です。
R80・R80RT 冷凍機ユニット
2段ステージ
6.3
φ57
0
-0.12
(271.3)
60ﾟ
ﾟ
30
30ﾟ
SUPPLY
(281.5)
30ﾟ
0.8
ﾟ
30
RETURN
(71.5)
RETURN
F-20
SUPPLY
R80
30ﾟ
0
-0.1
ヘリウムガス流れ方向
外径寸法図
2.2
2
φ152.4
φ110
O-リング溝内径
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
バキュームチャンバーフランジ（推奨）
30
ﾟ
(φ141.3)
8-M5タップ
13
0.8
0.8
±0.1
0.8
0.8
φ100
O-リング溝仕上げ
使用O-リング V100
O-リング溝詳細図
+0.1
0
4.5
(185.9)
RS10 REFRIGERATOR
30ﾟ
30ﾟ
(223.8)
安全弁
電源コネクター
(36.8) (25.4)
343.1
12.7
55.4
バキュームチャンバーフランジ面
157.2
φ152.4
ﾟ
30
SUPPLY
30
ﾟ
30ﾟ
RETURN
8-φ5.5
(φ141.3)
ヘリウムガスリターン
ﾟ
30
(85.8)
RETURN
(67.5)
1段ステージ
9.5
φ76.2
0
-0.1
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7（等配）
RS10 冷凍機ユニット
1段ステージ
6-M4タップ
φ66.8（等配）
30ﾟ
ヘリウムガスの流れ方向
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.8
147.7
φ152.4
φ97
O-リング溝内径φ100
F-21
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
30ﾟ
8-M5タップ
φ141.3
13
安全弁
+0.1
0
4.5
0.8
0.8
0.8
0.8
φ100
(185.9)
(36.8) (25.4)
±0.1
使用O－リング JIS B 2401 V100
O-リング溝詳細図
O-リング溝仕上げ
3相、200V
電源コネクタ
67.5
2.8
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
30
ﾟ
30
ﾟ
(223.8)
30ﾟ
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
ヘリウムガスリターン
RS10T REFRIGERATOR
ﾟ
30
φ1
52.
4
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
RETURN
F-22
55.4
343.1
12.7
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
157.2
バキュームチャンバーフランジ面
１段ステージ
9.5
φ76.2
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ
30ﾟ
3-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ69.7(等配)
RS10T 冷凍機ユニット
１段ステージ
φ66.8(等配)
6-M4タップ
外径寸法図
147.7
φ152.4
φ97
O-リング溝内径φ100
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30ﾟ
8-M5タップ
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
30ﾟ
13
安全弁
(271.3)
30ﾟ
30
ﾟ
電源コネクター
195.2
ﾟ
30
SUPPLY
8-φ5.7
(φ141.3)
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
±0.1
0.8
0.8
φ114.5
55.4
12.7
O-リング溝詳細図
182
O-リング溝詳細図
0.8
0.8
±0.1
φ115
使用O-リング G115
O-リング溝仕上げ
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
367.9
(36.8) (25.4)
0.8
O-リング溝仕上げ
使用O-リングAS568-157
+0.12
0
3
(185.9)
REFRIGERATOR
0.8
ヘリウムガスの流れ方向
0.8
ヘリウムガスリターン
RETURN
RS50
0
-0.12
φ152.4
0.8
6.5
1段ステージ
φ89
0
-0.1
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
RS50 冷凍機ユニット
22.5ﾟ
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
F-23
30ﾟ
8-M5タップ
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
ﾟ
30
SUPPLY
30
ﾟ
13
安全弁
3相、200V
電源コネクタ
±0.1
使用O-リングAS568-157
0.8
182
±0.1
0.8
φ115
I.D.
使用O-リング G115
O-リング溝仕上げ
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
367.9
φ114.5
I.D.
55.4
12.7
O-リング溝仕上げ
+0.12
0
3
(185.9)
(36.8) (25.4)
0.8
67.5
0.8
ヘリウムガスリターン
(223.8)
8-φ5.7
(φ141.3)
(85.8)
30ﾟ
(67.5)
ﾟ
30
RETURN
ヘリウムガスサプライ
147.7
0
-0.12
RETURN
RS50T REFRIGERATOR
0.8
SUPPLY
F-24
φ152.4
0.8
6.5
1段ステージ
φ89
0
-0.1
ヘリウムガスの流れ方向
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
RS50T 冷凍機ユニット
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
22.5ﾟ
外径寸法図
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
8-M5タップ（下穴深さ9.6)
(φ141.3)
安全弁
電源コネクタ
13
入力電源3相、200V
0.8
ヘリウムガスサプライ
12.7
±0.1
182
0.8
±0.1
φ115
使用O－リングG115
O-リング溝詳細図
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
367.9
φ114.5
55.74
使用O－リングAS568-157
O-リング溝詳細図
+0.12
0
3
(185.9)
(36.8)(25.4)
0.8
(129.6)
1段ステージ
12
12-M4タップ
φ100.6(等配)
1段ステージ
RS80T 冷凍機ユニット
30ﾟ
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
30
ﾟ
8-φ5.5
(φ141.3)
30ﾟ
SUPPLY
(281.5)
0.8
ヘリウムガスリターン
195.2
ﾟ
30
30ﾟ
88.2
ﾟ
30
RETURN
(71.5)
RETURN
(271.3)
0.8
SUPPLY
RS80 REFRIGERATOR
0
-0.12
φ152.4
0
-0.1
φ108.8
0.8
ヘリウムガス流れ方向
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ110
O-リング溝内径
F-25
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
30
ﾟ
30
ﾟ
安全弁
8-M5タップ（下穴深さ9.6)
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ（推奨)
3 0ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
8-φ5.5
(φ141.3)
13
3相、200V
67.5
90
±0.1
0.8
φ114.5
使用O－リングAS568-157
O-リング溝詳細図
+0.12
0
3
(177.8)
(35.2) (27.0)
402.1
12.7
+0.1
0
±0.1
0.8
φ115
使用O－リングG115
O-リング溝詳細図
3.6
224.3
バキュームチャンバーフランジ面
ヘリウムガスサプライ
0.8
電源コネクター
(264.7)
ﾟ
30
30ﾟ
88.2
ﾟ
(70.3)
30
SUPPLY
(281.5)
0.8
(319.8)
0.8
ヘリウムガス流れ方向
φ152.4
0
-0.12
RS150T REFRIGERATOR
0.8
20
1段ステージ
φ108.8
0
-0.1
SUPPLY
RETURN
F-26
RETURN
ヘリウムガスリターン
RS150T 冷凍機ユニット
12-M4タップ、ネジ深さ10
φ100.6(等配)
1段ステージ
外径寸法図
2.2
2
φ152.4
φ110
O-リング溝内径