Download 冷凍機ユニット 取扱説明書 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED

ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
F-11
30ﾟ
8-M5タップ
(φ141.3)
バキュームチャンバーフランジ(推奨)
30
ﾟ
30ﾟ
30ﾟ
30
ﾟ
13
安全弁
195.2
ﾟ
30
SUPPLY
(271.4)
8-φ5.7
(φ141.3)
電源コネクター
±0.1
0.8
182
±0.1
0.8
φ115
O-リング溝仕上げ
使用O-リング G115
+0.1
0
3.6
バキュームチャンバーフランジ面
367.9
φ114.5
55.4
12.7
O-リング溝仕上げ
使用O-リングAS568-157
+0.12
0
3
(185.9)
(36.8) (25.4)
0.8
67.5
ヘリウムガスの流れ方向
0.8
ヘリウムガスリターン
(247.4)
0.8
30ﾟ
(85.8)
ﾟ
30
RETURN
(67.5)
RETURN
RMS50 REFRIGERATOR
0
-0.12
φ152.4
0.8
6.5
1段ステージ
φ89
0
-0.1
SUPPLY
ヘリウムガスサプライ
RMS50
8-M4タップ
φ79（等配）
1段ステージ
冷凍機ユニット
4-φ3.5
φ6-90°皿モミ
φ79（等配）
22.5ﾟ
冷凍機ユニット 取扱説明書
2.2
2
φ152.4
φ101
O-リング溝内径