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三次元座標測定機
XYZAX 各種スタイラス
カーボンシャフトは専用工具（S20）を使用して脱着の必要があります。
スタイラスセット、エクステンションセットも用意しています。
（次ページ参照）
電子プローブ TP2/TP20/TP200 用スタイラス
型式
名称
図番
ルビーボールスタイラス（ステンレスシャフト）
全長10 mm
A-5000-7806
1.0
10.0
0.7
4.5
0.3
PS8R
64033
2.0
10.0
1.0
6.0
0.3
PS1R
64034
A-5000-7803
PS26R
A-5000-4154
PS12R 64035
A-5000-4156
PS14R 64037
A-5000-4155
全長 20 mm
64032
PS24R
A-5000-3604
A-5000-4158
A-5000-3603
PS13R 64036
PS15R 64038
PS2R
全長 20 mm
5.0
6.0
8.0
10.0
10.0
10.0
10.0
11.0
1.5
6.0
7.5
1.5
10.0
2.5
10.0
2.5
2.5
10.0
11.0
0.3
0.7
0.9
1.5
3.0
20.0
1.5
17.0
0.5
PS17R 64042
4.0
20.0
1.4
1.5
14.0
20.0
0.3
10.0
0.2
2.0
0.3
A-5000-7801
PS31R
0.7
10.0
0.5
4.0
0.3
A-5003-1325
1.0
A-5003-1345
A-5003-0577
0.5
A-5000-7808
PS23R 64039
A-5003-0034
PS49R
PS48R
A-5003-0046
A-5000-8663
A-5003-0035
0.7
1.0
1.0
1.5
2.0
2.5
A-5003-0938
A-5003-1029
0.5
3.0
PS50R
PS51R
A-5003-0036
A-5003-0038
4.0
5.0
ルビーボールスタイラス（セラミックシャフト）
20.0
20.0
20.0
20.0
20.0
20.0
20.0
22.0
20.0
0.3
4.0
0.48
7.0
0.50
12.0
0.8
12.5
1.0
14.0
1.0
1.0
1.5
2.0
2.5
0.3
7.0
0.5
0.7
0.3
12.5
15.5
17.0
22.0
0.77
1.24
20.0
1.98
22.5
0.58
22.5
0.99
27.0
1.49
30.0
2.57
5.0
30.0
30.0
30.0
2.0
2.0
2.0
2.5
22.5
30.0
2.0
27.0
0.44
A-5003-4779
5.0
30.0
2.5
30.0
0.93
A-5003-4780
6.0
ルビーボールスタイラス（カーボンシャフト）
30.0
2.0
2.5
30.0
30.0
A-5003-4241
4.0
30.0
2.0
30.0
A-5003-4782
6.0
30.0
3.0
30.0
A-5003-4781
5.0
30.0
3.0
30.0
全長 75 mm
全長100 mm
47.0
A-5003-0066
PS68R
5.0
50.0
2.5
50.0
2.0
1.5
32.5
0.57
0.79
0.96
1.29
40.0
2.0
32.5
1.95
A-5003-0044
4.0
40.0
2.0
40.0
2.04
A-5003-0048
5.0
40.0
40.0
2.0
2.5
37.0
40.0
47.0
2.44
A-5003-0049
5.0
50.0
2.5
50.0
3.75
50.0
1.00
A-5003-2287
GF506R
6.0
50.0
3.0
50.0
1.20
5.0
50.0
3.0
50.0
1.10
4.0
75.0
2.0
75.0
0.75
A-5003-4786
6.0
75.0
3.0
75.0
1.45
A-5003-4785
5.0
75.0
3.0
75.0
1.35
A-5003-2289
4.0 100.0 3.0 100.0 1.50
A-5003-2291
6.0 100.0 3.0 100.0 1.78
A-5003-2290
5.0 100.0 3.0 100.0 1.59
備考
M-5000-3540
S7
M2 および M3 ネジ径
スタイラス用
PS9R
S20
M2 カーボンファイバー
スタイラスシリーズ用
概略
形状
概略形状
型式
名称
図番
M-5000-7634
SE7
64052
M-5000-3648
SE5
64054
エクステンション（ステンレス）
M-5000-4162
2.52
SE4
SE6
A
各部寸法（mm）
D
B
C
5.0
3.0
0.2
3.0
0.9
64053
10.0
3.0
64055
30.0
3.0
20.0
0.4
1.4
M-5000-7779
SE18
A-5003-0070
SE26
30.0
3.0
0.97
A-5003-0072
SE28
50.0
3.0
1.51
エクステンション（カーボン）
SE27
40.0
重量
（g）
40.0
3.0
1.8
3.0
1.22
A-5003-2280
GF40E
40.0
3.0
3.5
0.9
A-5003-2282
GF70E
70.0
3.0
3.5
1.3
A-5003-2281
GF50E
GF90E
50.0
90.0
3.0
3.0
3.5
3.5
1.0
1.5
B
EWL
A
C
GF505R
A-5003-4784
A-5003-2283
B
1.31
50.0
A-5003-0071
2.0
2.0
1.49
3.0
3.17
50.0
50.0
50.0
50.0
エクステンション（セラミック）
3.0
4.0
0.91
4.0
1.97
A-5003-0042
A-5003-0045
2.5
0.83
50.0
1.11
2.5
3.0
50.0
2.0
GF504R
A-5003-2286
型式
名称
0.68
A-5003-0039
A-5003-0041
全長 50 mm
40.0
50.0
A-5003-2285
M-5000-3647
ルビーボールスタイラス（超硬シャフト）
全長 40 mm
A-5003-0037
6.0
スタイラスツール
1.57
30.0
30.0
2.0
ルビーボールスタイラス（カーボンシャフト）
1.48
3.0
4.0
全長 50 mm
0.40
A-5003-4177
A-5003-1370
50.0
4.0
0.50
1.5
30.0
3.0
PS67R
0.48
30.0
1.0
PS66R
A-5003-0065
0.50
2.0
30.0
各部寸法（mm）
重量
B
C EWL （g）
0.41
20.5
1.5
A
A-5003-0064
A-5003-0470
0.32
0.7
4.0
A-5003-0047
20.0
0.7
3.0
27.5
3.0
A-5003-0043
10.0
0.4
1.0
2.5
A-5003-0040
10.0
図番
0.6
PS29R
PS10R 64031
全長 50 mm
0.4
A-5000-7800
A-5000-7805
名称
0.4
PS16R 64041
20.0
型式
ルビーボールスタイラス（セラミックシャフト）
0.4
0.4
2.5
概略形状
0.3
14.0
A-5003-1896
全長 30 mm
4.0
1.0
4.5
1.4
A-5000-4161
A-5003-3822
全長 30 mm
3.0
10.0
0.7
20.0
PS27R
A-5003-0033
全長 30 mm
2.5
10.0
2.0
ルビーボールスタイラス（超硬シャフト）
全長10 mm
1.5
64040
A-5000-7804
A-5000-4160
各部寸法（mm）
重量
B
C EWL （g）
PS9R
A-5000-7802
A-5000-7807
A
EWL（有効長）
測定物に対し、直角に測定
を行なう際、軸が測定物に
干渉しない位置から、先端
球中心までの長さ。
C
D
その他特注品も製作いたします。
109
各種スタイラス
概略形状
三次元座標測定機
星型スタイラス
型式
図番
名称
十字方向直径
ボール直径
シャフト直径
EWL
質量（g）
星型センタ
型式
名称
ボール直径
シャフト直径
EWL
質量（g）
A-5003-4011
―
―
10.0
0.5
0.3
―
0.7
A-5000-7811
―
PS28R
10.0
1.0
0.7
―
0.5
A-5003-4787
―
―
20.0
0.5
0.3
―
0.7
A-5003-4788
―
―
20.0
1.0
0.7
―
0.9
A-5003-4789
―
1.0
0.7
3.5
0.31
A-5003-4790
―
0.5
0.4
7.0
0.43
A-5003-4791
―
1.0
0.7
11.0
0.45
A-5000-3609
―
2.0
1.4
12.0
0.44
A-5000-4187
スチール
A-5000-7809
スチール
A-5000-3613
スチール
A-5000-7810
スチール
M-5000-4153
スチール
A-5000-8876
ルビー
A-5000-8877
ルビー
A-5000-7812
ルビー
A-5003-0073
ルビー
A-5003-1219
―
1.5
15.8
8.3
0.6
A-5003-1228
―
2.0
16.0
8.5
0.8
A-5003-0074
PS70R
2.0
40.0
32.0
2.0
ディスクスタイラス
型式
図番
名称
ディスク直径
ディスク厚み
ローラ深さ
シャフト直径
質量（g）
A-5000-3611
ルビー
64043
PS3R
6.0
1.2
2.0
2.0
0.6
シリンダスタイラス
型式
図番
名称
シリンダ直径
全長
シャフト直径
EWL
質量（g）
XYZAX 各種スタイラス
M-5000-4152
スチール
64048
PS18R
1.5
10.75
1.0
1.25
0.3
64045
PS22R
25.0
3.0
―
―
3.8
64049
PS19R
3.0
12.75
1.5
3.8
0.6
先端半球型シリンダスタイラス（超硬）
型式
図番
シリンダ直径
全長
EWL
質量（g）
特殊スタイラス
型式
図番
名称
全長
ボール直径
先端形状
質量（g）
テーパ角
110
―
PS33R
18.0
1.6
2.5
4.2
3.0
―
PS44R
1.0
15.0
―
8.0
0.3
A-5003-1208
―
0.3
10.2
2.7
0.3
A-5003-1210
―
0.5
15.3
7.8
0.3
A-5003-1218
―
1.0
35.5
28.0
0.7
M-5000-4150
スチール
A-5000-7813
超硬
A-5000-3614
セラミック
64050
PS20R
15.0
―
非球状半径 0.05
0.7
30°
―
PS36R
10.0
―
球状半径 0.1
0.7
30°
64051
PS21R
11.0
18.0
―
3.3
―
64044
PS4R
18.0
2.3
3.0
―
2.7
―
PS45R
1.5
15.0
―
8.0
0.3
A-5000-7629
64047
PS6R
18.0
2.0
1.4
12.0
1.3
―
PS34R
25.0
1.6
2.5
4.2
4.0
―
PS35R
2.0
20.0
1.6
7.2
0.5
スイングジョイント
型式
図番
名称
ネジ径
有効長 mm（inch）
中心オフセット mm（inch）
質量（g）
A-5000-3626
64046
PS7R
30.0
2.0
1.4
12.0
1.8
A-5000-7534
64056
SK2
M2
8.0（0.32）
4.5（0.18）
1.6
―
PS69R
4.0
22.6
2.0
10.0
0.9
A-5003-1258
―
3.0
22.5
22.5
2.0
5 方向ジョイント
型式
図番
名称
ネジ径
有効長 mm（inch）
センターサイズ mm（inch）
質量（g）
A-5000-3627
64057
SC2
M2
7.5（0.30）
7.0（0.28）
0.8
PH10T+TP20/TP200 電子プローブ
PH10T+TP20+MCR20 システム
PH10T+TP200+SCR200 システム
245 mm(200 mm)
190 mm(145 mm)
スタイラスチェンジャーラック（MCR20）
モジュールチェンジャーラック（SCR200）
どちらも最大 6 個のプローブモジュールが
格納できます。
※図は SCR200 チェンジャーラックです。
（　）内は MCR20 の寸法
･SCR200
スタイラスチェンジャーラック: SCR200
接続ケーブル（10m）
SF モジュール : 3 ヶ
設置用キット
アライメント測定用スタイラス
構成
･MCR20
モジュールチェンジャーラック: MCR20
SF モジュール : 2 ヶ
設置用キット
アライメント測定用スタイラス
電子プローブ TP2/TP20/TP200 用
スタイラス（カーボングラファイト）シャフト
構成品
･ プローブヘッド
･ プローブヘッドコントローラ
･ プローブヘッドドライバ
･ 電子プローブ
･φ4 ボールスタイラス
･ 格納箱
･ 取扱説明書
（PH10T）
（PHC10-3PLUS）
（HCU1）
（TP20）→ SF モジュール : 2 ヶ付
（TP200）→ SF モジュール : 1 ヶ付
50
Φ4
PH1/PH10T 用軽量エクステンションバー
PEL3: L=200
PEL2: L=100
PEL1: L=50
Φ5
Φ6
名称
GF504R
GF505R
GF506R
形式
A-5003-2285
A-5003-2286
A-5003-2287
M2
M2
M2
M2
形状
M2
90
（SF モジュール時）
± X、± Y、± Z
標準偏差 2 σ = 0.4 μm 以下（長さ 50 mm スタイラス時）
約 0.02 N（2 gf, プローブ軸心に垂直方向）
約 0.07 N（7 gf, プローブ軸心方向）
M2
70
TP200 仕様
測定方向
繰返し精度
測定力
形状
M2
50
（SF モジュール時）
± X、± Y、+Z
標準偏差 2 σ = 0.35 μm 以下（長さ 10 mm スタイラス時）
約 0.08 N（8gf, プローブ軸心に垂直方向）
約 0.75 N（約 75gf, プローブ軸心方向）
40
TP20 仕様
測定方向
繰返し精度
測定力
50
M2
M2
セットの場合は格納箱と
スパナセットが付属します。
M2
M2
名称
GF40E
GF50E
GF70E
GF90E
形式
A-5003-2280
A-5003-2281
A-5003-2282
A-5003-2283
各種スタイラス
± 180°
（7.5°
ステップ　48 ポジション）
0 ～ +105°
（7.5°
ステップ　15 ポジション）
50
PH10T 仕様
水平面回転角度
垂直面回転角度
注）上記は、専用工具（S20）を使用して脱着する必要があります。
111
三次元座標測定機
XYZAX 各種スタイラス
電子プローブ PH1+TP2
プローブ番号
40
CM92203
PH1 仕様
水平面回転角度
垂直面回転角度
360°
（15°
ステップ）
± 115°
TP2 仕様
測定方向
繰返し精度
測定力
± X、± Y、+Z
標準偏差 2 σ = 0.35 μm 以下
約 0.07 ～ 0.15 N（7 ～ 15gf,プローブ軸心に垂直方向）
約 0.4 N（約 40 gf,プローブ軸心方向）
構成品
･プローブヘッド
（PH1）
･ 電子プローブ
（TP2）
･φ4 ボールスタイラス
･ 格納箱
･ 取扱説明書
電子プローブ MH20i
Φ48
Φ22
19.5
61
37
MH20i 仕様
水平面回転角度
垂直面回転角度
90 °
5.7
± 180°
（15°
ステップ）
0 ～ 90°
（15°
ステップ）
TP20 用 SF モジュール繰返し位置決め精度
測定方向
± X、± Y、+Z
繰返し精度
標準偏差 2 σ = 0.35 μm
測定力
0.08 N（プローブ軸心に垂直方向）
0.75 N（プローブ軸心方向）
構成品
･プローブヘッド
･ 電子プローブ
･φ4 ボールスタイラス
･ 取扱説明書
MH20i
TP20 用 SF モジュール
± 180 °
電子プローブ TP2/TP20/TP200 用
スタイラスセット
形状
形状
名称
PS23R
PS2R
PS17R
名称
SE7
SE4
SE5
SE6
図番
64039
64040
64042
図番
64052
64053
64054
64055
格納台もご用意してあります。
また、スタイラスセット、エクステンションセット、格納台を含めたセットも用意してあります。
112
電子プローブ TP2/TP20/TP200 用
エクステンションバーセット
電子プローブ TP1(S)
電子プローブ TP1(S) 用スタイラス
ボールスタイラス
プローブ番号
φD
φd
φ0.7
68274
φ4.5
φ1
φ4.5
φ2
φ4.5
φ3
φ4.5
φ4
φ4.5
φ5
φ4
φ1
φ5
φ2
φ5
φ3
φ5
φ4
φ5
φ5
φ4.5
ℓ
3
3
5
7
8
15
20
50
64
-
L
31
31
64
64
31
64
29
64
29
シリンドリカルスタイラス
φD
φd
φ2
-
± X、± Y、+Z
標準偏差 2 σ = 0.5 μm 以下
約 0.1 ～ 0.5 N（10 ～ 50 gf, プローブ軸心に垂直方向）
約 0.4 ～ 2.5 N（約 40 ～ 250 gf, プローブ軸心方向）
φ1
φ4
L
31
31
星形スタイラス
スタイラス番号
68071
（18.5 g） クロス継手
スタイラス番号
60001
60002
60003
60004
60005
60006
60007
60008
60009
60011
60010
H
42
42
42
スタイラス番号
3308
3360
3307
重量
3.8 g
4.0 g
9.0 g
3.3 g
9.1 g
3.0 g
7.7 g
3.8 g
5.8 g
7.9 g
4.0 g
単位 : mm
φ20ディスクスタイラス
スタイラス番号
68070（35 g）
スタイラス番号
構成品
･ 電子プローブ
〔TP1（S）〕
･φ2,φ5 ボールスタイラス 各 1 ケ
･ スタイラスアダプター（SA7）
･ 格納箱
3361
高精度タッチトリガープローブ PTS-30
●あらゆる方向から高精度測定が可能
プローブの機構に方向性がなく、高感度センサ内蔵によりわずか 0.01 N
の測定力で、瞬時に高精度で読み取ります。
●取り付けスタイラスは組み合わせ自由
最長 200 mm、最大質量 300 gまでの間で、自由にスタイラスを組み合わ
せて、多様なワークの形状に適合させることができます。
●スタイラスのバランス調整を装備
バランス調整が付いていますので、自由に組み合わせたスタイラスの重量
バランスを的確に調節することができます。
スタイラスセットC1、C2、C3
スタイラスの組み合わせで C1、C2、C3 の 3 種類のセット。PTS-30 用スタイラスセットです。特注品も製作いたします。
名称
ボールスタイラス
形状
C1
数
C2
量
C3
図番
重量
名称
1
1
0
78011
0.3 g
4
4
0
78016
0.5 g
ボールスタイラス
± X、± Y、± Z
標準偏差σ = 0.5 μm 以内
約 0.01 N（1gf）
1 ～ 50 mm/s
200 mm
300 gf
構成品
･ プローブ本体（PTS-30）
･ 格納箱
･ 取扱説明書
･ 信号用アダプターケーブル
作動原理
スタイラスがワークに接触すると、測定力 1gf（0.01 N）でセンサが検出信号を
出します。このときほぼ同時に、接点による確認信号が出てはじめて、センサ
の検出信号が有効であると判断します。
したがって、検出信号と確認信号の両方が出たときに限り、信号を測定データ
の座標値として読み込みます。
M2-M5 間継手
4
4
1
78136
9.7 g
2
2
1
78126
7.0 g
スイベルジョイント
2
2
1
78141
11.3 g
直角ジョイント
100
形状
87.5
CM92204
1
1
1
78131
9.7 g
M5
プローブ番号
PTS-30 仕様
測定方向
繰返し精度
測定力
測定速度
最大スタイラス長さ
最大スタイラス質量
単位 : mm
球Φ8
C1
数
C2
量
C3
図番
重量
2
0
0
78146
19.0 g
2
2
1
78151
28.7 g
名称
360°回転ジョイント
90°回転ジョイント
1
0
0
2689
14.7 g
1
1
1
78156
42.3 g
1
1
0
74001
2.0 g
1
1
0
78021
7.5 g
2
1
1
78056
20 g
1
0
0
74003
54.8 g
エクステンション
形状
C1
数
C2
量
C3
図番
重量
4
1
1
78061
10.3 g
2
1
1
78066
15.3 g
1
1
1
78071
20.2 g
C1・C2 には、ルビーボールφ2・φ4・φ8 が各 2 ケと接着剤が付きます。
C1・C2・C3 には、スタイラス交換治具・六角レンチ・格納台が付きます。
1
1
0
78076
75.5 g
各種スタイラス
TP1（S）仕様
測定方向
繰返し精度
測定力
φ4
φ4
ℓ
8
31
4
H
42
42
75
41
75
42
75
40
75
75
40
113
三次元座標測定機
付属品及び周辺装置
付属品及び周辺装置
名称
型式
スイングプローブ B
10086
外観図
仕様
摘要
手動式回転 TP1用ホルダ
SVF NEX 用
600332-9268-000
直径 30 mm
セラミックス製
（CZ 製）
FUSION NEXシリーズ
台座 M10
CM99901-C136
直径 30mm
セラミックス製
（CZ 製）
mju NEXシリーズ
（TP200B 用）
台座 M10
CM99901-C097
直径 25.4 mm
窒化珪素製
SVA NEXシリーズ
mju NEXシリーズ
（TP200B 除く）
台座 M10
CM99901-C005
直径 25.4 mm
セラミックス製
SVF NEXシリーズ
台座 M10
材質 : SS41
ワーククランプ高さ: 8 ～ 40 mm
小物ワークの固定物
大きさ: 250W ×200D×100H mm
固定ネジ : 上面 16-M6、
側面 4-M6
材質 : はんれい岩
（10372）
2ヶ1 組
薄物ワークの下に敷くスペーサ
大きさ: 200W ×100D× 50H mm
校正球
ライザーブロック
上面図
50
7.5
50
8
50
50
250
50 50
200
40 40 40 40 40
7021
50
クランプ高さ
50
4-M6
16-M6
10372
M10
ステップクランプ
クランピングキット
ステップブロック
スタッドボルト
M12
カップリングナット
移動型載台
-
電源トランス
TWTC-2.1K
操作盤用
CM99931-D065
入力 : 90 ～ 240 V
出力 : 100 V
容量 : 2.1 KVA
SMU-HA102
バックアップ時間　6 分
SMU-HA302
250
CM99901-S009
410
ランプ付スイッチ
226
温度計
エアー供給口
（Ｒｃ３／８）
エアー出口
（Ｒｃ３／８）
413
冷凍式エアドライヤ
103
ドレン確認窓
ドレンチューブ
（外径１０）
ドレン確認窓
ドレン受け
ＰＥ製，
１リットル
144
CM99931-S008
370
2
入力電圧をご指定ください。
寸法 : 300W × 350D×296H mm
質量 : 45 kg
120W × 380D×295H mm
定格出力　1KVA（コンピュータのみ）
190W × 530D×499H mm
定格出力　3KVA（システム全体）
最大流量　100/120 L/min (50/60 Hz)
XYZAX
消費電力　165/190 W (50/60Hz)
寸法 226W ×410D×413H mm
質量　16 kg
エア供給口：RC3/8
電源 単層　AC100 V (50/60Hz)
CZ 機
最大流量　200/235 L/min (50/60 Hz)
ミストセパレータ、
消費電力　165/190 W (50/60Hz)
マイクロミストセパレータ付
質量　18 kg
寸法 226W ×488D×413H mm
電源 単層　AC100 V (50/60Hz)
エア供給口：RC3/8
46.8
（ＳＭＣ）
1 ミストセパレータ
ＡＭ２５０Ｃ－０３Ｄ
ＡＭＧ２５０Ｃ－０３Ｄ
325
φ8エア
チューブ
３ｍ付属
ドレンキャッチャ
ラインフィルタ
ミストセパレータを取付板にセット
プラスチック製ドレン受け付属
適用機種 : 全機種
寸法 : 370W ×172D× 325H mm
エア供給口：ハイカプラ30PM
増圧比最大 2 倍
タンク容量：20L
保証耐圧力 : 1.5MPa
供給圧力範囲 : 0.1 ～ 1.0 MPa
設定圧力範囲 : 0.2 ～ 1.0 MPa
60
CM99901-S086
CZ 機用 : M12
210
125
ＡＦＦ４Ｃ－０３ＢＤ
ハイカプラ
（日東工器）
３０ＰＭ
エアーＩＮ
電源コード
Ｌ＝１９００
アースプラグ付
嵩上げベース
（ＳＭＣ）
1 メインラインフィルター
（ＳＭＣ）
1 ドレンキャッチ
エア浄化機器セット
15
冷凍式エアードライヤー
ＩＤＦ１Ｅ－１０－Ｘ１０６
XYZAX 用 : M10
操作盤用　高さ　665 mm
LCD 用　高さ　750 mm
LCD 用
150
無停電電源装置
フランジナット
ステップクランプ　大、
中、
小
各2 個
ステップブロック大、
中、
小
各2 組
（2 個 /1 組）
スタッドボルト　長さ6 種
各4個
カップリングナット　8 個
フランジナット　4 個
3
ドレン受け用樹脂容器
2 抗菌トンボシールウェア：ＯＡ－１
114
CM99903-D221
CM99931-D041
322
エアー増圧
フィルター
ユニット