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明電パルス電源
明電舎のパルスパワーで
世界の最先端技術を支える！
明電舎のパルス電源は、高精度で安定性に優れた瞬間的な高電圧、大電流のパルスパワー※
を高繰り返しで供給可能な電源装置です。
当社の生産技術により1000台以上の納入実績を誇り、半導体露光技術の発展に貢献して
います。
※パルスパワー：超高出力の瞬間的なエネルギー
パルス発生ユニット
充電器ユニット
特 長
■ 小形・軽量のユニット構造
■ 高精度な出力パルス電圧
コンデンサを高速充電する充電器、
パルス発生と昇圧・
・出力パルス電圧のバラツキを従来比*40分の1
圧縮するパルス発生部分をユニット構造とすること
・時 間 軸 ゆ ら ぎ（ ジ ッ タ ）を 従 来 比 * 5 5 分 の 1
で薄形化を実現し、
省スペース化に貢献します。
に低減。
*当社従来品との比較
■ ナノ秒
（ns）
レベルの急峻な立ち上がり
■ 長寿命
数10kV以上の高電圧を急峻な立ち上がりで供給
半導体スイッチ＋磁気スイッチ方式による全固体化
します。
電源のため、長寿命であり、長期間安定したパルス
出力を供給します。
基本仕様
右記仕様例のほかにも、最大周波数
仕様例
20kHz電源、
出力電圧120kV電源、
平
最大周波数
∼6kHz
均電力60kW電源などの製作実績が
出力電圧
∼30kV
あります。
平均電力
15kW級
ご要望に合わせてご提案させていた
パルス幅*
＜100ns
だきますので、
お気軽にご相談ください。
外形寸法
質 量
パルス発生ユニット：W650×H230×D520mm
充電器ユニット：W600×H380×D570mm
パルス発生ユニット、
充電器ユニット 共に90kg
*パルス幅はC2=Cp、
Cpを近接配置した場合の代表値
明電パルス電源
MEIDEN NANO PULSE POWER
回路構成（例）
パルス電源の出力波形と出力特性
■ VC0充電電圧波形
■ 充電器ユニット
商用電力を直流に変換し､初段コンデンサＣ0に充電します。
VC0＝2.8kV
■ パルス発生ユニット
充電されたエネルギーをＩＧＢＴでパルス状に変換し､昇圧
VCOO:1kV/div.
1kV/dii
及び磁気圧縮回路でパルス圧縮した高電圧短パルスを負荷
へ出力します。
租充電期間
期
微調期間
期
上記の２ユニットで構成しています。
t：10
10μ
μs/div
s/div.
d
パルス電源
ICHG
商
用
電
源
入
力
D1
SR1
D2
T1
INV
SR2
I1
I0 T2
C1
C0
SR3
I2
負荷簡易
等価回路
パルス圧縮例（シミュレーション波形）
Ip
C2
Cp
VC0＝2.8kV
C2→CP出力
＜100ns
C1→C2転送
C0→C1転送
IGBT
充電器ユニット
パルス発生ユニット
VC0＝2.8kV
VC1≒−30kV
システム構成（例）
VC2≒−27kV
パルス電源は、パルス放電を発生させる負荷放電管に瞬間
的な大電力（パルスパワー）を供給します。 ※コンデンサ容量はC0/n2＝C1＝C2＝CP
で計算。（nは昇圧比）
VCP≒−25kV
※負極性、正弦波での出力例。
そのパルス電源の心臓部は、パルス発生ユニットの電力用
半導体スイッチ
（ＩＧＢＴ）
と磁気パルス圧縮回路の磁気スイッチ
で構成してます。
■ パルス出力波形例
上位装置
コントローラ
AC 3φ
パルス電源部
充電器ユニット
スイッチ
制御電源
DC
※負荷短絡での VC2 波形
整流器
インバータ
充電器ユニット
制御
昇圧トランス
※ 100 パルス重ね書き
VC2
5 d
C ：5kV/div.
整流器
コントローラ部
・電圧設定
・運転シーケンス
・故障監視
・IGBT 制御
電圧検出
故障検出
パルス発生ユニット
パルス発生ユニット
制御
ゲート回路
初段蓄積コンデンサ
低ジッ
低ジッタ
ッ
IGBT スイッチ
回路
故障検出
リセット回路
磁気パルス発生回路
負荷（パルス放電部）
観測系
負荷放電管
適用分野について
半導体露光技術への貢献をはじめとして、超高エネルギー密度による効果により、
研究分野や各種産業への応用などそのフィールドは様々な分野に広がっています。
半導体製造
■ EUV※用パルス電源
最先端のEUV光源開発に貢献
■ エキシマレーザ用パルス電源
エキシマレーザの電源として、豊富
な実績があり、半導体露光技術の発
展に貢献
※
EUV：Extreme Ultraviolet
（極端紫外線）
■ プラズマCVD
パルスパワー
充電器・電力変換技術
パルス発生・成形技術
高電圧絶縁技術
計測技術
加速器
環 境
その他
■ 核物理実験装置
（シンクロトロン）
■ 電子ビーム加工機
■ アオコ処理
■ 上下水処理
■ 排ガス処理
■ DLC成膜
■ コンクリート粉砕
■ ガン治療
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www.meidensha.co.jp
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資料をよくお読みのうえ正し
え くお使いください。
■ 仕様は機能・性能向上などのため変更することがありますのでご了承ください。
この製品に関するお問い合わせは
●情報通信事業部 電子機器営業部
TEL（03）6420-7616 FAX（03）5745-3058
BA529-3119 2008年12月現在
2008-12ME（1L）1L