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スマートセンサ ZSシリーズ 2次元CMOSレーザタイプ ス マ ートセン サ を 新 領 域 へ 導 く 超 高 精 度 変 位 計 ライン ナップ ZS-HLシリーズ 超高機能センシングをコンパ More P.6 超ロングレンジから超高精度までコアの 品質を支える超高性能タイプ ●測定中芯距離 20mm∼1500mmを品揃え ●最大分解能 0.02μm（0.001μm）を実現 ●応答速度 最速110μs ●パラレル出力が可能 ZS-HLDS150 1500 録る 測 定 中 心 距 離 見る ZS-HLDS60 600 ZS-HLDS10 ZS-HLDS2V 25±2mm 20±1mm 02 100±20mm 600±350mm 1500±500mm ZSシリーズのデータロギングに最適！ センサコントローラ情報をフル活用 現場に設置したままで、 外部メモリ （コンパクトフラッシュカード） にセンサコントローラまたはマルチコントローラからデータを 高速ロギングできます。 トレーサビリティの構築や、 統計的工程管理（SPC）に有効です。 多連結したセンサコントローラ間のデータ 転送とマルチ演算を、高速にこなします。 More P.18 100 20 15 10 マルチコントローラ ZS-MDC センサコントローラ9台連結 ZS-LD10G/LD15G ZS-HLDS2 50±5mm データストレージユニット ZS-DSU 高速サンプリングレート150μS 各種トリガ機能によりロギングデータ取得を強力にサポート ZS-HLDS5 50 制する 15±0.75mm 10±0.5mm More P.17 S mar t Sen sor Advanced technology is carried クトにパッケージ。 〈名刺サイズ〉 ZS-Lシリーズ ハ イ グ レ ー ド More P.14 スポット検出・幅広検出・長距離検出など様々な 高精度変位計測に最適なスタンダードタイプ USB 測定中心距離 操る 観る センサコントローラ ZS-HLDC/LDC フルデジタル処理がセンシングパフォーマンスを最大化 オムロンのデジタル先進技術を凝縮。究極の計測性能を簡単に引き出 せます。 名刺サイズ USBを標準装備 350 拡散反射タイプ 拡 張 ユ ニ ッ ト ZS-LDC 形ZS-LD350S 正反射タイプ スマートモニタ Zero 定 格 ／ 性 能 Professional ZS-SW11 V3 ZSシリーズ用設定ツール （スマートモニタZero）の機能拡張版登場！ 多様なロギングニーズに対応 高速同時多チャンネル波形表示（グラフ）に対応 簡易解析用Excelマクロを付属 More P.12 ス タ ン ダ ー ド ●選べるビーム形状 スポットタイプ・ラインタイプ ●豊富な品揃え ロングレンジタイプ・ミドルレンジタイプ・ショートレンジタイプ More P.19 形ZS-LD200 200 130 形ZS-LD130 80 形ZS-LD80 50 40 形ZS-LD50/LD50S 20 形ZS-LD40 形ZS-LD20/LD20S スポットビーム ラインビーム ラインビーム ラインビーム ライン/スポットビーム ラインビーム ライン/スポットビーム 03 主要アプリケーション 超ロングレンジから超高精度までコアの品質を支える超高性能タイプ ZS-HLシリーズ シール剤塗布工程での ディスペンサノズルギャ ップ計測・制御に最適。 電子部品上にポッティング された樹脂高さの計測 に最適。 液状ガスケット(Ｆ Ｉ ＰＧ)の 塗布量を計測の測定に 最適。シール不足等の 不良を防止します。 XYステージの位置決め・ 繰返し精度確認に最適。 液晶用コータ液やPDP 用の蛍光体の液面レベ ル検出に最適。 測定対象物に近づけな い遠方より突起物、段差 の測定が可能。 ポリシング工程やテスタ 工程での、 シリコンウエハ・ 化合物半導体ウエハの 厚み測定に最適。 スポット検出・幅広検出・長距離検出など様々な高精度変位計測に最適なスタンダードタイプ ZS-Lシリーズ レジスト塗布・シール剤塗 布工程でのガラス厚み・ノ ズルギャップ計測に最適。 複写機用トナー部の樹脂 ブレードの反り測定に最適。 ドアの組み付け精度確認 に最適。 ロードポート内のウエハ搬 送用ロボットアームの平坦 度確認に最適。 X-Y自動ステージによる３Ｄ形状測定例 微小部品判別や細かな形 状の再現性が必要な計測 に最適。 04 S mar t Sen sor Advanced technology is carried 業界別アプリケーション 自動車・自動車部品 車体の計測 ハ イ グ レ ー ド 電子部品 ドア組付けズレ計測 タイヤ外形計測 基板高さ検査 基板反り（コプラナリティ）検査 積層セラミックスの位置決め用形状計測 1軸スキャン ス タ ン ダ ー ド コンデンサ 基板 スマートモニタのグラフ画面 スポットビーム ラインビーム 半導体 化合物半導体の電極高さ計測 拡 張 ユ ニ ッ ト 家電・ＡＶ ウエハの反り、厚み計測 アームの傾き測定 タッチパネルの フィルム厚みとギャップの同時計測 DVDシャーシ平坦度検査 デジカメ鏡筒レンズ検査 定 格 ／ 性 能 液晶・PDP ガラスうねり計測 ゴム・樹脂・フィルム ガラス表面計測 ガラス高さ（オートフォーカス）検査 誘電体上の電極厚み計測 移動ワーク（黒ゴム） Oリング挿入部段差計測 05 ハイグレードタイプ High grade ZS-HLシリーズラインナップ 2次元CMOSハイエンド変位センサ！ ハ イ グ レ ー ド センシング精度を追求した最適化センサヘッドに先進のセンシングテクノロジーを凝縮 0.001μｍの超高分解能タイプから1500mmの 超ロングレンジまで幅広いラインナップ 形式 ZS-HLDS150 測定中心距離 1500±500mm 分解能 500μｍ リニアリティ ±0.2%F.S. ビーム形状 1.5mm×40mm 06 ZS-HLDS60 ZS-HLDS10 ZS-HLDS5 ZS-HLDS2 ZS-HLDS2V ZS-LD10G/LD15G 600±350mm 8μｍ 100±20mm 1μｍ 50±5mm 0.1μｍ 20±1mm 0.02μｍ 25±2mm 0.6μｍ 10±0.5mm /15±0.75mm 0.1μｍ（0.001μｍ）/ 0.15μｍ ±0.07%F.S. ±0.1%F.S. ±0.1%F.S. ±0.05%F.S. ±0.2%F.S. ±0.1%F.S. 0.3mm×16mm 60μm×3.5mm 30μm×1mm 20μm×1mm 45μm×2.2mm 25μm×900μm S mar t Sen sor Advanced technology is carried 全ラインアップでクラス2レーザ 0.001μmの高分解能 （ZS-LD10G) 2次元CMOS イメージセンサ 超高分解能 受光領域を計測に応じて最適 設定できるため、センシングの 基本である「精度、速度、感度」 を高次元でバランスさせます。 デジタルセンシング フルデジタルセンシングにより、 超安定した計測処理を実現します。 ハ イ グ レ ー ド オムロンのデジタルセンシング技術が 驚異の分解能特性を実現しています。 ±0.05％F.S.のリニアリティ （ZS-HLDS2) オムロン独自のアルゴリズムが検出の 誤差を低減、ワークの計測精度が向上 超安定性 しています。 高精度 超高感度レンズ 110μsの超高速サンプリング （ZS-HLDS□□/LD□□） 高速 ワークの追従性にすぐれた的確なセ ンシングを提供。 CMOSの高速データ読み出しがイン ラインでの移動ワークもしっかりと捉 えます。 超安定性 最適サイズ/安定性 優れた移動分解能 材質間誤差低減 ヘッドサイズ レンズ高解像度化 2次元CMOS 13.5μｍ 5 0 0 1000 2000 5000 6000 10 SUS SUS計測時の移動分解能 ZS-HLDS5 計測値（μｍ） 5 4.5μｍ 0 -5 0 -10 500 1000 1500 2000 2500 3000 移動量 サンプリング4ms 0 Ｚ Ｓ Ｈ Ｌ シ リ ー ズ 10μｍp-p 5 -10 -15 距離一定 移動量 当社従来機種 Cr ガラス 5 0 20 移動量 40 （mm） Cr 距離一定 Cr ZS-HLDS5 10 - ※ZS-HLDS2を除く。 Ｚ Ｓ Ｈ Ｌ シ リ ー ズ 4000 - ZS-HLDS5/HLDS10 3000 -5 -10 ZS-HLDS2 当 社 従 来 機 種 SUS計測時の移動分解能 当社従来機種 10 誤差[μm] 当 社 従 来 機 種 CCDでは受光光量過多になると隣の画素に電荷が溢れます。 CMOSではこのような現象がないため材質による過多による 光の変動の影響を受けません。 誤差[μm] ZS-HLDS60/HLDS150 受光レンズの高感度化と高解像度化により、光学系を最適に することで移動分解能（ワーク表面位置による誤差） を大幅に 低減しました。 計測値（μｍ） 性能重視の最適なヘッドサイズと3点止め※での保持機構が、 抜群のセンシング安定性を確保。 ガラス ガラス 5 0.7μｍp-p 0 -5 -10 0 20 移動量 40 （mm） サンプリング4ms 07 ZS-HLDS5/HLDS10 ハ イ グ レ ー ド 検出対象を選ばない 計測精度を決めるリニアリティ特性の固体ばらつきを低減。 これにより、 あらゆる検出対象物への導入がしやすくなりました。 リニアリティ特性 0.1μｍ リニアリティ ±0.1%F.S. ビーム形状 形式 測定中心距離 分解能 30μm×1mm ZS-HLDS10 0.15 0.10 0.10 0.05 0.00 -0.05 40.0 -0.10 1μｍ -0.15 60μm×3.5mm ZS-HLDS5 正反射 0.15 100±20mm リニアリティ ±0.1%F.S. ビーム形状 当社従来機種 正反射 50±5mm 42.0 44.0 46.0 48.0 仕 様 範 囲 リニアリティ(%F.S.) 分解能 ZS-HLDS5 リニアリティ(%F.S.) 形式 測定中心距離 車体幅の計測（ZS-HLDS10） 0.05 0.00 -0.05 40 42 44 46 48 仕 様 範 囲 -0.10 -0.15 測定範囲（mm） 測定範囲（mm） No.1 Sample-A Sample-B Sample-C Sample-D Sample-E No.2 No.3 No.4 No.5 ※代表例 車種毎の車幅を計測することで、 傾向管理が行えます。 ZS-HLDS60/HLDS150 設置場所を選ばない程ロングレンジ 業界初の1500ｍｍロングレンジが、 あきらめていたポイントを計測可能に。 形式 ZS-HLDS60 測定中心距離 600±350mm 分解能 8μｍ リニアリティ ±0.07%F.S. ビーム形状 0.3mm×16mm 形式 ZS-HLDS150 測定中心距離 1500±500mm 分解能 長距離簡易段差計測 頂点 底面 頂点 底面 500μｍ ※周囲環境の明るい場所では、 ご使用できない場合があります リニアリティ ±0.2%F.S. ビーム形状 1.5mm×40mm ピークボトム計測 08 S mar t Sen sor Advanced technology is carried ZS-HLDS2V NEW ハ イ グ レ ー ド 透明体の高さ・厚み計測に最適 傾きやばたつきのあるワークに対しても安定計測が可能に。 形式 測定中心距離 分解能 ZS-HLDS2V 専用非球面レンズを新規開発すると ともに、光学系構造を正反射ワーク に最適設計。 それにより透明・正反射ワーク計測 時のワーク傾き余裕度と安定性を大 幅に向上しました。 25±2mm 0.6μｍ 非球面レンズ（新規開発） リニアリティ ±0.2%F.S. 45μm×2.2mm 角度特性 6 5 限界角度（° ） ビーム形状 4 3 2 1 0 当社従来機種 縦 ＋方向 縦 −方向 ZS-HLDS2V 横 ＋方向 縦方向 横方向 横 −方向 09 ZS-HLDS2/ZS-LD10G/LD15G ハ イ グ レ ー ド 超高精度計測の決定版！ 半導体ウエハ、ガラスなど精度が要求される計測に、圧倒的な性能 タッチパネルのフィルム厚みとギャップの同時計測 形式 測定中心距離 分解能 ZS-HLDS2 ビーム形状 350 90 300 85 80 75 65 0.02μｍ 20μm×1mm 400 95 70 20±1mm リニアリティ ±0.05%F.S. 100 ギャップ[μm] m 厚み[μm] スリ 26. ム 4m 60 厚み フィルム ガラス 250 200 150 100 50 0 0.2 0.2 0.4 0.6 0.8 0 1 0 0.2 移動量（mm） ギャップ 0.4 0.6 0.8 移動量（mm） 透明体計測、厚みギャップの同時計測機能 驚異の静止計測精度0.001μmがこのクラス最高の性能を提供いたします。 ノズルギャップ計測に最適！ ■ 移動分解能業界No.1 移動計測時の シールディスペンサの高さ制御 HDD用モータ回転台座のディスクブレ検査 パターンの影響小 ■ ノズルの滴下点と計測ポイントを 2 ■ ノズルのスペースを確保した投・ 1 測定中心距離 分解能 ZS-LD10G/LD15G 10±0.5mm/15±0.75mm 0.1μｍ（0.001μｍ）/0.15μｍ 0 変位[μm] 受光分離かつ一体構造ヘッド 形式 ZS-LD10G 一致して計測可能 -1 -2 -3 -4 -5 1 251 リニアリティ ±0.1%F.S. ビーム形状 10 25×900μm 振幅5μmのうねりを計測 501 751 データ数 1 S mar t Sen sor Advanced technology is carried Technology ハ イ グ レ ー ド レーザ変位計の苦手とする、 レーザ光の染み込み、透過、多重反射、光量不足などを引き起こす計測対象物も、 オムロンのセンシング技術と 新開発の計測アルゴリズムにより安定・高精度測定が可能になりました。 安定計測実現のメカニズム 特許申請中 安定計測実現のメカニズム 特許申請中 高分解能実現のメカニズム 特許申請中 安定計測実現のメカニズム ガラスギャップ間の 反射率による誤差を解決 ワークの反射率による誤差を解決 分解能誤差を解決 染み込みによる誤差を解決 2次元撮像した受光波形の加算・ デジタルズーム処理により安定計測を実現 レーザパワーの無段階調整アルゴリズムにより 安定計測を実現 センサとコントローラ間のデジタル処理技術が 高分解能化を実現 2次元ＣＭＯＳ上の受光量分布を正しく 認識することで安定計測を実現 デジタル通信 ② ③ ① (Near) （ミラー）大 ノイズ入光 受光ラインごとに計測 位置をセンシング 従来品 1 ラ イ ン ず つ 受 光 量 小 受光ラインを加算処理後 に計測位置をセンシング ZS シリーズ 加 算 平 均 す る 大 レ ー ザ ー パ ワ ー 小（黒ゴム） 反射率 (Far) 10000段階以上（無段階） 計測誤差なし ZSシリーズ レーザ発光パルス制御 無段階に光量調整 ３１段階 min80nS 計測誤差発生 ZS-HLシリーズ 従来品 従来品 感度切替 ① 受光信号制御 クロックによるズレなし 除去 受 光 量 表面の真のピーク位置 大 受 光 量 大 光量変動誤差 クロック 間誤差 誤差なし ② 位置 さらにデジタル ズーム処理で・・ 2次元ＣＭＯＳで撮像した受光波形の加算処理と ガラスの表面・裏面を別々感度で同時計測するこ とで、計測タクトが従来比１/8に向上しました。 様々な計測対象物体を安定して計測するための 光量調整アルゴリズムが進化しました。 ワークの状態が急激に変化しても無段階で感度 追従可能なため、感度切替による計測誤差を発生 させません。 ③ 小 （Near） レーザの染み込みの 影響により間違って 算出されたピーク 受 光 量 染み込みによる 受光波形の乱れ ZSシリーズ 受光表面 （Far） 小 （Near） センサとコントローラ間に高 速デジタル 通 信（ LVDS） を採用。コントローラ側からの制御信号と 受光デバイスとのクロック間誤差がなくなり、映像 信号が安定します。さらに、 レーザパワーの無段階 調整アルゴリズムにより最適な光量調整が可能に なり、超高分解能を実現します。 受光表面 （Far） プリント基板・プラスチックといったレーザ光が内部 に染み込むワークに対して、 染み込みによる影響を排除して真の表面変位を検 出します。 11 センサコントローラ ハ イ グ レ ー ド ZS-HLDC〈マルチタスクタイプ〉 フルデジタル処理とマルチタスク機能がセンシングパフォーマンスを最大化 名刺サイズのコントローラにオムロンのデジタル先進技術を凝縮。 究極の計測性能を簡単に引き出せます。 高機能センシング 〈マルチタスク機能〉 複数の特徴点を最大4点同時計測＆出力 ●測定箇所における微小な凹みや 凸を検地したいとき ●ガラス計測で、 ガラスまでの距離と、 ガラス厚みやギャップなどを同時に 計測したいとき （設定例） ■TASK１ 段差 拡大 （設定例） ■TASK１ 平均 ■TASK2 厚み ●センサもしくはワークを移動させて、 異なる位置の段差を計測したいとき ●HDDの面ぶれ度合いと、HDD面までの 距離を同時に計測したいとき （設定例） ■TASK１ 平均 セルフダウントリガ アベレージホールド ディレイあり ■TASK2 平均 平均 アベレージホールド ディレイあり ■TASK3 演算（TASK2−TASK1） （設定例） ■TASK１ 平均 アベレージホールド ■TASK2 平均 P-to-Pホールド トリガレベル ディレイ時間1 ディレイ時間2 「データ確認・解析」と「データ収集・制御、段取り替え」を2系統で同時制御 無手順通信で制御する Compoway/F※通信で制御する データ収集・制御、 段取り換え データ確認、解析 機能概要 ZS-HLDC ZS-LDC 操作トップメニュー マルチタスクモード ・センシング画面の確認 ・計測値の確認 ・計測値のロギング シングルタスクモード（標準モード） ・計測結果を取得 ・ゼロリセットの実施 ・バンク切り替え USB RS-232C ※オムロン独自の通信プロトコルです。 センシング TASK１ TASK2 TASK3 TASK4 I/O設定 測定点 フィルタ 12 出力 センシング TASK１ I/O設定 フィルタ 出力 高速1秒のバンク切り替えでトータルタクトタイムの向上 S mar t Sen sor Advanced technology is carried ハ イ グ レ ー ド 簡単センシング 使いやすさを追求したHMI 〈共通機能〉 知りたい情報をワンタッチで センシング設定をダイレクトに RUN（計測）モードでは、計測値と計測情報を8セグ2行で表示。大型LED表示が視認 性を向上しています。計測情報には、 しきい値だけでなく電流、分解能、受光量などを 表示でき、知りたい情報をキー操作で簡単に手に入れられます。さらに液晶表示は カスタマイズが可能、知りたい情報をわかりやすい内容に変更して表示できます。 FUN（設定）モードでは、設定メニューを液晶の2行で表示。液晶なら ではの多彩な表現力が設定をやさしくガイダンスします。表示され るメニューにはファンクションキーが対応、計測条件などを直感的に 設定していくことができます。さらに日本語と英語の言語切替え機能 を搭載。使う人とのコミュニケーション力を高めています。 特許出願中 RUN（計測モード） 計測値を表示 しきい値／電流／分解能／受光量／… 表示内容カスタマイズ例 FUN（設定モード） さまざまな計測情報を ワンタッチ切替え ファンクションキーで ダイレクト選択 ﾒｲﾝ:ｹｲｿｸﾁ ｻﾌﾞ:ｼｷｲﾁ しきい値 ﾒｲﾝ:ｹｲｿｸﾁ ｻﾌﾞ:ﾃﾞﾝﾘｭｳ 電流 ﾒｲﾝ:ｹｲｿｸﾁ ｻﾌﾞ:ｾｲﾄﾞ 分解能 DINレールだけではなく 制御盤にも対応。 受光量 USBでパソコンにダイレクト接続 シンプル操作 リーズナブルプライス USB2.0＆RS-232Cを標準装備 センサヘッドからコントローラ間に、業界初の新世代デジ タル高速通信インターフェースLVDSを採用。USBで パソコンを接続すれば、オールデジタルで高速に計測 データを伝送できます。 スマートモニタに付属のWarpEngineZeroでファーム ウェアを簡単アップデート可能です 特許出願中 ZS-LDC 〈シングルタスクタイプ〉 ﾒｲﾝ:ｹｲｿｸﾁ ｻﾌﾞ:ｺｳﾘｮｳ USB接続 パネルマウントアダプタ（別売りオプション） 13 スタンダードタイプ Standard ZS-Lシリーズラインナップ 2次元CMOSローエンド変位センサ！ クラス最小のセンサヘッドに先進のセンシングテクノロジーを凝縮 ■クラス最小のコンパクトサイズ（65×65mm） ■ヘッドサイズを統一 ■ライン/スポットビームタイプ ■黒ゴム-鏡面-透明ワークまで検出可能 ZS-LD50/LD80/LD130/LD200/LD350S ス タ ン ダ ー ド 2次元CMOS イメージセンサ搭載 レーザクラス2 耐環境仕様IP-67 （コード長2mタイプ） 超高感度レンズ ※ZS-LD50は 高精度群レンズ採用 ZS-LD20/LD40 形ZS-LD50 測定中心50mm ZS-LD20S/LD50S 計測レンジ 10mm スポットビームタイプ 計測レンジ 30mm 2次元CMOS イメージセンサ搭載 形ZS-LD80 測定中心80mm 計測レンジ 30mm 形ZS-LD130 測定中心130mm 形ZS-LD200 測定中心200mm 高精度群レンズ レーザクラス2 耐環境仕様IP-67 （コード長2mタイプ） 計測レンジ 100mm 形ZS-LD20 測定中心20mm 分解能0.1μm （0.008μm＊2） ラインビーム （900×25μm） 〈拡散反射タイプ〉 形ZS-LD50S 測定中心50mm 計測レンジ 2mm 計測レンジ 10mm スポットビーム （φ50μm） 余裕の ロングレンジ 形ZS-LD350S＊1 測定中心350mm ＊1スポットビームタイプ ※センサヘッド設置は、拡散反射と正反射に対応可能。 （形ZS-LD350Sを除く） アプリケーションに応じて変更した場合でも、 計測値を正しく補正します。 14 計測レンジ 270mm 〈拡散反射タイプ〉 形ZS-LD40 測定中心40mm 分解能0.4μm （0.015μm＊2） ラインビーム （2000×35μm） 〈正反射タイプ〉 計測レンジ 5mm 計測レンジ 2mm ＊2（ ）内の分解能を実現するには、 制約条件があります。 詳細は、定格性能の表をご覧ください。 〈正反射タイプ〉 形ZS-LD20S 測定中心20mm スポットビーム （φ25μm） S mar t Sen sor Advanced technology is carried プリント基板・黒樹脂、金属を安定計測 安定計測重視の 微小な対象物・形状計測に適した ■光がしみこむプリント基板、樹脂、黒ゴムなど、従来の反射形レーザ変位計にとって不得意なワークに 対しても、 モード選択により安定したセンシングを実現 ラインビームタイプ スポットビームタイプ ラインビームの平均化効果により凹凸の影響なく安 定計測が可能です。 計測対象物の表面に依存しない安定した計測に最 適です。 計測対象領域が微小で、 レーザビーム位置合わせ、 微小形状の再現性が必要な計測に最適。 ZS-LD80 ゲイン設定5 黒樹脂ワークの形状計測 15.000 0 高さ（mm） 10.000 ス タ ン ダ ー ド 10 5.000 20 0.000 移動 30 -5.000 移動 40 -10.000 -15.000 データ数 移動量 40° まで傾斜しても、 データ落ちなく形状を計測 変位量 ビーム径 ZS-LD50 ビーム幅 基板表面の形状計測 高さ（mm） 応答8ms 高精度モード 黒ゲイン＝0、赤ゲイン＝5（MAX） 1.75 ラインビーム タイプ ZSLD20 1.73 ビーム径 1.71 ビーム幅 移動量 変位量 ビーム径 ZSLD40 ZSLD50 ZSLD80 ZSZSLD130 LD200 25μm 35μm 60μｍ 60μm 70μm 0.9mm 2mm 0.9mm 0.9mm 0.6mm 0.9mm 100μm スポットビームタイプ ＺＳ-ＬＤ20Ｓ ＺＳ-ＬＤ50Ｓ ZS-LD350S ビーム径 φ25μｍ φ50μｍ φ240μm 1.69 1.67 1.65 しみこみモード、ゲイン設定使用 ひげ、波形割れが少なく基板形状を計測 ■高精度モードを選択するだけで、黒ゴムを安定計測。 ■染込みモードを選ぶだけで、 プリント基板、黒樹脂を安定計測。 ガラスを安定計測 ■定盤上の透明・膜付き・色付きガラス、高さ・うねりの安定計測を実現 ■2ｍｍのラインビームが40ｍｍ長距離でも安定計測 2mmのラインビームが定盤面（御影石）特有の白黒斑文様の影響を低減させ、安定計測を実現します ZS-LD40 ガラス表面計測 簡単センシング―使いやすさを追求したHMI センシング設定をダイレクトに FUN（設定モード） ガラスの移動計測 [μm] 4 3 2 1 0 -1 -2 -3 -4 ガラス応答 8ms 0.2μm ダフ イァ レン クク トシ 選ョ ン 択キ ー で レジスト塗布・シール剤塗布工程でのガラス厚み・スリットノズルのギャップ計測に最適。 15 拡張ユニット Smar t Sensor Advanced technology is carried Enhancing unit システム構成 マルチコントローラ ZS-MDC コントローラ情報をまとめて演算 センサ部 コントローラ部 ZS-HLシリーズ 周辺機器 多連結コントローラ間のデータ転送とマルチ演算を高速でこなします。 パラレルI/O センサコントローラ 9台のコントローラを高速連結 拡張I/Oユニット PLC マルチ コントローラ部 データ ストレージ部 高速入力ボード （PC） 厚み・段差・平坦度など多点計測が必要なアプリケーションで差がつきます。最大で9台のコントローラを業界最 速の高速転送バスで連結。デジタル演算処理で、データ抜けのない「見たまま」の計測能力を発揮します。 〔3台までの連結時：110μSサンプリング可能〕 〔9台までの連結時：380μSサンプリング可能〕 ＊通信コマンド使用時 USB マルチコントローラ センサヘッド スマートモニタZero 連結コントローラを一括監視 拡 張 ユ ニ ッ ト 拡 張 ユ ニ ッ ト ZG-RPD 計測データを 高速バイナリ出力 ※3 ZS-HLDC※1 USB スマートモニタ （PC） モバイルデータレコーダ ZS-SW11V3□ ZR-MDR10 ZS-Lシリーズ モニタリング・設定支援・ 計測データのロギング 多点計測（樹脂・金属の平坦度） 形ZS-MDC 演算結果 RS-232C ZS-MDC ZS-DSU マルチコントローラで可能な演算事例 各センサの計測結果を演算 計測データのロギング 平坦度演算 PLCなど 基準段差演算 相対段差演算 ねじれ演算 取得された値の最大値と最小値の差を算出します。 基準点（A）の値と各点の値の差を算出します。 各点の値の差を算出します。 CompoNet C A ※1：ZS-HLDCは、ZS-HL/Lシリーズのヘッドと接続可能です。 ※2：ZS-LDCは、ZS-Lシリーズのヘッドのみと接続可能となります。 ※3：ZG-RPDは、ZS-HLシリーズにのみ使用可能です。 接続コード 形ZS-XC02D ZS-HLシリーズ用 長距離延長ケーブル PLCなど センサ通信ユニット ZS-CRT アナログ 最長 25M 16 デジタルイコライザ 形ZS-XEQ ※4 C B 演算台数：3∼9台 ZS-LDC※2 センサヘッド 形ZS-HLDS□ A B 耐屈曲性・長距離延長コード 形ZS-XC15CR/XC25CR ※4 デジタルイコライザ形ZS-XEQは、ZS-HLシリーズにのみ使用可能です。 コントローラ 形ZS-HLDC□ データロガー ZR-RX70A A 演算台数：3∼9台 演算式： C A B TASK1=A−B TASK2=B−C TASK3=C−A TASK1=A−B TASK2=A−C … 各々個別判定 演算式：TASK1＝Max.（A,B,…）−Min.（A,B,…） 各々個別判定 D C B 多点厚み演算 平坦高さ演算 ソリ演算 自由演算 面の平均高さを算出します。 選択された辺の反り量を算出します。 柔軟な演算式が設定可能。 A C D E F 演算台数：2,4,6,8台 演算式： TASK1=K−（A＋B） TASK2=K−（C＋D） TASK3=K−（E＋F） 各々個別判定 A C B B 演算台数：4台 演算式：TASK1＝（A−B）−（D−C） 各ペアの値の差を算出します。 B デジタルイコライザ 形ZS-XEQ ※4 演算台数：3∼9台 演算式： 対辺のねじれを算出します。 C デジタルマルチ演算 A 演算台数：2∼9台 演算式：TASK1＝Ave.（A,B,C,…） 演算台数：3台 「K＋mX＋nY」 多点計測 演算式：TASK1＝B−（A＋C）／2 高速データ伝送 17 拡張ユニット Smar t Sensor Advanced technology is carried Enhancing unit システム構成 マルチコントローラ ZS-MDC コントローラ情報をまとめて演算 センサ部 コントローラ部 ZS-HLシリーズ 周辺機器 多連結コントローラ間のデータ転送とマルチ演算を高速でこなします。 パラレルI/O センサコントローラ 9台のコントローラを高速連結 拡張I/Oユニット PLC マルチ コントローラ部 データ ストレージ部 高速入力ボード （PC） 厚み・段差・平坦度など多点計測が必要なアプリケーションで差がつきます。最大で9台のコントローラを業界最 速の高速転送バスで連結。デジタル演算処理で、データ抜けのない「見たまま」の計測能力を発揮します。 〔3台までの連結時：110μSサンプリング可能〕 〔9台までの連結時：380μSサンプリング可能〕 ＊通信コマンド使用時 USB マルチコントローラ センサヘッド スマートモニタZero 連結コントローラを一括監視 拡 張 ユ ニ ッ ト 拡 張 ユ ニ ッ ト ZG-RPD 計測データを 高速バイナリ出力 ※3 ZS-HLDC※1 USB スマートモニタ （PC） モバイルデータレコーダ ZR-MDR10 ZS-SW□□V3 ZS-Lシリーズ モニタリング・設定支援・ 計測データのロギング 多点計測（樹脂・金属の平坦度） 形ZS-MDC 演算結果 RS-232C ZS-MDC ZS-DSU マルチコントローラで可能な演算事例 各センサの計測結果を演算 計測データのロギング 平坦度演算 PLCなど 基準段差演算 相対段差演算 ねじれ演算 取得された値の最大値と最小値の差を算出します。 基準点（A）の値と各点の値の差を算出します。 各点の値の差を算出します。 CompoNet C A ※1：ZS-HLDCは、ZS-HL/Lシリーズのヘッドと接続可能です。 ※2：ZS-LDCは、ZS-Lシリーズのヘッドのみと接続可能となります。 ※3：ZG-RPDは、ZS-HLシリーズにのみ使用可能です。 接続コード 形ZS-XC02D ZS-HLシリーズ用 長距離延長ケーブル PLCなど センサ通信ユニット ZS-CRT アナログ 最長 25M 16 デジタルイコライザ 形ZS-XEQ ※4 C B 演算台数：3∼9台 ZS-LDC※2 センサヘッド 形ZS-HLDS□ A B 耐屈曲性・長距離延長コード 形ZS-XC15CR/XC25CR ※4 デジタルイコライザ形ZS-XEQは、ZS-HLシリーズにのみ使用可能です。 コントローラ 形ZS-HLDC□ データロガー ZR-RX70A A 演算台数：3∼9台 演算式： C A B TASK1=A−B TASK2=B−C TASK3=C−A TASK1=A−B TASK2=A−C … 各々個別判定 演算式：TASK1＝Max.（A,B,…）−Min.（A,B,…） 各々個別判定 D C B 多点厚み演算 平坦高さ演算 ソリ演算 自由演算 面の平均高さを算出します。 選択された辺の反り量を算出します。 柔軟な演算式が設定可能。 A C D E F 演算台数：2,4,6,8台 演算式： TASK1=K−（A＋B） TASK2=K−（C＋D） TASK3=K−（E＋F） 各々個別判定 A C B B 演算台数：4台 演算式：TASK1＝（A−B）−（D−C） 各ペアの値の差を算出します。 B デジタルイコライザ 形ZS-XEQ ※4 演算台数：3∼9台 演算式： 対辺のねじれを算出します。 C デジタルマルチ演算 A 演算台数：2∼9台 演算式：TASK1＝Ave.（A,B,C,…） 演算台数：3台 「K＋mX＋nY」 多点計測 演算式：TASK1＝B−（A＋C）／2 高速データ伝送 17 データストレージユニット 現場設置型ロギングツール 多彩なロギング機能でセンシングデータを効率よくストレージします。 高速・長時間ロギング設定がロギングのニーズを的確に処理、 USB＆オールデジタルパスで信頼できるセンシングデータをまるごと収集します。 センサ設定情報もストレージ。 最大128のバンクデータをストレージして段取り替えのマスタユニットに。 ●高速サンプリングレート最速150μS ●各種トリガ機能によりロギングデータ取得を強力にサポート 拡 張 ユ ニ ッ ト コントローラ接続台数 最大 10台（ZS-MDC：1台、ZS-HLDC/LDC9台） 接続可能コントローラ 形ZS-HLDC□、形ZS-LDC□、形ZS-MDC □ 構成 32bit データ分解能 性能 ・高速短時間ロギングモード（ワンショットモード） （※1） ・長時間ロギングモード（リピートモード） （※2） サンプリング間隔10ms∼1h（1msごとに設定可） サンプリングレート トリガ機能 開始／終了トリガ個別設定可能 外部トリガ／データトリガ（セルフトリガ） 時刻トリガ その他機能 ・外部バンク機能 ・アラーム出力機能 ・保存データフォーマットカスタマイズ機能 ・時計機能（タイムスタンプ） 機能 多点データ収集 ※2）リピートモードの場合（ロギング時間はメモリカードの容量に依存） ・例）64MBのメモリカード使用している場合 ※1）ワンショットモードの場合 ・形ZS-LDCに接続時 CH数 最小サンプリング間隔 最長ロギング時間 トレーサビリティ 段取り替えユニット 18 1 2 4 9 150μs 200μs 350μs 650μs CH数 最小サンプリング間隔 最長ロギング時間 1 2 4 9 10分 6.5分 5.5分 4.5分 （代表例） 10ms 10ms 10ms 10ms センサコントローラ (ZS-LDC) センサコントローラ (ZS-LDC) CFカード ・ｃｓｖファイル生成ツール ・簡易解析用Excelマクロ （スマートモニタ Zero Professional同梱品と同等） 付属ソフト データストレージユニット （ZS-DSU） データストレージユニット ZS-DSU ・形ZS-MDCに接続時 CH数 最小サンプリング間隔 最長ロギング時間 1 2 4 9 20時間 10時間 5時間 2時間 （代表例） 350μs 400μs 500μs 700μs 20分 12分 8分 5分 （代表例） S mar t Sen sor Advanced technology is carried ＺＳシリーズ用設定ツール スマートモニタ Zero V3 Professional ZS-SW11 V3 ＰＣを使ってＺＳの最適設定からデータ収集・分析を強力にサポート。 ＵＳＢで簡単に設定できます。 設定支援を強化 多様なロギングニーズに対応 CMOS上に結像された受光画像と受光波形の表示が可能。 複数の受光波形が発生する透明体の測定などで威力を発揮。 様々なタイミングで計測結果をロギングして、評価・検査結 果を残せます。 ロギングの最速サンプリング間隔は500μs（※）です。 ●受光モニタ ※パソコンの環境によってはデータ飛びが発生する場合があります。推奨動作環 境以上のパソコンでご使用ください。 ●ロギング 拡 張 ユ ニ ッ ト 受光画像 受光波形 （ラインブライト） 高速同時多CH波形表示（グラフ）に対応 簡易解析用Excelマクロを付属 高速描画：最速2ms間隔（※）、多波形同時描画：最大9波形 を表示できます。 ロギングで取得したデータをExcelマクロでフィルタ、傾斜 補正、フィルタ（メディアン）平均移動、微分、積分、四則演算 などを算出し、公差判定などに活用できます。 ※パソコンの環境によってはデータ飛びが発生する場合があります。推奨動作環 境以上のパソコンでご使用ください。 ●多CH波形表示 ●解析 推奨動作環境 OS:Windows 7（32ビット版/64ビット版） Windows XP（Service Pack3以上、32bit版） CPU:Intel Pentium III 1GHz以上（推奨：2GHz以上） メモリ:1GB以上 空きハードディスク容量:50ＭB以上 表示画面:1024×768ドット以上、1600万色以上 （※）推奨スペックに満たない場合は、ロギング機能、高速グラフ描画、 多CH波形描写において、データが途切れたり正常に波形表示でき ない場合があります。 ・Windowsは、Microsoft Corporationの商標または登録商標です。 ・その他記載されているシステム名、製品名は各社の商標または登録商標です。 19 定格/性能 種類/標準価格 （◎印の機種は標準在庫品です。無印（受注生産機種）の納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。） 本体 ZS-HLシリーズ センサヘッド 光学方式 正反射形 拡散反射形 検出距離 ビーム形状 ZS-HLシリーズ センサコントローラ ビーム径 分解能 ＊1 20±1mm ラインビーム 1.0mm×20μm 0.02μm 25±2mm ラインビーム 2.2mm×45μm 0.6μm 50±5mm ラインビーム 1.0mm×30μm 0.1μm 100±20mm ラインビーム 3.5mm×60μm 1μm 600±350mm ラインビーム 16mm×0.3mm 8μm 1500±500mm ラインビーム 40mm×1.5mm 500μm 形式 ＊2 標準価格（￥） 形状 オープン価格 形ZS-HLDS5 （お取引き商社に ◎形ZS-HLDS10 お問い合わせくだ さい） 形ZS-HLDS60 PNP出力 ◎形ZS-HLDC41 形状 分解能 ＊1 形式 ＊2 10±0.5mm ラインビーム 900×25μm 0.1μm （0.001μm） 形ZS-LD10G ラインビーム 900×25μm 0.15μm （0.001μm） 形ZS-LD15G 標準価格（￥） PNP出力 正反射形 検出距離 20±1mm 40±2.5mm 50±5mm 拡散反射形 80±15mm 130±15mm 200±50mm ビーム径 ラインビーム 900×25μm スポットビーム φ25μm 分解能 ＊1 0.1μm(0.008μm) 形ZS-LD20 0.1μm(0.001μm) 形ZS-LD20S ラインビーム 2000×35μm 0.4μm(0.015μm) ラインビーム 900×60μm 0.8μm スポットビーム φ50μm ラインビーム 900×60μm 形式 ＊2 電源 0.8μm 2μm オープン価格 （お取引き商社に ◎形ZS-LD50S お問い合わせくだ さい） 形ZS-LD80 ラインビーム 600×70μm 3μm 形ZS-LD130 ラインビーム 900×100μm 5μm 形ZS-LD200 20μm ◎形ZS-LD350S 350±135mm スポットビーム φ240μm ＊1. 平均回数128回、 高精度モードに設定した場合。 （ ）内の分解能を実現するには制約条件があります。 詳細は定格/性能の表をご覧ください。 ＊2. ご注文時にはコード長をご指定ください。 （0.5m、 2m） 20 出力仕様 形式 標準価格（￥） ◎形ZS-MDC11 オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） DC24V 標準価格（￥） 形ZS-LD40 形ZS-LD50 オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） マルチコントローラ 形状 NPN出力 ビーム形状 形ZS-LDC41A ◎形ZS-LDC41 ZS-Lシリーズ センサヘッド 光学方式 標準価格（￥） ◎形ZS-LDC11A ◎形ZS-LDC11 オープン価格 （お取引き商社に お問い合わせください） ＊1. 詳細は定格/性能の表をご覧ください。 ＊2. ご注文時にはコード長をご指定ください。 （0.5m、 2m） 定 格 ／ 性 能 出力仕様 形式 NPN出力 ビーム径 15±0.75mm 電源 DC24V ビーム形状 オープン価格 ◎形ZS-HLDC41A （お取引き商社にお問い合わせください） ZS-Lシリーズ センサコントローラ 形ZS-HLDS150 検出距離 標準価格（￥） ◎形ZS-HLDC11A ◎形ZS-HLDC11 DC24V ZS-HLシリーズ センサヘッド（ノズルギャップ用） 正反射形 出力仕様 形式 NPN出力 形ZS-HLDS2V ＊1. 詳細は定格/性能の表をご覧ください。 ＊2. ご注文時にはコード長をご指定ください。 （0.5m、 2m） 光学方式 電源 形ZS-HLDS2 PNP出力 形ZS-MDC41 データストレージユニット 形状 電源 出力仕様 形式 NPN出力 標準価格（￥） ◎形ZS-DSU11 オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） DC24V PNP出力 形ZS-DSU41 定格/性能 Smar t Sensor Advanced technology is carried 種類/標準価格 （◎印の機種は標準在庫品です。無印（受注生産機種）の納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。） 本体 アクセサリ（別売） ZS-HLシリーズ センサヘッド 光学方式 正反射形 拡散反射形 検出距離 ビーム形状 ZS-HLシリーズ センサコントローラ ビーム径 分解能＊ 形式 20±1mm ラインビーム 1.0mm×20μm 0.02μm 形ZS-HLDS2 25±2mm ラインビーム 2.2mm×45μm 0.6μm 50±5mm ラインビーム 1.0mm×30μm 100±20mm ラインビーム 3.5mm×60μm 1μm 600±350mm ラインビーム 16mm×0.3mm 8μm 1500±500mm ラインビーム 40mm×1.5mm 500μm 0.1μm 標準価格（￥） 形状 電源 NPN出力 形ZS-HLDS2V オープン価格 形ZS-HLDS5 （お取引き商社に 形ZS-HLDS10 お問い合わせくだ さい） 形ZS-HLDS60 正反射形 10±0.5mm ビーム形状 ビーム径 PNP出力 形ZS-HLDS150 形状 電源 形式 ラインビーム 900×25μm 0.1μm （0.001μm） 形ZS-LD10G 15±0.75mm ラインビーム 900×25μm 0.15μm （0.001μm） 形ZS-LD15G PNP出力 オープン価格 形状 電源 光学方式 正反射形 検出距離 20±1mm 40±2.5mm 50±5mm 拡散反射形 ビーム形状 ビーム径 分解能＊ 形式 ラインビーム 900×25μm 0.1μm(0.008μm) 形ZS-LD20 0.1μm(0.001μm) 形ZS-LD20S スポットビーム φ25μm ラインビーム 2000×35μm 0.4μm(0.015μm) ラインビーム 900×60μm 0.8μm スポットビーム φ50μm 0.8μm 形ZS-LD40 オープン価格 （お取引き商社に ◎形ZS-LD50S お問い合わせくだ さい） 形ZS-LD80 形ZS-LD50 80±15mm ラインビーム 900×60μm 2μm 130±15mm ラインビーム 600×70μm 3μm 形ZS-LD130 200±50mm ラインビーム 900×100μm 5μm 形ZS-LD200 350±135mm スポットビーム φ240μm 20μm ◎形ZS-LD350S ＊平均回数128回、 高精度モードに設定した場合。 （ ）内の分解能を実現するには制約条件があります。 詳細は定格/性能の表をご覧ください。 ＊ご注文時にはコード長をご指定ください。 （0.5m、 2m） 20 標準価格（￥） 形ZS-LDC41A オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） 標準価格（￥） ◎形ZS-MDC11 DC24V １台目用 ◎形ZS-XRS2 PLC/PT 接続用（2m） ◎形ZS-XPT2 標準価格 電源 １本 4m ◎形ZS-XC4A １本 5m ◎形ZS-XC5B（＊1、 ＊2） １本 8m ◎形ZS-XC8A １本 10m ◎形ZS-XC10B（＊1） １本 標準価格 形状 出力仕様 形式 NPN出力 形ZG-RPD11 PNP出力 形ZG-RPD41 標準価格(¥) オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） ＊コード長1.5mタイプと2mタイプがあります。 CompoNet対応センサ通信ユニット 形状 形式 形式 形ZS-XEQ 標準価格(¥) 数量 延長コード （長距離・耐屈曲タイプ 15m） 形ZS-XC15CR １本 延長コード （長距離・耐屈曲タイプ 25m） 形ZS-XC25CR １本 デジタルイコライザ接続コード （0.2m） １本 形ZS-XC02D オープン価格 （お取引き商社にお 問い合わせください） （お取引き商社にお 問い合わせください） 形式 スマートモニタ Zero Professional（＊1） 日本語版 スマートモニタ Zero Professional（＊1） 英語版 スマートモニタ Zero（＊2） 日本語版 １本 形ZS-MDC41 オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） メモリカード 形式 形F160-N256S 名称 オープン価格 形ZS-CRT 標準価格 １個 設定・ロギング用ソフト １本 容量 256Mバイト 標準価格(¥) オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） 標準価格 形ZS-SW11V3 形ZS-SW11V3E 定 格 ／ 性 能 オープン価格 （お取引き商社にお 問い合わせください） 形ZS-SW11V3-B ＊1.ロギング機能が搭載されています。 ＊2.センサコントローラ 形ZS-HLDC□1A/形ZS-LDC□1Aに付属されています。 データストレージユニット 形状 形ZS-XC1A デジタルイコライザ（中継器） 数量 パソコン 接続用（2m） 1m 名称 ２台目以降 増設用 形式 数量 センサヘッド用長距離延長コード (デジタルイコライザ使用タイプ ZS-HLシリーズ用) RS-232Cケーブル 接続先 リアルタイムパラレル出力ユニット（ZS-HLシリーズ用） 形式 ＊1.形ZS-XC□Bは、 2本まで連結延長が可能です。 （最大22m） ＊2.ロボットケーブルタイプ形ZS-XC5BRも用意しています。 オープン価格 ◎形ZS-XPM2 オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） PNP出力 標準価格 （お取引き商社にお 問い合わせください） ◎形ZS-LDC11A 出力仕様 形式 NPN出力 形式 標準価格（￥） マルチコントローラ ZS-Lシリーズ センサヘッド 定 格 ／ 性 能 パネルマウントアダプタ 形状 形ZS-LDC41 （お取引き商社に お問い合わせください） ＊詳細は定格/性能の表をご覧ください。 ＊ご注文時にはコード長をご指定ください。 （0.5m、 2m） オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） ◎形ZS-XPM1 ◎形ZS-LDC11 コード長 標準価格 ◎形ZS-XCN オープン価格 ◎形ZS-HLDC41A （お取引き商社にお問い合わせください） 出力仕様 形式 DC24V 標準価格（￥） センサヘッド用延長コード 形式 ◎形ZS-HLDC11A ◎形ZS-HLDC41 NPN出力 分解能＊ 形状 ◎形ZS-HLDC11 DC24V ZS-HLシリーズ センサヘッド（ノズルギャップ用） 検出距離 標準価格（￥） ZS-Lシリーズ センサコントローラ ＊ご注文時にはコード長をご指定ください。 （0.5m、 2m） 光学方式 コントローラリンクユニット 出力仕様 形式 出力仕様 形式 NPN出力 標準価格（￥） オープン価格 （お取引き商社にお問い合わせください） DC24V PNP出力 延長ケーブル接続早見表 ◎形ZS-DSU11 形ZS-DSU41 延長ケーブル 形式 センサヘッド 長さ 耐屈曲 コントローラ 形ZS-LD□ 形ZS-HLDS□ 形ZS-LDC□ 形ZS-HLDC□ 形ZS-XC1A １m ○ ○ ○ ○ 形ZS-XC4A 4m ○ ○ ○ ○ 形ZS-XC8A 8m ○ ○ ○ ○ 形ZS-XC5B 5m ○ ○ ○ ○ 形ZS-XC10B １0m ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 形ZS-XC5BR 5m ○ 形ZS-XC15CR 15m ○ ○ ○ 形ZS-XC25CR 25m ○ ○ ○ 備考 連結延長はできません。 2本まで連結延長できます。 （最大22m） デジタルイコライザ形ZS-XEQ、 デジタルイコラ イザ接続コード形ZS-XC02Dが必要です。 21 S mar t S en s o r Advanced technology is carried 定格/性能 定格/性能 ZS-HL/Lシリーズ センサコントローラ ZS-HLシリーズ センサヘッド 項目 形ZS-HLDC11A/LDC11A 形式 形ZS-HLDC11/LDC11 平均回数 形ZS-HLDC41/LDC41 1/2/4/8/16/32/64/128/256/512/1024/2048/4096 回 センサ接続台数 シリアル I/O シリアルI/Oはコネクタ方式、 その他はコード引出し方式（標準コード長:2m） USB2.0 1ポート、 FULL SPEED［最大12Mbps］ 、 MINI-B RS-232C 1ポート、 最大115200bps 判定出力 出力 HIGH/PASS/LOW 3出力 HIGH/PASS/LOW 3出力 NPNオープンコレクタ DC30V 50mAmax． 残留電圧1.2Ｖ以下 PNPオープンコレクタ 50mAmax． 残留電圧1.2Ｖ以下 リニア出力 電圧、 電流出力の2とおりから選択 （下面スライドスイッチにて切替） ・電流出力時：4∼20mA 最大負荷抵抗：300Ω 入力 ON時：電源電圧短絡または電源電圧-1.5V以内 OFF時：開放（漏れ電流 0.1mA以下） OFF時：開放 （漏れ電流 0.1mA以下） セグメント表示 6桁 8セグメント赤色表示、 サブデジタル 6桁 8セグメント緑色表示、 設定入力 電源電圧 DC21.6V∼26.4V （リップル含む） 消費電流 0.5A以下 （センサヘッド接続時において） 周囲温度 動作時：0∼50℃、 保存時：-15∼+60℃ （ただし、 氷結、 結露しないこと） 保護構造 付属品 22 ＊1.形ZS-HLDC□1の機能で、マルチタスクモード選択時に使用可能。 ＊2.端子台出力は、形ZS-HLDC□1の機能。 拡散反射 94mm 600mm 1500mm 測定範囲 ±1mm ±1mm ±2mm ±5mm ±4mm ±20mm ±16mm ±350mm ±500mm 光源 可視半導体レーザ （波長650nm、 1mW以下、 JISクラス2） ビーム形状 設定用ソフトウェア、 USBケーブル、 フェライトコア （1個） 、 取扱説明書 フェライトコア （3個） 、 取扱説明書 分解能 ＊3 拡散反射 可視半導体レーザ （波長658nm、 1mW以下、 JISクラス2） ラインビーム 1.0mm×20μm 2.2mm×45μm ±0.05％F.S. ±0.2％F.S. 1.0mm×30μm 温度特性 ＊4 0.01％F.S./℃ 3.5mm×60μm 16×0.3mm （500mmにて） 1μm （平均回数64） 8μm（平均回数64、250mmにて）、40μm（平均回数64、600mmにて） 0.1μm （平均回数512） ±0.1％F.S./℃ 40×1.5mm （1500mmにて） ±0.07％F.S.（250∼750mm） ±0.1％F.S.（750∼950mm） ±0.1％F.S. 0.02μm（平均回数256） 0.05μm（平均回数256） 0.6μm （平均回数128） ±0.2％F.S. 500μm （平均回数64） 0.01％F.S./℃ 110μs （高速モード） 、 500μs （標準モード） 、 2.2ms （高精度モード） 、 4.4ms （高感度モード） 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング LED 表示灯 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ 受光面照度500lx以下：白熱ランプ 動作時、 保存時：35∼85％RH （ただし、 結露しないこと） IP64 IP67 コード長0.5mの場合：IP66、 コード長2mの場合：IP67 材質 コード長 受光面照度1000lx以下：白熱ランプ 動作時：0∼＋50℃、 保存時： −15∼＋60℃ （ただし、 氷結・結露しないこと） 保護構造 ＊5 IP66 ＊6 ケース： アルミダイキャスト、 前面カバー：ガラス 0.5m、 2m 質量 2m 0.5m、 2m 約350g 約600g 付属品 約800g レーザ関連ラベル （JIS・EN 各1枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） 、 取扱説明書 ＊1.測定中心距離の値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、影響の出る場合があります。 ＊2.測定値における理想直線に対する誤差。 ＊3.高精度モード、表内の平均回数に設定した場合の測定中心距離における変位出力の ワークによって直線が変わることがあります。ワークは以下のとおり。 「ピークtoピーク」の変位換算値（形ZS-HLDS60の場合は、250mmでの最高分解能も併記）。ワークは以下のとおり。 2m 設定用ソフトウェア、 USBケーブル、 フェライトコア （3個） 、 取扱説明書 正反射 100mm 周囲湿度 約280g （梱包材、 付属品含まず） 質量 拡散反射 44mm 周囲温度範囲 筐体：ポリカーボネイト （PC） コード長 正反射 50mm 使用周囲照度 IP20 （IEC60529） 材質 拡散反射 25mm 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング 動作時・保存時：35∼85%RH （ただし、 結露しないこと） 周囲湿度 正反射 5.2mm FAR灯 しきい値選択スイッチ （H/L 2ステート） 、 モード切替スイッチ （FUN/TEACH/RUN 3ステート） スライドスイッチ 拡散反射 20mm 方向キー （UP/DOWN/LEFT/RIGHT4方向） 、 SETキー、 ESCキー、 MENUキー、 ファンクションキー （1∼4） 設定キー 形ZS-HLDS150 正反射 NEAR灯 16桁×2行、 文字色：緑、 1文字あたりの解像度：□5×8ピクセル 液晶表示 形ZS-HLDS60 測定中心距離 サンプリング周期 HIGH（橙色） 、 PASS（緑色） 、 LOW（橙色） 、 LDON （緑色） 、 ZERO （緑色） 、 ENABLE （緑色） メインデジタル 形ZS-HLDS10 定格／性能 定格／性能 表 示：計測値表示/しきい値・電圧または電流値・受光量値・分解能表示/端子台出力表示＊2 センシング：モード/ゲイン/測定物/ヘッド設置 測定点＊1：平均/ピーク/ボトム/厚み/段差/演算 フィル タ：スムーズ/平均/微分 出 力：スケーリング/各種ホールド/ゼロリセット I / O 設 定：リニア （ファーカス/補正）/判定（ヒス、 タイマ） /非測定/バンク （切替、 クリア）/端子台＊2 システ ム：セーブ/初期化/計測情報表示/通信設定/キーロック/言語切替/データロード タスク機能：形ZS-HLDC□1：シングルタスク/マルチタスク （最大4タスク） を切替 形ZS-LDC□1：シングルタスク 状態表示灯 形ZS-HLDS5 光学方式 リニアリティ＊2 ON時：0V短絡または1.5V以下 機能 形ZS-HLDS2V 形ZS-HLDCシリーズ ビーム径 ＊1 ・電圧出力時：-10∼+10V 出力インピーダンス：40Ω レーザOFF/ZEROリセット タイミング/RESET 形ZS-HLDS2 項目 形式 適合コントローラ 1台/コントローラ 接続方式 外部I/F 形ZS-HLDC41A/LDC41A フェライトコア （1個） 、 取扱説明書 形式 形ZS-HLDS2 形ZS-HLDS2V 形ZS-HLDS5 形ZS-HLDS10 形ZS-HLDS60/HLDS150 拡散反射 SUSブロック − 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック 正反射 ガラス ガラス ガラス − 形式 形ZS-HLDS2 形ZS-HLDS2V 形ZS-HLDS5 形ZS-HLDS10 形ZS-HLDS60/HLDS150 拡散反射 SUSブロック − 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック ＊4.センサヘッドとワークの間をアルミ冶具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の代表例。 ＊5.コネクタ部の保護構造はIP40です。 ＊6.IP67品については、別途お問い合わせください。 正反射 ガラス ガラス ガラス − 23 Sm a r t Sen so r Advanced technology is carried 定格/性能 ZS-HLシリーズ センサヘッド 形ZS-HLDS2 項目 形式 形ZS-HLDS2V 形ZS-HLDS5 形ZS-HLDS10 適合コントローラ 形ZS-HLDS60 形ZS-HLDS150 形ZS-HLDCシリーズ 光学方式 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 測定中心距離 20mm 5.2mm 25mm 50mm 44mm 100mm 94mm 600mm 1500mm 測定範囲 ±1mm ±1mm ±2mm ±5mm ±4mm ±20mm ±16mm ±350mm ±500mm 光源 可視半導体レーザ （波長650nm、 1mW以下、 JISクラス2） ビーム形状 リニアリティ＊2 1.0mm×20μm 2.2mm×45μm ±0.05％F.S. ±0.2％F.S. 1.0mm×30μm 0.01％F.S./℃ 3.5mm×60μm 16×0.3mm （500mmにて） 1μm（平均回数64） 8μm（平均回数64、250mmにて）、40μm（平均回数64、600mmにて） 0.1μm（平均回数512） ±0.1％F.S./℃ 40×1.5mm （1500mmにて） ±0.07％F.S.（250∼750mm） ±0.1％F.S.（750∼950mm） ±0.1％F.S. 0.02μm（平均回数256） 0.05μm（平均回数256） 0.6μm（平均回数128） 温度特性 ＊4 ±0.2％F.S. 500μm （平均回数64） 0.01％F.S./℃ 110μs（高速モード） 、 500μs（標準モード） 、 2.2ms（高精度モード） 、 4.4ms（高感度モード） 定格／性能 サンプリング周期 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯 NEAR灯 可視半導体レーザ （波長658nm、 1mW以下、 JISクラス2） ラインビーム ビーム径 ＊1 分解能 ＊3 拡散反射 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング LED 表示灯 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯 FAR灯 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング 使用周囲照度 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ 周囲温度範囲 周囲湿度 受光面照度500lx以下：白熱ランプ 動作時、 保存時：35∼85％RH（ただし、 結露しないこと） 保護構造 ＊5 IP64 IP67 コード長0.5mの場合：IP66、 コード長2mの場合：IP67 材質 コード長 受光面照度1000lx以下：白熱ランプ 動作時：0∼＋50℃、 保存時： −15∼＋60℃ （ただし、 氷結・結露しないこと） IP66 ＊6 ケース：アルミダイキャスト、 前面カバー：ガラス 0.5m、 2m 質量 2m 0.5m、 2m 約350g 約600g 付属品 約800g レーザ関連ラベル （JIS・EN 各1枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） 、 取扱説明書 ＊1.測定中心距離の値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、影響の出る場合があります。 ＊2.測定値における理想直線に対する誤差。 ＊3.高精度モード、表内の平均回数に設定した場合の測定中心距離における変位出力の ワークによって直線が変わることがあります。ワークは以下のとおり。 「ピークtoピーク」の変位換算値（形ZS-HLDS60の場合は、250mmでの最高分解能も併記）。ワークは以下のとおり。 形式 形ZS-HLDS2 形ZS-HLDS2V 形ZS-HLDS5 形ZS-HLDS10 形ZS-HLDS60/HLDS150 拡散反射 SUSブロック − 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック 正反射 ガラス ガラス ガラス − 形式 形ZS-HLDS2 形ZS-HLDS2V 形ZS-HLDS5 形ZS-HLDS10 形ZS-HLDS60/HLDS150 拡散反射 SUSブロック − 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック 白アルミナセラミック ＊4.センサヘッドとワークの間をアルミ冶具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の代表例。 ＊5.コネクタ部の保護構造はIP40です。 ＊6.IP67品については、別途お問い合わせください。 正反射 ガラス ガラス ガラス − 23 S mar t S en s o r Advanced technology is carried 定格/性能 定格/性能 ZS-Lシリーズ センサヘッド 項目 ZS-Lシリーズ センサヘッド 形ZS-LD20 形式 形ZS-LD20S 形ZS-LD40 適合コントローラ 形ZS-LD10G 形ZS-LD15G 形ZS-HLDC/LDCシリーズ 光学方式 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 20mm 6.3mm 20mm 6.3mm 40mm 30mm 10mm 15mm 測定範囲 ±1mm ±1mm ±1mm ±1mm ±2.5mm ±2mm ±0.5mm ±0.75mm 正反射 スポットビーム ビーム径 ＊1 900×25μm φ25μm 2000×35μm 0.1μm（0.008μm） 0.1μm（0.001μm） 0.4μm（0.015μm） 0.04％F.S./℃ 0.04％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 温度特性 ＊4 0.15μm （0.001μm） 0.04％F.S./℃ 110μs（高速モード） 、 500μs （標準モード） 、 2.2ms（高精度モード） 、 4.4ms （高感度モード） 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 50mm 47mm 50mm 47mm 80mm 78mm 130mm 130mm 200mm 200mm 350mm 測定範囲 ±5mm ±4mm ±5mm ±4mm ±15mm ±14mm ±15mm ±12mm ±50mm ±48mm ±135mm 可視半導体レーザ （波長650nm、 1mW以下、 JISクラス2） ラインビーム スポットビーム ラインビーム ラインビーム ラインビーム スポットビーム ビーム径 ＊1 900×60μm φ50μm 900×60μm 600×70μm 900×100μm φ240μm 0.8μm 0.8μm 2μm 3μm 5μm 20μm 0.02％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 0.01％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 0.04％F.S./℃ ±0.1％F.S. 分解能 ＊3 温度特性 ＊4 FAR灯 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ 使用周囲照度 動作時：0∼＋50℃、 保存時： −15∼＋60℃ （ただし、 氷結・結露しないこと） 周囲温度範囲 動作時：0∼＋50℃、 保存時： −15∼＋60℃ （ただし、 氷結・結露しないこと） 動作時、 保存時：35∼85％RH（ただし、 結露しないこと） 周囲湿度範囲 結露しないこと） 動作時、 保存時：35∼85％RH （ただし、 保護構造 ＊5 コード長0.5mの場合：IP66、 コード長2mの場合：IP67 コード長2mの場合：IP67 コード長0.5mの場合：IP66、 材質 付属品 IP40 ケース：アルミダイキャスト、 前面カバー：ガラス コード長 質量 材質 0.5m、 2m コード長 約350g 約400g レーザ関連ラベル （JIS・EN 各1枚、 FDA 3枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） 、 取扱説明書 レーザ安全説明ラベル （JIS・EN 各1枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） ＊1.測定中心距離の値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、影響の出る場合があります。 ＊2.測定値における理想直線に対する誤差。ワークは、白アルミナセラミック（ただし、正反射モードについてはガラス）。ワークによって直線性が変わることがあります。 ＊3.平均回数128回、高精度モードに設定した場合の測定中心距離における変位出力の「ピーク to ピーク」の変位換算値。ワークは、白アルミナセラミック、（ただし、 正反射モードについてはガラス）。（ ）内は平均回数4096回に設定し、USBまたはRS-232Cからデータを取込んだ場合の代表例。 ＊4.センサヘッドとワークの間をアルミ冶具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の代表例。 ＊5.コネクタ部の保護構造はIP40です。 ±0.1％F.S. 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯 周囲温度範囲 保護構造 ＊5 ±0.25％F.S. 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング LED表示灯 使用周囲照度 周囲湿度 ±0.1％F.S. 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング 24 ±0.25％F.S. 110μs （高速モード） 、 500μs （標準モード） 、 2.2ms （高精度モード） 、 4.4ms （高感度モード） NEAR灯 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯 FAR灯 拡散反射 ビーム形状 サンプリング周期 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング LED表示灯 形ZS-LD350S 拡散反射 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯 NEAR灯 形ZS-LD200 測定中心距離 リニアリティ＊2 0.1μm（0.001μm） 形ZS-LD130 定格／性能 定格／性能 サンプリング周期 約25×900μm ±0.1％F.S. 分解能 ＊3 形ZS-LD80 光源 ラインビーム リニアリティ＊2 形ZS-LD50S 形ZS-HLDC/LDCシリーズ 光学方式 光源 可視半導体レーザ （波長650nm、 1mW以下、 JISクラス2） ラインビーム 形ZS-LD50 形式 適合コントローラ 測定中心距離 ビーム形状 項目 質量 付属品 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ 受光面照度2000lx以下：白熱ランプ 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ ケース： アルミダイキャスト、 前面カバー：ガラス 0.5m、 2m 約350g レーザ関連ラベル （JIS・EN 各1枚、 FDA 3枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） 、 取扱説明書 2 ＊1.測定中心距離の値 （実力値） で、 中心光強度の1/e（13.5%） で定義。定義域外にも漏れ光があり、 ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、 影響の出る場合があります。 ＊2.測定値における理想直線に対する誤差。 ワークは、 白アルミナセラミック （ただし形ZS-LD50/LD50Sの正反射モードの場合はガラス）。 ワークによって直線性が変わることがあります。 ＊3.平均回数128回、 高精度モードに設定した場合の測定中心距離における変位出力の「ピーク to ピーク」の変位換算値。 ワークは、 白アルミナセラミック （ただし形ZS-LD50/LD50Sの正反射モードの場合はガラス）。 （ ） 内は平均回数4096回に設定し、 USBまたはRS-232Cからデータを取込んだ場合の代表例。 ＊4.センサヘッドとワークの間をアルミ冶具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の代表例。 ＊5.コネクタ部の保護構造はIP40です。 25 S mar t S en s o r Advanced technology is carried 定格/性能 定格/性能 ZS-Lシリーズ センサヘッド 項目 ZS-Lシリーズ センサヘッド 形ZS-LD20 形式 形ZS-LD20S 形ZS-LD40 適合コントローラ 形ZS-LD10G 形ZS-LD15G 形ZS-HLDC/LDCシリーズ 光学方式 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 20mm 6.3mm 20mm 6.3mm 40mm 30mm 10mm 15mm 測定範囲 ±1mm ±1mm ±1mm ±1mm ±2.5mm ±2mm ±0.5mm ±0.75mm 正反射 スポットビーム ビーム径 ＊1 900×25μm φ25μm 2000×35μm 0.1μm（0.008μm） 0.1μm（0.001μm） 0.4μm（0.015μm） 0.04％F.S./℃ 0.04％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 温度特性 ＊4 0.15μm （0.001μm） 0.04％F.S./℃ 110μs（高速モード） 、 500μs （標準モード） 、 2.2ms（高精度モード） 、 4.4ms （高感度モード） 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 50mm 47mm 50mm 47mm 80mm 78mm 130mm 130mm 200mm 200mm 350mm 測定範囲 ±5mm ±4mm ±5mm ±4mm ±15mm ±14mm ±15mm ±12mm ±50mm ±48mm ±135mm 可視半導体レーザ （波長650nm、 1mW以下、 JISクラス2） ラインビーム スポットビーム ラインビーム ラインビーム ラインビーム スポットビーム ビーム径 ＊1 900×60μm φ50μm 900×60μm 600×70μm 900×100μm φ240μm 0.8μm 0.8μm 2μm 3μm 5μm 20μm 0.02％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 0.01％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 0.02％F.S./℃ 0.04％F.S./℃ ±0.1％F.S. 分解能 ＊3 温度特性 ＊4 FAR灯 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ 使用周囲照度 動作時：0∼＋50℃、 保存時： −15∼＋60℃ （ただし、 氷結・結露しないこと） 周囲温度範囲 動作時：0∼＋50℃、 保存時： −15∼＋60℃ （ただし、 氷結・結露しないこと） 動作時、 保存時：35∼85％RH（ただし、 結露しないこと） 周囲湿度範囲 結露しないこと） 動作時、 保存時：35∼85％RH （ただし、 保護構造 ＊5 コード長0.5mの場合：IP66、 コード長2mの場合：IP67 コード長2mの場合：IP67 コード長0.5mの場合：IP66、 材質 付属品 IP40 ケース：アルミダイキャスト、 前面カバー：ガラス コード長 質量 材質 0.5m、 2m コード長 約350g 約400g レーザ関連ラベル （JIS・EN 各1枚、 FDA 3枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） 、 取扱説明書 レーザ安全説明ラベル （JIS・EN 各1枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） ＊1.測定中心距離の値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、影響の出る場合があります。 ＊2.測定値における理想直線に対する誤差。ワークは、白アルミナセラミック（ただし、正反射モードについてはガラス）。ワークによって直線性が変わることがあります。 ＊3.平均回数128回、高精度モードに設定した場合の測定中心距離における変位出力の「ピーク to ピーク」の変位換算値。ワークは、白アルミナセラミック、（ただし、 正反射モードについてはガラス）。（ ）内は平均回数4096回に設定し、USBまたはRS-232Cからデータを取込んだ場合の代表例。 ＊4.センサヘッドとワークの間をアルミ冶具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の代表例。 ＊5.コネクタ部の保護構造はIP40です。 ±0.1％F.S. 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯 周囲温度範囲 保護構造 ＊5 ±0.25％F.S. 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング LED表示灯 使用周囲照度 周囲湿度 ±0.1％F.S. 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング 24 ±0.25％F.S. 110μs （高速モード） 、 500μs （標準モード） 、 2.2ms （高精度モード） 、 4.4ms （高感度モード） NEAR灯 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯 FAR灯 拡散反射 ビーム形状 サンプリング周期 測定範囲外、 または受光量過不足の場合、 フラッシング LED表示灯 形ZS-LD350S 拡散反射 測定中心距離付近、 および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯 NEAR灯 形ZS-LD200 測定中心距離 リニアリティ＊2 0.1μm（0.001μm） 形ZS-LD130 定格／性能 定格／性能 サンプリング周期 約25×900μm ±0.1％F.S. 分解能 ＊3 形ZS-LD80 光源 ラインビーム リニアリティ＊2 形ZS-LD50S 形ZS-HLDC/LDCシリーズ 光学方式 光源 可視半導体レーザ （波長650nm、 1mW以下、 JISクラス2） ラインビーム 形ZS-LD50 形式 適合コントローラ 測定中心距離 ビーム形状 項目 質量 付属品 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ 受光面照度2000lx以下：白熱ランプ 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ ケース： アルミダイキャスト、 前面カバー：ガラス 0.5m、 2m 約350g レーザ関連ラベル （JIS・EN 各1枚、 FDA 3枚） 、 フェライトコア （2個） 、 インシュロック （2個） 、 取扱説明書 2 ＊1.測定中心距離の値 （実力値） で、 中心光強度の1/e（13.5%） で定義。定義域外にも漏れ光があり、 ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、 影響の出る場合があります。 ＊2.測定値における理想直線に対する誤差。 ワークは、 白アルミナセラミック （ただし形ZS-LD50/LD50Sの正反射モードの場合はガラス）。 ワークによって直線性が変わることがあります。 ＊3.平均回数128回、 高精度モードに設定した場合の測定中心距離における変位出力の「ピーク to ピーク」の変位換算値。 ワークは、 白アルミナセラミック （ただし形ZS-LD50/LD50Sの正反射モードの場合はガラス）。 （ ） 内は平均回数4096回に設定し、 USBまたはRS-232Cからデータを取込んだ場合の代表例。 ＊4.センサヘッドとワークの間をアルミ冶具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の代表例。 ＊5.コネクタ部の保護構造はIP40です。 25 S mar t S en s o r Advanced technology is carried 定格/性能 外形寸法図 マルチコントローラ 形ZS-MDC□1 コントローラリンクユニット 基本的な仕様はセンサコントローラ形ZS-LDC□1と同様です。 ただし、 以下の点が異なります。 １）センサヘッド接続不可 ２）コントローラの接続台数は最大９台 連結には、 コントローラリンクユニットが必要です。 ３）コントローラ間の演算機能 （四則演算） 形ZS-XCNによる連結 CADデータ マークの商品は、 ２次元CAD図面・３次元CADモデルのデータをご用意しています。 CADデータは、 オムロンIndustrial Webサイト(http://www.fa.omron.co.jp)からダウンロードができます。 コントローラリンクユニット センサコントローラ マルチコントローラ 形ZS-HLDC□1/LDC□1 データストレージユニット マルチコントローラ CADデータ データストレージユニット 形ZS-MDC□1 CADデータ 形ZS-DSU□1 CADデータ センサコントローラ データストレージユニット 形ZS-DSU□1 形ZS-DSU11 形ZS-DSU41 接続不可 60 開始/終了トリガ個別設定可能、 外部トリガ/データトリガ （セルフトリガ）/時刻トリガ DC21.6V∼26.4V （リップル含む） 0.5A以下 材質 質量 付属品 90 13 10 .7 18 32.90 24.20 .7 .7 11 φ 18 32.90 しきい値選択スイッチ （H/L 2ステート） 、 モード切替スイッチ （FUN/TEACH/RUN 3ステート） 24.20 方向キー （UP/DOWN/LEFT/RIGHT4方向） 、 SETキー、 ESCキー、 MENUキー、 ファンクションキー （1∼4） 消費電流 保護構造 13 10 18 32.90 スライドスイッチ 24.20 設定キー 電源電圧 周囲湿度 13 10 10.80 耐熱塩化ビニール φ5.2 標準長さ 2m 16桁×2行、 文字色：緑、 1文字あたりの解像度：□5×8ピクセル 液晶表示 周囲温度 10.80 耐熱塩化ビニール φ5.2 標準長さ 2m 8セグメント緑色表示、 6桁 セグメント表示 設定入力 90 OUT（橙色） 、 PWR（緑色） 、 ACCESS （橙色） 、 ERR （赤色） 状態表示灯 10.80 耐熱塩化ビニール φ5.2 標準長さ 2m 外部バンク機能、 アラーム出力機能、 保存データフォーマットカスタマイズ機能、 時計機能 その他機能 3.90 32bit データ分解能 4.30 ON時：電源電圧短絡または電源電圧-1.5V以内／OFF時：開放 （漏れ電流 0.1mA以下） 3.90 ON時：0V短絡または1.5V以下／OFF時：開放（漏れ電流 0.1mA以下） 4.30 HIGH/PASS/LOW 3出力、 PNPオープンコレクタ 50mA max． 残留電圧1.2Ｖ以下 入力 3.90 HIGH/PASS/LOW 3出力、 NPNオープンコレクタ DC30V 50mA max． 残留電圧1.2Ｖ以下 90 1ポート、 最大115200bps 出力 ロギングトリガ機能 4.8 60 1ポート、 FULL SPEED［最大12Mbps］ 、 MINI-B RS-232C 4.30 USB2.0 4.7 定格／性能 定格／性能 シリアル I/O 59.85 52.50 11 シリアルI/Oはコネクタ方式、 その他はコード引出し方式（標準コード長:2m） 接続方式 機能 52.50 形ZS-HLDC□□、 形ZS-LDC□□、 形ZS-MDC□□ 接続可能コントローラ 外部I/F 60 52.50 4.61 最大10台（形ZS-MDC：1台、 形ZS-HLDC：9台、 形ZS-LDC：9台） ＊1 コントローラ接続台数 5.2 形式 23.20 項目 センサヘッド接続台数 11 φ 11 φ 動作時：0∼50℃、 保存時：0∼60℃ （ただし、 氷結、 結露しないこと） 動作時・保存時：35∼85%RH（ただし、 結露しないこと） IP20 （IEC60529） （PC） 筐体：ポリカーボネイト 約280g （梱包材、 付属品含まず） フェライトコア （1個）、取扱説明書、 データストレージユニット用ツール集／CSV file converter for Data storage Unit（csvファイル変換ソフト） ・Smart Analyzer Macro Edition（取得データ解析用Excelマクロ） ＊1.連結には、 コントローラリンクユニットが必要です。 26 27 S mar t S en s o r Advanced technology is carried 定格/性能 外形寸法図 マルチコントローラ 形ZS-MDC□1 コントローラリンクユニット 基本的な仕様はセンサコントローラ形ZS-LDC□1と同様です。 ただし、 以下の点が異なります。 １）センサヘッド接続不可 ２）コントローラの接続台数は最大９台 連結には、 コントローラリンクユニットが必要です。 ３）コントローラ間の演算機能 （四則演算） 形ZS-XCNによる連結 CADデータ マークの商品は、 ２次元CAD図面・３次元CADモデルのデータをご用意しています。 CADデータは、 オムロンIndustrial Webサイト(http://www.fa.omron.co.jp)からダウンロードができます。 コントローラリンクユニット センサコントローラ マルチコントローラ 形ZS-HLDC□1/LDC□1 データストレージユニット マルチコントローラ CADデータ データストレージユニット 形ZS-MDC□1 CADデータ 形ZS-DSU□1 CADデータ センサコントローラ データストレージユニット 形ZS-DSU□1 形ZS-DSU11 形ZS-DSU41 接続不可 60 開始/終了トリガ個別設定可能、 外部トリガ/データトリガ （セルフトリガ）/時刻トリガ DC21.6V∼26.4V （リップル含む） 0.5A以下 材質 質量 付属品 90 13 10 .7 18 32.90 24.20 .7 .7 11 φ 18 32.90 しきい値選択スイッチ （H/L 2ステート） 、 モード切替スイッチ （FUN/TEACH/RUN 3ステート） 24.20 方向キー （UP/DOWN/LEFT/RIGHT4方向） 、 SETキー、 ESCキー、 MENUキー、 ファンクションキー （1∼4） 消費電流 保護構造 13 10 18 32.90 スライドスイッチ 24.20 設定キー 電源電圧 周囲湿度 13 10 10.80 耐熱塩化ビニール φ5.2 標準長さ 2m 16桁×2行、 文字色：緑、 1文字あたりの解像度：□5×8ピクセル 液晶表示 周囲温度 10.80 耐熱塩化ビニール φ5.2 標準長さ 2m 8セグメント緑色表示、 6桁 セグメント表示 設定入力 90 OUT（橙色） 、 PWR（緑色） 、 ACCESS （橙色） 、 ERR （赤色） 状態表示灯 10.80 耐熱塩化ビニール φ5.2 標準長さ 2m 外部バンク機能、 アラーム出力機能、 保存データフォーマットカスタマイズ機能、 時計機能 その他機能 3.90 32bit データ分解能 4.30 ON時：電源電圧短絡または電源電圧-1.5V以内／OFF時：開放 （漏れ電流 0.1mA以下） 3.90 ON時：0V短絡または1.5V以下／OFF時：開放（漏れ電流 0.1mA以下） 4.30 HIGH/PASS/LOW 3出力、 PNPオープンコレクタ 50mA max． 残留電圧1.2Ｖ以下 入力 3.90 HIGH/PASS/LOW 3出力、 NPNオープンコレクタ DC30V 50mA max． 残留電圧1.2Ｖ以下 90 1ポート、 最大115200bps 出力 ロギングトリガ機能 4.8 60 1ポート、 FULL SPEED［最大12Mbps］ 、 MINI-B RS-232C 4.30 USB2.0 4.7 定格／性能 定格／性能 シリアル I/O 59.85 52.50 11 シリアルI/Oはコネクタ方式、 その他はコード引出し方式（標準コード長:2m） 接続方式 機能 52.50 形ZS-HLDC□□、 形ZS-LDC□□、 形ZS-MDC□□ 接続可能コントローラ 外部I/F 60 52.50 4.61 最大10台（形ZS-MDC：1台、 形ZS-HLDC：9台、 形ZS-LDC：9台） ＊1 コントローラ接続台数 5.2 形式 23.20 項目 センサヘッド接続台数 11 φ 11 φ 動作時：0∼50℃、 保存時：0∼60℃ （ただし、 氷結、 結露しないこと） 動作時・保存時：35∼85%RH（ただし、 結露しないこと） IP20 （IEC60529） （PC） 筐体：ポリカーボネイト 約280g （梱包材、 付属品含まず） フェライトコア （1個）、取扱説明書、 データストレージユニット用ツール集／CSV file converter for Data storage Unit（csvファイル変換ソフト） ・Smart Analyzer Macro Edition（取得データ解析用Excelマクロ） ＊1.連結には、 コントローラリンクユニットが必要です。 26 27 外形寸法図 CADデータ マークの商品は、 ２次元CAD図面・３次元CADモデルのデータをご用意しています。 CADデータは、オムロンIndustrial Webサイト(http://www.fa.omron.co.jp)からダウンロードができます。 センサヘッド CADデータ 形ZS-HLDS2 基準面 形ZS-HLDS5/HLDS10 （単位：mm） 36 （単位：mm） 受光部 CADデータ 18 センサヘッド 光軸 基準面 2-φ4.5 取付穴 72 投光軸 92.1 6.5 46 65 25° 投光部 A°（注1） 基準面 3-φ4.5 取付穴 投光軸 20 16.9 基準面 定 格 ／ 性 能 （注1） ：形ZS-HLDS5の場合、L＝50、A＝30° 形ZS-HLDS10の場合、L＝100、A＝25° 42 センサヘッド CADデータ 形ZS-HLDS60/HLDS150 光軸 19 38 （単位：mm） 基準面 L（注1） 75 受光部 22.7 動作表示灯 65 5 47 8 9.5 28 46 受光軸 88.75 45 投光軸 45±0.1 120 102 115.06 65±0.1 測定中心 (5) 16.4 57 投光部 ビニール絶縁丸型コード φ6.8 標準長さ 0.5m、2m 28 （注1） ：形ZS-HLDS60の場合、L＝600、A＝7° 形ZS-HLDS150の場合、L＝1500、A＝3° 取付穴加工寸法 2 30.1 φ13 25 基準面 A°（注1） 42 取付穴加工寸法 ビニール絶縁丸型コードφ6.8 標準長さ0.5m、2m 30.1 ビニール絶縁丸型コードφ6.8 標準長さ 0.5m、2m 45.1 30.1 18.1 投光部 (15) 受光軸 70±0.1 9.5±0.1 (5) 20 受光部 8 3-M4 3-M4 69±0.1 20 φ13 取付穴加工寸法 動作表示灯 9.5 9.5 4 22.7 測定中心 32 25° 56.5 70 4 2-M4 25 57±0.1 4 100 57 測定中心 69 4 80 動作表示灯 25 12 L（注1） 65 16.4 20 受光軸 82 26.4 42 S mar t Sen sor Advanced technology is carried 外形寸法図 CADデータ マークの商品は、 ２次元CAD図面・３次元CADモデルのデータをご用意しています。 CADデータは、オムロンIndustrial Webサイト(http://www.fa.omron.co.jp)からダウンロードができます。 115 105±0.3 形ZS-LD10G CADデータ 8.5 形ZS-LD15G （単位：mm） 42 30 15 コネクタ コネクタ 44 29 5 11.5 16.5 24 55 44 受光軸 90° 30±0.1 投光軸 投光部 4-φ4.5 取付穴 4-φ8 ザグリ深さ 4 M 4. 50 測定中心 40 30 20 20±0.1 取付穴加工寸法 受光軸 45 4- 36±0.3 29±0.1 40±0.25 16 4 26±0.3 4 M 24 11.5 16.5 15 12.50 17.50 25 4 C1 投光軸 3- 3-φ4.5 取付穴 90° 基準面 測定中心 46±0.1 76±0.1 84 74 56 85±0.3 ビニール絶縁丸型コードφ6.2 標準長さ 0.5m、2m 25 17.50 12.50 10 10 55±0.3 45 30 2- 96±0.1 26±0.1 （単位：mm） 45 35 30 ビニール絶縁丸型コードφ6.2 標準長さ 0.5m、2m CADデータ 8.5 48 40 30 25 20 12 42 センサヘッド 定 格 ／ 性 能 受光部 8 取付穴加工寸法 投光部 受光部 センサヘッド 65 8 56±0.1 基準面 基準面 56±0.1 56 65 56±0.1 投光部 8 レンジ表示灯 受光軸 M 2- レンジ表示灯 投光軸 4 8 投光軸 （単位：mm） 4 45 30 測定中心 45 56 65 投光部 2-φ4.5 取付穴 65 L（注1） 15.30 27.1 11 測定中心 35 56±0.1 8 8 CADデータ 形ZS-HLDS2V/LD20/LD20S/LD40 （単位：mm） 4 27.1 2-φ4.5 取付穴 L（注1） 8 35 4.5 4 M 2- 受光軸 8 4.5 8 取付穴加工寸法 受光部 56 30.1 4.5 A°（注１） 8.5 受光部 A°（注１） 30.1 42 コネクタ 注１：形ZS-LD50/50Sの場合、L＝ 50、A＝25゜ 形ZS-LD80の場合、 L＝ 80、A＝15゜ 形ZS-LD130の場合、 L＝130、A＝12゜ 形ZS-LD200の場合、 L＝200、A＝ 8゜ 形ZS-LD350Sの場合、 L＝350、A＝ 5゜ 取付穴加工寸法 56 8.5 15.3 4.5 CADデータ 形ZS-LD50/LD50S/LD80/LD130/LD200/LD350S 42 コネクタ ビニール絶縁丸型コードφ6.2 標準長さ 0.5m、2m 注1：形ZS-HLDS2Vの場合、L=25、A=34.5゜ 形ZS-LD20/LD20Sの場合、L=20、A=45゜ 形ZS-LD40の場合、L=40、A=32゜ ビニール絶縁丸型コードφ6.2 標準長さ 0.5m、2m 29 外形寸法図 CADデータ マークの商品は、 ２次元CAD図面・３次元CADモデルのデータをご用意しています。 CADデータは、オムロンIndustrial Webサイト(http://www.fa.omron.co.jp)からダウンロードができます。 リアルタイムパラレル出力ユニット 形ZG-RPD□1 10 28.40 2−取付穴 形ZS-XPM1/XPM2 （盤面に取り付ける場合の寸法図） （単位：mm） 7 29.60 パネルマウントアダプタ CADデータ 8 （単位：mm） パネルカット図 3 60×n パネル 10.25 21 30 13 （60×n）＋12 15.85 15.65 66.50 80 9 DINレール 9 70 116±1 (2.85) 11.5 13 （140） 90 98 (14.15) 122 89 55 (150) パネル 32.90 (60×n)＋8 （2） 6 （注1） n:連結コントローラ数（1∼11） 注１．パネル板厚2.0mm時の寸法を表す。 35.20 30 定 格 ／ 性 能 （37.5） パネルマウントアダプタ デジタルイコライザ 取付け金具 CADデータ 形ZS-XEQ 25.5 3 （単位：mm） 22 4.5 37 33 ° +10 +1° 15° 0 15° 4.5 43 70 5.5 54 21 30 .5 0 φ 2- 10 M 3 4 37 3-R2.25 90 ° ± 1° 5.5 37 4.5 22 ° +1° +10 15° 0 15° 11.50 16.50 33 43 4.5 S mar t Sen sor Advanced technology is carried レーザ製品を安全に使用していただくために 警 告 レーザに関するラベル表示 レーザ光が直接、または鏡面の物体に反射して、 形ZS-Lシリーズはセンサヘッド部 目に入らないようにご注意ください。 側面に以下の警告説明ラベルを レーザから放出されたレーザ光はパワー密度 貼っています。 が高く、 目にはいると失明するおそれがあります。 輸出貿易管理令について 形ZS-HLDS□□□/LD□□□センサ部は、外国為替および外国貿易法の規定により、 輸出許可取得対象貨物(または技術)に該当します。 日本国外に持ち出す際には、 日本国政府の輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。 該当形式：形ZS-LD20、形ZS-LD20S、形ZS-LD40、形ZS-LD10G、形ZS-LD15G、形ZS-HLDS2、形ZS-HLDS2V、形ZS-HLDS5 なお、輸出貿易管理令に該当しない形式を品揃えしております。(分解能が異なります。) 形式の末尾に(T)がつきます(例：形ZS-LD20T) オムロン商品ご購入のお客さまへ ご注文・ご使用に際してのご承諾事項 当社制御機器商品をご注文いただく際、見積書、契約書、仕様書などに特記事項のない場合には、次の保証内容、責任の制限、適合用途の条件などを 適 用い たします。 下記内容をご確認いただき、 ご承諾のうえご注文およびご使用ください。 1.保証内容 ①保証期間 本製品の保証期間は、 ご購入後またはご指定の場所に納入後１年といたします。 ②保証範囲 上記保証期間中に当社側の責により本製品に故障を生じた場合は、代替品の提供または故障品の修理対応を、製品の購入場所において無償で 実施いたします。 ただし、故障の原因が次に該当する場合は、 この保証の対象範囲から除外いたします。 a)カタログまたは取扱説明書などに記載されている以外の条件･環境･取扱いならびにご使用による場合 b)本製品以外の原因の場合 c)当社以外による改造または修理による場合 d)本製品本来の使い方以外の使用による場合 e)当社出荷当時の科学・技術の水準では予見できなかった場合 f)その他、天災、災害など当社側の責ではない原因による場合 なお、 ここでの保証は、本製品単体の保証を意味するもので、本製品の故障により誘発される損害は保証の対象から除かれるものとします。 2.責任の制限 形ZS-HLDC□□□/LDC□□□コントローラに内蔵されるプログラムは、外国為替および外国貿易法の規定により、 輸出許可取得対象技術に該当します。 ただし、貿易外省令第９条第2項第14号イの規定により、役務取引許可は不要です。 該当形式：形ZS-HLDC11、形ZS-HLDC11A、形ZS-HLDC41、形ZS-HLDC41A 形ZS-LDC11、形ZS-LDC11A、形ZS-LDC41、形ZS-LDC41A ①本製品に起因して生じた特別損害、間接損害、 または消極損害に関しては、当社はいかなる場合も責任を負いません。 ②プログラミング可能な本製品については当社以外の者が行ったプログラム、 またはそれにより生じた結果について当社は責任を負いません。 3.適合用途の条件 ①安全を確保する目的で直接的または間接的に人体を検出する用途に、本製品を使用しないでください。同用途には、当社センサカタログに掲載 している安全センサをご使用ください。 ②本製品を他の商品と組み合わせて使用される場合、お客様が適合すべき規格・法規または規制をご確認ください。また、お客様が使用されるシ ステム、機械、装置への本製品の適合性は、 お客様自身でご確認ください。これらを実施されない場合は、当社は本製品の適合性について責任を 負いません。 ③下記用途に使用される場合、当社営業担当者までご相談のうえ仕様書などによりご確認いただくとともに、定格・性能に対し余裕を持った使い方 や、万一故障があっても危険を最小にする安全回路などの安全対策を講じてください。 a)屋外の用途、潜在的な化学的汚染あるいは電気的妨害を被る用途またはカタログ・取扱説明書などに記載のない条件や環境での使用 b)原子力制御設備、焼却設備、鉄道・航空・車両設備、医用機械、娯楽機械、安全装置、 および行政機関や個別業界の規制に従う設備 c)人命や財産に危険が及びうるシステム・機械・装置 d)ガス、水道、電気の供給システムや24時間連続運転システムなど高い信頼性が必要な設備 e)その他、上記ａ)∼ｄ)に準ずる、高度な安全性が必要とされる用途 ④お客様が本製品を人命や財産に重大な危険を及ぼすような用途に使用される場合には、 システム全体として危険を知らせたり、冗長設計により 必要な安全性を確保できるよう設計されていること、および本製品が全体の中で意図した用途に対して適切に配電・設置されていること を 必 ず 事 前 に 確 認し てくだ さ い 。 ⑤カタログなどに記載されているアプリケーション事例は参考用ですので、 ご採用に際しては機器・装置の機能や安全性をご確認のうえ、 ご使用く ださい。 ⑥本製品が正しく使用されずお客様または第三者に不測の損害が生じることがないよう使用上の禁止事項および注意事項をすべてご理解のう え 守ってくだ さ い 。 定 格 ／ 性 能 4.仕様の変更 カタログ・取扱説明書などに記載の商品の仕様および付属品は改善またはその他の事由により、必要に応じて、変更する場合があります。当社営業 担当者までご相談のうえ本製品の実際の仕様をご確認ください。 5.サービスの範囲 本製品の価格には、技術者派遣などのサービス費用は含まれておりません。 お客様のご要望がございましたら、当社営業担当者までご相談ください。 6.価格 カタログに記載の標準価格はあくまで参考であり、確定されたユーザ購入価格を表示したものではありません。また消費税は含まれておりません。 7.適用範囲 31 オムロン商品のご用命は カタログ番号 SCHE-027D 工 4 2011年12月現在 VN CSM_1_9_0514 C OMRON Corporation 2005-2011 All Rights Reserved. ○ お断りなく仕様などを変更することがありますのでご了承ください
