Download マイクロモーション 質量流量計 F シリーズ センサ

8-5 F300 追加用マイクロモーション F.fm
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２００４年９月１０日　金曜日　午後４時４６分
プ ロ ダ ク ト デー タ シー ト PS-00631B
2004 年 8 月
SPECIFICATIONS
マ イ ク ロ モーシ ョ ン
質量流量計
F シ リ ーズ セ ンサ
■ 概要
■ 特長
マ イ ク ロ モーシ ョ ン質量流量計 F シ リ ーズセンサは、コ リ
オ リ フ ォース の測定原理に基づいた高精度流量計です。被
測定流体の温度、 圧力、 粘度、 密度の変化に影響 さ れに く
く 、 広い流量範囲で液体、 気体の質量流量、 体積流量、 お
よ び液体の密度、 温度を流量計 1 台で測定 し ます。 ま た、
デジ タ ル信号処理を採用 し た MVD テ ク ノ ロ ジー ト ラ ン ス
ミ ッ タ シ リ ーズ 1000、 2000 と の接続に よ り 精度、 リ
ピー タ ビ リ テ ィ が向上 し ま し た。
• 直管部を必要 と し ないため取付が容易。 ま た可動部が
ないため定期保守の必要がない。
• コ ンパ ク ト で堅牢な設計。 ド レ イ ン性が向上。
• 1/4、 1/2、 1、 2 イ ンチの ラ イ ンサ イ ズに 3 イ ンチが
新発売。 さ ら に広い流量範囲に適用。
• オプシ ョ ンで流量精度±0.15% も 供給（液体計測のみ）。
• MVD テ ク ノ ロ ジーの ノ イ ズ フ リ ーなデ ィ ジ タ ル信号
処理採用の ト ラ ン ス ミ ッ タ シ リ ーズ 1000、 2000 と の
組み合わせで、 高速応答性、 診断機能、 操作性、 精度、
リ ピー タ ビ リ テ ィ が向上。
■ 基本仕様
液　体
内　容
F025, F025P
F050
F100
質量流量、 体積流量、 密度、 温度
気　体
質量流量、 体積流量 1)
項　目
計　測　流　体
F200
F300
-50 ～ 180 ℃
ト ラ ン ス ミ ッ タ 一体型 / コ ア プ ロセ ッ サ付き ( 周囲温度に制限 さ れます。 3 ページのグ ラ フ を参照 く だ さ い。）
被測定流体温度範囲 2)
圧　力　定　格
温度エ ク ス テ ン ダ ・ コ ア プ ロ セ ッ サ付き
-50 ～ 180 ℃
端子箱付き
-100 ～ 180 ℃
測定チ ュ ーブ耐圧 3)
10 MPa (F025P の場合、 15.8 MPa)
セ ンサハウジ ング耐圧 4)(
接液部
気密テ ス ト 実施）
5)
ハウジ ング
1.0 MPa
0.58 M Pa
1.77 M Pa
エポキシ樹脂塗装アル ミ ニウムま たは CF-3M ス テ ン レ ス鋼 ト ラ ンス ミ ッ タ
エポキシ樹脂塗装アル ミ ニウム
端子箱
エポキシ樹脂塗装アル ミ ニウム
質 量 1700/2700 ト ラ ン ス ミ ッ タ 一体型
(ANSI150#RF フ ラ ンジ付き質量 )
端子箱付き
国内防爆
防　爆　認　定
ATEX
304L ス テ ン レ ス鋼
コ アプロセ ッサ
コ ア プ ロ セ ッ サ付き
1)
2)
3)
4)
5)
1.2 MPa
316L ス テ ン レ ス鋼
セ ンサハウジ ン グ
材　質
1.5 MPa
5kg
6kg
10kg
20kg
71kg
8kg
9kg
13kg
23kg
74kg
5kg
5kg
10kg
20kg
71kg
コ ア プ ロ セ ッ サ付き、 端子箱付き
F025, F050, F100, F200
Ex ib Ⅱ C T3 / Ex ib Ⅱ C T4
被測定流体温度 T3 -20 ～ 125 ℃ , T4 -20 ～ 104 ℃
F300
Ex ib Ⅱ B T3 / Ex ib Ⅱ B T4
被測定流体温度 T3 -20 ～ 173 ℃ , T4 -20 ～ 108 ℃
コ ア プ ロ セ ッ サ付き、 ト ラ ン ス ミ ッ タ 1700/2700 一体型
F025, F050, F100, F200
EEx ib Ⅱ C Ｔ 1- Ｔ 5
F300
EEx ib Ⅱ B Ｔ 1- Ｔ 5
標準体積流量を計測。 気体計測の詳細は 2 ～ 3 ページ を参照 し て く だ さ い。
国内防爆の温度仕様につ き ま し ては、 上記国内防爆の仕様を参照 し て く だ さ い。
上記温度範囲にのみ適用 (ASME B31.3 に準拠 )。
圧力二次容器にのみ適用 (ASME B31.3 に準拠 )。
接液材質の耐食性については、 弊社カ ス タ マーサービ ス にお問い合わせ く だ さ い。
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■ 性能仕様
●
液体計測
F025, F025P 項　目
最 大 流 量 1)
精 度 2)
F050 F100 F300 4) F200 質　量　流　量
2,720 kg/h
8,160 kg/h
32,650 kg/h
87,100 kg/h
272,000 kg/h
体　積　流　量
2,720 L/h
8,160 L/h
32,650 L/h
87,100 L/h
272,000 L/h
MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
計測流量の± 0.2% 2)
９ 線式 ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
計測流量の± 0.2% ± [(ZS 3) / 計測流量 ) × 100 ]%
MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
計測流量の± 0.1%2)
９ 線式 ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
計測流量の± 0.1% ± [1/2(ZS 3) / 計測流量 ) × 100 ]%
リ ピー タ ビ リ テ ィ
質　量　流　量
0.1765 kg/h
0.544 kg/h
2.177 kg/h
6.965 kg/h
21.76 kg/h
体　積　流　量
0.1765 L/h
0.544 L/h
2.177 L/h
6.965 L/h
21.76 L/h
ゼロ ス タ ビ リ テ ィ
1) 最大体積流量は流体の密度 1g/mL に基づ く 値です。 密度 1g/mL 以外の場合、 最大体積流量 = 最大質量流量÷液体密度。
2) 流量が ( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ /0.002) 以下の場合、 流量精度 = ± [( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ / 計測流量 ) × 100]%、
リ ピー タ ビ リ テ ィ = ± [1/2 ( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ / 計測流量 )] × 100]%。
3) ZS と はゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ の こ と です。
4) F300 は Ｍ Ｖ Ｄ ト ラ ン ス ミ ッ タ と の組み合わせでのみ使用可能。
※フ ァ ク ト リ オプシ ョ ン 「 Ａ 」 ( 精度 0.15% 校正 ) を選択の場合、 液体の流量精度 = 計測流量の± 0.15%。
流量が ( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ /0.0015) 以下の場合、 流量精度 = ± [( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ / 計測流量 ) × 100]%。
●
密度計測 - 液体のみ　項　目
内　容
精　度
全　モ デ　ル
± 0.002g/mL, ± 2.0kg/m3
リ ピー タ ビ リ テ ィ
全　モ デ　ル
± 0.001g/mL, ± 1.0kg/m3
●
温度計測 - 液体のみ
項　目
内　容
精　度
全　モ デ　ル
± 1 ℃±読み値 ( ℃ ) の± 0.5%
リ ピー タ ビ リ テ ィ
全　モ デ　ル
± 0.2 ℃
温　度　範　囲
全　モ デ　ル
前頁の流体温度範囲を参照
●
気体計測
F025, F025P 項　目
F100 計測流量の± 0.5% 5)
９ 線式 ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
計測流量の± 0.7% ± [(ZS 6) / 計測流量 ) × 100 ]%
MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
計測流量の± 0.25% 5)
９ 線式 ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
計測流量の± 0.35% ± [(ZS 6) / 計測流量 ) × 100 ]%
リ ピー タ ビ リ テ ィ
質
量
流
量
0.18 kg/h
0.54 kg/h
2.18 kg/h
5) 流量が ( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ /0.005) 以下の場合、 流量精度 = ± [( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ / 計測流量 ) × 100]%
リ ピー タ ビ リ テ ィ = ± [1/2( ゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ / 計測流量 ) × 100]%。
6) ZS と はゼ ロ ス タ ビ リ テ ィ の こ と です。
7) F300 は Ｍ Ｖ Ｄ ト ラ ン ス ミ ッ タ と の組み合わせでのみ使用可能。
2
F200
MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続
精　度
ゼロ ス タ ビ リ テ ィ
F050 6.97 kg/h
F300 7)
21.76 kg/h
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●
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気体計測の代表的な例
F025, F025P 項　目
68 kPa の圧力損失を生
じ る空気の流量 ( ラ イ ン
圧力 680kPa at 20 ℃ )
0.34 MPa の圧力損失を
生 じ る天然ガス （MW
16.675） の流量 ( ラ イ ン
圧力 3.4MPa at 20 ℃）
F050 F100 F200
F300 質　量　流　量
116 kg/h
357 kg/h
1,366 kg/h
3,810 kg/h
14,865 kg/h
標 準 体 積 流 量 8)
90 Nm3/h
276 Nm3/h
1,055 Nm3/h
2,940 Nm3/h
11,512 Nm3/h
質　量　流　量
445 kg/h
1,358 kg/h
5,162 kg/h
14,490 kg/h
50,989 kg/h
標 準 体 積 流 量 8)
598 Nm3/h
1,825 Nm3/h
6,936 Nm3/h
19,470 Nm3/h
72,247 Nm3/h
8) 0 ℃、 1 気圧の基準状態におけ る 空気の体積です。
●
環境に よ る影響
F025, F025P 項　目
流体温度の影響
圧力の影響 10)
9)
F050 F100 F200
F300 最大流量への影響
(1 ℃当 り )
± 0.00175%
± 0.00175%
± 0.00175%
± 0.0045%
± 0.0040%
密度精度への影響
(1 ℃当 り )
± 0.1 kg/m3
± 0.1 kg/m3
± 0.1 kg/m3
± 0.1 kg/m3
± 0.1 kg/m3
－ 0.015%
－ 0.015%
－ 0.015%
－ 0.015%
－ 0.015%
－
－ 0.43 kg/m3
－ 0.58 kg/m3
－ 0.29 kg/m3
－ 0.43 kg/m3
流量精度 ( 指示値 ) へ
の影響 (0.1MPa 当 り )
密度精度への影響
(0.1MPa 当 り )
9) 流体温度の影響は、 流体温度がゼ ロ 点調節時の温度か ら 変化す る ため、 ゼ ロ オ フ セ ッ ト の最悪値 と し て定義 さ れ ます。
10) 圧力の影響は流体圧力が校正時か ら 変化す る ため、 セ ンサの流量感度の変化 と し て定義 さ れ ま す。 圧力の影響は補正可能です。
■ 流体温度と周囲温度の関係
下のグ ラ フ に表 さ れてい る 通 り 流体温度の上限は周囲温度に よ り 制限 さ れます。
周
囲
温
度
(℃)
流体温度の上限 ( ℃ )
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■ 設置上の注意点
• 直管長
コ リ オ リ 流量計は流速分布の影響 を 受け
ま せんの で直管長 を 確保す る 必要は あ り
ません。
• バルブ
コ リ オ リ 流量計の上流 と 下流に閉止バルブ
を設置し て く ださ い。これは運転前に行 う ゼ
ロ点調整時に、流量計のパイプ内を流体で満
たし、流体の流れを完全に停止し た状態にす
る ために必要です。 ( 図 E ) プロセス条件
• 気体の混入
ほ と ん ど の流量計は気液混合の流体に対
し ては計測が著 し く 阻害 さ れます。 コ リ オ
リ 流量計 も 気体が混入 し な い よ う に注意
する 必要があ り ます。
• 多相流
コ リ オ リ 流量計の測定チ ュ ーブは単一の
固有振動数 を 持つ機械系 と し て振動す る
必要があ る こ と か ら 、固形分が分離す る よ
う な流体では計測が著 し く 阻害 さ れ ま す。
固形分が完全に均一に混 ざ り 合 っ て い る
状態では問題あ り ません。
図E
• 空ス タ ー ト ／ス ト ッ プ運転
配管の中が空の状態か ら 流体を流す場合、
初めは気液混合状態 と な り 測定誤差が生
じ る こ と があ り ます。
• ポン プ
配管
• 取付姿勢
配管に設置す る 際、流体の特性を考慮 し て
配管する こ と を推奨 し ます。最適な取付姿
勢は下か ら 上に流す垂直配管です。 ( 図 A)
水平方向設置で気泡が発生 し やすい場合
は、気泡た ま り ので き ない よ う にセンサ を
下向き に し て、測定チ ュ ーブの曲が り が下
に く る よ う に し て く だ さ い。( 図 B) 固形分
が沈殿 し やすい流体では液だ ま り ので き
な い よ う に セ ン サ を 上向 き に し て、 測定
チ ュ ーブの曲が り が上に く る よ う に し て
く だ さ い。( 図 C) 流量計を高い位置に設置
し てその下流を開放す る と 、サ イ ホ ンの効
果で負の圧力がかか り ますので、 こ の よ う
な取付けは避けて く だ さ い。 ( 図 D)
垂直配管
水平配管
セ ンサ下向き
図A
図B
ポ ン プは流量計の前に取付け る こ と を 推
奨 し ます。 サ ク シ ョ ンに よ る 気泡の発生を
抑制で き ます。
周囲環境
• 日光の遮断
コ リ オ リ 流量計の変換器は電子機器です
ので屋外に設置す る 場合は、常時日光に さ
ら さ れ る こ と の な い よ う 日光の遮蔽 を 設
けて く だ さ い。
• 振動
マ イ ク ロ モーシ ョ ン の コ リ オ リ 流量計は
振動に対 し て は自動的に ノ イ ズ と し て打
ち消す構造 と な っ てお り ますが、チ ュ ーブ
が過大な振動 を 受け た場合は通常の同相
除去の限界を超え る こ と も あ り ますので、
配管のサポー ト を十分に行っ て く だ さ い。
• ケーブル
ケ ーブルの進入口か ら 雨や結露 し た水が
進入 し な い よ う し っ か り シール を し て く
だ さ い。 ま た、 ケ ーブルに た わみ を 持 た
せ、 力が加わ ら ない よ う に し て く だ さ い。
こ の た わみは同時に雨や結露 し た水の進
入を防ぎ ます。 ( 図 F) 図F
取
付
姿
水平配管
セ ンサ上向き
下流開放
勢
図C
図D
4
• 危険場所
国内防爆規定に従 っ た取付け を 行 っ て く
だ さ い。
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■ 精度、 タ ーン ダウ ン、 圧力損失 1) (MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続の場合 )
●
液体計測
1.0
1:1
0.8
40:1
0.6
20:1
0.4
精
度
％
0.2
0
-0.2
-0.4
-0.6
液体
-0.8
-1.0
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
最大流量に対する％
タ ーン ダウン
精度 ( ± %)
液体
圧力損失 MPa
液体
●
40:1 0.26
0.001
20:1 0.20
0.002
2:1 0.20
0.098
気体計測の代表的な例 （F100, MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 接続）
ライン圧力の違いによる空気の圧力損失（at 20 ℃）
psig
(kPa)
20
(137.9)
15
(103.4)
10
(69.0)
0.5
5
(34.5)
0
0
(0)
psig
(kPa)
20
(137.9))
15
(103.4)
10
(69.0)
0.5
5
(34.5)
0
0
(0)
2.0
精
度
％
1.5
100 psi
1.0
kg/hr
0
1000
500 psi
2000
1000 psi
3000
圧
力
損
失
4000
流量
ライン圧力の違いによる天然ガス（MW16.675）の圧力損失（at 20 ℃）
2.0
精
度
％
1.5
100 psi
1.0
kg/hr
0
1000
500 psi
2000
1000 psi
3000
圧
力
損
失
4000
流量
1) マ イ ク ロ モーシ ョ ン サ イ ジ ン グ ソ フ ト を用いて精度、 タ ーン ダ ウ ン、 圧力損失を計算す る こ と がで き ます。
弊社カ ス タ マーサービ ス にお問い合わせ く だ さ い。
5
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■ 外形寸法図
●
ト ラ ン ス ミ ッ タ 1700/2700 一体型
寸法 ： mm
21
2× 1/2″–14 NPT
ま たは M20 × 1.5
62
ø 119
2× 1/2″ –14 NPT
メ スパージ フ ィ ッ テ ィ ン グ
オス六角プ ラ グ付き
（オプ シ ョ ン）
69
寸法 H
寸法 G
寸法 R
寸法 ø B
寸法 C
寸法 D
寸法
S
寸法
E
寸法 A ± 3
寸法
F
182
{
F025
45
F050
49
NPT メ ス CAJON
フ ィ ッ テ ィ ング
F025 1/2″–14 NPT メ ス フ ィ ッ テ ィ ン グ
F050 3/4″–14 NPT メ ス フ ィ ッ テ ィ ン グ
寸法 A ±3
モデル
F025
F050
F100
F200
F300
C
15
15
22
44
89
D
130
171
232
319
185
E
247
301
378
454
704
F
72
74
104
144
150
＊ A と B の寸法については、 8 ～ 9 ページのプ ロ セ ス接続の表を参照 し て く だ さ い。
6
G
119
119
126
148
191
H
154
154
160
182
225
R
44
44
50
73
114
S
191
229
305
356
533
8-5 F300 追加用マイクロモーション F.fm
●
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コ ア プ ロ セ ッ サ付き セ ンサ　寸法 ： mm
温度エ ク ス テ ン ダ
（オ プ シ ョ ン）
2×1/2″ –14 NPT
メ スパージ フ ィ ッ テ ィ ン グ
オス六角プ ラ グ付き
（オ プ シ ョ ン）
ø 111
67
寸法 P
1/2″ –14 NPT
ま たは M20 ×
1.5
寸法 M
寸法 N
寸法 R
寸法 Q
ø 32
寸法 ø B
寸法 C
寸法 D
寸法 S
寸法 E
寸法 A ± 3
寸法 F
{
NPT メ ス CAJON
フ ィ ッ テ ィ ング
C　15
15
22
44
89
D　130
171
232
319
185
E　247
301
378
454
704
F　72
74
104
144
150
M　112
112
119
141
184
45
49
F025 1/2″ –14 NPT メ ス フ ィ ッ テ ン グ
F050 3/4″ –14 NPT メ ス フ ィ ッ テ ン グ
寸法 A ± 3
モデル
F025
F050
F100
F200
F300
F025
F050
N　69
69
75
98
141
P
249
249
255
278
321
Q
205
205
212
234
277
R
44
44
50
73
114
S
191
229
305
356
533
＊ A と B の寸法については、 8 ～ 9 ページのプ ロ セ ス接続の表を参照 し て く だ さ い。
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■ プ ロ セス接続
●
F025 接続オプ シ ョ ン
プ ロ セス接続
JIS 15mm 10K/20K RF フ ラ ン ジ
JIS 15mm 40K RF フ ラ ン ジ
1/2-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
1/2-inch ANSI 300# RF フ ラ ン ジ
1/2-inch ANSI 600# RF フ ラ ン ジ
15mm DIN PN40 DIN 2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
#8 VCO ユニオン 1/2-inch NPT メ スネジ※
15mm DIN PN100/160 DIN 2638 タ イ プ Ｅ フ ェ イ ス※
1/2-inch ト リ ク ラ ン プ接続 ( サニ タ リ 接続 )
15mm DIN11851 ア セプ テ ィ ッ ク カ ッ プ リ ング
コード
122
221
113
114
115
116
319
120
121
222
A 面間 (mm)
393
420
406
416
429
387
356
401
356
353
B 外径 (mm)
95
115
89
95
95
95
--105
25
Rd 34 x 1/8
コード
122
221
113
114
115
116
120
131
239
322
222
A 面間 (mm)
446
473
460
469
482
441
455
444
415
403
407
B 外径 (mm)
95
115
89
95
95
95
105
115
--25
Rd 34 x 1/8
コード
139
229
128
129
130
131
137
138
209
230
A 面間 (mm)
550
582
576
588
601
544
580
540
587
522
B 外径 (mm)
125
130
108
124
124
115
140
50
152
Rd 52 x 1/6
※ F025P 高圧セ ン サ接続用 と し て も 利用可能。
●
F050 接続オプ シ ョ ン
プ ロ セス接続
JIS 15mm 10K/20 Ｋ RF フ ラ ン ジ
JIS 15mm 40K RF フ ラ ン ジ
1/2-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
1/2-inch ANSI 300# RF フ ラ ン ジ
1/2-inch ANSI 600# RF フ ラ ン ジ
15mm DIN PN40 DIN 2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
15mm DIN PN100/160 DIN 2638 タ イ プ Ｅ フ ェ イ ス
25mm DIN PN40 DIN 2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
#12 VCO ユニオ ン 3/4-inch NPT メ スネジ
3/4-inch ト リ ク ラ ン プ接続 ( サニ タ リ 接続 )
15mm DIN 1851 ア セプ テ ィ ッ ク カ ッ プ リ ング
●
F100 接続オプ シ ョ ン
プ ロ セス接続
JIS 25mm 10K/20K RF フ ラ ン ジ
JIS 25mm 40K RF フ ラ ン ジ
1-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
1-inch ANSI 300# RF フ ラ ン ジ
1-inch ANSI 600# RF フ ラ ン ジ
25mm DIN PN40 DIN 2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
25mm DIN PN100/160 DIN 2638 タ イ プ Ｅ フ ェ イ ス
1-inch ト リ ク ラ ン プ接続 ( サニ タ リ 接続 )
2-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
25mm DIN11851 ア セプ テ ィ ッ ク カ ッ プ リ ング
8
8-5 F300 追加用マイクロモーション F.fm
●
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２００４年９月１０日　金曜日　午後４時４６分
F200 接続オプ シ ョ ン
プ ロ セス接続
JIS 40mm 10K RF フ ラ ン ジ
JIS 50mm 10K RF フ ラ ン ジ
JIS 40mm 20K RF フ ラ ン ジ
JIS 50mm 20K RF フ ラ ン ジ
JIS 50mm 40K RF フ ラ ン ジ
1 1/2-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
1 1/2-inch ANSI 300# RF フ ラ ン ジ
1 1/2-inch ANSI 600# RF フ ラ ン ジ
2-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
2-inch ANSI 300# RF フ ラ ン ジ
2-inch ANSI 600# RF フ ラ ン ジ
1 1/2-inch ト リ ク ラ ン プ接続 ( サニ タ リ 接続 )
2-inch ト リ ク ラ ン プ接続 ( サニ タ リ 接続 )
40mm DIN PN40 DIN 2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
50mm DIN PN40 DIN 2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
50mm DIN PN100 DIN2637 タ イ プ Ｅ フ ェ イ ス
50mm DIN PN160 DIN2638 タ イ プ Ｅ フ ェ イ ス
40mm DIN 11851 ア セプ テ ィ ッ ク カ ッ プ リ ング
50mm DIN 11851 ア セプ テ ィ ッ ク カ ッ プ リ ング
●
コー ド
385
386
387
388
389
341
342
343
418
419
420
351
352
381
382
378
376
353
354
A 面間 (mm)
595
595
595
600
646
629
642
654
632
645
664
591
581
598
600
641
655
589
591
B 外径 (mm)
140
155
140
155
165
127
155
155
152
165
165
50
64
150
165
195
195
Rd 65 x 1/6
Rd 78 x 1/6
コー ド
400
401
402
403
355
356
357
425
426
427
361
410
391
392
393
394
395
396
397
398
A 面間 (mm)
927
932
927
932
935
954
974
945
969
1012
893
935
915
926
915
926
958
983
958
983
B 外径 (mm)
186
210
200
225
191
210
210
229
254
273
91
89
200
235
200
235
230
265
230
265
F300 接続オプ シ ョ ン
プ ロ セス接続
JIS 80mm 10K RF フ ラ ン ジ
JIS 100mm 10K RF フ ラ ン ジ
JIS 80mm 20K RF フ ラ ン ジ
JIS 100mm 20K RF フ ラ ン ジ
3-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
3-inch ANSI 300# RF フ ラ ン ジ
3-inch ANSI 600# RF フ ラ ン ジ
4-inch ANSI 150# RF フ ラ ン ジ
4-inch ANSI 300# RF フ ラ ン ジ
4-inch ANSI 600# RF フ ラ ン ジ
3-inch ト リ ク ラ ン プ接続 ( サニ タ リ 接続 )
3-inch Victaulic コ ンパテ ィ ブル接続
80mm DIN PN40 DIN 2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
100mm DIN PN40 DIN2635 タ イ プ Ｃ フ ェ イ ス
80mm DIN PN40 DIN2635 タ イ プ N ミ ゾ付き フ ェ イ ス
100mm DIN PN40 DIN2635 タ イ プ N ミ ゾ付き フ ェ イ ス
80mm DIN PN100 DIN2637 タ イ プ Ｅ フ ェ イ ス
100mm DIN PN100 DIN2637 タ イ プ Ｅ フ ェ イ ス
80mm DIN PN100 DIN2637 タ イ プ N ミ ゾ付き フ ェ イ ス
100mm DIN PN100 DIN2637 タ イ プ N ミ ゾ付き フ ェ イ ス
9
8-5 F300 追加用マイクロモーション F.fm
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■ 型式一覧表 1)
コード
F025S
F025P
F050S
F100S
F200S
F300S2)
コード
＊＊＊
コード
C
B
P
H
X
コード
Q
A
V
B
C
R
コード
K
L
M
B
E
F
G
A
N
O
P
A
H
J
コード
T
M
N
U
C
A
Z
コード
J
E
コード
ZZZ
コード
Z
A
X
指定例 :
機器名称
コ リ オ リ 流量計
コ リ オ リ 流量計
コ リ オ リ 流量計
コ リ オ リ 流量計
コ リ オ リ 流量計
8mm Ｆ シ リ ーズセ ンサ、 316L ス テ ン レ ス
8mm Ｆ シ リ ーズセ ンサ、 316 ス テ ン レ ス、 チ ュ ーブ耐圧 15.8 MPa
15mm Ｆ シ リ ーズセ ンサ、 316L ス テ ン レ ス
25mm Ｆ シ リ ーズセ ンサ、 316L ス テ ン レ ス
50mm Ｆ シ リ ーズセ ンサ、 316L ス テ ン レ ス
コ リ オ リ 流量計 80mm Ｆ シ リ ーズセ ンサ、 316L ス テ ン レ ス
プ ロ セ ス接続
前頁の接続オプ シ ョ ン参照
ケースオプ シ ョ ン
コ ンパク ト ケース
コ ンパク ト ケース （圧力二次容器、 テ ス ト レ ポー ト 付き）
コ ンパク ト ケース、 パージ フ ィ ッ テ ィ ン グ付き （2 ｘ 1/2-inch NPT メ スネ ジ） （圧力二次容器、 テ ス ト レ ポー ト 付き）
ハイ ジ ェ ニ ッ ク コ ンパ ク ト ケース
CEQ
ト ラ ンス ミ ッ タ イ ン ターフ ェ イス
アル ミ ニウム製 コ ア プ ロ セ ッ サ付き (MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 別置型）
ス テ ン レ ス製 コ ア プ ロ セ ッ サ付き (MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 別置型）
アル ミ ニウム製 コ ア プ ロ セ ッ サ ・ 温度エ ク ス テ ン ダ付き (MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 別置型）
ス テ ン レ ス製 コ ア プ ロ セ ッ サ ・ 温度エ ク ス テ ン ダ付き (MVD ト ラ ン ス ミ ッ タ 別置型）
ト ラ ン ス ミ ッ タ 1700/2700 一体型
9 線接続 端子箱
電線管接続口
イ ン タ ー フ ェ イ ス コ ー ド 'Q' 'A' 'V' 'Ｂ ' ( コ ア プ ロ セ ッ サ付き )
（認定コ ー ド Ｔ または Ｍ で選択可） M20 G1/2, ス テ ン レ ス ア ダプ タ ー , グ ラ ン ド な し （認定コ ー ド Ｔ または Ｍ で選択可） M20 G1/2 ス テ ン レ スア ダ プ タ ー + G 1/2 G1/2 耐圧グ ラ ン ド , 真鍮ニ ッ ケルめ っ き
（認定コ ー ド Ｔ または Ｍ で選択可） M20 G1/2 ス テ ン レ スア ダ プ タ ー + G 1/2 G1/2 耐圧グ ラ ン ド , ス テ ン レ ス
（認定コ ー ド Ｍ または海外防爆で選択可） 1/2-inch NPT, グ ラ ン ド な し
（認定コ ー ド Ｍ または海外防爆で選択可） M-20, グ ラ ン ド な し
（認定コ ー ド Ｍ または海外防爆で選択可） M-20, 真鍮ニ ッ ケルめ っ き グ ラ ン ド 付き （ケーブル径 8.5 ～ 10.0mm)
（認定コ ー ド Ｍ または海外防爆で選択可） M-20, ス テ ン レ スグ ラ ン ド 付き （ケーブル径 8.5 ～ 10.0mm)
イ ン タ ー フ ェ イ ス コ ー ド 'C' : （1700/2700 一体型 - コ ン ジ ッ ト 接続な し )
グラ ン ド な し
イ ン タ ー フ ェ イ ス コ ー ド ' Ｒ ' (9 線接続 端子箱付き )
（認定コ ー ド Ｔ または Ｍ で選択可） 3/4-inch NPT G3/4 ス テ ン レ スア ダ プ タ ー , グ ラ ン ド な し
（認定コ ー ド Ｔ 0 ま たは Ｍ で選択可） 3/4-inch NPT G3/4 耐圧グ ラ ン ド , 真鍮ニ ッ ケルめ っ き
（認定コ ー ド Ｔ または Ｍ で選択可） 3/4-inch NPT G3/4 耐圧グ ラ ン ド , ス テ ン レ ス
（認定コ ー ド Ｍ または海外防爆で選択可 ) 3/4-inch NPT - グ ラ ン ド な し
（認定コ ー ド Ｍ または海外防爆で選択可） 3/4-inch NPT - 真鍮ニ ッ ケルめ っ き グ ラ ン ド 付き
（認定コ ー ド Ｍ または海外防爆で選択可） 3/4-inch NPT - ス テ ン レ スグ ラ ン ド 付き
認定
国内防爆
標準 ( 非防爆 )
標準 (PED Compliant)
UL （イ ン タ ー フ ェ イ ス コ ー ド ' Ｒ ' でのみ選択可）
CSA
CSA (US and Canada)
ATEX - Equipment Category 2 (Zone 1)/ PED Compliant
言語
日本語 取扱説明書
英語 ク イ ッ ク リ フ ァ レ ン スお よび取扱説明書
将来
固定
フ ァ ク ト リ オプ シ ョ ン
標準
精度 0.15% 校正 （ケースオプ シ ョ ン Ｓ お よ び 9 線 ト ラ ン ス ミ ッ タ では利用不可）
CEQ
F025S 113 SA BUE ZZZ Z
1) ト ラ ン ス ミ ッ タ の型式については ト ラ ン ス ミ ッ タ の仕様書を ご参照 く だ さ い。
2) F300 は Ｍ Ｖ Ｄ ト ラ ン ス ミ ッ タ と の組み合わせでのみ使用可能。
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8-5 F300 追加用マイクロモーション F.fm
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販売窓口
( ご注意 ) 性能品質改良に と も ないカ タ ロ グの記載内容は、お こ と わ り な く 変更する こ と があ り ます。