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Mass flow meters and Controllers 電子式流量計測制御 マスフロー（Mass Flow Controller/Mass Flow Meter）とは① …………………… 18∼19 マスフロー（Mass Flow Controller/Mass Flow Meter）とは② ………………………… 20 シリコンチップ型流量センサーとは …………………………………………………… 21∼22 マスフロー選定手引き ………………………………………………………………………… 23 7800 チップセンサー搭載マスフローメータ …………………………………………… 24∼26 7200MC 超小型マスフローコントローラ …………………………………………………… 27 7900MC 大流量マスフローコントローラ …………………………………………………… 28 FC100 分析用マスフローバルブ …………………………………………………………… 29 D7100 デジタルマスフローセンサー …………………………………………………… 30∼31 7100NL マスフローセンサー ………………………………………………………………… 32 D3660 デジタルマスフローコントローラ …………………………………………………… 33 D8500 表示器付デジタルマスフローコントローラ/メータ …………………………… 34∼35 8500 表示器付マスフローコントローラ/マスフローメータ …………………………… 36∼37 3660シリーズ スタンダードマスフローコントローラ ………………………………………… 38 3200シリーズ ハイグレードマスフローコントローラ ………………………………………… 39 5400シリーズ ローコストメタルシールマスフローコントローラ／マスフローメータ ……… 40 5100シリーズ ハイグレードメタルシールマスフローコントローラ …………………………… 41 9100シリーズ オートプレッシャコントローラ ………………………………………………… 42 HFC-303シリーズ 大流量用マスフローコントローラ ………………………………………… 43 3810DSシリーズ 表示器付ローコストマスフローメータ……………………………………… 44 3100シリーズ ハイグレードマスフローメータ ………………………………………………… 45 3760シリーズ スタンダードマスフローメータ ………………………………………………… 46 HFM-301シリーズ 大流量用マスフローメータ………………………………………………… 47 HFM-200W/LSシリーズ 低圧力損失大流量マスフローメータ ……………………………… 48 3810Sシリーズ ローコストマスフローセンサー ……………………………………………… 49 D3810シリーズ ローコストデジタルマスフローメータ ……………………………………… 50 FM0101・0102・0103・0105 シリーズ 液体用小型カルマン渦流量計 ……………………… 51 FM31（テフロン：PFA）シリーズ 液体用小型カルマン渦流量計 ……………………………… 52 VISION 2000シリーズ 液体用小型流量センサー …………………………………………… 53 ALM-4・ACM-10・DPM-3・DPM-243/244 流量表示器 ……………………………………… 54 DPM-100 / CK シリーズ 警報機能付き高機能流量設定表示器/流量設定器 ……………… 55 CR-700A 積算/警報機能付き高機能リードアウトユニット ……………………………… 56 CR-500 積算/警報機能付き高機能リードアウトユニット ………………………………… 57 CR-300 コンパクトリードアウトユニット …………………………………………………… 58 CR-200/MODEL PSK-2TFX コンパクトリードアウトユニット/マスフローメータ専用電源 …… 59 PSK-FBシリーズ/PSK-85 マスフローコントローラ／マスフローメータ用電源（機器組込用） … 60 CP-85CFシリーズ 8500シリーズ専用電源ケーブル ………………………………………… 60 FLOW COMPO 小型ハンディ質量流量制御／測定ユニット ……………………………… 61 8500混合器一体型 ガス混合器一体型マスフローコントローラ …………………………… 62 3810DS混合器一体型 ガス混合器一体型マスフローメータ ………………………………… 63 マスフロー用ケーブル／アクセサリー適応表 ………………………………………………… 64 マスフロー アプリケーション例 ………………………………………………………… 65∼66 A A Mass flow meters and Controllers 電子式流量計測制御 商品一覧 チップセンサー搭載マスフローメータ 超小型マスフローコントローラ 大流量マスフローコントローラ MODEL 7800 MODEL 7200 MC MODEL 7900 MC MODEL FC100 RoHS NEW 対応品 RoHS NEW 対応品 RoHS NEW 対応品 RoHS NEW 対応品 ➡ P.024 ➡ P.027 ➡ P.028 ➡ P.029 デジタル マスフローコントローラ 分析用マスフローバルブ デジタルマスフローセンサー マスフローセンサー 表示器付デジタルマスフローコントローラ / メータ MODEL D7100 MODEL 7100NL MODEL D3660 RoHS NEW 対応品 NEW RoHS NEW 対応品 RoHS NEW 対応品 ➡ P.030 ➡ P.032 ➡ P.033 ➡ P.034 MODEL D8500 表示器付マスフローコントローラ / マスフローメータ スタンダード マスフローコントローラ ハイグレード マスフローコントローラ ローコストメタルシール マスフローコントローラ／マスフローメータ MODEL 8500 MODEL 3660 MODEL 3200 MODEL 5400 シリーズ シリーズ シリーズ RoHS NEW 対応可 対応品 注文可 RoHS FAX ➡ P.036 ➡ P.038 FAX FAX 注文可 注文可 ➡ P.039 ➡ P.040 ハイグレードメタルシール マスフローコントローラ オートプレッシャコントローラ 大流量用 マスフローコントローラ 表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 5100 MODEL 9100 HFC-303 MODEL 3810DS シリーズ シリーズ FAX ➡ P.041 シリーズ FAX 注文可 FAX 注文可 5100 シリーズ RoHS FAX 注文可 ➡ P.042 対応品 注文可 ➡ P.043 ➡ P.044 9100R ハイグレード マスフローメータ スタンダード マスフローメータ 大流量用 マスフローメータ 低圧力損失大流量 マスフローメータ MODEL 3100 MODEL 3760 HFM-301 MODEL HFM-200W/LS シリーズ シリーズ FAX 注文可 ➡ P.045 016 RoHS FAX 対応品 注文可 ➡ P.046 シリーズ シリーズ FAX 注文可 ➡ P.047 FAX 注文可 ➡ P.048 ローコスト マスフローセンサー ローコストデジタルマスフローメータ 液体用小型カルマン渦流量計 MODEL 3810S MODEL D3810 FM0101・0102・0103・0105 FM31（テフロン：PFA） シリーズ シリーズ シリーズ RoHS FAX RoHS FAX 対応品 注文可 対応品 注文可 ➡ P.049 ➡ P.050 液体用小型カルマン渦流量計 シリーズ FAX FAX 注文可 注文可 ➡ P.051 ➡ P.052 液体用小型流量センサー 流量表示器 流量表示器 流量表示器 VISION 2000 MODEL ALM-4 MODEL ACM-10 MODEL DPM-3 シリーズ FAX 注文可 ➡ P.053 流量表示器 FAX 注文可 ➡ P.054 警報機能付き高機能 流量設定表示器 FAX FAX ➡ P.054 FAX 注文可 ➡ P.055 注文可 ➡ P.054 ➡ P.054 流量設定器 MODEL DPM-243/244 MODEL DPM-100 MODEL CK 注文可 FAX 注文可 積算 / 警報機能付き高機能 リードアウトユニット シリーズ RoHS FAX MODEL CR-700A RoHS FAX 対応品 注文可 対応品 注文可 ➡ P.055 ➡ P.056 積算 / 警報機能付き高機能 リードアウトユニット コンパクト リードアウトユニット コンパクト リードアウトユニット マスフローメータ専用電源 MODEL CR-500 MODEL CR-300 MODEL CR-200 MODEL PSK-2TFX RoHS FAX RoHS FAX RoHS FAX RoHS FAX 対応品 注文可 対応品 注文可 対応品 注文可 対応品 注文可 ➡ P.057 ➡ P.058 ➡ P.059 ➡ P.059 マスフローコントローラ／マスフローメータ用電源（機器組込用） MODEL8500 シリーズ専用電源ケーブル MODEL PSK-FB PSK-85/CP-85CF FLOW COMPO シリーズ シリーズ RoHS FAX 対応品 注文可 ➡ P.060 FAX 注文可 ➡ P.060 小型ハンディ質量流量制御／測定ユニット FAX 注文可 ➡ P.061 ガス混合器一体型マスフローコントローラ MODEL8500 混合器一体型 NEW ➡ P.062 ガス混合器一体型マスフローメータ MODEL3810DS 混合器一体型 NEW ➡ P.063 017 マスフロー（Mass Flow Controller/Mass Flow Meter）とは① 電子式流量計測制御 体積流量と質量流量について ガスの流量計には、大きく分けて体積流量計と質量流量計があり ます。体積流量計には、面積式流量計、容積式流量計、差圧式流量 計等があり、質量流量計にはコリオリ式流量計、渦式流量計、熱式 〉のフロート式流量計は体積流量計 流量計等があります。〈 のうち面積式流量計に分類され、マスフローは、質量流量計で熱式 流量計に分類されます。分類上、熱式質量流量計＝サーマル・マス フローコントローラー／マスフローメータといった表記を本義的に 用いることもありますが、本カタログでは、一般的呼称としてなじ み深い「マスフロー 」でマスフローコントローラ・マスフローメー タ等全般を呼称することにします。 体積流量計と質量流量計の違いを簡単な例を挙げてご説明しま す。体積流量計の多くは、図1のように流量計各部を大気開放する ような状態、すなわち流量計内部に圧力がかからない状態で用いま す。ここに圧力がかかりますと大気解放で校正された体積流量計は 正しい流量を表示しなくなり、読み値に対する補正計算が必要とな ります。特に石ケン膜流量計、乾式・湿式ガスメータ等では微少な 抵抗でもありますと大きく影響されますので、原則大気開放で使用 します。フロート式流量計も同じで、圧力が大きく変動したり、ガ ス温度が変わったりして、ガス密度が変化すると、正確な指示がで きなくなる為、圧力、温度条件をあらかじめ一定に決めておくか、 もしくは読み値に各ファクターの補正計算を行う必要が生じます。 それに対して質量流量計は文字の示す通り、流量を重さで検知し ますので、流体が圧縮されたりして密度が変わった状態でも同じ状 態を定義する事ができます。ガスを質量で検知しますと、前記フ ローでも図2のような加圧状態でも同一指示が得られますので、事 実上、あらゆるフローシートのどこにでも設置でき非常に便利であ る上、流量の読み値に誤差の少ないシステムが組めます。 図1 大気開放 体積式流量計 流量制御バルブ 図2 圧力計 P1 MF マスフロ ーメータ 流量制御バルブ マスフローの原理について マスフローに使用されている流量センサーは、一般的には熱式流 量センサーと呼ばれるものです。その検出原理を以下に記します。 センサー部である毛細管（図3）には、抵抗温度係数が大きい抵 抗体を上流側（ Rus）、下流側（ Rds）にそれぞれ巻きつけてあり ます。これに電流を流すことにより、2つの抵抗体は発熱します。 この時毛細管の内部に流体が流れない状態ですと、上流、下流とも に同じ温度でバランスします。 （図3グラフの実線、流量ゼロ＝マス フローで一般的にいうゼロ点の位置になります。 ）この状態で流体 が流れ始めると、温度分布が図3グラフの破線のように変化しま す。このとき上流側は流体により熱を奪われ、逆に下流側には上流 側から奪われた熱があたえられることになります。つまり、上流と 下流の間に温度差（ T）が生じるということです。 018 図3 センサー部の構造説明 Rus Rds ガス1 センサー温度 A 〉はメカニカルなフロート式流量計、バルブはもとより、エレクトロニクス化された「電子式流量計」 〈 ＝マスフローコントローラ・マスフローメータまで手がける精密流量制御機器の総合メーカーです。マスフロー メータ、 マスフローコントローラによる質量流量（MASS FLOW）計測/制御技術は、半導体、 液晶、 光ファイバー 等の電子デバイス製造、燃料電池関連のガス供給、バーナー等の燃焼ガス制御、食品、バイオ、その他種々の業 界で実験設備から生産・検査装置に至るまで、幅広く用いられております。質量流量計測であるため、従来のメ カニカル製品に比較して温度、圧力の影響を受けにくい、流量の電気信号が取り出し可能等、より高度な流量計 測制御を可能にする特長を評価されてのことです。 〉では、これら「電子式流量計」＝マスフローコントローラ・マスフローメータ分野の製品を多種製造 〈 しており、また急ピッチで新製品をリリースいたしております。必ずやお客様のお役に立てるものと確信致して おります。 ゼロ点 温度分布 T この温度差（ T）が流体の質量流量に対して、関数関係である ことに着目し、各々の抵抗値の変化を電気信号として取り出し、増 幅、補正することにより、ある条件下で質量流量を計測できる熱式 質量流量計として機能するのです。これがマスフローメータ図4で す。 さらにマスフローコントローラ図5では、センサー部から出力さ れた流量信号を基に、外部からの流量設定信号との比較制御で高 速、高分解能のピエゾもしくはソレノイドアクチュエーターにより 流量制御バルブの開度をコントロールすることで、温度、圧力等の 諸条件が変化してもほとんど影響を受けない、安定した質量流量制 御を行うことができるのです。 図4 マスフローメータ構造略図 図5 マスフローコントローラ構造略図 A 表示器 ± 15V 電子式流量計測制御 電 源 設定器 流量信号 0∼5V 設定信号 0∼5V 比較制御回路 電 源 増幅回路 ± 15V ソレノイド or ピエゾアクチュ エータ ブリッジ回路 ブリッジ回路 増幅回路 表示器 センサー 流量信号 0∼5V センサー ガス IN ガス OUT ガス OUT ガス IN バイパス バルブ バイパス 流量単位について 質量流量計であるマスフローは、前述のごとく圧力、温度に関係 なく質量流量を計測するわけですが、質量で流量を表しますとg/ min、kg/min等、一般的な流体計測で用いられる単位になじみがな いものとなりますので、基準圧力、温度を決めた条件での体積流量 で表すことが一般です。現在ではSI単位系に準じPa・㎥ /sといった 単位を用いますが、一般的に古くからマスフローで用いられていた 単位SCCM、SLMが、まだ主流として扱われます。 〉では、1998年10月よ 本単位の定義に関しまして、 〈 りSEMI standardによる定義をマスフローに関する標準単位とし て採用しております。SCCMはStandard Cubic Centimeter per Minuteの略で0℃、1気圧状態におけるcc/min,SLMはStandard Liter per Minuteの略で同条件のL/minに換算した値です。その他 の流量単位についても、計量単位として現在認められている単位で あれば、ご指定により校正・製作は可能です。また、半導体関連以 外の業界では、SCCM、SLMは20℃、1気圧、NCCM、NLMを0℃、 1気圧と定義する業界もあります。その為、弊社マスフローの流量 表記に関しましては、SCCM（0℃、1atm） 、NLM（0℃、1atm） といった基準温度・圧力を明記して製品、及び検査成績書に記載い たしております。 実ガス校正とコンバージョンファクター法について 〈 〉マスフローは、基本的にN₂ガスで流量校正されて出荷 されます。熱式センサーは、原則的には実ガス校正されたものしか 精度は保証できません。現在、弊社で実ガスでの校正が可能なの は、N₂,O₂,H₂,He,CO₂,Arです。その他のガスに関しましてはN₂に 対する一定の変換係数＝コンバージョンファクター （ CF）を用い て、N₂ガスにて校正いたします。 例えば、N₂で校正されたマスフローを用いてArを流した場合、 ArのCFは1.4ですのでマスフローの指示値より実際は1.4倍多くAr は流れます。つまりAr流量＝1.4×N₂マスフローの流量表示になる のです。CFは、計算上もしくは実ガス測定によるデータの蓄積で 種々のガスについて出しておりますが、実際ガスの状態（温度、圧 力）、マスフローのセンサー方式、バイパス（層流素子）の組み合 わせにより、一つのガスでもある偏差があったり、複数存在したり することもあります。公表されておりますCFはあくまで目安的な 使い方としてお考えいただきたく思います。 CFを用いずあくまで実ガスでの校正をご希望の場合は、実ガス を提供して頂く形をとらせていただき校正を行います。その為、別 途実ガス校正料金が必要になります。ただし一部危険ガスにつきま しては、製品、設備等の関連でご希望に添えない場合もございます ので、前もって弊社までご確認下さい。 019 マスフロー（Mass Flow Controller/Mass Flow Meter）とは② 配線取り合い∼KFC standard A 電子式流量計測制御 〈 〉では、1999年より省配線対応として、各種電気配線 取り合いの標準化に取り組んでおります。現在、20SLM以下の小 流量マスフローは（特殊・コンパクトモデルをのぞく）Dsub9ピ ンのKFC standard規格へ統一されております。（図6参照）近い将 来、業界としてもマスフロー製品の電気配線取り合いは、このタイ プに統一されていくものと考えられます。お客様にて混乱が生じま せんよう、対応完了製品は本カタログ仕様欄にKFC standardと表 記しております。それ以外のコネクター規格の製品は、個々のマス フローのページにて配線取り合いをご紹介しておりますが、詳細は 製品取扱説明書を参照下さい。 図6 KFC Standard 本体コネクタ…Dsub9ピンオス 適合コネクタ…Dsub9ピンメス ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 バルブ開閉信号 流量出力信号 電源＋15V 電源 COM 電源−15V ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 流量設定信号：Hi 流量出力信号 COM 流量設定信号：Lo バルブ電圧モニタ 注意）マスフローメータの場合ピンNo.1,6,8,9はNCとなります。 仕様表記に関して 本カタログのマスフロー製品仕様表記については、基本的にSEMI standardに準じています。以下代表的な仕様の定義を説明します。 ⑴ 精度 フルスケール±○％ という形で表示しています。この値は弊 社基準流量計に対する校正基準としたガス（ N₂等）での誤差の フルスケール値に対する％値です。従って、例えばフルスケー ル50SCCMのレンジの場合、精度が±1％であれば、50× （１/100）＝±0.5SCCMの「不確かさ」で弊社基準流量に 対して保証されるという事になります。 ⑵ 繰り返し性 フルスケール±○％ という形は精度と同じです。この値は環 境条件を同一に規定した状態で設定した流量を繰り返し弊社基 準流量計で測定した値の偏差を表しています。環境条件に変化 を与えた後、値の偏差を表す再現性とは定義が異なります。 ⑶ 応答性 流量ゼロから制御を開始し、マスフローの出力がフルスケー ル98％に安定する時間で示しています。100％は、漸近線状 の場合、解析しづらい為、通常この様に表記します。 注意）流量レンジで表記します値はあくまでもN₂（ or Air）ガスを流 した場合のフルスケール（100％）値を示します。その為、同 じ流量でもガス種、圧力条件が異なると御希望の仕様のものが 作れない場合があります。前もって弊社までご確認下さい。 製品グレードに関して ⑴ ハイグレード製品 ハイグレード製品に分類されているマスフローは、半導体製造装 置等の高真空用途に適した構造のマスフローです。半導体製造で要 求される無塵仕様＝ウルトラクリーン仕様に対応したクリーンルー ムで製作されております。出荷検査でも全数パーティクルカウン ター、Heリークディテクターで検査が行われ、出荷されます。 シール材の違いによりメタルシールのマスフローコントローラ 5100、5400系列と、マスフローメータ5410系列、ラバーシー ルのマスフローコントローラ3200系列とマスフローメータ3100 系列に分かれます。フルスケール１SCCMの微少流量計測・制御が 可能なSRオプションを装着できるモデルや、0−98％応答だけで はなく、0−50％、0−10％と細かく流量全域にわたり定義する マルチポイント高速応答が可能なモデル等、高機能製品となりま す。 ⑵ スタンダード・ローコスト製品 スタンダード及びローコスト製品に分類されているマスフローは、 大気解放もしくは中圧、 （一部高圧）用途に適した構造のマスフロー です。シール材はラバーシールでマスフローコントローラ3600系列 と、マスフローメータは3700系列とローコストの3800系列に分か れます。フルスケール100SLM以上の大流量はHFC/HFM系列で対 応いたします。 ⑶ 特殊用途 マスフローは用途に応じて100℃を超えるような高温下や、 1MPa以上の高圧で使用されたり、気体ではなく液体を計測・制御 〉では、幅広い したりと様々な特殊品が必要となります。〈 お客様のご要望にお応えすべく、様々な分野の製品を自社の開発製 品、協力会社からの提供商品で取りそろえております。本カタログ 掲載製品以外の特注品、他の配管機器や配管を含んだユニット製作 等、お気軽にお声をおかけ下さい。 接続継手に関して 接続継手につきましては、フジキン社製継手群を弊社標準継手としております。他社製品を御希望される場合は別途承りますので、お問い 合せ下さい。 取付・配管 パネル等に取り付ける場合は、寸法図を参照下さい。尚、取り付けにおいて、ご不明な点がございましたら、弊社営業までご連絡下さい。 修理に関して 御使用になられた製品が経時変化等で何らかのトラブル、故障を 生じました際は、原則お預り修理対応とさせていただきます。これ はマスフロー自体が非常に微細な部品で構成された精密機器である ためです。修理対応の迅速化を図る為、製品には取扱説明書と 020 チェックシートを同梱しております。トラブル、故障を発見された 〉ま 際は、まず取扱説明書を確認いただいた上、最寄りの〈 で、チェックシートをFAX、もしくはお電話いただけますと幸いで す。 シリコンチップ型流量センサーとは 熱式流量計について シリコンチップ型流量センサーの特長 シリコンチップ型流量センサーは、小型化・高速応答・低消費電力・ 低電圧駆動を実現した流量センサーです。小型化・バッテリー駆動が 要求される可搬型ガス分析機器等、様々なガス計測・制御機器の流量 監視用の組込み型流量センサーとして御使用いただけます。 測定原理概要 あらかじめ決められた温度になるように加熱した2つの発熱抵抗素子は、ガスの流れがあった場合、上流側素子温度は低下し、下流側素子温度 は高くなります。この温度差(抵抗値の差)をブリッジ回路で検出することで質量流量の計測を行なうことができます。 A 電子式流量計測制御 気体の流量計測には差圧式、容積式、面積式、熱式、渦式、超音波式、 コリオリ式などの様々な方式の流量計が製品化されています。この中 で温度、圧力を加味した質量流量測定を直接行なえる方式は、熱式と コリオリ式です。シリコンチップ型流量センサーは、この質量流量計 測という大きな特徴をもった熱式流量計の原理を用いています。 シリコンチップ型の構造的特長 MEMS技術の恩恵 シリコンチップ型流量センサーには、 MEMS技術によりシリコン 異方性エッチングして作製されたキャビティー(空洞部)があり、これ が発熱抵抗体のセンサー外部への熱流出を防いでいます。巻線型流量 センサーの場合ではセンサーコイルに接するものとしてステンレス 製毛細管があるため、センサーコイルの発熱が毛細管へと逃げてしま いやすく、熱のロスが多いのに対して、シリコンチップ型流量セン サーでは低消費電力だけでなく高速応答も可能となります。 容易な温度補償抵抗体の作製 従来の巻線型流量センサーでは温度補償抵抗体とセンサーコイル の材質が異なり、複雑な温度補償となってしまうのに対して、シリコ ンチップ型流量センサーでは、温度補償用の抵抗体を発熱抵抗体と同 材質の白金で作製することができ、温度補償を複雑な問題を生じるこ となく行うことができます。 センサーコイル部拡大 巻線型熱式流量センサー センサーコイル 上流 下流 リード端子 断熱材 毛細管 ガス流れ 図1 巻線型熱式流量センサー シリコンチップ型流量センサー 開口部 ガス流れ 温度分布 保護膜 図2 熱式流量計と巻線型熱式流量センサー構造図 シリコン基板 ガス温度 空洞 検出用素子 上流素子 下流素子 流量検出用素子 図3 MEMS流量センサー素子断面構造 021 シリコンチップ型流量センサーとは 小型流量検出部 シリコンチップ型流量センサーは、従来の巻線型流量センサーと比 較してはるかに熱容量が小さく、巻線型のような毛細管を通じての熱 流出が少ないため、電力を供給してから、温度安定に要する時間が非 常に短く、高速に温度平衡に達します。流量変化に対しても、素子温度 は高速に追従するため、その結果、 高速流量検出が可能となります。 高速応答性 流量検出までの応答 A 40msec 性は立上がり、立下り 40msec ともに、流量信号出力 電子式流量計測制御 波 形 は 図4の よ う に、 高速で、約40msecで 安定します。 流量 赤 10%F.S. 緑 100%F.S. 図4 Model 7100NL応答特性 シリコンチップ型流量センサーとは MEMS について MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術は、微細加工 （機械加工）を施した電気的なデバイスを作製するときに最近 では多く活用されており、特に電気的特徴と機械的特徴を融合させて、目的の物理量を検出するセンサーなどに使用されています。 熱式流量センサー以外には圧力センサー 、加速度センサーなどにもMEMSが広く活用されており、さらに最近ではMEMSアクチュ エータの開発も盛んに行われています。 用途例 ポンプ 性能低下 フィルター 目詰まり 異常なし 比較出力 表示器（比較器） 〈分析ガス流量の監視〉 表示灯 1000 フィルターの目詰まり、及び吸引ポンプの性能低下の 管理 流量信号 フィルター ガスセンサー MODEL7100 00 NL 吸引ポンプ PID 調節計 設定入力 1000 （またはマイコン） ＜比例制御バルブを用いた流量制御＞ 比例制御バルブ、PID調節計と組合わせての流量制御 バルブ駆動信号 流量信号 フィルター MODEL7100 00 NL 比例制御 バルブ 表示器 ガスセンサー 1000 吸引ポンプ ＜リークセンサーとして＞ 被検体からリークしたガス流量と等しい、新たに一次 流量信号 側から補充される流量を計測することでリーク量の 大小を判定 圧力制御 バルブ 022 MODEL7100NL NL 被検体 マスフロー選定手引き マスフローコントローラ グレード表 A 5100 電子式流量計測制御 ハイグレード （メタルシール） 5400 ハイグレード （エラストマーシール） 3200 スタンダード （エラストマーシール） 3660, D3660, 7200 3665, 7200 8500, D8500 8550 スタンダード設定表示器付 （エラストマーシール） フルスケール流量 1 10 50 (単位: SCCM) 1 5 20 50 HFC303, 7900 100 (単位: SLM) 500 1000 5000 マスフローメータ グレード表 ハイグレード （メタルシール） 5410 ハイグレード （エラストマーシール） 3100 3105 3760, 7800 3765, 7800 HFM301, 7800 スタンダード （エラストマーシール） 15000 HFM200W スタンダード設定表示器付 （エラストマーシール） 8500MM, D8500MM ローコスト （エラストマーシール） フルスケール流量 8550MM 3810DS, 3810S, D3810, 7100, D7100 1 10 50 (単位: SCCM) 1 5 20 50 100 (単位: SLM) 500 1000 5000 1000 5000 液体流量センサー グレード表 FM0101 FM0102 カルマン渦式 （CE.CSA対応） (PPS） FM0103 FM0105 FM3101 カルマン渦式 （CE.CSA対応） (テフロン） FM3102 FM3103 FM3104 2F66 4F44 タービン式 (グルアミド） 4F22 F16.5 フルスケール流量 1 10 50 (単位: cc/min) 1 5 20 50 100 500 (単位: L/min) 023 経済産業省 産業クラスター計画 関西フロントランナー大賞2008受賞 チップセンサー搭載マスフローメータ MODEL 7800 A RoHS 対応品 電子式流量計測制御 MODEL7800 は、新開発のチップ型サーマルセン サーを搭載した汎用マスフローメータです。 チップ型サーマルセンサーの持つ高速応答性や高再現 性をそのままに広範囲の流量に対応しており、幅広い 分野に御使用頂けます。 近日発売 □ 成膜技術とMEMS技術を活用したチップ型サーマルセンサー搭載 □ 高速応答性・高再現性を実現 □ 流量出力の信号切り換えが可能（0∼5V；4∼20mA） □ 単電源電圧 DC24V駆動 MODEL 7800 □ 可搬型ガス分析機器への搭載に最適 ■ MODEL 7800 と従来品との違いについて 従来の巻線センサは外径0.4φ、内径0.3φのステンレスパイプに外径20μmのセンサ線を上流、下流の2箇所に巻付け、巻線の温 度が外に逃げないようにカバーした構造になっております。そのセンサを使用した代表的なマスフローメータの構造は下記、概略 構造図1の通りです。 今回、新規開発したMODEL 7800はMEMS技術を使用した半導体マイクロセンサを搭載し、本体内部をスルーフロー （内部に構 造物が無い） としたことで飛躍的にゴミの発生を改善することが可能となりました。その構造は下記の概略構造図2の通りです。 出力電圧 （0∼5V） 出力電圧 （0∼5V） 増幅回路 増幅回路 センサーパイプ ブリッジ回路 ブリッジ回路 IN （上流側） センサー部 （点線内） OUT （下流側） OUT （下流側） 巻線 （ヒーター線） バイパスキャピラリー 概略構造図1（従来型） 024 IN （上流側） 概略構造図2（7800） ■ 従来型マスフローメータと Model7800 の違い （1） 応答性向上 性能面で大きく違う点は応答時間です。従来の巻線センサでは1秒の壁はかなり高く、弊社創業以来色々と改善を試みましたが超 えることは不可能との判断でした。今回、地域新生コンソシアムを通じて新しく開発させて頂いた半導体マイクロセンサはその壁 電子式流量計測制御 をいとも簡単にそれも1/20以下の50ms（0.05秒）までの高速化を図る事に成功しました。 （波形写真1,2参照） 応答時間 0.05 秒 応答時間 1 秒 MODEL 7800 マイクロセンサの応答時間 巻線センサの応答時間 出力波形写真2（Model7800） 出力波形写真1（従来品） （2） 小型化 続いて大きな相違点はセンサ自身の大きさです。従来からの巻線センサは外形寸法で40×40mm、一方、7800用センサは固定 するのに10×20mmの寸法となっていますがセンサ自身は4×4mmと1/100の大きさです。 （下記写真 参照） マイクロセンサ 本体 4×4mm マイクロセンサ （3） エコ （低消費電力） パーティクル測定結果 従来からのセンサの消費電力は約400mWでしたが7800 なゴミ）の測定結果は0カウントでした。 （10分間測定を約 12回 （2時間連続）おこなった結果も0カウントでした。） 後 0 2 1 1 1 0 分 分 分 後 後 分 後 1 0 0 0 分 後 3 0 分 後 4 0 分 後 5 0 分 後 6 0 分 後 7 0 分 後 8 0 分 後 分 後 1 あたりの10分間における0.1μm以上のパーティクル （微細 パーティクル径 （μm） 0.4 0 切ると言う事を開発コンセプトとしており、その結果、1ft3 0 Model7800は本体内部を空洞化することで発塵源を断ち パーティクル径 （μm） 0.2 パーティクル径 （μm） 0.3 30 28 26 24 22 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 2 電力を実現しました。 （4） 清浄度 パーティクル個数 用センサの消費電力は10mWであり、なんと1/40の低消費 パーティクル径 （μm） 0.1 9 巻線センサ A 測定時間 （min） 従来の巻線式ではゼロにならなかったパーティクルが約40 分後以降は完全にゼロとなった。 025 （5） 外観寸法 センサが小型化できたことは前述の通りですが、今回本体に小型化された半導体マイクロセンサを搭載したことでマスフロー メータ全体の寸法も1/2まで小型化に成功しました。 （当社比、 但し流量により多少の大小はあります） 7800 ＜300SLM＞ MASS FLOW CONTROLLER 65 電子式流量計測制御 ＜500SCCM∼100SLM＞ 60 7800 30 15 12.5 MASS FLOW CONTROLLER 25 A 12.5 91 15 25 32 15 MODEL 7800 15 30 2-M4タップ深サ５ 27 2-M4タップ深サ５ 91 27 46 46 75 ＜500∼1000SLM＞ 7800 20 40 MASS FLOW CONTROLLER 20 91 40 42 15 2-M4タップ深サ５ 46 ■ 標準仕様 流量（F.S.) 300SLM 500SLM、 1000SLM 1：0 ー 5V 2：4 ー 20mA MODEL ❹ ❺ 出 力 ❸ 流 量 Air、N2 チップセンサー 2 ∼ 100％ 5 ∼ 100％ 300msec 500msec 1sec ± 1％ F.S. ± 2％ F.S. ± 3％ F.S. ± 5％ F.S. 0.2％/℃（15 ∼ 35℃） 0.98MPa 20℃ 0℃∼ +50℃ − 10℃∼ +60℃ 10 ∼ 90％ RH（但し、結露無き事） 4 ∼ 20mA/DC0 ∼ 5V DC24V 消費電流 100mA 24V ± 10％（リップル 5％） RoHS、CE マーキング対応 SUS303、バイトン、樹脂 1/4 F900、3/8 F900 1/2 F900、1 F900 600g 800g 1200g ❶ ❷ ❸ ❹ ❺ 7800 1 F9 N2 1SLM 1 ❶ ❷ 7800 継手 流 体 026 50SLM、 100SLM 記入例 対象ガス センサー方式 計測範囲 応答性 主仕様 精度（20℃） 温度特性 圧力 耐圧 基準温度 温度 許容動作温度範囲 許容保存温度範囲 湿度 許容動作湿度範囲 流量出力 アナログ出力 電源 定格 電源電圧許容範囲 適合規格 接ガス部材質 継手 重量 ■ 注文方法 500SCCM、 1SLM、10SLM Air、N2、Ar、He、H2、CO2 MODEL 1/2 F9 1/4 F9 3/8 F9 ＊注文・見積りの依頼は、注文方法、記入例にそって巻末の「注文・見積 り依頼カード」にご記入の上、ファックスで発注してください。 ＊弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 超小型マスフローコントローラ MODEL 7200MC RoHS 対応品 新開発のチップ型サーマルセンサーを搭載し、極限と も言える小型化を実現しました。 従来品と比べ、応答性や再現性が飛躍的に向上された、 新しいタイプの流量計です。 近日発売 A 電子式流量計測制御 □ 成膜技術とMEMS技術を活用したチップ型サーマルセン サー搭載 □ 高速応答性・高再現性を実現 □ 流量設定入力・流量出力の信号切り換えが可能(0∼5V;4∼20mA) □ 単電源電圧 DC24V駆動 □ 可搬型ガス分析機器への搭載に最適 ■ 標準仕様 バ ル ブ 方 式 バ ル ブ 動 作 流 量（F.S.) 対 象 ガ ス セ ン サ ー 方 式 制御範囲 応 答 性 制 御 精度（20℃） 再 現 性 温度係数 標準差圧 圧 力 動作差圧範囲 耐 圧 基準温度 温 度 許容動作温度範囲 許容保存温度範囲 湿 度 許容動作湿度範囲 流 量 アナログ入力 シグナル アナログ出力 定 格 電 源 電源電圧許容範囲 適 合 規 格 接 ガ ス 部 材 質 接 続 口 径 重 量 48 7200 25 MASS FLOW CONTROLLER 70 (50) 10 10 10 27.5 27.5 取付ビス穴 2-M3, 深さ3 ■ 注文方法 ❻ 信 号 ❺ 圧 力 Rc1/4 ❹ 流 量 MODEL 7200MC ❷ 流 体 ❸ ❶ 比例ソレノイド 非通電時-閉（N.C.) 50SCCM、500SCCM 5SLM、10SLM 20SLM Air、 N2、 Ar、 He、 H2、 CO2 チップセンサー 2∼100％ 1sec ±1％F.S. ±2％F.S. 0.2％F.S. 0.2％／℃（15∼35℃） 500kPa（入口：500kPa 出口：0kPa）ゲージ圧力 L：150∼400kPa、M：350∼650kPa、H：600∼900kPa 980kPa 20℃ 0℃∼+50℃ −10℃∼+60℃ 10∼90％RH （但し、 結露無き事） 4∼20ｍA：DC0∼5V 4∼20ｍA：DC0∼5V DC24V 消費電流350ｍA 24V±10％ （リップル5％） RoHS、 CEマーキング対応 真鍮 NBR 樹脂 SUS Rc1/4 800ｇ 800ｇ 1000ｇ ■ 配線取合 Dsub9ピンオス 記入例 ❶ MODEL 7200MC ❷ ❸ ❹ ❺ Rc1/4 N2 20SLM L ❻ 入力 出力 1 0−5V 0−5V 2 4−20mA 4−20mA ＊注文・見積りの依頼は、注文方法、記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カー ド」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ピン No 1 2 3 4 5 信号名称 強制開閉入力 流量信号出力 電源 24V 入力 電源 COM ＮＣ ピン No 6 7 8 9 信号名称 流量設定信号入力 流量信号出力 COM 流量設定信号入力 COM ＮＣ 027 MODEL 7200MC ■ 寸法図 大流量マスフローコントローラ MODEL 7900MC 近日発売 □ 成膜技術とMEMS技術を活用したチップ型サーマルセン サー搭載 □ 高速応答性・高再現性を実現 □ 流量設定入力・流量出力の信号切り換えが可能（0∼5V；4∼20mA） □ 単電源電圧 DC24V駆動 300SLM用寸法図 ■ 標準仕様 バ ル ブ 方 式 比例ソレノイド バ ル ブ 動 作 非通電時-閉（N.C.) 流 量 （F.S.) 300SLM 500SLM 1000SLM 対 象 ガ ス Air、 N2 セ ン サ ー方 式 チップセンサー 制御範囲 2∼100％ 5∼100％ 応 答 性 1sec 2sec 制 御 精度（20℃） ±1％F.S. ±3％F.S. ±5％F.S. 再 現 性 0.2％F.S. 温度係数 0.1％／℃（15∼35℃） 動作差圧範囲 100∼300kPa 150∼300kPa 圧 力 耐 圧 980kPa 基準温度 20℃ 温 度 許容動作温度範囲 0℃∼+50℃ 許容保存温度範囲 −10℃∼+60℃ 湿 度 許容動作湿度範囲 10∼90％RH （但し、 結露無き事） 流 量 アナログ入力 4∼20ｍA：DC0∼5V シグナル アナログ出力 4∼20ｍA：DC0∼5V 定 格 DC24V 消費電流350ｍA 電 源 電源電圧許容範囲 24V±10％ （リップル5％） 適 合 規 格 RoHS、 CEマーキング対応 接 ガ ス 部 材 質 SUS303、 バイトン、PTFE 継 手 3/8 F900 1/2 F900 120 124.5 MODEL 7900MC ■ 寸法図 7900 34 108 163.6 ±1 24.5 電子式流量計測制御 MODEL7900MC は、新開発のチップ型サーマルセ ンサー搭載した大流量用マスフローコントローラで す。チップ型サーマルセンサーの持つ高速応答性や高 再現性により、幅広い分野に御使用頂けます。 15 A RoHS 対応品 20 2- M4， 深サ5 68 ■ 注文方法 MODEL 7900MC ❺ 3/8 F9 ❷ ❸ ❹ 3/8 F9 N2 300SLM ❷ 信 号 記入例 ❶ ❺ 流 量 MODEL 7900MC ❹ 流 体 ❸ ❶ 入力 ■ 配線取合 2 4−20mA 4−20mA ＊注文・見積りの依頼は、注文方法、記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カー ド」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ＊弊社標準以外の継手についても対応します。 （オプション） 028 Dsub9ピンオス 出力 1 0−5V 0−5V ピン No 1 2 3 4 5 信号名称 強制開閉入力 流量信号出力 電源 24V 入力 電源 COM ＮＣ ピン No 信号名称 6 流量設定信号入力 7 流量信号出力 COM 8 流量設定信号入力 COM 9 ＮＣ 分析用マスフローバルブ MODEL FC100 RoHS 対応品 MODEL FC100は、新開発のチップ型サーマルセン サーと低ヒステリシスを実現した超小型ソレノイドバ ルブで構成されたマスフローバルブシステムです。 市販のPID制御装置等でのガス流量制御に最適です。 近日発売 A 電子式流量計測制御 □ 新開発チップ型サーマルセンサー使用 □ ヒステリシス15％以内の 低ヒステリシスバルブMODEL2900搭載 □ 超小型・軽量化を実現 □ DC24V単一電源駆動 MODEL FC100 ■ 寸法図 50 FC100 ■ 標準仕様 25 MASS FLOW VALVE バ バ 流 対 セ 制 60 27.5 (40) 10 圧 取付ビス穴 2-M3， 深さ3 ■ 注文方法 Ｌ：150 ∼ 400kPa Ｍ：350 ∼ 650kPa H：600 ∼ 900kPa 継 手 ❶ ❷ MODEL FC100 Rc1/8 ❹ 圧 力 FC100 流 量 MODEL 記入例 ❷ ❸ ❹ ❺ N2 5SLM L 流 体 ❸ ❶ ブ ブ 量 象 ン サ 御 制 応 センサー部 再 温 10 27.5 10 ル ル ❺ ＊注文・見積りの依頼は、 注文方法、 記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カード」 に ご記入の上、 ファックスで発注してください。 方 式 動 作 （F.S.) ガ ス ー方 式 御 範 囲 答 性 現 性 度 係 数 比例ソレノイド 非通電時-閉（N.C.) 50SCCM、500SCCM、5SLM Air、 N2、 Ar、 He、 H2、 CO2 チップセンサー 2∼100％ 1sec 0.2％F.S. 0.1％／℃（15∼35℃） L:150∼400kPa 標 準 差 圧 M:350∼650kPa 力 H:600∼900kPa 耐 圧 基 準 温 度 温 度 許容保存温度範囲 湿 度 許容動作湿度範囲 流量シグナル アナログ出力 定 格 電 源 電源電圧許容範囲 適 合 規 格 接 ガ ス 部 材 質 接 続 口 径 重 量 0.98MPa 20℃ −10℃∼+60℃ 10∼90％RH（但し、結露無き事） DC0.5∼3.0V DC24V 消費電流300ｍA 24V±10％ （リップル5％） RoHS、 CEマーキング対応 真鍮、NBR、 樹脂 Rc1/8 約400g ■ 配線取合 コネクタ：IL-S-6P（JAE） ピンNo. 信号名称 1 センサー出力 2 センサー出力COM 3 +24V 4 電源COM 5 ソレノイド操作入力 6 ソレノイド操作入力COM 029 デジタルマスフローセンサー MODEL D7100 A RoHS 対応品 電子式流量計測制御 MODEL D7100は、 MODEL 7100NLに 対 し て 高 精度温度補償、高精度リニアライズ補償をデジタル回 路で行なっています。 高精度かつ、低電圧DC5Vで駆動可能なので、様々な 用途に御使用いただけます。 近日発売 □ 成膜技術とMEMS技術を活用した小型・高速応答流量セン サー搭載 □ 流量変化の高速検出 300msec □ 単電源低電圧駆動 DC5V駆動 □ デジタル回路による高精度温度補償、高精度リニアライズ 補償 ■ 標準仕様 25 44 1.7 12.5 70 27.2 31 15 MODEL D7100 ■ 寸法図 12 46 ■ 注文方法 ■ 配線例 ❸ 流 量 D7100 流 体 ❷ ❶ MODEL 流 量（F.S.) N2換 算 対 象 ガ ス セ ン サ ー 方 式 計 測 範 囲 応 答 性 度 主仕様 精 圧 力 特 性 繰り返し性 圧 力 損 失 圧 力 使用圧力範囲 耐 圧 基 準 温 度 温 度 許容動作温度範囲 許容保存温度範囲 湿 度 許容動作湿度範囲 流 量 出 力 信 号 所 要 電 源 適 合 規 格 接 ガ ス 部 材 質 接 続 口 径 4：Vout 負荷 3：流量 COM 記入例 MODEL ❶ ❷ ❸ D7100 N2 1SLM ＊注文・見積りの依頼は、 注文方法、 記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カード」 に ご記入の上、 ファックスで発注してください。 030 1：Vcc 2：電源 COM 200SCCM 1SLM、5SLM、10SLM、20SLM Air、N2、Ar チップセンサー 2∼100％ 300msec ±1％F.S.以下（温度影響誤差・直線性誤差含む） 0.4％F.S./100kPa 以下 ±0.5％F.S. 5kPa以下 0∼700kPa 980kPa 20℃ +5℃∼+45℃ −10℃∼+60℃ 10∼90％RH（結露なき事） DC0.5∼3.0V DC5V（±5%） 消費電流20ｍA RoHS対応 アルミ、バイトン、PC樹脂、PTFE 9/16−18UNF 5.0 圧損 3.0 A 電子式流量計測制御 2.0 1.0 0.0 0 5 10 15 20 流量(SLM) MODEL D7100 圧力損失例 MODEL D7100 応答特性例 4000 2.0 Vout 3000 1.0 3000 1.0 2500 0.5 2500 0.5 2000 0.0 2000 0.0 1500 -0.5 1500 -0.5 1000 -1.0 1000 -1.0 500 -1.5 500 -1.5 出力(mV) 3500 精度(%F.S.) 1.5 直線性誤差 -2.0 0 50 100 150 0 200 -2.0 0 50 流量(SCCM) 150 200 膜式流量計流量値(SCCM) Model D7100 流量特性 25℃ Model D7100 流量特性 4000 Vout 2.0 Vout 3500 1.5 直線性誤差 45℃ 4000 2.0 3500 100 1.5 直線性誤差 3000 1.0 2500 0.5 2500 0.5 2000 0.0 2000 0.0 1500 -0.5 1500 -0.5 1000 -1.0 1000 -1.0 500 -1.5 500 -1.5 0 出力(mV) 1.0 精度(%F.S.) 3000 -2.0 0 50 100 150 200 流量(SCCM) 0 精度(%F.S.) 0 1.5 直線性誤差 精度(%F.S.) Vout 3500 出力(mV) 20℃ Model D7100 流量特性 2.0 4000 MODEL D7100 5℃ Model D7100 流量特性 出力(mV) 圧損 (kPa) 4.0 -2.0 0 50 100 150 200 流量(SCCM) MODEL D7100 直線性誤差例 031 マスフローセンサー MODEL7100NL A 電子式流量計測制御 MODEL7100NLは、小型化・高速応答・低消費電力・ 低電圧駆動を実現した流量センサーです。小型化・バッ テリー駆動が要求される可搬型ガス分析機器等、様々 なガス計測・制御機器の流量監視用の組込み型流量セ ンサーとして御使用いただけます。 □ 成膜技術とMEMS技術を活用した 小型・高速応答流量センサー搭載 □ 流量変化の高速検出 □ 微小流量変化の高感度検出 □ 低消費電力 約20mW □ 単電源低電圧駆動 DC5V駆動 ■ 寸法図 ■ 標準仕様 約0.65 9 9 19 38 32 19 6 取付ビス穴 2-M3深サ5 20 14 20.6 MODEL7100NL □ 可搬型ガス分析機器への搭載に最適 流 量（F.S.) 対 象 ガ ス セ ン サ ー方 式 計 測 範 囲 応 答 性 出 力 電 圧 使 用 温 度 保 存 温 度 耐 圧 電 源 電 圧 消 費 電 流 直 線 性 温 度 特 性 再 現 性 圧 力 損 失 外 形 寸 法 接 続 口 径 ケ ー ブ ル 取 付 姿 勢 重 量 200SCCM 2SLM Aiｒ、 N2 チップセンサー 1∼100％ 60msec以下 DC0.5∼3.0V 0∼50℃（精度保証温度：5∼45℃） −20∼80℃ 0.3MPa DC4.5∼5.5V 5mA以下 非リニア ±3.0％F.S. ±0.8％F.S. 0.8kPa以下 21W×32D×38H Rc1/8 （コネクタ）モレックス51021（付属） 指定なし 57g以下 ■ 配線例 ■ 注文方法 黄：Vout 流 量 MODEL ❹ 記入例 ❶ ❷ 7100NL Rc1/8 流 体 ❸ ❶ ❷ ❸ ❹ 7100NL Rc1/8 N2 200SCCM 負荷 黒：流量COM ＋ MODEL ＊注文・見積りの依頼は、 注文方法、 記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カード」 に ご記入の上、 ファックスで発注してください。 032 赤：Vcc ー 白：電源COM デジタル マスフローコントローラ MODEL D3660 RoHS 対応品 アナログ版MODEL3660をベースに、センサーを高 精度化し、デジタル化を施しました。従来品と比べ精 度・応答性が飛躍的に向上しており、多様な機能を搭載 しております。 近日発売 A 電子式流量計測制御 □ マイクロプロセッサ内蔵による高機能化 □ 従来品 （アナログ方式）との電気的互換性を確保 □ 汎用通信機能を標準装備（RS485準拠） □ デバイス番号の設定が可能 □ 優れた安定性 □ コマンド操作による多彩な機能搭載 （パターン設定、異常検知機能等） ■ 寸法図 ■ 標準仕様 F.S.流 量（ N₂ 換 算 ） セ ン サ 方 式 バルブアクチュエータ方式 バ ル ブ 方 式 制 御 範 囲 95 100 制 圧 温 12.7 湿 76 計 122.8±1 32 電 適 19 38 御 力 応 答 性 精 再 耐 現 度 性 圧 動 作 差 圧 使 用 温 度 精度保証温度 度 許容動作湿度 流量出力信号：アナログ 流量入力信号：アナログ 装 通信形式 通信 コネクター 定 格 電 源 源 電源電圧許容範囲 電 気 接 続 合 規 格 度 2-M4, 深さ4 接 ガ ス 部 材 質 ■ 注文方法 圧 力 流 量 MODEL D3660 継手 流 体 MODEL D3660 継 取 重 付 姿 手 勢 量 10SCCM∼20SLM 熱式巻線センサー ソレノイドノーマリークローズ ポペットバルブ 2％∼100％F.S. 設定：FSの6∼100％…設定値の±2％に1秒以内 設定：FSの2∼5％……設定値の±2％に3秒以内 ±1.0％F.S.以内（＠20℃） ±0.2％F.S.以内（＠20℃） 0.98MPa FS≦5SLM 49∼294kPa 5＜FS≦20SLM 98∼294kPa 0℃∼50℃ 15℃∼35℃ ±0.05％ F.S./℃ 10％∼90％（但し結露しないこと） 入出力信号：0∼5VDC 入出力信号：0∼5VDC RS485：通信速度9600bps 6ピンモジュラージャック DC ＋15V：100mA ー15V：200mA DC±15V ±10％（リップル5％） Dsub9ピンオス KFC standard RoHS CE フッ素ゴム、PTFE、SUS316、 クロロプレンゴム（オプション） 1/4F900、RC1/4、1/4UJR 指定なし 800g Rc1/4 1/4F9 1/4UJR ※外形図はお問い合わせください。 ※注文・見積りの依頼は、注文方法、記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、 ファックスで発注してください。 033 MODEL D3660 □ オートゼロ機能装備 表示器付デジタルマスフローコントローラ / メータ MODEL D8500 A RoHS 対応品 電子式流量計測制御 デジタル処理により、従来品と比べ精度・応答性等が飛 躍的に向上しました。 操作系をシンプルにし、扱いやすくすると共に、多彩な 機能を搭載しております。 近日発売 □ マイクロプロセッサ内蔵による高機能化 □ 従来品 （アナログ方式）との電気的互換性を確保 □ 汎用通信機能を標準装備（RS485準拠） □ デバイス番号の設定が可能 □ 多彩なアプリケーション搭載 □ コマンド操作による多彩な機能搭載（パターン設定、時間軸 パターン設定など） □ CF値によるガス種対応 ■ 寸法図 135 ■ 標準仕様 12.7 76 16 L ±1 37 18.5 MODEL D8500 □ オートゼロ機能装備 継手 L寸法[mm] 122.6 1/8F900 126.6 1/4F900 131.6 3/8F900 123 1/4UJR 102 Rc 1/4 19 38 2- M4， 深サ4 MC：コントローラ MM：メータ 継手 0：一体型 Rc1/4 S1：分離 1m 1/4F9 S3：分離 3m 1/4UJR S5：分離 5m 1 圧 力 S 流 量 0 D8500MM 流 体 MODEL D8500MC シグナル ■ 注文方法 入 力 出 力 0−5V 0−5V 2 4−20mA 4−20mA 3 0−5V 4 4−20mA 4−20mA 0−5V ※注文・見積りの依頼は、 注文方法、 記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、 ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 034 F.S.流 量（N2 換 算）10SCCM∼20SLM セ ン サ 方 式 熱式巻線センサー バルブアクチュエ−タ方式 ソレノイドノ−マリ−クロ−ズ バ ル ブ 方 式 ポペットバルブ 制 御 範 囲 2％∼100％F.S. ＦＳの６∼１００％F.S範囲で、設定値 応 答 性 の±２％ＦＳに１秒以内 ＦＳの２∼５％ＦＳの範囲は、3秒以内 制御 精 度 ±1.0％F.S.以内（＠20℃） 再 現 性 ±0.2％F.S.以内（＠20℃） 温 度 係 数 ０． ０５％/℃ （１５∼３５℃） 耐 圧 ０.９８MPa 動 作 差 圧 50kPa∼300kPa 圧力 50kPa未満 （可能圧力につきまして 低差圧オプション は、 別途お問合せください。） 基 準 温 度 ２０℃ 温度 使 用 温 度 0℃∼50℃ 湿度 許 容 動 作 湿 度 10％∼90％（但し結露しないこと） 流量出力信号：アナログ 入出力信号：①０∼５Ｖ／②４∼２０ｍＡ 選択 流量入力信号：アナログ 入出力信号：①０∼５Ｖ／②４∼２０ｍＡ 選択 流量設定（ＳＶ値） 偏差（上下限：任意） アラーム：イベント① アラーム（オープンコレクタ出力 Max35V：50mA） 計装 積算設定 アラーム アラーム：イベント② （オープンコレクタ出力 Max35V：50mA） 通 信 形 式 RS485:通信速度9600bps 通信 オフセット（ゼロ点） ：±１０１mV以上 オートゼロ 異常 （通信：パラメータ／本体：アラームランプ） 適 合 規 格 RoHS CE 定 格 DC２４V 消費電流 ３００ｍA 電源 電源電圧許容範囲 ２４V±10％(リップル５％） フッ素ゴム、PTFE、 SUS316、 接 ガ ス 部 材 質 クロロプレンゴム（オプション） 継 手 Rc1/4、 1/4F900、 1/4UJR 取 付 姿 勢 指定なし 重 量 約1000ｇ MODEL D8500 分離型タイプ−表示部− 44 MODEL D8500 分離型タイプ−本体部− A 12.7 0.8 28.8 電子式流量計測制御 105±0.2 82 94 76 L±1 18.5 16 37 19 38 2- M4， 深サ4 MODEL D8500 RS-485通信線構成例 MODEL D8500を使用した通信システムの構成例。 1台のLogging PCで最大31台をロギング・操作が可能。 （通信終端抵抗は搭載しております。ON/OFF可） 最大１00m 通信コントローラ Ａ MODELD8500 I D=1 MODELD8500 I D=2 MODELD8500 I D=n 最 大 31台 TRx19P IN TRx＋ 18P IN TRx_COM 20PIN Ａ部詳細 035 表示器付マスフローコントローラ / マスフローメータ MODEL 8500 A RoHS 対応可 電子式流量計測制御 MODEL8300の後継機種として24V単一電源で使 用できるマスフローコントローラ/メータです。 表示部のView Point変更・パターン設定など従来機種 にはない機能を搭載しており、耐ノイズ性が飛躍的に 向上しております。姉妹機種として表示設定器部を分 離できるモデルも準備しております。 □ ハイリフトアクチュエータにより大流量を小さなボディで実現 □ 表示設定器搭載でDC24V単一電源のみで動作が可能 □ RS232C/RS485通信機能、積算機能が標準で装備 □ 14ビットコンバータ搭載により4・1/2桁での表示・操作が可能 □ センサー発熱部がガスと非接触の為、可燃性ガスの流量制御が可能 □ SV設定に加え、5種類のパターン設定が可能 □ オートゼロ、オートクローズ機能搭載 ■ 標準仕様 135 ■ 寸法図 12.7 76 16 L ±1 37 継手 L寸法[mm] 1/8"F900 122.6 1/4"F900 126.6 3/8"F900 131.6 1/4"UJR 123 Rc 1/4 102 18.5 MODEL 8500 □ 取付姿勢を選ばない 19 2- M4， 深サ4 38 MC：コントローラ MM：メータ 継手 0：一体型 Rc1/4 S1：分離 1m 1/4F9 S3：分離 3m 1/4UJR S5：分離 5m 1 入 力 出 力 通信形式 0−5V 0−5V 1 RS232C 2 4−20mA 4−20mA 3 圧 力 S 通 信 0 流 量 8500MC 8500MM 流 体 MODEL シグナル ■ 注文方法 0−5V 4 4−20mA 2 RS485 4−20mA 0−5V ※注文・見積りの依頼は、 注文方法、 記入例にそって巻末の 「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、 ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 036 F.S.流 量（N2換 算） 10SCCM∼20SLM セ ン サ 方 式 熱式巻線センサー バルブアクチュエータ方式 ソレノイドノ−マリ−クロ−ズ バ ル ブ 方 式 ポペットバルブ 制 御 範 囲 2％∼100％F.S. 応 答 性 0→98％F.S. 2秒以下 制 御 精 度 ±1.5％F.S.（＠20℃） 再 現 性 ±1.0％F.S.（＠20℃） 耐 圧 980ｋPa F.S.≦5SLM 49∼294kPa 圧 力 動 作 差 圧 5＜F.S.≦20SLM 98∼294kPa 低差圧オプション 2ｋPa∼149ｋPa 使 用 温 度 0℃∼50℃ 温 度 精度保証温度 15℃∼35℃ ±0.2F.S./℃ 湿 度 許容動作湿度 10％∼90％（但し結露しないこと） ①標準キー入力②外部設定入力 設 定 方 法 ③パターンキー入力（5パターン） 流量設定 設 定 入 力 ①0V∼5V ②4ｍA∼20ｍA（任意指定） 流量出力 出 力 範 囲 ①0V∼5V ②4ｍA∼20ｍA（任意指定） 表 示 方 法 7セグメントLED4桁 積算表示0000∼9999 流量表示 指 示 精 度 ±0.1％ RS485 通 信 RS232C アラ−ム出力：2 出 力 数 （オープンコレクタ出力 Max35V：50mA） アラ−ム 分 解 能 1mV（1digit） 定 格 DC24V 消費電流300ｍA max 電 源 電源電圧許容範囲 DC24V±10％ （リップル5％） バイトン、PTFE、 SUS316、 接 ガ ス 部 材 質 ネオプレン （オプション） 継 手 Rc1/4、 1/4F900、 1/4UJR 取 付 姿 勢 指定なし 重 量 約1200ｇ ＊入出力信号①0V∼5V ②4mA∼20mAは注文時にご選択ください。 ※30∼100SLMの8550タイプについてはお問い合せ下さい。 MODEL8500 分離型タイプ−表示部− MODEL8550（大流量用） 1 44 MODEL8500 分離型タイプ−本体部− A 12.7 149 0.8 28.8 電子式流量計測制御 105 ±0.2 82 94 18.5 15 76 L±1 16 37 38 2- M4， 深サ4 24.5 19 108 L ±1 17 37 68 2- M4， 深サ5 MODEL 8500 20 RS-485通信線構成例 MODEL D8500を使用した通信システムの構成例。 1台のLoggig PCで最大31台をロギング・操作が可能。 （通信終端抵抗は搭載しております。ON/OFF可） 最大100m 通信コントローラ Ａ MODEL8500 ID=1 MODEL8500 ID=2 MODEL8500 ID=n 最大 31台 TRx19P IN TRx＋ 18P IN TRx_COM 20PIN Ａ部詳細 037 スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 A RoHS FAX SERIES 対応品 注文可 電子式流量計測制御 MODEL3660 シリーズは、コンパクト & ローコス トをメインテーマとしたマスフローコントローラで す。大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、 真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、 多彩な派生機種、オプションを用意しております。 □ 改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し高速 応答を実現 □ 安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用 □ ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保 □ 燃焼ガス制御用の低差圧仕様（LP オプション） ９５（１２０） １００（１２５） ■ 標準仕様 3660 MASS FLOW CONTROLLER FLOW 12.7 （１５） ７６（１０８） L ３２ （３４） １８． ５ 継手 １９ （２０） （２４.５） MODEL 3660 SERIES ■ 寸法図 ３８ （６８） L寸法 （mm） 1／8 F900 １２２． ８（−） 1／4 F900 127.4（159.4） 1／4 UJR 123.8（155.8） Rc 1／4 １０２（１３４） 3／8 F900 130.4（162.4） ２−M４深サ４（５） （ ） 内寸法は3665 ■ 注文方法 型式 3660:標準 3665:大流量 ＊印は各仕様において共通の項目です 0 オプション名 Dsub9ピン KFC standardピン配列 記入例 MODEL 3660 1/4UJR N2 100SCCM 0 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 038 ■ 配線取合 量 体 1/4F9 1/8F9 1/4UJR 1/4 3/8F9 その他 流 3660 3665 流 MODEL オプション 0:オプションなし オプション名: NR ̶ ネオプレンシール MP ̶ 294kPa∼784kPa 1/4F9:1/4 F900 LP ̶ 低差圧仕様 1/8F9:1/8 F900 継手 1/4UJR:1/4UJR 1/4:Rc1/4 その他:オプション対応 流 量 レ ン ジ 10SCCM∼20SLM （3660） （N2 換 算 ） 30SLM∼100SLM （3665) バルブ方式＊ ノーマリクローズ、ソレノイド、ポペットバルブ 2∼100%F.S. （3660） 制 御 範 囲 5∼100%F.S. （3665) 応 答 性 0−100%F.S.応答 2sec.以下 within±2%、typical 精 度 ±1.5%F.S.以内（±2.0%F.S.以内） （@20℃） 繰り返し性＊ ±0.5%F.S.以内（@20℃） F.S.≦5SLM 49∼294kPa 動 作 差 圧 ＊LP（低差圧）仕様はガス、流量により差があります 5<F.S.≦20SLM 98∼294kPa（147kPa∼294kPa） 耐 圧 ＊ 980kPa リークレート＊ 1×10−8Pa・㎥/s以下（Heの透過は含まない） 使 用 温 度 5∼45℃（精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS316 バルブシート:バイトン 接ガス部材質 オプション:ネオプレン NBR シール材：バイトン オプション：ネオプレン NBR 標準：1/4 F900 （3/8 F900） 継 手 ＊ オプション：1/8F900、1/4UJR、Rc1/4、その他 電 気 接 続 ＊ Dsub9ピンオス KFC standard SEMI standard準拠 流量設定入力信号 0∼5VDC 流量出力信号＊ 0∼5VDC 所 要 電 源 ＊ +15VDC（±5%）100mA−15VDC（±5%）200mA 接 続 口 径 9/16−18UNF 重 量 800g ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 バルブ開閉入力 流量出力0∼5V 電源+15VDC 電源COM 電源−15VDC ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 流量設定入力：Hi 流量出力COM 流量設定入力：Lo バルブ電圧出力 ハイグレード マスフローコントローラ MODEL 3200 FAX SERIES 注文可 MODEL3200シリーズは、半導体、液晶、燃焼、分 析、バイオ等幅広い分野で実績を誇る3910シリー ズの後継機として設計された新型マスフローコント ローラです。新しいコフロック・スタンダードにふさ わしいハイパフォーマンスモデルです。 A 電子式流量計測制御 □ 温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精 度、高速応答を実現 □ 安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用 □ CF切り替え機能によるマルチガス対応 □ ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリューム を低減 □ 燃焼ガス制御用の低差圧対応（LPオプション） ■ 標準仕様 １２６ １３０． ５ ■ 寸法図 3200 MASS FLOW CONTROLLER １３ FLOW １６ ７６ L ３８ L寸法 （mm） １２７．４ 1／8 F900 １２２．８ 1／4 UJR １２３．８ Rc 1／4 １０２ １８． ５ 継手 1／4 F900 １９ ３８ ２−M４深サ５ ■ 注文方法 オプション 0：オプションなし オプション名：NR ̶ ネオプレンシール SR ̶ 1SCCM/5SCCM 1/4F9:1/4 F900 LP ̶ 低差圧仕様 1/8F9:1/8 F900 継手 1/4UJR:1/4UJR 1/4:Rc1/4 流 量 1/4F9 1/8F9 1/4UJR 1/4 体 3200 流 MODEL 0 オプション名 流量レンジ（N2 換算） 10SCCM∼20SLM ノーマリクローズ、ソレノイド、 バルブ方式 ダイヤフラムシートバルブ 制 御 範 囲 2∼100％F.S. 応 答 性 0−100%F.S. 1sec.以下（withi n±2%、typical） 精 度 ±1.0%F.S.以内@20℃ 直 線 性 ±0.5%F.S.以内@20℃ 繰 り 返 し 性 ±0.2%F.S.以内@20℃ F.S.≦ 5SLM 49∼294kPa 動 作 差 圧 ＊LP（低差圧）仕様はガス、流量により差があります 5＜F.S.≦20SLM 98∼294kPa 耐 圧 980kPa リークレート 1×10−8Pa・㎥/s以下（Heの透過は含まない） 使 用 温 度 0∼50℃（精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS316L ダイヤフラム：SUS316 接ガス部材質 バルブシート：PTFE シール材：バイトン（オプション： ネオプレン） （NBR） 標準：1/4 F900 継 手 オプション：1/8 F900、1/4UJR、Rc1/4 電 気 接 続 Dsub9ピンオス KFC standard（SEMI standard準拠） 流量設定入力信号 0∼5VDC 流 量 出 力 信 号 0∼5VDC 所 要 電 源 ＋15VD C（±5% ）100mA , −15VDC（±5%）200mA 接 続 口 径 9/16−18UNF 重 量 1000g ■ 配線取合 Dsub9ピン KFC standardピン配列 記入例 MODEL 3200 1/4F9 N2 1SLM 0 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 バルブ開閉入力 流量出力0∼5V 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 流量設定入力：Hi 流量出力COM 流量設定入力：Lo NC 039 MODEL 3200 SERIES □ F.S. 1SCCMの微少流量対応（SRオプション） ローコストメタルシール マスフローコントローラ／マスフローメータ MODEL 5400 A FAX SERIES 注文可 電子式流量計測制御 MODEL5400シリーズは、半導体プロセスガス制御 に要求される溶接レス構造、メタルシール、精度≦ ±1％、応答性≦1秒等の基本性能をクリアし、なお かつ画期的なコストダウンを実現したマスフローコ ントローラです。同じボディ設計のマスフローメータ MODEL5410シリーズもラインナップします。 □ 温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精 度、高速応答を実現 □ ソレノイド・ノーマリークローズバルブを採用 □ 溶接レス構造、メタルシール化により低リーク □ ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリューム た構成 ■ 標準仕様 １１２ ）， １３１ （１０２ 、０SLM（N ） （４） （５SLM（N ２） ２） ■ 寸法図 5400 MASS FLOW CONTROLLER FLOW １２． ７ ７６ １２４ ３６ １８． ５ MODEL 5400 SERIES を低減 □ 面間・ボディ寸法、配線取り合いは他社置き換えに対応し ３８． １ ２−M４深サ ５ ■ 注文方法 オプション 型式 5400：マスフローコントローラ 5410：マスフローメータ 0：オプションなし オプション名：QS ̶ クイックスタート SL ̶ スロースタート 継手 1/4UJR 1/4UJR 流 5400 流 MODEL 0 オプション名 流量レンジ（N2 換算） 10SCCM∼20SLM ノーマリクローズ、ソレノイド、 バルブ方式＊ ダイヤフラムシートバルブ 制 御 範 囲 ＊ 2∼100%F.S. 0−100%F.S. 1sec.以下（Set Point±2%、typical以下） 応 答 性 ＊ QSオプション適用時は0−100%∼0−20%応答まで1sec.以下 精 度 ±1.0%F.S.以内@20℃ 直 線 性 ±0.5%F.S.以内@20℃ 繰 り 返 し 性 ±0.2%F.S.以内@20℃ F.S.≦5SLM 49∼294kPa 動 作 差 圧 ＊ ＊LP（低差圧）仕様はガス、流量により差があります 5＜ F.S.≦20SLM 98∼294kPa 耐 圧 980kPa リークレート 1×10−11Pa・㎥/s以下 使 用 温 度 0∼50℃（精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS316L ダイヤフラム：Ni-Co 接ガス部材質 バルブシート：PTFE シール材：Ni, SUS 316L 継 手 1/4UJR相当品 電 気 接 続 ＊ Dsub9ピンオスKFC standard（SEMI standard準拠） 流量設定入力信号＊ 0∼5VDC 流量出力信号 0∼5VDC 5400：＋15VDC（±5%）100mA,−15VDC（±5%）200mA 所 要 電 源 5410：＋15VDC（±5%）100mA,−15VDC（±5%）100mA 重 量 1000g ＊印の項目はマスフローコントローラMODEL5400のみに適用されます。 量 体 ■ 配線取合 Dsub9ピン KFC standardピン配列 記入例 MODEL 5400 1/4UJR N2 100SCCM 0 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 040 ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 バルブ開閉入力 流量出力0∼5V 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 流量設定入力：Hi 流量出力COM 流量設定入力：Lo バルブ電圧出力（5400のみ） ＊マスフローメーターは2番、 3番、 4番、 5番、 7番のみ。 ハイグレードメタルシール マスフローコントローラ MODEL 5100 FAX SERIES 注文可 MODEL5100シリーズは、従来ご好評頂いた3440 の後継機種にあたり、基本性能を更に向上させマルチ レンジに対応した製品です。外観はコンベンショナ ルなMFCですが、センサードライブ方式を改良し、 3440で 評 価 さ れ た ゼ ロ ド リ フ ト を さ ら に 低 減 さ せ、低レンジでの応答性を改良しました。 A 電子式流量計測制御 □ 各設定レンジにおける制御・応答性が向上 □ 設定電圧に対する追従性が向上（ランピング仕様に対応） □ マルチレンジに対応するためのレンジ変換機能を搭載 □ バルブを最適化することで各レンジにおける制御分解機能 ■ 寸法図 ■ 標準仕様 モード設定スイッチ 126 130.5 コンバージョンファクタ 設定スイッチ 5100 13 MASS FLOW CONTROLLER FLOW 76 16 124 38 ■ 注文方法 オプション 0：オプションなし オプション名：KP ̶ 内面研摩 （Ra≦0.1） SU ̶ SUSシール （COガス対応） SR ̶ 1SCCM, 5SCCM QS ̶ クイックスタート 継手 1/4UJR SL ̶ スロースタート その他：オプション対応 LP ̶ 低差圧仕様 MP ̶ 294kPa∼784kPa 1/4UJR その他 流 5100 流 MODEL 0 オプション名 5100 1/4UJR N２ ■ 配線取合 Dsub9ピン KFCstandardピン配列 量 体 記入例 MODEL 流量レンジ（N2 換算） 10SCCM∼20SLM ダイヤフラムシートバルブ バ ル ブ 方 式 （ソレノイド、ノーマリークローズ） 制 御 範 囲 2−100％F.S. 0−100％F.S. 1sec以下 応 答 性 （within±2％、 typical） 精 度 ±1.0%F.S．以内@20℃ 直 線 性 ±0.5%F.S．以内@20℃ 繰 返 し 性 ±0.2%F.S．以内@20℃ 使 用 温 度 0∼50℃（精度保証範囲：15℃∼35℃） F.S．≦5SLM 49kPa∼294kPa、 動 作 差 圧 5<F.S．≦20SLM 98kPa∼294kPa 耐 圧 980kPa 接 ガ ス 部 材 質 SUS316L、 Au、 PTFE 継 手 標準1/4UJR相当、オプション1/4F 900 リ ー ク レ ー ト 1×10−11Pa・㎥/s（He）以下 設 定 入 力 信 号 0∼5VDC 流 量 出 力 信 号 0∼5VDC ±15VDC±5％、 ＋側約100mA、 電 源 −側約200mA 取 付 方 向 自由 重 量 1000g 100SCCM 0 ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 バルブ開閉入力 流量出力0∼5V 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 流量設定入力：Hi 流量出力COM 流量設定入力：Lo NC ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 041 MODEL 5100 SERIES が向上 オートプレッシャコントローラ MODEL 9100 A FAX SERIES 注文可 電子式流量計測制御 MODEL9100シリーズは、圧力センサにより圧力 制御を行うマスフローコントローラをベースとした APC（ Auto Pressure Controller）で、制御バルブ には当社で実績のあるソレノイドバルブを採用してま す。センサーの設定位置を変更することにより、入口 側／出口側の圧力制御が可能でありマスフローコン トローラとの併用は勿論、単体使用でもプロセスパ フォーマンスが発揮出来る様に開発した製品です。 □ 各設定レンジにおける制御・応答性が向上 □ 応答速度2段切換可能 □ ダイヤフラムシートバルブの採用によりデッドボリウムを低減 □ 面間：ボディ寸法（面間）は他社置き換えに対応した構成 ■ 寸法図 ■ 標準仕様 モード設定スイッチ 126 130.5 圧力定数 設定スイッチ 9100 13 ＡＵＴＯ ＰＲＥＳＳＥＲ CONTROLLER FLOW 26 MODEL 9100 SERIES □ ソレノイド・ノーマリークローズバルブ採用 34 42 76 A 継 手 A 1/4 F900 126.6 1/8 F900 122.6 1/4 UJR 123 Rc 1/4 102 ■ 注文方法 0.5SLM 1.0SLM 2.0SLM その他 （オプション） 別途相談 型式 9100 型式 F−入口圧制御 B−出口圧制御 流 力 量 9100R（継手1/4UJR、 1/4F900、 その他） 圧 1/4UJR その他 体 F 流 MODEL 9100R 1:49kPa 2:0∼98kPa 3:0∼343kPa 4:0∼490kPa 記入例 MODEL 9100R F 1/4UJR N2 1 0.5SLM ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 042 使 用 可 能 流 体 非腐食性気体 測 定 方 式 拡散型半導体歪ゲージ ダイヤフラムシートバルブ バ ル ブ 方 式 （ソレノイド、ノーマルクローズ） 制 御 範 囲 2∼100％F.S. 0−100％F.S. 3sec 応 答 時 間 1 （システム時定数を除く） 応 答 時 間 2 0−100％F.S. 約6sec 0.5SLM/1SLM/2SLM（圧力条件：1次 調圧バルブ流量 圧50kPa、2次圧大気開放、N2相当） 調 圧 精 度 ±1.5%F.S. 温 度 影 響 ±0.1%F.S./℃ 直 線 性 ±0.5%F.S．以内 繰 返 し 性 ±0.2%F.S. 使 用 温 度 0∼50℃ 耐 圧 F.S.圧力の2倍 SUS316、SUS430、ガラス、PTFE、フッ素ゴム、 接ガス部の材料 シリコン単結晶、Bs＋Niメッキ 1/4UJR、 1/4F900、 1/8F900、 継 手 3/8F900、 Rc1/4 リ ー ク レ ー ト 1x10−8Pa・㎥/s（Heの透過は含まない） 圧 力 設 定 信 号 0.1∼5VDC 圧 力 出 力 信 号 0∼5VDC ±15VDC±2％、 ＋側約100mA、 電 源 −側約200mA 取 り 付 け 姿 勢 自由 重 量 1000g ■ 配線取合 Dsub9ピン KFCstandardピン配列 ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 バルブ開閉入力 圧力出力0∼5V 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 圧力設定入力：Hi 圧力出力COM 圧力設定入力：Lo NC 大流量用 マスフローコントローラ HFC-303 FAX SERIES 注文可 HFC-303は、大流量制御のために開発されたソレノ イド式パイロットバルブ＋エア駆動式流量制御バルブ の組み合せにより、従来では難しかった大流量での高 精度ガス制御を可能にしたマスフローコントローラで す。幅ひろい産業分野で採用実績を持つHFC-203シ リーズの後継機として、更なる高精度、高速応答を実 現したニューモデルです。 A 電子式流量計測制御 □ 2段式制御バルブで1000SLMまでの大流量に対応 □ 大流量マスフローでも高精度±1.0％を実現 □ 従来機種を上回る高速応答性能を確保 ■ 寸法図 ■ 標準仕様 15PIN "D" CONNECTOR (STANDARD) 19.8 25.4 119.4 ZERO SPAN 25.4 25.4 "Ｂ" 50.8 38.1 63.5 "Ｃ" ＜300SLM 1/2F900 6.35 "Ａ" ８−３２ ＵＮＣ 深サ６ ＞300SLM 3/4F900 HFC-303 1/2"FITTING HFC-303 3/4"FITTING FITTING TYPE DIM"A" FITTING TYPE DIM"A" SWAG. 1/2"W NUT 7.56(197.6) SWAG. 3/4"W NUT 8.44(214.4) DIM"B" 5.36(136.1) DIM"B" 5.76(146.3) DIM"C" 1.36(34.5) DIM"C" 1.56(39.6) ■ 注文方法 オプション 0:オプションなし オプション名: HP ̶ 高圧仕様 （1MPa） 継手 1/2F9:1/2F900 300SLMまで 3/4F9:3/4F900 300SLM以上 注意 正確な流量計測を行うために、 マスフローの前後は配管径と同径の直管 部を設けて下さい。 特に1次側は300mm以上の直管で配管して下さい。 出口圧力 0.3 MPa 0.1 MPa オプション 入口圧力 100 SLM 記入例 流 量 1/2F9 3/4F9 流 体 MODEL HFC-303 MODEL HFC-303 1/2F9 N2 流量レンジ（Air 換算） F.S.100∼1000SLM ノーマリクローズ、 バ ル ブ 方 式 ソレノイド＋空圧2段バルブ 制 御 範 囲 2∼100%F.S. 0−100%F.S. 3sec．以下 応 答 性 （within±2% typical） 精 度 ±1%F.S.以内 繰 り 返 し 性 ±0.25%F.S.以内 動 作 差 圧 個別対応 耐 圧 3.4MPa （HPオプション時6.8MPa） 1×10−7Pa・㎥/s以下 リークレート （Heの透過は含まない） 使 用 温 度 15∼35℃ ボディ：SUS316、 Ni、 SUS302 接 ガ ス 部 材 質 バルブシール：バイトン シール材：バイトン 標準：1/2F900、 （F.S.>300SLM 継 手 の場合は3/4F900） オプション：3/4F900 電 気 接 続 Dsub15ピンオス 注意）配線取合参照 流量設定入力信号 0∼5VDC 流 量 出 力 信 号 0∼5VDC 所 要 電 源 ±15VDC （±5% ）150mA 0 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） ■ 配線取合（D-sub 15PIN） PIN 1 2 3 4 5 6 7 8 信号名称 NC NC NC NC 信号COM 出力信号0−5V NC バルブ強制閉 PIN 9 10 11 12 13 14 15 信号名称 電源−15VDC NC 電源＋15VDC 電源COM NC 設定信号 NC 注意 3150/3250/3350/3450シリーズのD-sub15ピンとHFC/HFMシリ ーズのD-sub15ピンは配線取合が異なります。 誤って接続すると故障の原因となります。 043 HFC-303 SERIES □ 1000SLMを超える大流量対応については、お問合せ下さい 表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 3810DS A RoHS FAX SERIES 対応品 注文可 電子式流量計測制御 MODEL3810DSは 実 績 の あ る ロ ーコ ス ト マ ス フ ローメータMODEL3810をベースに新たに開発され た表示器一体型マスフローメータです。 駆動電源は、従来の±15VDC電源からDC24V単一 電源に変更し利便性を向上させるとともに、表示器に は警報接点を設け機能性も向上させています。 また、流量センサと精密ニードルバルブを一体化し低 価格・省スペースで流量制御を実現したモデルもご用 意いたしました。 □ 精密ニードルバルブ装着で微少流量制御・監視 □ 小型軽量！コンパクト、マスフローメータ □ 表示器付のため、DC24V 電源の結線のみで使用可能 □ マスフロー（質量流量）なので面倒な温度・圧力による流 量補正計算不要で表示器の流量を直読できます ■ 寸法図 ■ 標準仕様 セ ン サ 方 式 流量レンジ（N2 換算） 精 度 耐 圧 リークレート 使 用 温 度 接ガス部材質 12.5 38 56 (40) 70 接 所 108 27 7 56 続 要 口 電 径 源 10 アラーム出力数 2-M3,深さ3 3810DS ニードルバルブ付き 熱式巻線センサー 10SCCM∼20SLM 30∼100SLM ±2％F.S.以内@20℃ ±3％F.S.以内@20℃ 980kPa 1×10−7Pa・㎥/s以下 5∼45℃（精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS303、 テフロン シール材：バイトン オプション：ネオプレン 標準：Rc1/4（その他はご相談ください） DC24V±5％ NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格：DC30V 50mA ＊ケーブル接続 コネクタ：3810DS側 ケーブル側 AMP171826-5 AMP171822-5 ■ 注文方法 ※ 56 出 口 圧 ※ 入 口 圧 量 Rc1/4 1/4F9 流 V: ニードルバルブ有 O: ニードルバルブ無 継手 体 V O 流 MODEL 3810DS 記入例 12.5 27 70 7 3810DS V RC1/4 O2 5SLM 30kPa ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） ※ニードルバルブ有の場合のみ、⑥＋⑦が必要。 2-M3,深さ3 3810DS 044 MODEL 7 56 10 MODEL 3810DS SERIES □ 流量監視用アラーム 2 点出力 0kPa ハイグレード マスフローメータ MODEL 3100 FAX SERIES 注文可 MODEL3100シリーズは、MODEL3200シリーズ をベースにして開発された高精度流量測定用新型マス フローメータです。圧力損失の少ない新方式の細管流 量センサーの採用で、高速応答と長期安定性を確保し たハイグレードモデルです。 A 電子式流量計測制御 □ 温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精 度、高速応答を実現 □ CF切り替え機能によるマルチガス対応 □ F.S.1SCCM の微少流量対応（SR オプション） (4.5) ■ 標準仕様 応 126(140) 精 3100 13(17) MASS FLOW ＭＥＴＥＲ 使 76(108) 38(36) 18.5(25.4) 16(18) Ｌ L寸法（mm） 継 手 MODEL 3100 3105 1/4F900 127.4 159.4 1/8F900 122.8 154.8 1/4UJR 123.8 155.8 RC1/4 102 直 繰 耐 リ FLOW 接 継 38(68) 2-Ｍ4 深サ5 電 134 流 ■ 注文方法 所 オプション 0:オプションなし オプション名: NR ̶ ネオプレン SR ̶ 1SCCM/5SCCM 1/4F9:1/4F900 3100:標準 継手 1/8F9:1/8F900 型式 3105:大流量 1/4UJR 1/4:Rc1/4 10SCCM∼20SLM/3100 30SLM∼100SLM/3105 答 性 1sec.以下 ±1.0%F.S.以内/3100 度 ±1.5%F.S.以内/3105 線 性 ±0.5%F.S.以内 り 返 し 性 ±0.2%F.S.以内 圧 980kPa 1×10−8Pa・m3/s以下 ークレート （Heの透過は含まない） 用 温 度 0∼50℃（精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS316L、SUS316、PTFE ガス部材質 シール材：バイトン（オプション：ネオプレン） 標準：1/4F900 （3/8F900） 手＊ オプション：1/8F900、 1/4UJR、 Rc1/4 Dsub9ピンオス KFC standard 気 接 続 （SEMI standard準拠） 量 出 力 信 号 0∼5VDC ＋15VDC（±5％）100mA, 要 電 源 −15VDC （±5％）100mA 続 口 径 9/16−18UNF 流量レンジ（N2 換算） 接 ＊（ ）は3105 ■ 配線取合 1/8F9 1/4F9 1/4UJR 1/4 流 量 3100 流 体 MODEL 0 オプション名 記入例 MODEL 3100 1/4F9 N2 100SCCM Dsub9ピン KFC standardピン配列 ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 NC 流量出力0∼5V 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 NC 流量出力COM NC NC 0 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 045 MODEL 3100 SERIES ■ 寸法図 スタンダード マスフローメータ MODEL 3760 A RoHS FAX SERIES 対応品 注文可 電子式流量計測制御 MODEL3760シリーズは、MODEL3660シリーズ をベースに開発されたコンパクト＆ ローコストマス フローメータです。大学、研究所の研究開発用途か ら、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として開 発されました。 □ 改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し高速 応答を実現 □ コンパクトボディで設置場所を選びません □ DPM-100との組み合わせで警報出力（流量監視） □ CR-500との組み合わせで流量積算（消費量管理） ■ 標準仕様 10SCCM∼20SLM/3760 30SLM∼100SLM/3765 答 性 2sec以下typical 度＊ ±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）@20℃ 圧 980kPa 1×10−8Pa・㎥/s以下 ークレート （Heの透過は含まない） 用 温 度 5∼45℃（精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS316 ガス部材質 シール材：バイトン（オプション：ネオプレン） 標準：1/4F900 （3/8F900） 手＊ オプション：1/8F900、 1/4UJR、 Rc1/4、 その他 気 接 続 Dsub9ピンオス KFC standard 量 出 力 信 号 0∼5VDC ＋15VDC ±5% 100mA, 要 電 源 −15VDC ±5% 100mA 続 口 径 9/16−18 UNF 量 650g 流量レンジ（N2 換算） 応 精 耐 95(120) 100(125) リ 3760 MASS FLOW METER FLOW 使 接 12.7 (１５) 継 ７6(108) L 32 (34) １８． ５ MODEL 3760 SERIES ■ 寸法図 19 (20) （ ） 内寸法は3765 38 (68) 継手 L寸法 （mm） １／８ F900 122.8(ー) １／４ F900 127.4(159.4) １／４ UJR 123.8(155.8) Rc １／４ 102(134) ３／８ F900 130.4(162.4) ２−M4深サ5 オプション 0：オプションなし オプション名:NR̶ネオプレンシール 型式 3760:標準 3765:大流量 1/4F9:1/4F900 1/8F9:1/8F900 継手 1/4UJR 1/4 :Rc1/4 3/8F900（3765のみ） その他 :オプション対応 3760 1/4F9 1/8F9 1/4UJR 1/4 3/8F9 その他 流 体 流 量 0 オプション名 3760 1/4F9 N2 100SCCM 0 記入例 MODEL ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 046 所 接 重 ＊（ ）は3765 ■ 注文方法 MODEL 電 流 ■ 配線取合 Dsub9ピン KFC standardピン配列 ピンNo. 1 2 3 4 5 信号名称 NC 流量出力0∼5V 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC ピンNo. 6 7 8 9 信号名称 NC 流量出力COM NC NC 大流量用 マスフローメータ HFM-301 FAX SERIES 注文可 HFM301シリーズは、1000SLMまでのガス流量の 正確な測定が可能です。また、高圧使用に対応可能な 設 計（標 準：3.4MPa、 オ プ シ ョン：6.8MPa） に なっており、幅ひろい産業分野での使用に高い信頼性 を提供します。 A 電子式流量計測制御 □ 0∼5Vのリニア流量出力信号 □ 大流量を高精度計測 □ 従来機種を上回る高速応答 □ コンパクトなサイズで省スペース化に貢献 ■ 標準仕様 流量レンジ（Air 換算） 応 答 性 精 度 耐 圧 15 PIN "D" CONNECTOR (STANDARD) 119.4 ZERO SPAN 25.4 25.4 リークレート 25.4 25.4 "Ｂ" 50.8 50.8 63.5 ＞300SLM 3/4F900 HFM-301 1/2FITTING HFM-301 3/4FITTING DIM"A" FITTING TYPE DIM"A" SWAG. 1/2"W NUT 6.31(165.9) SWAG. 3/4"W NUT 6.99(177.5) DIM"B" 4.11(104.4) DIM"B" 4.31(109.5) DIM"C" 1.36(34.5) DIM"C" 1.56(39.6) ■ 注文方法 オプション 0:オプションなし オプション名:HP高圧仕様 （300SLM 以下） 継手 1/2F9:1/2F900 3/4F9:3/4F900 （300SLM 以上） 度 手 流 量 使用圧力 オプション 1/2F9 AIR 100 SLM 4.5 MPa HP 注意 正確な流量計測を行うために、マスフローの前後は配管径と同径の直管 部を設けて下さい。特に 1 次側は 300mm 以上の直管で配管して下さい。 ■ 配線取合（D-sub 15PIN） PIN 1 2 3 4 5 6 7 8 信号名称 NC NC NC NC 信号COM 出力信号0−5V NC NC PIN 9 10 11 12 13 14 15 信号名称 電源−15VDC NC 電源＋15VDC 電源COM NC NC NC 注意 3150/3250/3350/3450シリーズのD-sub15ピンとHFC/HFMシリー ズのD-sub15 ピンは配線取合が異なります。 誤って接続すると故障の原因となります。 記入例 1/2F9 3/4F9 流 体 MODEL HFM-301 温 電 気 接 続 流量出力信号 所 要 電 源 ８−３２ ＵＮＣ 深サ６ ＜300SLM 1/2F900 用 接ガス部材質 継 6.35 38.1 "Ａ" "Ｃ" FITTING TYPE 使 100∼1000SLM 3sec.以下 （typical） ±1%F.S.以内 3.4MPa （HPオプション時6.8MPa） 1×10−7Pa・㎥/s以下 （Heの透過は含まない） 15∼35℃ ボディ：SUS316、 Ni シール材：バイトン 標準：1/2F900、 （F.S.>300SLM の場合は3/4F900） オプション：3/4F900 Dsub15ピンオス 注意）配線取合参照 0∼5VDC ±15VDC （±5%）60mA MODEL HFM-301 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ※弊社標準以外の継手についても対応致します。 （オプション） 047 HFM-301 SERIES ■ 寸法図 低圧力損失大流量 マスフローメータ MODEL HFM-200W/LS SERIES A FAX 注文可 電子式流量計測制御 MODEL HFM-200W/LSシリーズは大流量のガス 流量計測が可能なマスフローメータです。HFM-200 にラミナーフローエレメントを装着することで、マス フローメータでは難しい15000SLMまでの大流量 を低圧損で測定できます。 □ ラミナーフローエレメントによるダブルバイパス構造で大 流量計測が可能 □ 供給圧力がとれないラインでの低圧損測定が可能 □ 大流量でも± 1 ∼ 5％の高精度計測 □ 0 ∼ 5VDC のアナログ流量出力は計測記録、制御、警報 等様々な応用が可能 MODEL HFM-200W/LS SERIES □ マスフロー（ 質量流量）なので面倒な温度・圧力による流 量補正計算は不要 ■ 標準仕様 共通仕様 ラミナーフローエレメント種別流量対応表 流量レンジ（Air 換算） ラミナーフローエレメント種別流量対応表参照 応 答 性 6sec.以下 精 度 ±1∼5%F.S.以内 耐 圧 3.4MPa リ ー ク レ ー ト 1×10−7Pa・㎥/s（Heの透過は含まない） 使 用 温 度 15∼35℃ 接 ガ ス 部 材 質 接 続 電 気 接 続 流 量 出 力 信 号 所 要 電 源 ボディ：SUS316、 Ni シール材：バイトン 標準：ラミナーフローエレメント種別流 量対応表参照 オプション：スムースエンド（接続未加工 ＝直管のままお渡し） Dsub15ピンオス 注意）配線取合参照 0∼5VDC ±15VDC（±5%）50mA ラミナー型式 LS-3 （S） LS-4F/S LS-6F/S LS-8F/S 接続 3” NPT 4” フランジ 6” フランジ 8” フランジ 対応F.S.流量（AIR ） 1500SLM 3000SLM 6000SLM 15000SLM ＊外形図面は機種毎に別途御確認下さい。 ＊接続はスムースエンド（直管）でもお受けできます。ラミナー型式 末尾に -S を付けて御発注下さい。 注意 正確な流量測定を行うためにラミナーフローエレメントの前後には、ラミナー直径 の5倍以上の同径の直管部を設けて下さい。 ■ 注文方法 ■ 配線取合（D-sub 15PIN） 接続 ラミナー:ラミナー型式 S:スムースエンド オプション 0:オプションなし オプション名:NR:ネオプレン仕様 ラミナー S 流体 流量 使用圧力 オプション MODEL HFM-200W/LS S AIR 1500SLM 5MPa NR 記入例 MODEL HFM-200W/LS ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」にご記入の上、 ファックスで発注してください。 048 PIN 1 2 3 4 5 6 7 8 信号名称 NC NC NC NC 信号COM 出力信号0−5V GND NC PIN 9 10 11 12 13 14 15 信号名称 電源−15VDC NC 電源＋15VDC 電源COM NC NC NC 注意 3150/3250/3350/3450 シリーズの D-sub15 ピン と HFC/HFM シリーズの D-sub15 ピンは配線取合が 異なります。 誤って接続すると故障の原因となります。 ローコスト マスフローセンサー MODEL 3810S RoHS FAX SERIES 対応品 注文可 MODEL3810Sシリーズは、上級機種のバイパスキャピ ラリ方式の質量流量センサーの基本構造を受け継ぎ、機器 組込用を前提として徹底した合理化により誕生したロー コストマスフローセンサーです。従来フロート式（テー パー管）流量計の代替品として、多くのセットメーカーで の採用実績をもつコフロックのベストセラーです。 A 電子式流量計測制御 □ ローコストながら定電流温度差検出方式の流量センサーと バイパスキャピラリ方式を採用した本格派 □ フロート式流量計にせまるコストを実現 □ 0 ∼ 5VDC のアナログ流量出力は計測記録、制御、警報 補正計算は不要 ■ 寸法図 ■ 標準仕様 約5.4 （48） 45 （27） 22 86 流量レンジ（N2 換算） 精 度 繰 り 返 し 性 耐 圧 使 用 温 度 3810 MASS FLOW CONTROLLER FLOW 接ガス部材質 (15) 56 10 15 取付ビス穴 2ーM3深さ4 （ ） 内寸法は50SLM ■ 注文方法 【型式】 【継手】 1/4 流 体 流 量 MODEL 1/4 N2 100SCCM 記入例 MODEL 3810S 3810S 接 続 口 流量出力信 所 要 電 重 径 号 源 量 10∼2SLM 3∼50SLM ±2.0%F.S.以内@20℃ ±5.0%F.S.以内@20℃ ±0.5%F.S.以内@20℃ 980kPa 5∼45℃（精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS303,PTFE シール材：バイトン 標準：Rc1/4 0∼5VDC ＋15VDC（±5%）40mA,−15VDC（±5%）10mA 250g 350g ■ ケーブル接続 No.1 No.2 No.3 No.4 No.5 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC 流量出力0∼5VDC 流量出力COM 注意 3810シリーズのピンアサインは2000年3月より変更されています。旧 タイプとの互換性はありませんので御確認下さい ＊コネクタ3810側 ケーブル側 AMP171826-5 AMP171822-5 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ■ 配線例 DPM-3 PSK-2TFX CC-TFX-xxM CP-TFX-xxM 3810S 049 MODEL 3810S SERIES 等様々な応用が可能 □ マスフロー（質量流量）なので面倒な温度・圧力による流量 ローコストデジタルマスフローメータ MODEL D3810 A RoHS FAX SERIES 対応品 注文可 電子式流量計測制御 D3810シリーズは基本構造こそ従来品のMODEL 3810を引継いでおりますが、新型センサを搭載し、 内部にCPUを使用した全く新しいデジタルマスフ ローメータで低流量から大流量までのワイドレンジが この1台でカバーできます。 □ ローコストながらバイパスキャピラリ方式を採用した高精 度マスフローメータ □ デジタル制御方式ならではのワイドレンジ仕様 □ 外形寸法は MODEL3810 をひと回り小さくしたコンパ クト設計 ■ 標準仕様 約5.4 5 48 1 Ｄ3810 MASS FLOW ＳＥＮＳＯＲ 25 MODEL D3810 SERIES ■ 寸法図 FLOW 70 28 ■ 注文方法 流量レンジ（N2 換算） 50SLM 25∼50SLM：±3%RD @20℃ 精 度 0∼25SLM ±3%FS 繰 り 返 し 性 ±0.5％ （F.S.） 耐 圧 980kPa 使 用 温 度 5∼45℃ （精度保証：15∼35℃） ボディ：SUS303,PTFE 接ガス部材質 シール材：バイトン 接 続 口 径 標準：Rc1/4 流 量 出 力 信 号 0∼5VDC 所 要 電 源 ＋15VDC（±5％）60mA，−15VDC（±5％）60mA 重 量 500g ■ ケーブル接続 【型式】 MODEL D3810 【継手】 1/4 流 体 No.1 No.2 No.3 No.4 No.5 記入例 ＊コネクタ3810側 ケーブル側 D3810 1/4 電源＋15VDC 電源COM 電源−15VDC 流量出力0∼5VDC 流量出力COM AMP171826-5 AMP171822-5 N2 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 ■ 配線例 DPM-3 PSK-2TFX CC-TFX-xxM CP-TFX-xxM D3810 050 液体用小型カルマン渦流量計 FM0101・0102・0103・0105 SERIES FAX 注文可 小型カルマン渦流量計FMシリーズは、冷却水洗浄水 をはじめとする液体の流量測定・監視に最適です。ボ ディ材質にはPPS 樹脂を使用しており、信頼性・耐 久性にも優れています。 A 電子式流量計測制御 □ シンプル設計でデッドスペースを最小化 □ 微少流量（0.5L/min）の測定が可能 □ PPS樹脂採用により小型軽量かつ堅牢 □ 純水，薬液（耐酸、耐アルカリ）対応可能 □ CEマーキング取得 ■ 標準仕様 FM0101-S-S-P ケーブル長 １2.5 約2000 表示器なし FM0105-S-S-P 表示器なし 45 12 ａ 約2000 53 Ｘ （接続部） ａ 30 Ｌ 40 28.05 49 2-Tr56.1×2.5 使用上の注意 本体及び取り付けネジは、 樹脂につき過大な締め付 けトルクを加えないよう にご注意下さい。 10 a 45 56.1 a L 注意 指定なき外形寸法公差 ：±0.8 指定なき外形寸法以外の寸法公差：±0.4 ■ 注文方法 MODEL FM01 流量レンジ （PPS） 01 02 03 05 S 出力 P N /K S=4−20mA P＝パルス D=4−20mA＋表示器 型 式 FM0101 FM0102 FM0103 FM0105 寸 法（ a ） 17.8 17.8 17.8 32.5 寸 法（ L ） 80.6 80.0 80.0 110.0 接 続 部（X） R3/8 R1/2 R1/2 28A（35A配管担当） 流 量 レ ン ジ 0.5∼4L/min 2∼16L/min 4∼40L/min 10∼150L/min 測 定 流 体 冷却水、 洗浄水など 測 定 精 度 ±3%F.S.以内 再 現 性 ±0.5%F.S.以内 Sタイプ：4∼20mA 出 力 Pタイプ：パルス（オープンコレクタ） （表示器なしの場合のみ） Dタイプ：表示器付 電 源 電 圧 12∼24VDC 流 体 温 度 0∼70℃ 耐 圧 1MPa 周囲温度範囲 0∼50℃ 周囲湿度範囲 5∼90%RH 防塵・防水規格 IP64 （JIS C0920、防まつ構造） 接液部材質 PPS/ PPS/ガラス30％混入 ガラスなし （Oリング）バイトン 表示器なし：2m端末処理済予備ハンダ付け ケ ーブ ル 長 表示器付き：3m端末処理済予備ハンダ付け 表示器なし：85g （本体） 165g（本体） 重 量 表示器付き：100g（本体） 205g（本体） ■ 測定原理 流れの中に障害物（柱状物体、渦発生体）を置くと、その後方には規 則的なカルマン渦が発生します。このカルマン渦の発生周波数は、所 定の範囲では流速に比例します。本渦流量計はこの原理を応用したも ので有り、渦発生周波数を渦検出器（圧電素子）で検出して信号処理 回路により体積流量に比例した信号を出力します。 渦発生体 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 渦検出体 カルマン渦 圧電素子 051 ・ 0102 ・ 0103 ・ 0105 SERIES FM0101 ■ 寸法図 液体用小型カルマン渦流量計 FM31（テフロン：PFA）SERIES A FAX 注文可 電子式流量計測制御 流れの中に障害物（柱状物体、渦発生体）を置くと、 その後方には規則的なカルマン渦が発生します。 このカルマン渦の発生周波数は、所定の範囲では流速 に比例します。 本渦流量計はこの原理を応用したもので有り、渦発生 周波数を渦検出器（圧電素子）で検出して信号処理回 路により体積流量に比例した信号を出力します。 □ 可動部が無く、信頼性、耐久性に優れており、また取付姿 勢の誤差が有りません □ 流路には渦発生体と渦検出器があるだけというシンプルな していないので各種液体プロセス監視には最適です □ ボディ材質は、PPS、PFAと2種類有り、パーティクルフ リーです □ グローバル仕様対応（CEマーキング取得） □ MODEL31シリーズは接液部オールテフロン、0リングレ ■ 標準仕様 ケーブル長さ 約3000 ■ 寸法図 13 26 40 ケーブル長さ 約2000 45 205±2 52 45 26 205±2 40 流れの中に障害物（柱状物体、渦発生体）を置くと、その後方には規 則的なカルマン渦が発生します。このカルマン渦の発生周波数は、所 定の範囲では流速に比例します。本渦流量計はこの原理を応用したも ので有り、渦発生周波数を渦検出器（圧電素子）で検出して信号処理 回路により体積流量に比例した信号を出力します。 ■ 注文方法 渦発生体 MODEL FM31 流量レンジ （PFA） 01 02 03 04 P 出力 X P /K 渦検出体 S=4−20mA P＝パルス D=4−20mA＋表示器 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 052 型 式 FM3101 FM3102 FM3103 FM3104 流量レンジ（L/min） 0.4∼4 2∼20 5∼50 10∼100 1/2" 3/4" 1" 3/8" 接 続 部 チューブエンド チューブエンド チューブエンド チューブエンド 測 定 流 体 超純水・薬液等 液体 測 定 精 度 ±3%F.S. ＋1digit 再 現 性 ±0.5%F.S．以内 液 体 温 度 0∼90℃（凍結、 沸騰しないこと） 周 囲 温 度 0∼50℃ 表示：3桁LED 表示器付 電流出力：4∼20mA（リニア） 出 力 警報出力：オープンコレクタ（LED2個max80mA 30VDC） 電流出力：4∼20mA（リニア） 表示器無 パルス出力：オープンコレクタ（max 10mA 30VDC） 電 源 電 圧 12∼24VDC ボディー オールテフロン（PFA）、Oリングレス 材 質 カバー ポリブチレンテレフタレート樹脂（PBT） ケーブル 導体：錫メッキ裸軟銅線、シース：耐熱耐寒性POC（塩化ビニール）、長さ：2m付 ■ 測定原理 13 ︶ SERIES PFA スで半導体プロセスの液体流量監視に最適です 58.2 ︵テフロン FM31 構造で、圧力損失が小さく液漏れが少ない。検出器が接液 カルマン渦 圧電素子 液体用小型流量センサー VISION 2000 FAX SERIES 注文可 VISION2000シリーズはケーシング内の小型タービ ンが流量に比例して回転し、ケーシング上部に埋め込 まれているマグネットピックアップコイルに作動して パルスを出力するものです。各種液体に対応可能なの で幅広い分野で使用されています。 A 電子式流量計測制御 □ 小型で軽量（重量15g）、どこにでも取付け可能 □ 低粘度から高粘度まで対応可能 □ 高級素材の使用（グルアミド TR55） □ メンテナンス不要 □ 高性能、低価格 ■ 標準仕様 2.8 5.0 13.5 55.0 17.0 流量レンジ 8.0 P / L SW17 使用温度範囲 使用最高圧力 接 続 部 電 源 電 圧 消 費 電 力 アナログ出力 ケーシング 材質 タービン ベアリング ケーブル色 ビジョン2000 ‒ 体 度 性 ■ 結線図例 ＋（茶） + 流 現 _+ 電気配線 式 精 再 R 3/8" 5.0 22.5 31 6.3 10.0 型 2F66 4F44 4F22 F16.5 水、 海水、 純水、 ガソリン、 軽油、 灯油、 各種溶剤、 その他各種液体 0.5∼5 1∼10 2.5∼25 3.5∼35 L/min L/min L/min L/min ±1.5%F.S.以内 ±0.2%F.S.以内 6900 3300 1000 750 パルス/L パルス/L パルス/L パルス/L −20∼100℃ 2.45MPa R3/8インチ DC5∼24V 8mA （最大20mA） 電圧パルス （オープンコレクタ） グリルアミドTR55 グリルアミドTR55 PTFE15％グラファイト ＊粘度対応 16CP以下、16CPを越える流体については別途お問合せく ださい。 S（白） ビジョン2000（標準） ■ 注文方法 −（緑） 型式 ■ 圧力損失表 VISION2000 P (bar) F 16. 16.55 5 F16. 1.2 1 記入例 0.8 ２F66 ４F44 ４F22 F16.5 4F22 4F22 0.6 0.2 VISION 2000 4F44 4F44 0.4 0 0 4F44 2F66 2F66 3 6 9 12 15 16 21 24 27 30 33 36 39 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り 依頼カード」にご記入の上、ファックスで発注してください。 流量( /min) 053 VISION 2000 SERIES ■ 寸法図 流量表示器 MODEL ALM-4・ACM-10・DPM-3・DPM-243 デジタルコンパレータ ALM-4 瞬時流量、積算流量表示ユニットACM-10 マスフローの流量信号を受 け、2 つ の 設 定 値 に 対 し、 HI、GO、LO の 論 理 接 点 信 号 を 出 す、 マ イ コ ン 搭 載 の デジタルメータリレーです。 フォトカプラおよびリレー接 点として信号取り出しができ ます。 A 入 力 信 号 出 力 接 点 容 量 電 源 DC0∼5V流量信号 フォトカプラメーク接点、 リレー無電圧a接点、HI、GO、LO3接点 フォトカプラコレクタ電流5mA、 リレーAC250V 1A MAX DC＋5V ■ 寸法図 瞬時流量および積算流量を表 示するユニットです。コンパ クト設計で DIN96 × 48 の パネルカットに対応していま す。ガス消費量の監視等にな くてはならないものです。流 量のスケーリングは固定式で すので表示流量レンジを御指 定下さい。 瞬時流量表示 積算流量表示 積算流量桁上げ 電 源 信 号 入 力 7セグメントLED3・1/2桁 7セグメントLCD6桁カウント表示 瞬時流量表示の1桁目0.1ccより DC＋5V DC0∼5V ＊フルスケール流量により、 最小流量が変わりますので御相談下さい。 ■ 寸法図 100 72 68 +0.7 −0 45 48 +0.7 −0 ＋0.5 −0 9.5 68 12 96 ＋0.5 −0 92.5 92 パネルカット寸法 パネルカット デジタルフローインジケータDPM-3 瞬時、積算流量表示ユニット DPM-243／244 マスフローコントローラ／マスフローメータ用の流量表示器 で、 流量を 3・1/2 桁直続（標準）もしくは、1000 フルスケー ル表示します。 表 電 取 示 源 付 7セグメントLED、3・1/2桁直続 DC＋5V パネルマウント オープンコレクタ／電圧パルス入力用の DPM-243 は VISION 2000 などのパルス出力タイプの流量計とセットで、アナロ グ電流／ 電圧入力用の DPM-244 は小型カルマン過流量計と セットでご使用頂く事で、瞬時／積算流量値を表示します。 表 電 取 ■ 寸法図 示 源 付 7セグメントLED、4・1/2桁直続 DC＋24V パネルマウント ■ 寸法図 64.0 48 6.5 ＜パネルカット寸法と取り付け間隔＞ +0.8 45 -0 50 2 T MODE DISP RST 40以上 35 24 ＋0.5 −0 45 1 22.5 +0.3 -0 7.5 MODEL DPM−３ 48 SLM + - A . OUT (OP) 55以上 42.5 054 S.IN DC12V OUT GND + - パネルカット GND 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1011 12 POW . IN DC24V EXT 36.5 OUT2 ６ COM ＋0.5 −0 92.5 96 OUT1 ・ ACM-10 ・ DPM-3 ・ DPM-243 MODEL ALM-4 号 72 電子式流量計測制御 信 FAX 注文可 ※前面部の防塵・耐水性 （ＩＰ６６） でご使用される場合は、 付属のゴムパッキンをご使用ください。 警報機能付き高機能 流量設定表示器 MODEL DPM-100 FAX 注文可 DPM-100は、PSK-FBシリーズとセットでご使用 いただくことでマスフローコントローラ、マスフロー メータの流量設定、流量表示が可能なデジタル式流量 設定表示器です。48×48のコンパクトサイズは、ガ スライン制御パネルの省スペース化に貢献します。流 量警報機能も装備し、コストパフォーマンスに優れる ユニットです。 A 電子式流量計測制御 ■ 寸法図 □ W：48×H：48サイズで多系統のガスライン制御パネルレ イアウトに最適 フラットケーブルコネクタ □ 上下限警報出力機能（2点） を装備 48 120 45＋0.6 −0 KOFLOC DPM−１００ ＋0.6 45−0 □ 電源電圧はPSK-FB シリーズから供給されるためケーブル P１ 48 P２ 一本で簡単配線 SV M RES パネルカット 注意 DPM-100はPSK-FBシリーズ専用ユニットです。2001年10月以 前のPSK-FBシリーズ、他のPSKシリーズ、市販電源でご使用さ れる際は、別途電源供給ライン準備や配線の変更が必要です。ご 相談下さい。 107 MODEL CK RoHS FAX SERIES 対応品 注文可 マスフローコントローラ用流量設定器 CK シリーズは流量設定信号 0 ∼ 5V 信号を作るためのボリウムです。ダイヤル目盛は 000 か ら 999 と 3 桁でフルスケール流量に対し、流量設定を行います。 ダイヤル形状の違いで CK-1A、2A の 2 つのタイプがあります。 CK-1A ■ 寸法図 MODEL CK-1A １ 25.4 ） 30 14 基準5V ２ 流量設定信号 ３ COM 6 2 0 0 .07 ＋0 ０ CW ３ ２ １ 19.05±0.127 （ ０ 22 50 MAX 44 32 ０ 51 3.2 CK-2A 入 力 出 力 抵 抗 値 設定精度 対象機種 5V 5Vをフルスケールとして分割 10kΩ（標準） 0.1％フルスケール すべてのマスフローコントローラ .1 ＋0 0 .3 10 CK-1A,CK-2A 基準5V 19 21 パネル厚さ1.5∼5mm パネルカット穴寸法図 １ 基準5V ２ 流量設定信号 ３ COM 流量設定電圧 COM R14 CW 22 ３ 25.4 セットスクリュー （4-40 UNC） ２ １ 19 .1 ＋0 0 .3 10 21 MFC 9.4 ０ ９ 22 １ （ 2 0 0 ） MODEL CK-2A ２ パネルカット穴寸法図 電 CK-1A CK-2A 源 PSKシリーズ DPM 055 MODEL CK SERIES 流量設定器 ／ MODEL DPM-100 □ 設定値はタッチスイッチから簡単入力 積算/警報機能付き高機能 リードアウトユニット MODEL CR-700A A RoHS FAX 対応品 注文可 電子式流量計測制御 リードアウトユニットCR-700Aはマスフローコント ローラ、マスフローメータ専用の高機能リードアウト ユニットです。流量の計測・制御に加え流量積算、警 報出力といったマスフローのアプリケーションに対応 した充実機能を装備しています。また、RS232Cで の通信機能により、お手元のパソコンから手軽に通信 制御が可能です。 □ 流量表示は見やすい4桁大型LED＋バーグラフ □ 流量設定しやすい設定値（SV値）の独立表示 □ RS232Cで簡単にお手元のパソコンと通信可能 □ コンバージョンファクター設定機能によるマルチガス対応 が可能 □ ゼロオフセット機能によるゼロ点の経時変化補正 □ MFC供給電圧：±15VDC（各200mA MAX） □ 駆動電源はAC100V ■ 寸法図 ■ 標準仕様 マスフロー制御機能 パネルカット 140＋0.5 139.5 MODEL CR-700A □ 操作しやすいワンキーレイアウト 144 10 68＋0.5 67.5 160 178 ■ 注文方法 単品でご注文の際は下記型式指定をお願いします 0：ケーブルなし 接続するマスフローの型式 マスフロー入出力 マスフロー電源 表 示 桁 表 示 切 替 警 報 出 力 外 部 制 消 費 電 A C 電 御 力 源 重 量・ 外 形 流量表示・設定、 ゼロオフセット、 コンバージョンファクター設定機能 DC 0∼5V ±15VDC （200mA） 瞬時流量表示 3・1/2桁、積算流量表示 4桁 バーグラフ 0∼100%20分割 瞬時/積算表示切替可能、アラーム表示 瞬時/積算：上下段警報出力 2段 フォトモスリレー 背面端子： RS-232C 約25VA AC100V 約900g W：72×H：144×D：178mm ＊入力に対して±0.3%F.S. ±1digit ■ 使用例 CR-700 MODEL CR-700A 0 マスフロー型式 記入例 RS- 232C MODEL CR-700A 3200 MFC ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 注意 一部旧型式のマスフローで、正常に動作しなかったり、特定の機能が使用できない ものがございます。本カタログ掲載機種以外の弊社マスフロー、及び他社製品との 接続に関しては、事前に御確認下さい。 ※ケーブル長3m以内でご使用下さい。 056 コンピュータ等 積算/警報機能付き高機能 リードアウトユニット MODEL CR-500 RoHS FAX 対応品 注文可 リードアウトユニットCR-500はマスフローコント ローラ、マスフローメータと接続することにより、流 量計測，流量制御，積算流量演算，流量値警報出力な どの多彩な機能をご利用いただける高機能リードアウ トユニットです。RS485通信機能を持ち、複数台数 の本ユニットをホストコンピュータから通信制御する ことができます。 A 電子式流量計測制御 □ W：96×H：48サイズでパネルレイアウトに最適 上下限アラーム出力等の多彩な機能を内蔵 □ 6桁積算流量表示、 □ RS485通信によりパソコンからのマスフローの制御に対応 MODEL CR-500 （オプションで4線式対応可） □ アナログ/デジタルどちらの信号でも外部からの遠隔制御が 可能 □ MFC供給電圧：±15VDC（各300mA MAX） □ 駆動電源はAC85∼264Vでワールドワイド対応 ■ 寸法図 ■ 標準仕様 (147) 6 96 CR ‒ 500 48 KOFLOC 109 15 (17) CLOSE OPEN CONT. SV OUT1 OUT2RS KEY SV MODE ENT RES RA マスフロー制御機能 マスフロー入出力 マスフロー電源 表 示 桁 表 示 切 替 T/H TO 警 MODE 92 積 ＋0.8 −0 45 ＋0.3 ‒0 停 パネルカット寸法 ■ 注文方法 単品でご注文の際は下記型式指定をお願いします 外 消 A 重 流量設定、 バルブ強制開閉、ゼロカット DC 0∼5V ±15VDC （300mA） 瞬時流量表示 4・1/2桁、積算流量表示 6桁 瞬時/積算表示切替可能 瞬時/積算：上下段警報出力 2段 報 出 力 フォトモスリレー 6桁表示オーバー時、即停止点滅と 算 機 能 エンドレス、×10表示選択可能 電 保 証 3週間以上 但し充電時間3時間以上 背面端子：RS-485 2線式 部 制 御 （4線式はオプション）、 アナログ信号 費 電 力 約25VA C 電 源 AC85∼264V 量・ 外 形 約500g W：96×H：48×D：147mm ＊入力に対して瞬時表示：±0.3%F.S.±1digit 0:ケーブルなし 接続するマスフローの型式 ■ 使用例 0 マスフロー型式 0 2線式 1 4線式 MODEL CR-500 3660 0 記入例 MODEL CR-500 MFC CR-500 RS-485 コンピュータ等 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 注意 一部旧型式のマスフローで、正常に動作しなかったり、特定の機能が使用できない ものがございます。本カタログ掲載機種以外の弊社マスフロー、及び他社製品との 接続に関しては、事前に御確認下さい。 057 コンパクト リードアウトユニット MODEL CR-300 A RoHS FAX 対応品 注文可 電子式流量計測制御 リードアウトユニットCR-300はマスフローコント ローラ、マスフローメータとケーブル一本で接続する ことにより、流量の計測・制御といったマスフローの 基本機能をお使いいただけるようになる便利なユニッ トです。 □ W：72×H：72サイズで場所を選びません □ マスフローコントローラのバルブ開閉機能装備 □ 外部制御端子を背面に装備し遠隔操作も可能 □ ロックキーで誤操作防止 □ MFC供給電圧：±15VDC（各250mA MAX） □ 駆動電源はAC85V∼AC240V PV ■ 標準仕様 SV HOST TERM CCM CN ２ L M OPEN CLOSE LOCK ENT HOST TERM AC IN 66 FLOW SET 73 m３／h F． S SET マスフロー制御機能 マスフロー入出力 マスフロー供給電源 表 示 桁 表 示 精 度 外部制御機能 消 費 電 力 A C 電 源 重 量・ 外 形 流量設定、 バルブ強制開閉、ゼロカット DC 0∼5V ±15VDC （250mA） 瞬時流量表示 4桁（100∼2000まで100毎） ±0.1%以内（±2digit以内） 背面入力端子：アナログ信号 約25VA AC85V∼AC240V 47∼440Hz 350g W：73×H：73×D：119.5mm CN １ ■ 使用例 CR−３ ０ ０ ５． ５ 73 66.5±0.3 MODEL CR-300 ■ 寸法図 66.5±0.3 パネルカット寸法 107 119.5 ７ 66 CR- 300 パネルの厚さは付属の取付金具を使用した場合 １.2mm 本体と取付金具の間に付属の座金を１枚入れた場合１.４∼１.５mm 本体と取付金具の間に付属の座金を２枚入れた場合１.６∼２.０mm ■ 注文方法 単品でご注文の際は下記型式指定をお願いします。 0:ケーブルなし 接続するマスフローの型式 0 マスフロー型式 MODEL CR-300 3660 記入例 MODEL CR-300 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 注意 一部旧型式のマスフローで、正常に動作しなかったり、特定の機能が使用できない ものがございます。本カタログ掲載機種以外の弊社マスフロー、及び他社製品との 接続に関しては、事前に御確認下さい。 058 MFC AC100V コンパクト リードアウトユニット MODEL CR-200 RoHS FAX 対応品 注文可 リードアウトユニットCR-200は、マスフローコント ローラ、マスフローメータとケーブル一本で接続する事 により流量の計測・制御といったマスフローの基本機能 をお使いいただけるシンプルで便利なユニットです。 A 21 131 96 109 16 48 6 ■ 標準仕様 +0.8 45 −0 パネルカット寸法 ■ 注文方法 単品でご注文の際は下記型式指定をお願いします。 0：ケーブルなし 接続するマスフローの型式 CR-200 0 マスフロー型式 MODEL CR-200 MODEL 3660 MODEL PSK-2TFX 記入例 MODEL マスフロー制御機能 流量設定、 バルブ強制開閉、ゼロカット マスフロー入出力 DC 0∼5V ±15VDC（250mA）、−15Vで250mA マスフロー供給電源 使用の場合は＋15Vは150mAMax 瞬時流量表示 3・1/2桁 表 示 桁 （100∼1999まで100毎） 表 示 精 度 ±0.2%以内（±2digit以内） 外 部 制 御 機 能 背面入力端子：アナログ信号 消 費 電 力 約25VA A C 電 源 AC100∼AC240V （50/60Hz） 重 量・ 外 形 約400g W：96×H：48×D：131mm ②の指定は接続するマスフローへのケーブル指定を意味します。 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 注意 一部旧型式のマスフローで、正常に動作しなかったり、特定の機能が使用できな いものがございます。本カタログ掲載機種以外の弊社マスフロー、及び他社製品 との接続に関しては、事前に御確認下さい。 マスフローメータ専用電源 MODEL PSK-2TFX RoHS FAX 対応品 注文可 マスフローメータ用のDC電源です。同時に周辺機器の DPM-3等もドライブ可能です。1台で2系列のマスフ ローメータと表示器DPM-3等、2系統を同時に動かせ ます。接続は、コネクターでワンタッチで行えますので 配線の手間、信号のやり取りが非常に簡単になります。 ■ 寸法図 86 ■ 仕様 2-M3 PSK-2TFX-15 検 KOFLOG 42 MODEL POWER SUPPLY 31 117 75 電 19 4 26 CH1(5P)CH1(6P)CH2(5P)CH2(6P) 37 ／ MODEL CR-200 +0.6 92 −0 電子式流量計測制御 ■ 寸法図 源 AC100V±10V DC±15V×2系統 （200mA） マスフロー用電源出力 （DC±12V×2系統） （200mA） 入 出 力 信 号 DC0∼5V×2系統 マスフローメータ全般（HFMは除く） 対 象 機 種 DPM-3,ALM-4,ACM-10 外 部 流 量 出 力 DC0∼5V×2系統 34.5 ＊（ ）内はPSK-2TFX-12V 059 マスフローコントローラ／マスフローメータ用電源（機器組込用） MODEL PSK-FB RoHS FAX SERIES 対応品 注文可 A PSK-3FB 型 式 名 PSK-1FB PSK-3FB PSK-6FB 用 途 1台用 3台用 6台用 入 力 電 圧（ 周 波 数 ） 85∼132VAC （47∼66Hz） 消 費 電 力 最大22W 最大70W 最大140W 使 用 ヒ ュ ー ズ 125V-0.8A 125V-3.15A 125V-6.3A 電 源 出 力 ±15VDC （±5%） 出 力 流 量 設 定 用 ＋5VDC （±1%） 外部表示器用 ＋5VDC （±5%）,＋15VDC（±5%） 流 量 入 出 力 信 号 0∼5VDC最大15VDC 流 量 設 定 出 力 信 号 0∼5VDC 使 用 温 度 0∼40℃ 使 用 環 境 0∼90%Rh但し結露しないこと 重 量 約0.8kg 約1.3kg 約1.7kg ■ 寸法図 125 120 PIN CONNECTION MODEL PSK-3FB MF DPM/CK 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 20. ×××××××××× ×××××××××× ×××××××××× ×××××××××× ×××××××××××× ×××××××××× ×× ××××××× ××××××× ×× 1. ×××× 2. ×××××××××× 3. ×××× × 4. ××××××× × 5. ×××××× 6. ×××× × 7. ×××× × 8. ×××××××××× 9. ××××××××××× 10. ××××××××××××××× 11. ××××××××××××××× 12. ×× 13. ×××××××××××××× 14. ×× 15. ×× 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 90 90 MF ××××××××××× ×××××××× ××××××××× ××××××××× × ×× ××××××××××× ××××××××× × ×××××××××××× ××××××××××× ××××××××××× ×××××××××× ×××××××××× ×××××××××× ×××××××××× ×××××××××××× ×××××××××× ×× ××××××× ××××××× ×× 1. ×××× 2. ×××××××××× 3. ××××× 4. ×××××××× 5. ×××××× 6. ××××× 7. ××××× 8. ×××××××××× MF 9. ××××××××××× 10. ×××××××××××××× 11. ×××××××××××××× 12. ×× 13. ×××××××××××××× 14. ×× 15. ×× × × ×××××××××× × ×××××××× ×××××××× × ×××××××××× ×× ×××××××××× × ×××××××××× ×××××××××××× ×××××××××× × ×××××××××× × DPM/CK 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 20. ××××××××× ××××××××× ××××××××× ××××××××× ××××××××××× ××××××××× ×× ×××××× × ×××××× × ×× × × × × × × 1. ××× × × 2. ××××××××× 3. ××××× × 4. ××××××× 5. ××××× × 6. ××××× 7. ××××× × 8. ××××××××× × 9. ×××××××××× 10. ×××××××××××××× 11. ×××××××××××××× 12. ×× 13. ×××××××××××××× 14. ×× 15. ×× × × 15.5 AC INPUT : 85 ∼132V 50/60Hz VA 140 MAX DC OUTPUT : +15V2.4A,-15V2.4A,+5V0.9Aor+15V1.8A 12 MF 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. AC INPU T : 85 ∼132V 50/60Hz A70V MAX DC OUTPU T : +15V1.2A,-15V1.2A,+5V0.45Aor+15V0.9A 3 7 MF 3 DPM/CK 3 MF 2 DPM/CK 2 MF 1 DPM/CK 1 DPM/CK AC85∼132V MF MF MF MF 1 2 3 4 5 MF 6 DPM/CK 1 DPM/CK 2 DPM/CK 3 DPM/CK 4 DPM/CK 5 DPM/CK 6 POWER SUPPLY 110 43(40) PIN CONNECTION MODEL PSK-6FB DPM/C K 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 20. 15.5 15.5 AC INPU T : 85 ∼132V 50/60Hz A22V MAX DC OUTPU T : +15V0.4A,-15V0.4A,+5V0.15Aor+15V0.3A ××××××××××× ×××××××× ××××××××× ×××××××××× ×× ××××××××××× ×××××××××× ×××××××××××× ××××××××××× ××××××××××× MF PSK-85/CP-85CF SERIES PIN CONNECTION MODEL PSK-1FB 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 120 90 ／ MODEL PSK-FB SERIES マ ス フロ ーコント ロ ーラ、マ ス フロ ー メータ共用のDC電源です。マスフローと DPM-100のような表示設定器もしくは DPM-3のような表示器、CK-1Aのような 設定器に対して、1FBで1系統／3FBで3 系統／6FBで6系統の電源供給が可能で す。各接続もD-subコネクターでワンタッ チにおこなえ、配線の手間、信号のやり 取りが簡単になります。 PSK-6FB 120 電子式流量計測制御 PSK-1FB AC85∼132V AC85∼132V POWER SUPPLY POWER SUPPLY MODEL8500 シリーズ専用電源ケーブル PSK-85/CP-85CF SERIES PSK-85はACアダプ ター方 式 の 電 源 で ■ 注文方法 8500シリーズを一 系 列動作出来ます。 ●電源：PSK-85（ケーブル長：1.5mのみ） ケーブル長：1.5m 1M CP-85CFケ ーブ ル はMODEL8500シ ●ケーブル：CP-85CF リーズをドライブさせる為のケーブルで 電源流量信号 （アナログ）デジタル 通 信 ［RS485/232C （マルチ） ］ 各種イベント出 先バラ （※信号取合は取扱い説明書を御参照下さい） 8500本体コネクター（DS20Pハーフピッチコネクター） 力が取合出来ます。 （ケーブルは先バラ） 060 FAX 注文可 小型ハンディ質量流量制御／測定ユニット FLOW COMPOTM FAX 注文可 小型DIN72×72の電源表示器「 CR-300」とMFC/ MFMをドッキングさせた小型ハンディ流量制御／測 定ユニットです。 A 電子式流量計測制御 □ 小型、軽量の一体型ユニット □ タッチパネル式でFSスケーリング、流量設定、バルブ開 閉が簡単操作 □ 継手はワンタッチ∼チューブ継手まで自由に選択 □ MFC搭載タイプ（ FCCシリーズ）は、OPENスイッチを押 すことでMFMとして使用可能 □ 腐食性ガス用のメタルシール仕様については、別途お問い FLOW COMPOTM 合わせ下さい ■ 標準仕様 M FCC-3000-G2 FCM-3000-G1 FCM-3000-G2 3200 （MFC） 3760 （MFM） 3100 （MFM） 標準流量レンジ N2 換算（F.S.） 10SCCM∼20SLM 1SCCM∼20SLM 10SCCM∼20SLM 1SCCM∼20SLM シ バイトン バイトン バイトン 搭 O D L FCC-3000-G1 載 M F C / M F M 3660（MFC） ー ル 応 使 E 部 材 性 2SEC.以内（F.S.±2%時） 1SEC.以内（F.S.±2%時） 2SEC.以内 答 用 周 質 バイトン 囲 継 温 度 1SEC.以内 0∼50℃ 5∼45℃ 0∼50℃ 5∼45℃ （15∼35℃精度保証内） （15∼35℃精度保証内） （15∼35℃精度保証内） （15∼35℃精度保証内） 手 各種継手対応可 ※仕様詳細は搭載MFC/MFM及びCR-300の項をご参照下さい。 ■ 寸法図 ■ 注文方法 （20） C:コントローラ M:メーター C M 3000 G1 G2 FC C 3000 G1 140 FC 流 体 MODEL グレード 流 量 継 手 500SCCM 1/4F9 CR−３ ０ ０ FLOW COMPO 35 FLOW L 5 175 ※Lは、 各搭載MFC/MFMの使用継手による面間距離をご参照下さい。 注） 「FLOW COMPOTM」 「フローコンポ」は弊社の登録商標です。 記入例 ２4（3660,3200,3100） ２6（3760） 84 MODEL N2 ※注文・見積り依頼は、注文方法、 記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼 カード」 にご記入の上、ファックスで発注してください。 061 ガス混合器一体型マスフローコントローラ MODEL8500 混合器一体型 A 電子式流量計測制御 MODEL8500 混 合 器 一 体 型 は、MODEL8500 複 数台をガス混合器に搭載一体化したシステムユニット です。 マスフローコントローラ、混合器を一体型にする事に より配管の削減とメンテナンス性の向上を図る事が可 能です。 □ 2種または3種のガス混合が可能 □ 一体型により、配管作業が不要 □ ユニット単位で取扱える為、メンテナンスが容易 □ 省スペース 混合器一体型 MODEL8500 ■ 標準仕様 MODEL8500標準仕様に準拠 ＊ユニット例 ■ 注文方法 ｛ IN側接続 8500M3G 1/8 1/4 1/8 1/8（オプション） 1/4 1/4（標準） ライン 1: ガス種 ライン 1: 流量 ライン 1: 供給圧力 ライン 2: ガス種 ライン 2: 流量 ライン 2: 供給圧力 ライン 3: ガス種 ライン 3: 流量 ライン 3: 供給圧力 記入例 ❸ ❹ ❺ ❶ ❷ LPG 1SLM/MIN 10kPa 8500M3G 1/4 AIR 500SCCM/MIN 20kPa O2 1SLM/MIN 20kPa ※個別設計の為、必ずお問い合せ下さい。 062 出口圧力 ガス混合器一体型マスフローメータ MODEL3810DS 混合器一体型 MODEL3810DS 混合器一体型は、ニードルバルブ 付 3810DS 複数台をガス混合器に搭載一体化した システムユニットです。 マスフローメータ、ニードルバルブ、混合器を一体型 にする事により配管の削減とメンテナンス性の向上を 図る事が可能です。 A 電子式流量計測制御 □ 2種または3種のガス混合が可能 □ 一体型により、配管作業が不要 □ ユニット単位で取扱える為、メンテナンスが容易 □ 省スペース 混合器一体型 MODEL3810DS ■ 標準仕様 MODEL3810DS標準仕様に準拠 ＊ユニット例 MASS FLOW SENSOR 3810DS OPEN AL1AL2 M FLOW MASS FLOW SENSOR 3810DS OPEN AL1AL2 M FLOW MASS FLOW SENSOR 3810DS OPEN AL1AL2 M FLOW ■ 注文方法 ｛ IN側接続 3810DSM3G 1/8 1/4 1/8 1/8（オプション） 1/4 1/4（標準） ライン 1: ガス種 ライン 1: 流量 ライン 1: 供給圧力 ライン 2: ガス種 ライン 2: 流量 ライン 2: 供給圧力 ライン 3: ガス種 ライン 3: 流量 ライン 3: 供給圧力 記入例 ❸ ❹ ❺ ❶ ❷ LPG 1SLM/MIN 10kPa 3810DSM3G 1/4 AIR 500SCCM/MIN 20kPa O2 1SLM/MIN 20kPa 出口圧力 ※個別設計の為、必ずお問い合せ下さい。 063 マスフロー用ケーブル／アクセサリー適応表 アクセサリー使用例 A ① 標準電源を使用する場合 電子式流量計測制御 DPM-3 ALM-4 3660/3100 5400/5100 9100/3200 3760 本 体 PSK-1FB ACM-10 PSK-3FB DPM-100 PSK-6FB CK-1A CR-200 CK-2A CR-300 マスフロー用ケーブル／アクセサリー適応表 HFC HFM CR-500 DPM-100 本 体 電 源 電源∼表示・設定器 ② CR-700Aを使用する場合 MFC MFM CR-700A 本 体 3 3 ③ その他MFC/MFM、電源接続ケーブル（旧MODEL仕様） 表示器 設定器 MFC MFM 電 源 ( 本 体 型 064 型 CK-1A CK-2A ) 型 FAX 注文可 マスフロー アプリケーション例 エアーリークテスター用 A MODEL 3100 電子式流量計測制御 ワーク マスフローメータ マスフロー アプリケーション例 マスター ワーク 液晶ガラス搬送用 MODEL 9100 MODEL 3810DS 燃料電池評価装置用 MODEL 3660 MODEL 9100 アノード カソード 065 バイオリアクター用 A MODEL 9100 電子式流量計測制御 マスフロー アプリケーション例 MODEL D8500 チャンバー圧力制御 マスフローコントローラ チャンバー プレッシャーコントローラ MODEL 9100 マスフローコントローラ MODEL D3660 ・CCFL燃焼用 ・バーナー用ガス流量制御用 ノズル ＜Baking System＞ ＜燃焼等＞ （インジェクター） LNGの圧が低すぎる時は使用 MODEL D8500 066
