Download 電離真空計【GI-M2/GI-D7】

真空計
電離真空計【GI-M2/GI-D7】
中真空～超高真空領域 10 +1 ～ 10 -8Pa （メタル管球タイプ、 GI-M2 ）、 10 -1 ～ 10 -6Pa （ガラス管球タイプ、 GI-D7 ）
の測定が可能な熱陰極型電離真空計です。
GI-M2
M-11
GI-D7
WIT-G1
特
長
広帯域測定が可能
用途に応じた測定子の選定が可能（他にヌードタイプも可能）
メタル管球（金属）のため頑強
測定子が小型・金属製のため、割ってしまうなどの不慮の事故を
防止（ GI-M2 ）
感度設定が可能
気体の種類によって感度設定ができるため、より正確な圧力測
定が可能
レンジホールド機能搭載
測定レンジを固定して使用される場合に最適
制御出力信号
セットポイント2 点の出力可能
全機能フロントパネルで操作可能
フィラメント1/2 切り替 え、感 度 設 定、レンジホ ー ルド 設 定、
DEGAS 設定など
デジタル出力
BCD 出力が標準装備
測定値出力信号
圧力は 0 ∼ 10V 出力 ( 疑似 Log 出力 )
用
GI-M2
途
・スパッタリング装置
・蒸着装置（ターボ分子ポンプ）
・その他超高真空・高真空装置など
GI-D7
・真空熱処理炉
・真空ろう付炉
・蒸着装置（拡散ポンプ）
・炉などの一般産業機器
真空計
9.9Pa ∼ 5×10 -8Pa の 8 桁半にわたる幅広い測定が可能（ GIM2 ）
メタル管球とガラス管球の 2タイプを用意
シリアル通信仕様
RS232C 通信が標準装備
電離真空計【GI-M2/GI-D7】
仕
様
商品名
(メタル)電離真空計
型式
model GI-M2
model GI-D7
5.00 × 10 -8 ∼ 9.99 × 10 0 Pa
WIT : 1.30 × 10 -5 ∼ 6.7 × 10 -1 Pa
WIB: 1.30 × 10 -6 ∼ 2.3 × 10 -2 Pa
測定圧力範囲
(ガラス)電離真空計
測定精度
± 15％
圧力表示
仮数部 3 桁，指数部 2 桁のデジタル表示 □．□□× 10 □□
適用測定子
M-11, M-12, M-13, M-14, M-15
サンプリング時間
100ms
DEGAS
直接通電加熱方式 AC power 1.5VA
機能
レンジホールド設定、感度係数設定、フィラメント選択
WIT-G1, WIT-G2, WIT-G3, WIB-G5, WIB-N3
測定値出力
仮数部リニア出力、
擬似 Log 出力、
レンジホールドリニア出力（0 ∼ 10VDC）
制御入力信号
フィラメント1/2、
制御切替、
フィラメント ON/OFF、
DEGAS ON/OFF、レンジホールド
制御出力信号
、
アナログ出力（0 ∼ 10V）
BCD 出力、フィラメント ON/OFF、エミッション設定、DEGAS ON/OFF
セットポイント
独立 2 点（接点容量 AC125VMAX, 0.5AMAX ／ DC24VMAX, 1.0AMAX）
シリアル通信仕様
RS232C
使用温度範囲
10 ∼ 40 ˚C
使用湿度範囲
15 ∼ 80％（ただし結露なきこと）
電源 電 圧
AC100 ± 10V 50/60Hz, 60VA
ヒューズ
BS. SEMKO 3.15A (2pcs)
外形寸法 W × D × H
240mm × 380mm × 99mm
質量
5.6kg
コネクタ
外部入出力・DDK 57P 1 個
取扱説明書
1部
測定子ケーブル
2, 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55, 60m
4, 10, 15, 20, 25, 30m
測定子
三極管型ガラスゲージ： WIT-G 1, WIT-G2, WIT-G3
メタルゲージ： M-11, M-12, M-13, M-14, M-15
M-12
(Panel cutout)
3 (Mounting panel)
M-13
(89.2)
(84.2)
29
0.5mA
SET2
5mA
X 10
FIL
DEG
F1
M-14
Pa
PRG
206 Max. width
200 (Main body)
FUSE
AC100V
RS-232C
EXT-I/O
(Rear)
100
25 25
GND
FIL.GRID
98
(Main body)
IC
220
210
4-M5
(76.5)
(81.5)
(Side)
M-15
(76.5)
(81.5)
(Panel cutout)
株式会社アルバック 規格品事業部
■東日本営業部
TEL 03-5218-5708
■西日本営業部
TEL 06-6397-2286
■海外営業部
TEL +81-467-89-2261
NW-16
SET1
POWER
(φ51)
WIB-G5
(70)
GI-D7
WIB-N3
(17)
(80)
(157)
(13)
(73) (20)
(78)
dia15
4-M5
350
240
220
GI-D7
(Side)
WIT-G1
(φ57)
(119.1)
(15)
dia.69.3
EXT-I/O
(Rear)
100
25 25
220
210
M30×1.25
(113)
(143)
206 (Max. width)
200 (Main body)
GI-D7
dia.18 (dia.15)
(dia.25)
Pa
SENSOR
99
6 50 24.5
GI-M2
M-11
X10
単位：mm
Sensor head
dia.18 (dia.15)
GI-M2
図
POWER
RS-232C
(Front)
29
3 (Mounting panel)
98
(Main body)
99
6 50 24.5
(Front)
350
法
(dia. 39.4)
240
220
GI-M2
寸
UFC 034
Controller
形
WIB-G5
WIB-N3
dia18
外
B-A 型ガラスゲージ：
B-A 型ヌードゲージ：
NW-25
オプション
5.7kg
アース3P プラグ付 3m
電源コード
付属品
AC100 ± 10V 50/60Hz, 120VA
w w w. u l va c. c o. j p
お問い合わせ
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
1841N/2012015000UYO