Download Auteur: - Hitech Projects

RWV nr.
Document
Hoofdstuk
Beheerder
: RWV-011-008-130/01.1
: Bedieningsvoorschrift
: 3. Algemene werking
: Documentenbeheerder TFF
Blad nr. : 3.2
Epcode : S31
Datum
: 26-11-2010
3.1.1 Use of the system
Men kan wafers processen met het systeem als de machine op het CTC scherm staat.
Standaard staat dit scherm aan de voorzijde van de machine.
Mocht dit niet zo zijn kan men door op het het toetsenbord 2x op de scroll lock te drukken de
bediening van het scherm veranderen
Men komt in het selectie systeem en gaat men met de pijltjes naar het CTC gedeelte en geeft
enter.
Mocht het CTC gedeelte Rood kleuren dan staat het CTC scherm in de service ruimte actief.
Je moet deze dan eerst inactief maken door in de service ruimte een ander scherm actief te
maken volgens bovenstaande procedure. Bv pm1
3.1.2 Operating the system
Standaard staat het systeem aan de voorzijde op het CTC ( Cluster Tool controller) Scherm
In het Main scherm,
3.1.3 Log in
Vul in achter de regel „Login ID.
Vul in achter de regel „Password‟
(Dit word weergegeven in sterretjes)
Druk daarna op de OK Knop.
Veeco
123456
(foto login scherm)
Je hebt nu toegang tot het systeem
© Philips Research – MiPlaza/TL
Company Restricted
Filenaam: Operation manual S31