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エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル 精 ジシリー L i密 n ステ e a rーm o t o r ズs e r i e s コンパクト シリーズ リニアモータシリーズ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ RDM–mini 小型コアレスロッドタイプ クリーン シリーズ F A コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ マグネットロッド シールドフラットケーブル フォーサ リニアエンコーダヘッド ボールリテーナ入りLMガイド SHW 形番 リニアエンコーダスケール GLM 10 RDM‒mini 構造 GLM 15 特長 GLM 20 1高速・高加減速 GLM 25 最高速度：5m/s、 加減速度：9G RDM‒miniはコアレスリニアモータの採用、スライダの軽量化、および樹脂材料の採用により渦電流損の発生を抑え る構造とし、最高速度5m/s 、加減速度9Gを実現します。 GLS KLM 最高速度 CLM 加減速度 6 3 RDM‒ mini 4 速度［m/s］ RDM 速度［m/s］ 5m/s 2 P467-472_RDM mini.indd 467 1.34m/s 1 0 0.2 0.3 0.4 RDM1104 （無負荷時）速度線図 467 9.1G 0.015s 0 0.1 2 0.5 0.6 時間［s］ 0.2 0.25 0.3 0.35 RDM1104（無負荷時） 速度線図 0.4 時間［s］ RDM–mini 10.3.15 0:48:25 PM システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル 本体質量：900g∼ コンパクト シリーズ 2 軽量・コンパクト 形番 エコノミー シリーズ 特長 RDM‒miniは小型のリニアモータ、リニアエンコーダおよびボールリテーナ入りLMガイド（SHW12）を使用して います。動力ケーブル、信号ケーブルにはシールドフラットケーブルを採用することによりケーブルの取り回しも含 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ めた取付け占有面積が小さいリニアモータアクチュエータです。 51 アルミカバー アルミテーブル シールド フラットケーブル 58 クリーン シリーズ F A 3 低速度リップル コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ アルミベース 67 ボ−ルリテ−ナ入りLMガイド SHW 優れた等速性 形番 RDM‒miniはコアレスリニアモータを採用しています。マグネットの周囲をコイルが取り巻くロッド形状のため、電 気的ギャップの変動が少なく、駆動時の推力変動が極めて少ないモータです。 さらに、転がり抵抗の変動が少ないボールリテーナ入りLMガイドを使用することにより、低速度リップルを実現し ました。 10.5 GLM 10 10.4 10.3 GLM 15 速度 ［mm/s］ 10.2 GLM 20 10.1 10 9.9 GLM 25 ±0.84％ 9.8 GLS 〔データ測定条件〕 レーザ測長器ML10 （RENISHAW㈱製） 使用 コントローラ最小指令単位 ：1μm 速度測定サンプリング周波数 ：100Hz 駆動速度：10mm/s、 負荷質量：2.8 kg 9.7 9.6 9.5 5 15 25 35 45 RDM1108 速度リップル評価データ （参考） KLM CLM 55 RDM 時間 ［s］ RDM‒ mini RDM–mini P467-472_RDM mini.indd 468 468 10.3.15 0:49:15 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 形番構成 アクチュエータ本体 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ RDM1102 − H − 868L − A − JN − N − N − A − D03 − E01 − S02 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ RDM1102 （最大推力：19.8N） RDM1104 （最大推力：39.4N） クリーン シリーズ F A ①モータ形番 RDM1106 （最大推力：50.4N） RDM1108 （最大推力：59.7N） ※ 数字はリニアモータのサイズを表します。 上2桁：スラストロッドサイズ、下2桁：フォーササイズ コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ②アクチュエータタイプ ③アクチュエータ長さ モータ形番別に専用のシリアル変換モジュール （SCM） が本体に付属します。 他の形式との互換性はありません。 152L, 254L, 356L, 459L, 561L, 664L, 766L, 868L ※ 単位はmmです。 形番 ④カバー A：アルミ押出しカバー付き E：特殊 ⑤リニアエンコーダ JN：光学式リニアエンコーダ E：特殊 ⑥センサ N：センサ無し S：近接センサ APM‒D3A1［N.O.接点］ 3個（㈱山武製） E：特殊 ⑦取付用部品 N：無し E：特殊 ⑧取付姿勢 A：水平 B：壁掛け （リニアエンコーダ上側） C：逆（天吊り） D：壁掛け （リニアエンコーダ下側） E：特殊 ⑨動力ケーブル D03：ケーブル長さ3m D05：ケーブル長さ5m D10：ケーブル長さ10m GLM 10 GLM 15 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini ⑩エンコーダケーブル ⑪シリアルケーブル E01：ケーブル長さ1m ※ ケーブル長さは1mのみです。 S02：ケーブル長さ2m S04：ケーブル長さ4m S09：ケーブル長さ9m 注1）動力フラットケーブル、 エンコーダフラットケーブルは長さ1.2mのもの （コネクタ付き） がアクチュエータ側に付属します。 注2）動力ケーブル、 エンコーダケーブル、及びシリアルケーブルは固定配線用となっています。可動部配線用をご希望の場合は、THKまでお問い合わせください。 469 P467-472_RDM mini.indd 469 RDM–mini 10.3.15 0:50:50 PM 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ サーボパック （㈱安川電機製） SGDH − 01 B E Y364 − N ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ SGDH ②最大適用サーボモータ容量 01：100W ③電源電圧 B ：単相AC100V ④モデル E ：推力・速度・位置制御（オプションユニット対応型） ⑤変更機能 Y364：RDM‒mini専用仕様 F A クリーン シリーズ ⑥高速パルス入力基板 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ ①形番 N：高速パルス入力基板無し H：高速パルス入力基板付き ※ 入出力信号コネクタはサーボパックに付属します。 高速パルス入力基板付きの場合は、高速パルス入力信号コネクタも付属します。 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ パソコン通信用オプション （㈱安川電機製） SigmaWin−Plus 通信用ソフト JZSP − CMS − ＊＊ 通信用ケーブル ① ①接続コネクタ種類 01：2m D‒SUB25ピン, 02：2m D‒SUB9ピン, 03：2m ハーフピッチ14ピン 動力ケーブル ※ メンテナンス用に動力ケーブル、エンコーダケーブル、シリアルケーブルをご購入いただく場合には以下の形番をご指定ください。 アクチュエータ本体をご購入された場合には以下のケーブルの形式指定はありません。 RMKHD − ＊＊ 形番 ① ①ケーブル長さ 03：3m, 05：5m, 10：10m ※ 固定配線用です。可動部配線用をご希望の場合は、 THKまでお問い合わせください。 エンコーダケーブル GLM 10 GLM 15 RMKHE − 01 GLM 20 ① ①ケーブル長さ シリアルケーブル（㈱安川電機製） GLS JZSP − CLP20 − ＊＊ ① KLM ② ①ケーブル種類 20：固定配線用, 70：可動部配線用 ②ケーブル長さ 02：2m, 04：4m, 09：9m 動力FFCケーブル GLM 25 ※ ケーブル長さは1mのみです。 ※ 固定配線用です。可動部配線用をご希望の場合は、 THKまでお問い合わせください。 CLM RDM RDM‒ mini RMKFD − 01 ① ①ケーブル長さ エンコーダFFCケーブル ※ ケーブル長さは1.2mです。 （ケーブルのみ。コネクタ無し。） ※ 交換作業につきましては、専用の作業手順が必要となりますので、 THKまでお問い合わせください。 RMKFE − 01 ① ①ケーブル長さ ※ ケーブル長さは1.2mです。 （ケーブルのみ。コネクタ無し。） ※ 交換作業につきましては、専用の作業手順が必要となりますので、 THKまでお問い合わせください。 RDM–mini P467-472_RDM mini.indd 470 470 10.3.15 0:51:21 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ システム構成 リニアモータアクチュエータRDM‒mini ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ エンコーダFFCケーブル （本体に付属） （RMKFE‒01） F A ※1 サーボパック （高速パルス入力基板無し） クリーン シリーズ 動力FFCケーブル（本体に付属） （RMKFD‒01） 動力ケーブル （RMKHD‒＊＊） コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ CN2へ パルス列コントロ−ラ※2 シリアル変換モジュール エンコーダケーブル （RMKHE‒01） シリアルケーブル （JZSP‒CLP20‒＊＊） 主電源、 制御電源（単相AC100V） ※1 高速パルス入力基板はオプションで付属可能です。 ※2 コントローラは貴社にてご用意ください。 形番 GLM 10 GLM 15 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini 471 P467-472_RDM mini.indd 471 RDM–mini 10.3.15 0:52:09 PM 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 モータ形式 RDM1102 RDM1104 RDM1106 RDM1108 最大推力 ［N］ 19.8 39.4 50.4 59.7 定格推力 ［N］ 2.7 4.7 6.0 8.0 項目 コンパクト シリーズ 基本仕様 5.0 分解能［μm］ 0.078 繰り返し位置決め精度 ［μm］ ±0.5 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ ドライバ入力電源／容量 単相AC100V／100W F A ドライバ制御電源 単相AC100V JZDP‒D008‒140 シリアル変換モジュール形式 JZDP‒D008‒139 JZDP‒D008‒138 クリーン シリーズ 最高速度 ［m/s］ JZDP‒D008‒137 最大電流 ［Arms］ 7.1 6.8 5.9 5.2 連続定格電流 ［Arms］ 1.3 1.0 0.9 0.8 スライダ質量 ［ kg］ 0.23 0.32 0.42 0.52 最大可搬質量 ［kg］ 0.35 0.85 1.2 1.7 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ KitL‒121CAC リニアエンコーダ形式 注）基本仕様は、周囲環境温度20℃、電機子巻線平均温度が100℃時の値です。 推力・速度特性 RDM1104 RDM1102 60 30 45 39.4N 推力 ［N］ 推力 ［N］ 形番 40 19.8N 20 GLM 10 32.6N 30 GLM 15 13.1N GLM 20 15 10 2.7N 4.7N GLM 25 3.7N 0 1.0 4.0 2.0 3.0 速度 ［m/s］ 3.6m/s 0 5.0 1.0 2.0 3.0 速度 ［m/s］ 4.0 5.0 GLS RDM1106 RDM1108 80 59.7N 44.9N 40 20 6.0N 0 KLM 80 50.4N 1.0 10.1N 2.0 3.0 速度 ［m/s］ 4.0 5.0 推力 ［N］ 推力 ［N］ 60 100 60 連続領域 40 37.5N 20 8.0N 14.9N 0 1.0 CLM 最大領域 56.6N 3m/s 2.0 3.0 速度 ［m/s］ 4.0 RDM RDM‒ mini 5.0 注1）推力・速度特性は電機子巻線平均温度が100° C時の値です。 注2）推力・速度特性はＬＭガイド （RDM‒mini標準グリース封入） の摺動抵抗を考慮した値です。 RDM–mini P467-472_RDM mini.indd 472 472 10.3.15 0:52:45 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ RDM–mini RDM1102 コアレスロッドタイプ メカストローク：41∼742袢 光学式リニアエンコーダNUMERIK JENA製仕様 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 寸法図・質量 ５８ ５１ ４５ F A クリーン シリーズ ６７ Ｅ矢視 A×N Ｂ Ｂ ２× （N+１） ‒３． ４キリ通シ∅６． ５ザグリ深サ３． ５ Ａ 28 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ LT ２ ＰＬラベル貼付位置 LST ７０ （リファレンスマーク検出位置） 28 １１ ４‒Ｍ３通シ ２０ ８ 10 E LU 形番 ５１ １１． ５ Ｃ 15 ３１ GLM 10 GLM 15 GLM 20 近接センサ付き GLM 25 GLS スライダ長さ T mm］ L［ スライダ部 タップ穴数 ドグ取付位置 C［mm］ スライダ質量 ［kg］ KLM 50 4 17.5 0.23 CLM RDM RDM‒ mini リファレンスマーク 検出位置 ［mm］ アクチュエータ 全長 LU［mm］ ストローク LST ［mm］ ベース固定用 タップ穴ピッチ寸法 A［mm］ ベース固定用 取付穴数 （N+1） 2× N B ［mm］ 152 41 90 4 1 13 0.9 254 143 96 6 2 13 1.2 356 245 96 8 3 16 1.5 459 348 100 10 4 11.5 561 435 100 12 5 12.5 2.1 664 538 100 14 6 14 2.4 766 640 100 16 7 15 2.7 868 742 100 18 8 16 3.0 70 本体質量 ［kg］ 1.8 注）本体質量にはスライダ1 個分の質量を含みます。 473 P473-478_RDM mini .indd 473 RDM–mini 10.3.15 0:54:40 PM RDM–mini 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 RDM1104 コアレスロッドタイプ コンパクト シリーズ メカストローク：132∼746袢 光学式リニアエンコーダNUMERIK JENA製仕様 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 寸法図・質量 ５８ ５１ ４５ F A クリーン シリーズ ６７ Ｅ矢視 Ｂ A×N Ａ Ｂ ２× （Ｎ+１） ‒３． ４キリ通シ∅６． ５ザグリ深サ３． ５ ２８ コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ２ LT ＰＬラベル貼付位置 ＬＳＴ ９６ （リファレンスマーク検出位置） １０ ２８ ２８ ８ ２０ １０ ６‒Ｍ３通シ E ＬＵ １１． ５ Ｃ 形番 ５１ １５ ３１ GLM 10 GLM 15 近接センサ付き GLM 20 GLM 25 スライダ長さ T mm］ L［ スライダ部 タップ穴数 ドグ取付位置 C［mm］ スライダ質量 ［kg］ GLS 76 6 30.5 0.32 KLM CLM リファレンスマーク 検出位置 ［mm］ アクチュエータ 全長 LU［mm］ ストローク LST ［mm］ ベース固定用 タップ穴ピッチ寸法 A［mm］ ベース固定用 取付穴数 （N+1） 2× N 254 132 96 6 2 13 1.3 356 234 96 8 3 16 1.6 459 337 100 10 4 11.5 1.9 561 439 100 12 5 12.5 664 542 100 14 6 14 2.5 766 644 100 16 7 15 2.8 868 746 100 18 8 16 3.1 B ［mm］ 96 本体質量 ［kg］ RDM RDM‒ mini 2.2 注）本体質量にはスライダ1 個分の質量を含みます。 RDM–mini P473-478_RDM mini .indd 474 474 10.3.15 0:55:07 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ RDM–mini RDM1106 コアレスロッドタイプ メカストローク：113∼727袢 光学式リニアエンコーダNUMERIK JENA製仕様 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 寸法図・質量 ５８ ５１ ４５ F A クリーン シリーズ ６７ Ｅ矢視 Ｂ Ａ×Ｎ Ｂ ２× （Ｎ+１） ‒３． ４キリ通シ∅６． ５ザグリ深サ３． ５ Ａ ２８ コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ２ ＰＬラベル貼付位置 ＬＳＴ LT １２１ （リファレンスマーク検出位置） ８． ５ ２８ ２８ ２８ ２０ ８ １０ ８‒Ｍ３通シ E ＬU 形番 １１． ５ ５１ Ｃ １５ ３１ GLM 10 GLM 15 GLM 20 近接センサ付き GLM 25 GLS KLM CLM スライダ長さ L［ T mm］ スライダ部 タップ穴数 ドグ取付位置 C ［mm］ スライダ質量 ［kg］ 101 8 43 0.42 RDM RDM‒ mini アクチュエータ 全長 ［mm］ LU ストローク ［mm］ LST ベース固定用 タップ穴ピッチ寸法 A ［ mm］ ベース固定用 取付穴数 （N+1） 2× N B ［mm］ 254 113 96 6 2 13 1.4 356 215 96 8 3 16 1.7 459 318 100 10 4 11.5 2.0 561 420 100 12 5 12.5 664 523 100 14 6 14 2.6 766 625 100 16 7 15 2.9 868 727 100 18 8 16 3.2 リファレンスマーク 検出位置 ［ mm］ 121 本体質量 ［ kg］ 2.3 注）本体質量にはスライダ1 個分の質量を含みます。 475 P473-478_RDM mini .indd 475 RDM–mini 10.3.15 0:56:05 PM RDM–mini 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 RDM1108 コアレスロッドタイプ コンパクト シリーズ メカストローク：189∼701袢 光学式リニアエンコーダNUMERIK JENA製仕様 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 寸法図・質量 58 51 45 F A クリーン シリーズ 67 Ｅ矢視 B A×N B A コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 28 （Ｎ+１） ‒３.4キリ通シ∅６.5ザグリ深サ3.5 ２× 2 LT ＰＬラベル貼付位置 LST 147（リファレンスマーク検出位置） 7.5 28 28 28 28 20 8 10 10‒M3通シ E LU C 形番 11.5 51 15 GLM 10 31 GLM 15 GLM 20 近接センサ付き GLM 25 スライダ長さ T mm］ L［ スライダ部 タップ穴数 ドグ取付位置 C ［mm］ スライダ質量 ［kg］ 127 10 56 0.52 GLS KLM CLM RDM アクチュエータ 全長 ［mm］ LU リファレンスマーク 検出位置 ［mm］ ストローク LST ［mm］ ベース固定用 タップ穴ピッチ寸法 A ［mm］ ベース固定用 取付穴数 （N+1） 2× N B ［mm］ 356 189 96 8 3 16 1.8 459 292 100 10 4 11.5 2.1 561 394 100 12 5 12.5 664 497 100 14 6 14 2.7 766 599 100 16 7 15 3.0 868 701 100 18 8 16 3.3 本体質量 ［kg］ RDM‒ mini 2.4 147 注）本体質量にはスライダ1 個分の質量を含みます。 RDM–mini P473-478_RDM mini .indd 476 476 10.3.15 0:56:31 PM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series サーボパック コンパクト シリーズ モータ形式 RDM1106 RDM1104 RDM1102 RDM1108 高速パルス入力基板有無 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 高速パルス入力基板無し SGDH‒01BEY364‒N 高速パルス入力基板付き [JUSP‒LD001A] SGDH‒01BEY364‒H 仕様 サーボパック形式 定格 クリーン シリーズ F A 形番 最大適用モータ容量 入力電源 2.4Arms 最大出力電流 主回路入力電源 7.2Arms 制御回路入力電源 単相 AC100∼115V （‒15∼+10%） 50/60Hz 制御方式 使用条件 基本仕様 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 連続出力電流 フィードバック 使用温度／保存温度 使用・保存湿度 耐振動／耐衝撃 性能 概略質量 バイアス設定 ※2 1.0kg 符号+パルス列、CCW+CW パルス列、90度位相差2相パルス（A相 +B相） のうち、 いずれか1種類を選択 ラインドライバ （+5Vレベル） 、 オープンコレクタ （+5Vまたは+12Vレベル） 最大500kHz ただし、 オープンコレクタの場合は最大200kHz 指令パルス 入力パルス形態 （CN8） − ラインドライバ （+5Vレベル） 入力パルス周波数 − 最大4MHz（符号+パルス列、 CCW+CWパルス列） 最大1MHz （90度位相差2相パルス （A相+B相） ） 性能 速度指令 入力 クリア信号 （入力パルス形態は指令パルスと同一） ※3 +12V （1kΩ抵抗内蔵） 1：5000 （速度制御範囲の下限は定格負荷時停止しない条件） 負荷変動率 0∼100%負荷時±0.01%以下 （定格速度にて） 電圧変動率 定格電圧±10%にて0% （定格速度にて） 温度変動率 25±25° Cにて±0.1%以下 （定格速度にて） 周波数特性 入力信号 速度・推力制御モード RDM‒ mini 0.8kg 0∼450mm/s （設定分解能 1mm/s） 符号+パルス列、CCW+CWパルス列、90度位相差2相パルス （A相+B相）のうち、いずれか1種類を選択 速度制御範囲 RDM 4.9m/s2／19.6m/s2 − GLM 25 CLM 90%RH以下 （結露なきこと） 入力パルス種類 制御信号 KLM 0∼+55° C※1／‒20∼+85° C （凍結なきこと） 0∼250指令単位 （設定分解能 1指令単位） 内蔵オープンコレクタ用電源 GLS [CN2] シリアル変換モジュール正弦波ピッチの1/256データ （インクリメンタル） 0∼100% （設定分解能 1%） GLM 15 GLM 20 単相全波整流 IGBT PWM制御 正弦波電流駆動方式 フィードフォワード補償 指令パルス 入力パルス形態 （CN1） 入力パルス周波数 SGDH‒01BEY364‒H 単相 AC100∼115V （‒15∼+10%） 50/60Hz 位置決め完了幅設定 入力パルス種類 入力信号 位置制御モード 形番 GLM 10 SGDH‒01BEY364‒N 100W 400Hz （JL=JMにて） 推力制御精度再現性 ±2% ソフトスタート時間設定 0∼10s （加速・減速それぞれ設定可） 指令電圧 速度指令 入力 入力インピーダンス 回路時定数 指令電圧 推力指令 入力 入力インピーダンス 回路時定数 接点速度 入力 移動方向選択 速度選択 DC±6V （DC±2∼±10V：可変設定範囲） /定格速度にて （プラス指令で正方向） 許容入力電圧：±12V （max） 約14kΩ 約47μs DC±3V（DC±1∼±10V：可変設定範囲） /定格推力にて （プラス指令で正方向推力指令） ±12V （max） 約14kΩ 約47μs P動作信号入力を使用 正方向/負方向電流制限信号を使用 （第1∼3速度選択） 両方OFFの時、停止または別の制御方式になる ※1 この範囲内の周囲温度でドライバを取付けてください。ボックスに収納する場合も、 ボックス内の温度がこの値を超えないようにしてください。 ※2 出荷時設定では位置制御モードに選択しています。 ※3 内蔵オープンコレクタ用電源は、 ドライバ内制御回路と電気的に絶縁していません。 477 P473-478_RDM mini .indd 477 RDM–mini 10.3.15 0:57:12 PM 出力形態 位置信号出力 分周比 シーケンス入力信号 基本仕様 SGDH‒01BEY364‒N 寸法図 ドライバ オプション ケーブル SGDH‒01BEY364‒H A相、B相、C相：ラインドライバ出力 任意分周 サーボオン、 P動作 （または、 制御モード切替え、 内部設定速度によるモータ運転の正/逆方向切替え、 ゼロ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 入出力信号 信号の割付 変更が可能 システム構成 コンパクト シリーズ サーボパック形式 項目 形番 エコノミー シリーズ 特長 クランプ、 指令パルス阻止） 、 正方向駆動禁止 （P‒OT） 、 逆方向駆動禁止 （N‒OT） 、 アラームリセット、 正方 向側電流制限/逆方向側電流制限 （または、 内部速度選択） 固定出力 シーケンス出力信号 信号の割付 変更が可能 ダイナミックブレーキ （DB）機能 回生処理機能 位置決め完了 （速度一致） 、 モータ移動中、 サーボレディ、 電流制限中、 速度制限中、 ブレーキ解放、 警告、 NEAR信号の中から、3種類の出力信号を選択可能 主電源オフ、 サーボアラーム、 サーボオフ、 オーバトラベル時にDB動作 F A P‒OT、N‒OT動作時DB停止、 減速停止またはフリーラン停止 クリーン シリーズ オーバートラベル （OT）防止機能 サーボアラーム、 アラームコード（3 ビット出力） 回生抵抗器は外置き 0.01＜A/B＜100 電子ギヤ コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 過電流、過電圧、不足電圧、過負荷、 回生異常、主回路検出部異常、 ヒートシンク過熱、 オーバフロー、 保護機能 過速度、 エンコーダ異常、暴走防止、CPU 異常、 パラメータ異常、他 LED表示機能 CHARGE、POWER 7seg‒LED×5 個（デジタルオペレータ機能を内蔵） 速度、推力指令信号などの観測のためアナログモニタ用コネクタを内蔵 内蔵機能 観測用アナログモニタ機能 [CN5] 速度：1V/1000min‒1 推力：1V/ （定格推力100%） 偏差パルス：0.05V/指令単位または0.05V/100指令単位 接続機器 1：N通信 通信機能 軸アドレス設定 デジタルオペレータ （JUSP‒OP02A‒2） RS‒422Aポート時、N=14局まで可能 ユーザ定数によって設定 状態表示、 ユーザ定数設定、 モニタ表示、 アラームトレースバック表示、JOG運転、 機能 その他 対応可能なアプリケーションモジュールには、 以下の種類があります。 JUSP‒NS100：MECHATROLINK I/Fユニット JUSP‒NS300：DeviceNet I/Fユニット JUSP‒NS500：PROFIBUS‒DP I/Fユニット JUSP‒NS600：INDEXER アプリケーションモジュール JUSP‒LD001A：高速パルス入力 I/Fユニット 形番 アプリケーション モジュール対応 オートチューニング操作、速度・推力指令信号などの描画機能 GLM 10 逆方向接続、原点サーチ、 モータ自動判別機能、電源高調波抑制用DCリアクトル接続端子 GLM 15 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini RDM–mini P473-478_RDM mini .indd 478 478 10.3.15 0:57:42 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 外形寸法 SGDH‒01BEY364‒N（高速パルス入力基板無し仕様） ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 100V SGDH‒01BEY364 クリーン シリーズ 160 F A コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 8 55 （75） 130 形番 SGDH‒01BEY364‒H（高速パルス入力基板付き仕様） GLM 10 100V SGDH‒01BEY364 GLM 15 GLM 20 160 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini 75 479 P479-486_RDM mini .indd 479 （75） 130 RDM–mini 10.3.15 0:59:06 PM 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ 接続図 SGDH‒01BEY364‒N SGDH‒01BEY364‒H※ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ ※ パルス入力は高速パルス入力基板のCN8のコネクタに接続してください。 ■単相電源仕様 +10% 単相AC100∼115V ‒15% (50/60Hz) 1MCCB ノイズフィルタ F A クリーン シリーズ 電源OFF 電源ON 1MC アラーム処理 1MC 電磁接触器、 リレーのコイルにはサージサプレッサを つけてください SUP B1 L1 B2 V W SGDH L1C L2C 1 D(4) CN2 2 V‒REF 速度指令 （±2V∼±10V/定格速度） 推力指令 （±1V∼±10V/定格推力） A(1) モータ B(2) M C(3) U L2 必ず接地してください ※4 シリアル変換モジュール CN1 5 ※2 SG 6 9 SG 10 光学式エンコーダ シールド線の端末処理を 確実に行ってください LPF T‒REF コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ※3 1MC 37 ※2 A/D 38 LPF 39 ALO1 アラームコード出力 最大使用電圧 DC30V ALO2 最大出力電流 DC20mA ALO3 ※1 7 150Ω /PULS 8 SIGN CCW B相 SIGN 11 /SIGN 12 35 PBO CLR CLR 15 36 /PBO /CLR 14 +12V PL1 オープンコレクタ PL2 指令用電源 PL3 ※5 +24V +24V 1Ry 1Ryオンでサーボオン 2RyオンでP動作 P‒LSオフで正転駆動禁止 N‒LSオフで逆転駆動禁止 3Ryオンでアラームリセット 6Ryオンで正転側電流制限ON 7Ryオンで逆転側電流制限ON 2Ry 3 1KΩ 13 33 PAO 34 /PAO 19 PCO 20 /PCO 18 25 47 3.3KΩ 26 /S‒ON 40 /サーボON /P‒CON 41 比例制御 （P動作） 27 28 形番 位置指令 PULS PULS CW A相 PG分周出力 適用ラインレシーバ TI製 SN75175 または、 MC3486相当品 GLM 15 正転駆動禁止 N‒LS N‒OT 43 逆転駆動禁止 29 3Ry /ALM‒RST アラーム リセット 30 44 /S‒RDY+ サーボレディ出力 /S‒RDY‒：レディでON 正転側電流 制限ON 逆転側電流 制限ON 31 ALM+ 32 ALM‒ /N‒CL 45 46 コネクタシェル GLS TGON出力 /TGON‒ ：設定値以上でON 42 /P‒CL GLM 25 /TGON+ P‒OT 7Ry GLM 20 /V‒CMP+ 速度一致検出 (/COIN+) ：速度一致検出でON /V‒CMP‒ 位置決め完了 (/COIN‒) ：位置決め完了でON P‒LS 6Ry GLM 10 KLM CLM サーボアラーム出力 ：アラームでOFF RDM フォトカプラ出力 最大使用電圧DC30V 最大出力電流DC50mA RDM‒ mini FG シールド線はコネクタシェルにつなぎます ※1 ※2 ※3 ※4 ※5 はツイストペア線を示しています。 一次フィルタで、 時定数47㎲です。 本回路は感電のおそれがあるので、外部からの接触防止のため保護分離しています。 SELV回路です。二重絶縁あるいは強化絶縁による保護分離により、 他の回路から分離しています。 DC24V電源は、二重絶縁された機器をご使用ください。 RDM–mini P479-486_RDM mini .indd 480 480 10.3.15 1:07:15 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ サーボパック入出力信号機能説明 ［CN1］ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 適用リセプタクル形式 サーボパック内使用コネクタ仕様 ［CN1］ 10250‒52A2JL 相当品 ライトアングル 50P はんだ付けタイプ ケース メーカ 10150‒3000VE 10350‒52A0‒008 住友スリーエム㈱ 注）CN1コネクタはサーボパックに付属します。 F A クリーン シリーズ 信号名 /S‒ON コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 共通 ピン No. 40 /P‒CON 41 P‒OT N‒OT 42 43 /P‒CL /N‒CL 45 46 機能 サーボオン：インバータ部のゲートブロック解除により、 モータが通電状態になります。 ユーザ定数の設定により、 機能を選択します。 比例動作指令 オンで速度制御ループが P1 （比例・積分） 制御から P （比例） 制御に切替わります。 移動方向指令 内部速度指令選択の場合： 移動方向を切替えます。 制御モード切替え 制御モードの切替え可能（位置⇔速度、位置⇔トルク、 トルク⇔速度） ゼロクランプ指令 ゼロクランプ機能付き速度制御： オンで速度指令をゼロとみなします。 指令パルス阻止指令 指令パルス阻止機能付き位置制御： オンで指令パルスの入力を阻止します。 正転駆動禁止 逆転駆動禁止 オーバートラベル防止：機械の可動部が移動できる領域を超えたときに、 モータの駆動を停止します。 ユーザ定数の設定により、 機能を選択します。 入力信号 速度 トルク 形番 位置 指令 GLM 10 GLM 15 GLM 20 GLM 25 GLS KLM 共通 出力信号 CLM RDM RDM‒ mini 速度 位置 /ALM‒RST +24VIN V‒REF T‒REF PULS /PULS SIGN /SIGN CLR /CLR PL1 PL2 PL3 ALM+ ALM‒ /TGON+ /TGON‒ /S‒RDY+ /S‒RDY‒ PAO /PAO PBO /PBO PCO /PCO ALO1 ALO2 ALO3 FG /V‒CMP+ /V‒CMP‒ /COIN+ /COIN‒ 予備 44 47 5（6） 9（10） 7 8 11 12 15 14 3 13 18 31 32 27 28 29 30 33（1） 34 35 36 19 20 37 38 39（1） シェル 25 26 25 26 16, 17, 23 24, 50 正転側電流制限オン 逆転側電流制限オン オンで電流制限機能が有効。 内部速度指令選択の場合： 内部設定速度を切替えます。 内部速度切替え アラームリセット： サーボアラーム状態を解除します。 シーケンス信号用制御電源入力：+24V（電源は貴社にてご用意ください）動作可能電圧範囲：+11∼+25V （入力ゲインはユーザ定数で変更可能） 速度指令入力：±2∼±10V/ 定格回転速度 （入力ゲインはユーザ定数で変更可能） トルク指令入力：±1∼±10V/ 定格トルク 指令パルス入力 ラインドライバ、 オープンコレクタに対応 入力モード 符号 + パルス列 CCW/CWパルス 2相パルス（90度位相） 偏差カウンタクリア：位置制御時に偏差カウンタをクリアします。 PULS、SIGN、 および CLR 指令信号がオープンコレクタ出力信号の場合、 +12V プルアップ電源を供給します （+12V 電源はドライバ内蔵） 。 サーボアラーム：異常検出により、 オフします。 モータ動作中検出：モータが設定値以上の速度で動作中であることを検出します。 検出速度はユーザ定数で設定可能です。 サーボレディ：制御/主回路電源オンでサーボアラ−ムが発生していない場合にオンします。 A相信号 B相信号 2相パルス （A相、B相）変換エンコーダ出力信号 および原点パルス （C相） 信号： RS422 相当 C相信号 アラームコード出力：3 ビットでアラームコードを出力します。 オープンコレクタ 最大定格 30V 20mA 入出力信号用ケーブルのシールド線をコネクタシェルに接続することで、 フレームグランド （アース） に接続されます。 速度一致 （速度制御モードの場合に出力） ： モータ速度が設定範囲内で、速度指令値に一致したことを検出します。 位置決め完了 （位置制御モードの場合に出力） ：偏差パルスが設定値以内に入った時にオンします。 設定値は偏差パルスのパルス数で、 指令単位 （電子ギヤで定義した入力パルスの単位） で設定します。 空き端子は、中継などに使用しないでください。 注） （ ） 内のピンNo.はシグナルグランドを示します。 481 P479-486_RDM mini .indd 481 RDM–mini 10.3.15 1:07:34 PM 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ ［CN8］ （高速指令パルス入力コネクタ） 適用リセプタクル形式 サーボパック内使用コネクタ仕様 ［CN8］ ケース メーカ 10126‒3000VE 10326‒52A0‒008 住友スリーエム㈱ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 10226‒52A2JL相当品 ライトアングル26P はんだ付けタイプ 注）CN8コネクタは高速パルスボードに付属します。 機能 指令パルス入力 RS422準拠ラインドライバ （TI製SN75174相当品） に対応。 インターフェースは、ラインレシーバ （TI製SN75175相当品） 仕様。 入力モード ・符号+パルス列 ・CCW/CWパルス ・2相パルス （90度位相） F A 偏差カウンタクリア：位置制御時に偏差カウンタをクリアします。 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ピンNo. 10 11 12 13 17 18 19 26 クリーン シリーズ 入力信号 ︵ ︶ 信号名 PULS /PULS SIGN 位置 /SIGN 指令 CLR C N /CLR 8 SG （GND） SG （GND） パルス指令コントローラ側のパルス出力のSGとドライバSGは必ず接続して同レベルにしてください。 インターフェース回路 上位装置例 高速指令パルス入力インターフェース 出力ラインドライバ TI製 SN75174 相当品 CN8‒10 /PULS CN8‒11 SIGN CN8‒12 /SIGN CN8‒13 CLR CN8‒17 /CLR CN8‒18 SG 入力ラインレシーバ TI製 SN75175 相当品 形番 PULS CN8‒19, 28 コネクタシェル 0V GLM 10 FG GLM 15 GLM 20 はツイストペア線を示しています。 GLM 25 GLS 端子配列 KLM 2 4 6 − − − 1 − − 3 − − − 15 17 − 5 − − 7 − − 19 − 8 − − 10 PULS 指令パルス 入力 SIGN 指令符号 入力 9 12 11 13 − /PULS /SIGN − CLR SG クリア 入力 指令符号 入力 − − 23 − − − − 16 − − 18 /CLR クリア 入力 20 − − 22 − − 24 − − 26 SG GND CLM RDM RDM‒ mini GND 21 25 − − − 指令パルス 入力 14 − 注1）空き端子には、 接続しないでください。 注2）ケーブルのシールド線はコネクタシェルに接続してください。 注3）ユニット側コネクタでFG （フレームグランド） に接続します。 RDM–mini P479-486_RDM mini .indd 482 482 10.3.15 1:07:57 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ シリアル変換モジュール ［JZDP‒D008‒＊＊＊］ 電源電圧 +5.0V ±5% リップル含有率5%以下 ※1 消費電流 信号分解能 電気的特性 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 仕様 クリーン シリーズ F A 120mA Typ. 350mA Max. 入力2相正弦波ピッチの1/256 最高応答周波数 出力信号※2 250kHz 位置データ、 ホールセンサ情報、 アラーム 出力方式 シリアルデータ伝送（マンチェスタコードによるHDLCフォーマット） 通信周期 62.5μs 出力回路 平衡型トランシーバ （SN75LBC176相当） 、 内部終端抵抗120Ω コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ アナログ信号入力 （Cos，Sin，Ref） ホールセンサ信号 機械的特性 質量 ディファレンシャル入力差動振幅：0.4∼1.2V 入力信号レベル：1.5∼3.5V CMOSレベル 250g 外形寸法 90mm×60mm×23mm （本体部） 耐振動 （10∼2500Hz） 3方向 98m/s2 max. 耐衝撃 2 3方向 2回 980m/s（11ms） 環境 動作温度範囲 0∼55° C 保存温度範囲 ‒20∼+80° C （凍結なきこと） 湿度範囲 20∼90%RH （結露なきこと） ※1 接続されるリニアスケール及びホールセンサの消費電流は含まれていません。 ※2 出力信号は電源投入後100∼300ms後に送信可能となります。 注）シリアル変換モジュールはアクチュエータ本体に付属します。 形番 外形寸法 GLM 10 3.を参照 4‒∅4.2 2‒4＃40穴UNCタップ GLM 15 GLM 20 2‒∅4.2 1.を参照 NP GLS 52 10 60 GLM 25 KLM 300 CLM 1.5 3 RDM 65 2.を参照 72 82 90 23 RDM‒ mini 4‒M5 深サ10 483 P479-486_RDM mini .indd 483 RDM–mini 10.3.15 1:08:41 PM 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 1. サーボパック側 シリアルデータ出力 2. アクチュエータ側 アナログ信号入力 1 5 6 1 信号 +5V S相出力 空き 空き 0V /S相出力 空き 空き 空き シールド 15 第一電子工業㈱製 17シリーズコネクタ コネクタ : 17JE‒13150‒02（D8C） （ソケット） ピン№ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 ケース 信号 /Cos入力（V1‒） /Sin入力（V2‒） Ref入力（V0+） +5V 5Vs 空き 空き リミットスイッチ（Vq） Cos入力（V1+） Sin入力（V2+） /Ref入力（V0‒） 0V 0Vs 空き インナー シールド 1 6 5 9 第一電子工業㈱製 17シリーズコネクタ コネクタ : 17JE‒13090（D8C） ピン№ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 ケース F A 信号 +5V U相出力 V相出力 W相出力 0V 空き 空き 空き 空き シールド コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ピン№ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 ケース 9 クリーン シリーズ 第一電子工業㈱製 17シリーズコネクタ コネクタ : 17JE‒13090‒02（D2C） （ソケット） 8 3. アクチュエータ側 ホールセンサ信号入力 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 9 コンパクト シリーズ 標準インターフェース 注1）空きピンは使用しないでください。 注2）ケーブルを強く引っ張らないでください。 形番 GLM 10 GLM 15 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini RDM–mini P479-486_RDM mini .indd 484 484 10.3.15 1:09:09 PM エコノミー シリーズ 特長 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ ケーブル仕様 RMKHD‒＊＊：動力ケーブル（固定配線用） 〈サーボパック側〉 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 〈フォーサ側〉 Ｕ Ｖ Ｗ ＦＧ F A 丸圧着端子R1.25‒4 クリーン シリーズ D‒sub15ピン メス カ バ ー ：XM2S‒1513（オムロン㈱製） メスプラグ：XM2D‒1501（オムロン㈱製） 固定具 1：XM2Z‒0003（オムロン㈱製） 〈シリアル変換モジュール側〉 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ D‒sub9ピン オス カ バ ー ：XM2S‒0913（オムロン㈱製） オスプラグ：XM2A‒0901（オムロン㈱製） RMKHE‒01：エンコーダケーブル（固定配線用） 〈シリアル変換モジュール側〉 〈エンコーダ側〉 1ｍ 形番 GLM 10 GLM 15 D‒sub15ピン オス カ バ ー ：XM2S‒1513（オムロン㈱製） オスプラグ：XM2A‒1501（オムロン㈱製） GLM 20 GLM 25 D‒sub15ピン オス オスプラグ：XM2A‒1501（オムロン㈱製） カ バ ー ：XM2S‒1513（オムロン㈱製） 固定具1：XM2Z‒0003（オムロン㈱製） GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini 485 P479-486_RDM mini .indd 485 RDM–mini 10.3.20 5:50:53 AM 形番 システム構成 基本仕様 寸法図 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 〈サーボパック側〉 コンパクト シリーズ JZSP‒CLP20‒＊＊：シリアルケーブル（固定配線用） 〈シリアル変換モジュール側〉 Ｌ （∅6.8） ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ JZSP‒CLP20‒＊＊ ケーブル UL20276 （AWG16×2C+AWG26×2P） クリーン シリーズ F A プラグコネクタ：55100‒0600 日本モレックス㈱製 17シリーズコネクタ コネクタ：17JE‒23090‒02 （D8C） （9ピン） 第一電子工業㈱製 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ JZSP‒CLP70‒＊＊：シリアルケーブル（可動部配線用） 〈サーボパック側〉 〈シリアル変換モジュール側〉 形番 JZSP‒CLP70‒＊＊ （∅6.8） Ｌ GLM 10 プラグコネクタ：55100‒0600 日本モレックス㈱製 ケーブル UL20276 （AWG22×2C+AWG24×2P） GLM 15 17シリーズコネクタ コネクタ ：17JE‒23090‒02 （D8C） （9ピン） 第一電子工業㈱製 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini RDM–mini P479-486_RDM mini .indd 486 486 10.3.20 5:54:00 AM リニアモータ駆動製品 ■ 安全上の注意 ■ ・本製品を落下させたり、 叩いたりしないでください。怪我や破損の原因になります。 ・本製品を分解しないでください。異物の侵入や精度劣化の原因となります。 また、 ドライバは感電の恐れがあります。 ・GLM10/15/20/25：PLシールはアクチュエータ本体のエンドプレートに貼付されています。エンドプレートなしのアクチュエータオプ ションをご選定いただいた場合には、PLシールが貼付されませんので貴社にて準じたものをご用意ください。 ・マグネットプレート （固定子）は強力なマグネットです。強磁性体 （特に金属類） を近づけないでください。マグネットの吸引力により、マグ ネットと金属片の間に指等をはさまれる可能性があります。 また、 心臓ペースメーカを使用されている方は絶対に近づかないでください。 ・通電中はアクチュエータの動作部には、絶対に触らないでください。また、製品の作動中または作動できる状態のときは、アクチュエー タの作動範囲に立ち入らないでください。 ・アクチュエータ本体、 ドライバおよび接続されている関連機器の設置、調整、点検、保守作業を行う際は、必ず全ての電源プラグをコン セントから抜き、作業者以外が電源を投入復帰できないように、施錠、 または安全プラグ等をご用意ください。 また、作業中の旨を明記し た物を見易い位置に掲示してください。 ・複数の人が作業を行う場合は、手順、 合図、 異常等の措置を予め確認し、 別途、作業を監視する人をおいてください。 ・取扱説明書をよく読み、 内容を十分理解し、安全のための注意事項は、 必ず厳守してください。 および厚生労働省「労働安全衛生規則」を ・作業の前に、 JIS規格「産業用マニピュレーティングロボット−安全性」 （JIS B8433−1） 精読し、遵守してください。 ■ 使用環境 ■ アクチュエータとドライバは、使用環境が悪いと故障の原因となりますので、次のような場所でご使用ください。 ・アクチュエータは屋内、周囲温度0∼40℃の範囲内、周囲湿度80％RH以下 （凍結および結露なきこと） ・ドライバは屋内、 周囲温度0∼50℃の範囲内、周囲湿度90％RH以下 （凍結および結露なきこと） ・腐食性ガスや可燃性ガスがない場所 ・鉄粉等の誘電性のある粉体、 塵埃、 オイルミスト、 切削液、水分、塩分、及び有機溶剤が飛散しない場所 ・直射日光、輻射熱が当たらない場所 ・強電界、 強磁界の発生しない場所 ・振動や衝撃が本体に伝わらない場所 ・点検や清掃のしやすい場所 ■ 保管 ■ ・本製品は、 弊社の梱包および荷姿で、高温、低温、 多湿を避け、 水平な状態で保管してください。 ■ 取扱説明書 ■ ・各取扱説明書はウェブサイトからダウンロードできます （ログインが必要な場合もあります） 。 THKアクチュエータサイト http://www.ea-thk.com/ 「リニアモータアクチュエータ GLM10/20 取扱説明書 TDドライバ仕様」 「リニアモータアクチュエータ GLM10/20 取扱説明書 汎用ドライバ仕様」 「リニアモータアクチュエータ GLS 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ KLM46 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ CLM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ RDM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ RDM−mini 取扱説明書」 「リニアモータロッドタイプ 取扱説明書 （モータ単体）」 その他、 ＣＡＤデータやパソコンソフト等もダウンロードできます。 19 前付_P003-020.indd 19 10.3.20 8:50:36 AM
