Download F - ASAHI/America,Inc.
Transcript
ユニークな発想と それが です。 Unique ideas and cutting edge technology. That’s Dymatrix. Dymatrix ユニーク [unique](形動) 同じようなものがほかにあまり見られぬさま。独特なさま。 「――な存在」 「――な発想」 技術力、 旭有機材は、 1952年に世界初の 塩ビ製バルブ(AVバルブ) を開発・ 製 品 化し、以 来 現 在にいたるまで プラスチックバルブで世 界トップ シェアを維 持してまいりました 。 現在も配管材料の技術を活かし た新製品を積極的に開発し、周辺 分野への更なる展開に挑戦し続け て おります 。 そして、半 導 体や F P D 分 野に おいて高度化、多様化するニーズに お応えするため、新たに を製 品 化しました 。ウエットプロ セスで使 用される純 水 、ケミカル はもとより、バルブにとって 過 酷 な条 件となるC M Pスラリーのラ インでも安 心してご使 用いただけ ます。 プラスチックバルブで長 年 培っ た技術とユニークな発想で皆様の あらゆるニーズにお応えします。 Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. (AOC) has grown steadily since our establishment in 1945. In 1952, we developed thermoplastic valves and have become a leading manufacturer in the piping industry. AOC continues to be a pioneer in the development and research of plastics and polymer technology. Our strong knowledge of thermoplastic valve technology has allowed us to actively develop new products and expand our product offering for new industries. The Dymatrix products were specifically developed for the Semiconductor and FPD industries to meet their advanced technological requirements. These products are ideally suited for CMP Slurry, DI Water, and Chemical Process. Weareproud unique products. to offer you these 半導体・FPDプロセスのニーズに対応する 樹脂製バルブ&フローコントロール製品 Thermoplastic valves and control products to meet the requirement of the Semiconductor and FPD industry. 半導体・FPD関連のウェットプロセス装置向けバルブ シリーズが皆様のニーズにお応え致します。 CMPスラリーに対して優れた耐久性をもつピンチバルブをはじめ、流量制御用バルブ、流量制御ユニットなど ユニークかつ安心してお使いいただける製品をご提供致します。 The products were designed to respond to our customer’s needs. We provide unique and reliable products such as pinch valves, which have a superior resistance against CMP Slurry. Other products that target specific applications are a pressure regulator, flow control valve, and flow control system to target specific needs. 材料・部品購入 3XUFKDVHRIPDWHULDODQGSDUWV 成形・加工 ,QMHFWLRQPROGLQJ・0DFKLQLQJ 外観・寸法検査 ,QVSHFWLRQRIDSSHDUDQFHDQGGLPHQVLRQVPROGLQJ・0DFKLQLQJ クリーンルーム &OHDQURRP 02 洗 浄 &OHDQLQJ 乾 燥 'U\LQJ 組 立 $VVHPEO\ 製品検査 ,QVSHFWLRQRISURGXFWV 梱 包 3DFNDJLQJ 出 荷 6KLSSLQJ 集中管理システム ,QWHQVLYHPDQDJHPHQWV\VWHP クリーンパック(クラス100) &OHDQSDFNDJLQJ&ODVV 精密成形 3UHFLVLRQPROGLQJ クリーン洗浄 3UHFLVLRQFOHDQLQJ ●CONTENTS● AVPV3 ………………………… 08 6×4 10×8 12×10 19×16 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 19.05×15.88 25×22 25.40×22.20 Pinch valve ピ ン チ 弁 AVPVM ………………………… 12 6× 4 10× 8 12× 10 19× 16 25× 22 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20 AVPVSL ………………………… 16 6× 4 10× 8 12× 10 19× 16 25× 22 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20 AVPVEL ………………………… 20 PTFE 2 way valve Multi port valve Needle valve ニードル弁 PTFE製2方弁 マルチポート弁 6× 4 6.35× 4.35 AVSDV ………………………… 26 6× 4 10× 8 12× 10 19× 16 25× 22 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20 AVMPV ………………………… 34 6× 4 10× 8 12× 10 19× 16 25× 22 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20 AVNVM ………………………… 46 6× 4 10× 8 12× 10 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 High purity Regulator 定 圧 弁 AVHPRL ………………………… 54 3× 2 6× 4 10× 8 12× 10 19× 16 25× 22 3.18× 1.60 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20 AVHPRS ………………………… 66 6× 4 10× 8 12× 10 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 Constant flow valve PVC 2 way valve Quick drain valve 定流量弁 PVC製2方弁 急速排水弁 AVCFV ………………………… 72 6× 4 6.35× 4.35 HDV12 ………………………… 76 15 20 25 40 50 AVQDV ………………………… 86 40 50 80 100 ※ 流体 Medium 作動 Actuation 用途 Application 超純水 エア駆動タイプ 閉止用途 DIWater Air Operation type for Shut 各種薬液 手動タイプ Chemical Manual type 流量調節 スラリー 電動タイプ 圧力調節 Slurry Electric Motor type for Pressure control for Flow control スローリーク for Slowleak ※適合流体は p.06 の適合流体リストをご参照ください。※ Pleaserefertopage06for“SuitabilytyListonMedium”. 03 本製品の取扱注意事項 Important notice for use of ご使用の前に必ずお読み下さい。 Please read the following instructions carefully before using the Dymatrix products. 警 告 Warning ● 弊社製品のご使用に際しては、 製品仕様や注意事項等の遵守をお願い致します。 ● 弊社は製品の品質・信頼性の向上に努めておりますが、 その完全性を保証するものではありません。 特に人の生命、 身体または財産を侵害 する恐れのある設備等へご使用される場合には、 通常発生し得る不具合を十分に考慮した適切な安全設計等の対策を施してください。 この ようなご使用については、 事前に仕様書等の書面による弊社の同意を得ていない場合は、 弊社はその責を負いかねますのでご了承願います。 ● 弊社製品の選定、 施工・据付け、 操作、 メンテナンス等の注意事項は技術資料、 取扱説明書等に記載してありますので、 最寄りの販売店・弊 社営業所へお問い合わせ下さい。 Follow all product specification and warnings when using these products. Our company does not guarantee every application, although we are constantly making every effort to improve the quality and reliability of these product. The Dymatrix products used in equipment could cause serious physical damage or property damage, if appropriate and safe design procedures are not followed. We take no responsibility for these products if there was no written agreement regarding the compatibility of the product with the application. Consult your nearest the Dymatrix products supplier or our office if you need assistance on product specification, installation/plumbing, operation and maintenance. 警告:取り扱いを誤った場合に、人が死亡もしくは重症を負うことが想定される。 Warning : Wrongful use of these products could cause death or severe injury. 注意:取り扱いを誤った場合に、人が軽症を負う危険、もしくは物的損害のみが発生する危険を負うこと が想定される。 Attention : Wrongful use of these products could cause material damage. 設計・選定時の注意事項 Cautions for design of piping and product selection. 警 告 Warning 1. 製品仕様:流体・温度・圧力その他の使用条件等を考慮し、本製品の仕様範囲内でご使用下さい。 2. 使用流体:製品の構成材料と使用流体との適合性については、適合流体リストにてご確認の上ご使用下さい。リストに記載以外の 流体につきましては、別途お問い合わせ下さい。 圧縮性流体をご使用の際は安全対策を十分に実施して下さい。 3. 流体圧力:本カタログに記載しております使用圧力範囲内でご使用下さい。 4. 流体温度:本カタログに記載しております使用流体温度範囲内でご使用下さい。 5. 周囲環境:本カタログに記載しております周囲温度範囲内でご使用下さい。製品の構成材料と周囲雰囲気との適合性をご確認の上 ご使用下さい。また製品外面に流体が付着しないようにして下さい。 6. 液封:システム上に逃がし弁を設け、液封の回路にならないようにして下さい。 7. メンテナンススペース:メンテナンスに必要なスペースを確保して下さい。 1. Product Specifications : Use the Dymatrix products within the specification range of the working conditions such as medium, working temperature/pressure and so on. 2. U se Medium : Confirm the fluid compatibility with the wetted part of the Dymatrix products in the ”Suitability List on Medium”. Consult us on any medium, which is not listed in ”Suitability List on Medium”. Pay careful attention to the use of our products with compressive fluids. 3. Working pressure : Use the Dymatrix products within the range of working pressure shown in this catalog. 4. Working Temperature : Use the Dymatrix products within the range of working temperature shown in this catalog. 5. Atmospheric Temperature : Use the Dymatrix products within the range of atmospheric temperature shown in this catalog. Please use the Dymatrix products upon confirmation of compatibility with material and atmosphere. Do not adhere any fluid to the external surface of product. 6. When preparing the bypath piping, avoid making the circuit a sealed loop, which would cause breakage of the piping material. 7. Maintenance space : Secure the maintenance space. 据付・配管時の注意事項 Cautions for installation and plumbing 警 告 Warning 1. 事前に各製品の取扱説明書をよくお読みいただき、理解した上で正しく据付・配管を行って下さい。 2. 据付・配管前には配管内を十分フラッシングし、異物を取り除いて下さい。 3. 据付・配管後は漏れの検査を行い、正しく実施されているかご確認下さい。 4. バルブに引張・圧縮・曲げ等の応力がかからないようにして下さい。 5. 流体方向が表記されている製品は、流体の流れ方向と一致するようにして下さい。 6. 逆作動の場合、操作圧を加えないポートは大気開放にして下さい。 1. Read User’s Manual (IOM-Manual) carefully prior to installation/plumbing. 2. Flush the piping completely and make sure that there is no foreign substances in the piping prior to installation/plumbing of our product into it. 3. Confirm the leak inspection is carried out correctly after the installation/plumbing. 4. Make sure that the valves are free of tensile/compression/bending stresses. 5. Confirm the flow direction of the valve matches the flow direction indication on the body. 6. In the case of Air-To-Open (Spring Return) Type, leave the port that is not for pilot air supply opened to atmosphere. 注 意 Attention 1. チューブとの接続については、各継手メーカーが推奨する取り付け方法で行って下さい。 2. エア配管用継手は必ず樹脂製を使用してください。締付けは、0.4 〜 0.6N ・ m の締付けトルクで行って下さい。 ※ AVHPRS は 0.2 〜 0.4N ・ m の締付けトルクです。 1. To connect our products with tubing, follow the procedure given by the manufacturer of fittings. 2. Please use the pilot air supply fitting made of the plastic. To fit the pilot air supply tube onto actuator cylinder tighten the torque to 0.4 to 0.6N-m. For the AVHPRS, tighten the torque to 0.2 to 0.4N-m. 0 使用上の注意事項 Cautions for use of the Dymatrix products 警 告 Warning 1. 流体・温度・圧力その他の使用条件等を考慮し、本製品の仕様範囲内でご使用下さい。 1. Use the Dymatrix products within the specification range of the working conditions such as medium, working temperature/pressure and so on. 注 意 Attention 1. 製品の構成材料と使用流体との適合性については、適合流体リストにてご確認の上ご使用下さい。 リストに記載以外の流体につきましては、別途お問い合わせ下さい。 2.使用圧力によってはウォーターハンマーが発生する恐れがあります。スピードコントローラなどで開閉速度を調整して下さい。 3.使用条件によってはキャビテーションが発生する恐れがあります。流体圧力や配管条件などの見直しをして下さい。 4.クリーンルーム内での設置を想定し、精密洗浄後クリーンパックしておりますので、お取り扱いにはご注意下さい。 5. 流量調整付、バイパス付については、ハンドルを閉め過ぎないようにして下さい。 6. 操作エアは有機溶剤や腐食性ガスを含まない、清浄なエアをご使用下さい。 7. 流体方向が表記されている製品は、流体の流れ方向と一致するようにして下さい。 1. C onfirm the fluid compatibility with the wetted part of the Dymatrix products in the ”Suitability List on Medium”. Consult us on any medium, which is not listed in ”Suitability List on Medium”. 2. Water hammering could be generated depending on the working pressure. To avoid water hammering, adjust the operation speed by the speed controller. 3. Cavitations could be generated depending on the working condition. If cavitations are observed, review the fluid pressure and piping design. 4. Handle the Dymatrix products carefully to protect the clean (room) packaging. 5. To avoid breakage or deformation, don’t apply excess force to the handle. 6. Use CDA (Clean Dry Air) for pilot air, which does not contain any organic solvents or corrosive gases. 7. Confirm the flow direction of the valve matches the flow direction indication on the body. メンテナンス時の注意事項 Cautions for maintenance 警 告 Warning 1. 事前に操作エアおよび流体を抜いて下さい。 2. バルブおよび配管内に残留した薬液を除去し、純水、エアで十分置換した上で作業して下さい。 3.製品を分解しないで下さい。分解されました場合本来の性能、仕様を損なう可能性があります。分解されました製品の保証は致し かねますのでご了承下さい。 4.製品を最適な状態でご使用いただくために、バルブおよび継手からの漏れの有無の確認を定期的に行って下さい。 1. Discharge the fluid and the pilot air prior to the maintenance. 2. Start maintenance after medium has been completely flushed by DI Water or air. 3. D o not disassemble the product. Disassembled products which may cause them to not keep their original specifications or performance. We cannot guarantee a disassembled product. 4. Check the piping periodically to maintain the appropriate condition for the products. 輸出に際して Cautions for export, when exporting to overseas from Japan 注 意 本カタログ中には、輸出貿易管理令(リスト規制)において輸出規制の対象となる製品が含まれております。リストをご参照の上、対 象となる製品のお取り扱いにはご注意下さい。 輸出貿易管理令(リスト規制)該当品リスト ラインナップ ピ ン チ 弁 AVPV3 AVPVM AVPVSL AVPVEL 輸出貿易管理令(リスト規制) 非該当品 インチ 6×4~25×22 6.35×4.35~ 25.40×22.20 6×4 PTFE 製 2 方弁 AVSDV 6×4~12×10 マルチポート弁 AVMPV 6×4~12×10※ ニ ー ド ル 弁 AVNVM 6×4~12×10 AVHPRL 3×2~12×10 AVHPRS 6×4~12×10 AVCFV HDV12 AVQDV 6×4 15~50 40~100 定 圧 弁 定 流 量 弁 PVC 製 2 方弁 急 速 排 水 弁 該当品 ミリ 6.35×4.35 6.35×4.35~ 12.70×9.53 6.35×4.35~ 12.70×9.53※ 6.35×4.35~ 12.70×9.53 3.18×1.6~ 12.70×9.53 6.35×4.35~ 12.70×9.53 6.35×4.35 − − ミリ インチ − 19.05×15.88、 25.40×22.20 19×16、 25×22 − 19.05×15.88、 25.40×22.20 19×16、 25×22 − − ※ M1 ポート、 M2 ポート及びSUB ポート全てが6×4(6.35×4.35)~12×10(12.70×9.53) で構成される場合に限ります。 0 適合流体リスト Suitability List on Medium 接液部・ボディ材質と流体との適合性 Suitability of wet parts, body material and medium ピンチバルブ(AVPV3、 AVPVM、 AVPVSL、 AVPVEL) Pinch Valve 接液部材質 Material of wet part 流 体 Medium 純 シリコンベースラバー Silicon based rubber 水 ○ DI Water 水酸化アンモニウム Ammonium hydroxide 水酸化カリウム 5% 以下 Potassium hydroxide ≦ 5% 過 酸 化 水 素 Hydrogen peroxide 界 面 活 性 剤 Surfactant 硫 酸 Sulfuric acid 塩 酸 Hydrochloric acid フ ッ 酸 Hydrofluoric acid 硝 酸 Nitric acid ○ ○ ○ ○ × ○:使用可 × △:条件により使用可 × Suitable Suitable under conditions ×:使用不可 Not suitable × 上記流体以外はご相談下さい。 特にスラリーに含まれる分散剤、添加剤につきましては、ご注意ください。 Please consult us on any medium, which is not listed. Be careful about dispersants and additives which are contained especially in Slurry. その他のバルブ Other Valve 接液部・ボディ材質 Material of wet part 流 体 Medium PTFE U-PVC PP 水 DI Water 水 酸 化 カ リ ウ ム Potassium hydroxide 過 酸 化 水 素 Hydrogen peroxide 硫 酸 Sulfuric acid 塩 酸 Hydrochloric acid フッ化アンモ ニウム Ammonium fluoride 水酸 化アンモニウム Ammonium hydroxide フ ッ 酸 Hydrofluoric acid 酢 酸 ブ チ ル Butyl acetate イソ プ ロ ピ ルアルコ ール Isopropyl alcohol ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ △ △ ○ △ △ ○ △ △ ○ ○ △ ○ △ △ ○ △ △ ○ × × ○ ○ ○ 純 ■上記リストは流体温度が、 シリコンベースラバー:40℃以下、PTFE:90℃以下、U-PVC:60℃以下、PP:80℃以下における適合性を 示します。 ■上記リストはあくまでも参考値であり、 製品を保証するものではありません。 ■上記流体以外はご相談下さい。 •T he above list shows suitability of each material with a working temperature of 40℃ and below for Silicon base rubber, 90℃ and below for PTFE, 60℃ and below for PVC and 80℃ and below for PP. • The data shown above are for reference purposes only and not a guarantee of product performance. • Please consult us on any medium, which is not listed. 0 樹脂製バルブ & AVNVM AVHPRS AVHPRL AVCFV HDV12 AVQDV OTHER Thermoplastic valves & flow control products for wet process AVMPV AVSDV フローコントロール製品 AVPVM AVPV3 ウェットプロセス用 AVPVEL AVPVSL Specialty Valves and Control Products 0 $939 Specialty Valves and Control Products $939 08 ピンチ弁 The use of a pinch seal structure provides superior durability. Our slurry evalution test shows there is no decline in the sealing performance, and that it has excellent durability against foreign substances caught in the flow passage. 仕 様 表 Specifications 単位 Unit 接 Connection 続 オ リ フ ィ ス C v 値 重 量 操 作 部 Pilot Frequency of opening and closing Installation direction Orifice diameter Cv value Weight 操 作 圧 力 Pilot pressure エ ア 消 費 量 Pilot air consumption 操作ポート接続 Pilot port − ℃ MPa MPa cm3/min ℃ times/min − − mm − kg φ 3.5 0.4 0.3 MPa 0.35 ∼ 0.5 50.8 ∼ 72.5psi L/times(ANR)※ 0.02 0.05 0.05 − 0.13 0.13 Rc1/8" ※エア消費量は操作圧力 0.5MPa の時の値です。 ※The pilot air consumption is the value at 0.5 MPa. 型式選定表 Ordering Code AVPV3 作 動 1 1 本体材質 Actuation 逆作動 (NC) Air to open チューブ径 F Connection tubing size F Body material PVDF 規 格 M I Tubing standard 固定方法 ミ リ Millimeter 0 インチ Inch 1 接 続 方 法 Mounting ※1 at 下ネジ穴 Thread bottom 台 座 Base plate Connection 06 06×04 06.35×04.35 10 10×08 09.53×06.35 6 Flowell 60 series 12 12×10 12.70×09.53 S Super Type Pillar Fitting 19 19×16 19.05×15.88 3 Super 300 Type Pillar Fitting 25 25×22 25.40×22.20 2 AVHPRS AVHPRL Actuation Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Leakage Rate Ambient Temperature 10×8 9.53×6.35 AVCFV 作 動 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 弁 座 漏 れ 量 周 囲 温 度 開 閉 頻 度 取 付 姿 勢 サイズ Size 12×10 19×16 25×22 12.70×9.53 19.05×15.88 25.40×22.20 逆作動 Air to open 10 ∼ 40 1.0 145psi 0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi 0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure) 10 ∼ 40 < 20 自在 Any direction Flowell 20 series Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting Flare Type Rc、FNPT φ6 φ7 φ 11 φ 11 1.64 2.57 7.63 7.63 0.6 0.6 1.0 1.1 6×4 6.35×4.35 HDV12 Items Flowell 20 series ※2 Flare Type ※2 Rc ※2 FNPT F R N ※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。 ※2:F ,R ,Nについては “規格”欄は I(インチ) で表記します。 ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. AVQDV 目 OTHER 項 AVPV3 Excellent durability/seal performance The straight flow path applies no stress to the medium. There is almost no influence to the particle size even with highly coherent fluids such as slurry. It can also be used for DI water, and there is no restriction on the flow direction. AVPVM Straight flow AVPVEL AVPVSL チューブを挟み込む(ピンチ)シール構造の採用により、高耐 久性を実現。スラリーの実流試験においてもシール性能の低下 はみられません。また、スラリー以外の異物の噛み込みに関し ても高い耐久性を持っています。 AVSDV 優れた耐久性・シール性 ストレートな流路構造により、ストレスフリーを実現しました。 スラリーのような凝集性の高い流体であってもパーティクルサ イズに与える影響はほとんどありません。もちろん、純水など にもご使用いただけ、流体方向に制限がありません。 AVMPV ストレートな流路 AVNVM 特 長 Features 09 構 造 図 Parts & Materials 6 8 2 3 No. 1 1 2 7 3 5 4 5 6 7 8 部品名称 Parts シリンダ本体 Actuator housing ピストン Piston 挟圧子 Compressor チューブ Tube 継手 End connector インジケータ Indicator ナット Nut スプリング Spring ※接液部品は No.4、5 です。 4 10 ※Wetted parts are No.4 and 5. 材質 Material PVDF シリコンベースラバー Silicon based rubber PTFE PP PFA SUS304 AVSDV D E C AVPVEL AVPVSL Pilot port Rc1/8" B 単位(Unit):mm Standard inch mm inch Flowell 60 series mm Super Type Pillar Fitting inch/mm Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type inch Rc、FNPT inch B C D E F G H I A 6×4 6.35×4.35 107 105 133 131 110 109 127 81 □ 35 96(MAX 101) 17 42 25 64 50 35 10×8 9.53×6.35 140 137 173 169 148 145 157 111 □ 45 116(MAX 124) 23 52 32 74 60 45 Size 12×10 12.70×9.53 148 145 173 169 155 153 161 111 □ 45 116(MAX 124) 23 52 32 74 60 45 19×16 19.05×15.88 172 172 198 198 189 182 186 142 □ 55 141(MAX 155) 26 61.5 42 85 70 55 25×22 25.40×22.20 194 194 212 209 220 216 204 156 □ 55 151(MAX165) 36 71.5 − 85 70 55 AVHPRS AVHPRL 台 座(PVDF) Base Plate ( PVDF) AVCFV 10 2-M6 L10 HDV12 H G AVQDV I F 7 AVNVM AVMPV A Flowell 20 series AVPVM AVPV3 Dimensions OTHER 寸法図・寸法表 11 $9390 ピンチ弁手動タイプ Specialty Valves and Control Products $9390 12 Straight flow Excellent durability/seal performance 1 Body material 6×4 Unit PVDF6.35×4.35 単位 本体材質 逆作動 (NC) F Actuation 作 動 to open − Air Medium Temperature 流 体 温 度 ℃ Proof Pressure 構 造 耐 圧 MPa Working Pressure range 使用圧力範囲 MPa Connection チュ Leakage Rate tubing sizecm3/min 弁 座 漏ーブ径 れ 量 Ambient Temperature 周 囲 06×04 06.35×04.35 ℃ 06 温 度 Installation direction 取 付 姿 勢 − 接 10 10×08 09.53×06.35 12 12×10 12.70×09.53 19 19×16 19.05×15.88 Connection 続 25 25×22 オ リ フ ィ ス C v 値 重 量 − mm − kg at 9.53×6.35 12.70×9.53 0 19.05×15.88 25.40×22.20 ミ リ Millimeter 下ネジ穴 Thread M bottom I 25.40×22.20 Orifice diameter Cv value Weight サイズ Size ※1 規 格 10×8Tubing standard 12×10 固定方法 19×16Mounting 25×22 φ 3.5 0.4 0.3 手 動 Manual インチ Inch 10 ∼ 40 1 台 座 Base plate 1.0 145psi 0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi 接 続 方 法 0 ( 水圧 ) 0 (atConnection hydraulic pressure) 10Flowell ∼ 40 20 series 2 自在 Any direction 6 60 series FlowellFlowell 20 series Flowell 60 series S Super Type Pillar Fitting Super Type Pillar Fitting 3 Super 300 Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting F※2 Flare Type Flare Type ※2 Rc、FNPT R Rc φ6 φ7 φ 11 ※2 N 1.64 2.57 FNPT 7.63 ※1:チューブ径が 0.4“25”の場合は台座付になり 0.4 ます。 0.7 ※2:F ,R ,Nについては “規格”欄は I(インチ) で表記します。 AVMPV 作 動 目Actuation Items φ 11 7.63 0.9 ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. 型式選定表 Ordering Code F F 規 格 M I チューブ径 Tubing standard ミ リ Millimeter 0 インチ Inch 1 接 続 方 法 Connection tubing size 固定方法 Mounting 1 at 下ネジ穴 Thread bottom 台 座 Base plate Connection 06 06×04 06.35×04.35 10 10×08 09.53×06.35 6 Flowell 60 series 12 12×10 12.70×09.53 S Super Type Pillar Fitting 19 19×16 19.05×15.88 3 Super 300 Type Pillar Fitting 25 25×22 2 25.40×22.20 ※ Flowell 20 series ※2 Flare Type ※2 Rc ※2 FNPT F R N HDV12 Body material PVDF 本体材質 AVQDV AVPVM ※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。 ※2:F ,R ,Nについては “規格”欄は I(インチ) で表記します。 作 動 Actuation 1 OTHER ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. AVPVSL F Body AVNVM 項 AVHPRS AVHPRL 1 F AVPV3 仕 様 表 Specifications The use of a pinch seal structure provides superior durability. Our slurry evalution test shows there is no decline in the sealing performance, and that it has excellent durability against foreign substances caught in the flow passage. AVCFV The straight flow path applies no stress to the medium. There is almost no influence to the particle size even with highly coherent fluids such as slurry. It can also be used for DI water, and there is no restriction on the flow direction. AVPV3 チューブを挟み込む(ピンチ)シール構造の採用により、高耐 久性を実現。スラリーの実流試験においてもシール性能の低下 はみられません。また、スラリー以外の異物の噛み込みに関し ても高い耐久性を持っています。 AVPVM 優れた耐久性・シール性 ストレートな流路構造により、ストレスフリーを実現しました。 スラリーのような凝集性の高い流体であってもパーティクルサ イズに与える影響はほとんどありません。もちろん、純水など にもご使用いただけ、流体方向に制限がありません。 AVPVEL AVPVSL ストレートな流路 AVSDV 特 長 Features 13 Tubing standard ※ Mounting 1 構 造 図 Parts & Materials 1 3 No. 2 6 1 5 2 3 4 5 6 部品名称 Parts ハンドル Handle ボンネット Bonnet 挟圧子 Compressor チューブ Tube 継手 End connector ナット Nut 材質 Material PP PVDF シリコンベースラバー Silicon based rubber PTFE PFA ※接液部品は No.4、5 です。 4 Dimensions D C 寸法図 ※Wetted parts are No.4 and 5. B 7 H E A G F 10 2-M6 L10 台 座(PVDF) Base Plate (PVDF) 14 25 10×8(9.53×6.35) 20 15 10 6×4(6.35×4.35) 5 0 差圧 Differential pressure:0.2MPa 50 10×8(9.53×6.35) 30 20 10 6×4(6.35×4.35) 0 0 2 4 6 0 ハンドル回転数 Handle rotations 差圧 Differential pressure:0.1MPa 25×22(25.40×22.20) 150 2 4 6 ハンドル回転数 Handle rotations 19×16(19.05×15.88) 100 50 300 流量 Flow rate(L/min) 200 0 2 4 ハンドル回転数 Handle rotations 6 AVPV3 差圧 Differential pressure:0.2MPa 250 25×22(25.40×22.20) 200 19×16(19.05×15.88) 150 100 50 0 0 AVPVM 12×10(12.70×9.53) 40 AVNVM 12×10(12.70×9.53) 30 AVMPV 60 差圧 Differential pressure:0.1MPa 35 AVHPRS AVHPRL 流量 Flow rate(L/min) 25×22 25.40×22.20 194 194 212 209 220 216 204 156 □ 55 112(MAX 125) 36 − 85 70 55 Technical Data 40 流量 Flow rate(L/min) 19×16 19.05×15.88 172 172 198 198 189 182 186 142 □ 55 102(MAX 115) 26 42 85 70 55 0 2 4 6 ハンドル回転数 Handle rotations このデータは実験値であり、参考値です。 AVCFV 特性グラフ 流量 Flow rate(L/min) A 10×8 9.53×6.35 140 137 173 169 148 145 157 111 □ 45 82.5(MAX 90.5) 23 32 74 60 45 HDV12 inch mm inch Flowell 60 series mm Super Type Pillar Fitting inch/mm Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type inch Rc、FNPT inch B C D E F G H Flowell 20 series 6×4 6.35×4.35 107 105 133 131 110 109 127 81 □ 35 74(MAX 79) 17 25 64 50 35 AVQDV Standard AVPVEL AVPVSL 単位(Unit):mm Size 12×10 12.70×9.53 148 145 173 169 155 153 161 111 □ 45 82.5(MAX 90.5) 23 32 74 60 45 AVSDV Dimensions The data shown here is the experimental values and the reference values. OTHER 寸法表 15 $9396/ Specialty Valves and Control Products $9396/ 16 ピンチ弁 スローリークタイプ 1 6 Flowell 60 series 12×10 12.70×09.53 12 S Super Type Pillar Fitting ピンチバルブのストレートな流路構造を利用した手動流量調節弁です。調節ねじにより、バルブのリーク量を任意に調整できます。 F※2 25 25×22valve25.40×22.20 Air operated pinch with manual stop adjustment AVPVM 操作エアにより全開フラッシングが可能なので目詰まりを完全に防ぐことができます。 19×16 19.05×15.88 19 3 Super 300 Type Pillar Fitting Flare Type This air operated pinch valve has manual flow control capabilities. R※2 Rc By operating the handle, the leak rate can be adjusted. The full-open position allows the valve to flush completely, preventing clogs. ※2 N FNPT ※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。 ※2:F ,R ,Nについては “規格”欄は I(インチ) で表記します。 仕 様 表 Specifications 項 目 単位 Unit Items AVPVM チューブ径 接 ℃ MPa MPa cm3/min ℃ times/min − Connection tubing size 06 続 06×04Connection 06.35×04.35 10 10×08 09.53×06.35 12×10 12.70×09.53 サイズ Size 12×10 19×16 25×22 12.70×9.53 19.05×15.88 25.40×22.20 逆作動 Air to open 10 ∼ 40 1.0 145psi 0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi 規 格 Tubing standard 固定方法 Mounting ※1 0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure) at 100∼ 40 ミ リ Millimeter 下ネジ穴 Thread M bottom < 20 インチ Inch 台 座 Base plate I 自在 1 Any direction Flowell 20 series Flowell 60 series 接 続 方 法 Connection Super Type Pillar Fitting 2 Flowell 20 series Super 300 Type Pillar Fitting Flare 6 Flowell 60 Type series Rc、FNPT S Super Type φ Pillar Fitting φ 11 φ 3.5 φ6 7 φ 11 0.4 1.64 2.57 7.63 3 Super 300 Type Pillar Fitting7.63 0.5※2 0.7 0.7 1.4 1.7 6×4 6.35×4.35 F− Actuation 作 動 Medium Temperature 流 体 温 度 Proof Pressure 構 造 耐 圧 Working Pressure range 使 用 圧 力 範 囲 Body 本体材質 Leakage Rate 弁 座 漏 れ 量 material Ambient Temperature 周 囲 F 温 度PVDF Frequency of opening and closing 開 閉 頻 度 Installation direction 取 付 姿 勢 ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. − Orifice diameter オ リ12フ ィ ス mm C v19 値 − 19×16Cv value19.05×15.88 Weight 重 量 kg 25 25×22 操 作 25.40×22.20 圧 力 MPa Pilot pressure 操 作 部 エ ア 消 費 量 L/times(ANR)※ Pilot air consumption Pilot 操作ポート接続 − Pilot port 10×8 9.53×6.35 F Flare Type 0.35 ∼ 0.5 50.8 ∼ 72.5psi ※2 R 0.02 ※2 0.05 N Rc 0.05 0.13 FNPT 0.13 Rc1/8" ※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。 ※2:F ,R ,Nについては “規格”欄は I(インチ) で表記します。 ※エア消費量は操作圧力 0.5MPa の時の値です。 ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at ※standard’s The pilotcolumn. air consumption is the value at 0.5 MPa. 型式選定表 Ordering Code AVPVSL 作 動 1 F 本体材質 Actuation 逆作動 (NC) Air to open チューブ径 1 F Connection tubing size Body material PVDF 規 格 M I Tubing standard 固定方法 ミ リ Millimeter 0 インチ Inch 1 接 続 方 法 Mounting 1 at 下ネジ穴 Thread bottom 台 座 Base plate Connection 06 06×04 06.35×04.35 2 Flowell 20 series 10 10×08 09.53×06.35 6 Flowell 60 series 12 12×10 12.70×09.53 S Super Type Pillar Fitting 19 19×16 19.05×15.88 3 Super 300 Type Pillar Fitting 25.40×22.20 F※2 25 25×22 Flare Type ※2 Rc ※2 FNPT R N ※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。 ※2:F ,R ,Nについては “規格”欄は I(インチ) で表記します。 ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. ※ AVPVEL AVPVSL Flowell 20 series AVSDV 2 AVPV3 Connection AVMPV 09.53×06.35 下ネジ穴 bottom 台 座 Base plate AVNVM 10 手動流量調節弁 インチ Inch 接 続 方 法 Connection tubing size 特 長 Features 06×04 06.35×04.35 06 10×08 0 AVHPRS AVHPRL I ミ リ Millimeter AVCFV M HDV12 チューブ径 PVDF F AVQDV 逆作動 (NC) Air to open OTHER 1 17 構 造 図 Parts & Materials 1 8 3 No. 1 4 7 2 2 3 6 4 5 6 7 8 5 18 部品名称 Parts ハンドル Handle シリンダ本体 Actuator housing ピストン Piston 挟圧子 Compressor チューブ Tube 継手 End connector ナット Nut スプリング Spring ※接液部品は No.5、6 です。 ※Wetted parts are No.5 and 6. 材質 Material PVDF シリコンベースラバー Silicon based rubber PTFE PFA SUS304 AVSDV D E C Pilot port Rc1/8" 台 座(PVDF) Base Plate (PVDF) 単位(Unit):mm Standard inch mm inch Flowell 60 series mm Super Type Pillar Fitting inch/mm Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type inch Rc、FNPT inch B C D E F G H I J K Flowell 20 series A 6×4 6.35×4.35 107 105 133 131 110 109 127 81 □ 35 108(MAX 123) 17 42 10.5 45 25 64 50 35 10×8 9.53×6.35 140 137 173 169 148 145 157 111 □ 45 118(MAX 129) 23 52 13 53 32 74 60 45 Size 12×10 12.70×9.53 148 145 173 169 155 153 161 111 □ 45 118(MAX 129) 23 52 13 53 32 74 60 45 19×16 25×22 19.05×15.88 25.40×22.20 172 194 172 194 198 212 198 209 189 − 182 − 186 204 142 156 □ 55 □ 55 164.5(MAX 191) 174.5(MAX 201) 26 36 61.5 71.5 16 16 67 67 42 − 85 85 70 70 55 55 ※25×22(25.40×22.20)の場合はB寸法よりL寸法が大きくなります。詳細はお問い合わせください。 ※In the case of 25×22(25.40×22.20), L dimensions is bigger than B dimensions. Please consult us for detail. AVHPRS AVHPRL 10 2-M6 L10 AVCFV J I HDV12 K AVNVM H 7 AVQDV G OTHER L A AVMPV F B AVPVEL AVPVSL AVPVM AVPV3 寸法図・寸法表 Dimensions 19 $939(/ Specialty Valves and Control Products $939(/ 20 ピンチ弁 スラリー流量調整タイプ Super Type Pillar Fitting 19×16 19.05×15.88 3 Super 300 Type Pillar Fitting 19 Electric actuated flow control valve Excellent slight flow control ※2 25electric 25×22 Flareflow Type This is an actuated flow 25.40×22.20 control pinch valve that has a straight F flow Excellent response. Precise control down to minimum flow of 20 mL/min. channel. ※2 Rto The full open position is available by an input signal, allowing the valve flush completely and prevent clogs. Of course, the valve can be fully closed. ※2 Rc N FNPT ※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。 ※2:F ,R ,Nについては “規格”欄は I(インチ) で表記します。 仕 様 表 Specifications ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. バルブコントローラ Valve Controller サイズ Size 単位 Unit 項 目 Items 駆 動 部 − Actuation 流 体 温 度 ℃ Medium Temperature 構 造 耐 圧 MPa Proof Pressure 作 動 Actuation 使用圧力範囲 MPa Working Pressure range 逆作動 (NC) 弁 座 漏1れ 量 3/min open Leakage Rate Air tocm 周 囲 温 度 ℃ Ambient Temperature 開 閉 頻 度 times/min AVPVSL チューブ径 Frequency of opening and closing PVDF F 0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure) 10 ∼ 40 1 09.53×06.35Flowell 20 series 12.70×09.53Flowell 60 series 接 12 続 12×10 − Connection 19×16 Super Type Pillar Fitting 19.05×15.88 Super 300 Type Pillar Fitting 19 25 1.0 145psi Body 本体材質 0.03 ∼ 0.3 material 4.4 ∼ 43.5psi 06.35×04.35 自在 Any direction 10×08 25×22 オリフィス Orifice diameter C v 値 Cv value 参考流量範囲 Reference Flow Range 重 量 Weight 110 ∼ 40 F Connection tubing size 取 付 姿 勢 06direction 06×04− Installation 10 6×4 6.35×4.35 高分解能ステッピングモータ High resolution Stepping motor 25.40×22.20 Flare Type mm φ 1.6 − 0.065 mL/min 20 ∼ 800 kg 1.0 型 式 Type 電 源 Power supply 消費電力 Drain current AVC02 DC24V ( ± 10%) ≦ 0.5A 現在流量(圧力) DC4∼20mA Process value (Pressure) 設定流量(圧力) DC4∼20mA Set Point (Pressure) ※1 Mounting 規 格 Tubing standard 固定方法制御On指令 Control On 全閉動作On指令 Thread at Millimeter ミ リ Input M 入 力 0 下ネジ穴 bottomOn Full close operation 全開動作On指令 インチ Inch 座 I 1 台 Base plate Full open operation On 状態出力 (Run・Ready) State output 接 続 方 法 Connection リミットセンサ信号 Limit signal 2 Flowell 20 series モータ駆動信号 Motor drive signal 6 Flowell 60現在流量(圧力) DC1∼5V series value (Pressure) S 出 力 OutSuper Type PillarProcess Fitting put 制御異常警報 AlarmPillar for abnormalities 3 Super 300 Type Fitting in valve operation リミットセンサ用電源 F※2 Flare Type Limit sensor power RS485により設定器と通信可能 R※2 通 信 Communication It'sRc possible to communicate with a set machine by RS485. 緑:電源 N※2 FNPT Green : Power ※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。 ※2:F ,R ,Nについては “規格” I(インチ) で表記します。 黄:制御 Display欄は (LED) 表 示 ※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. Yellow : Run ※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. 赤:エラー Red : Error 型式選定表 Ordering Code AVPVEL U 06 Body material U-PVC 本体材質 U 1 規 格 M I チューブ径 06 ミ リ Millimeter 06.35×04.35 2 設定器型式 型式選定例 Setting terminal ordering code Ordering code example AVC02S AVPVEL-U06I30-1 固定方法 0 インチ Inch 接 続 方 法 Connection tubing size 06×04 Tubing standard Mounting at 下ネジ穴 Thread bottom Connection Flowell 20 series 6 Flowell 60 series S Super Type Pillar Fitting 3 Super 300 Type Pillar Fitting F Flare Type AVPV3 優れた応答性、最少流量 20mL/min まで高精度な流量調整が可 Flowell 60 series 能です。 AVPVM 2 AVPVEL AVPVSL 06.35×04.35 ピンチバルブのストレートな流路構造を利用した電動流量調節 10×08 09.53×06.35 6 10 弁です。外部信号により全開フラッシングが可能なので目詰ま 12×10 12.70×09.53 S 12 りを完全に防ぐことができます。もちろん全閉も可能です。 Connection 優れた微少流量制御 Flowell 20 series AVSDV 接 続 方 法 Connection tubing size 台 座 Base plate AVMPV 1 AVNVM チューブ径 電動流量調節弁 06×04 06 インチ Inch AVHPRS AVHPRL 特 長 Features 0 ※ AVCFV I ミ リ Millimeter Mounting 1 at 下ネジ穴 Thread bottom HDV12 M 固定方法 Tubing standard AVQDV F 規 格 OTHER Body material PVDF 本体材質 21 構 造 図 Parts & Materials 3 1 No. 6 1 5 2 3 4 5 6 本体 Actuator housing 挟圧子 Compressor ステッピングモータ Stepping motor チューブ Tube 継手 End connector ナット Nut 材質 Material U-PVC ̶ シリコンベースラバー Silicon based rubber PTFE PFA ※接液部品は No.4、5 です。 4 2 部品名称 Parts ※Wetted parts are No.4 and 5. 21 73.5 138.5 φ6 50 寸法図・寸法表 Dimensions 77.5 A Standard 20 A 2-M5L10 22 inch mm inch Flowell 60 series mm Super Type Pillar Fitting inch/mm Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type inch Flowell 20 series 単位(Unit):mm Size 6×4 6.35×4.35 149.5 147.5 175.5 173.5 152.5 151.5 169.5 Controller 単位(Unit):mm AVPVEL AVPVSL AVSDV 95.9 86 AVPVM ■ コントローラ ∼ Valve Controller AVPV3 寸法図 ∼バルブコントローラ部分∼ Dimensions 38 RS-485 ID Green Brown Blue Orange NC Gray Red Black RS-485 GND RS-485 − RS-485 + 電源 電源 空き 空き 流量 Flow rate−(4−20mA) 流量 Flow rate+(4−20mA) 1 9 2 10 3 LED 緑 Green :電源 Power 黄 Yellow:制御 RUN 赤 Red :エラー Error 11 4 12 5 13 6 14 7 15 8 Power supply+DC24 Power supply−GND None connection None connection I/O (D-Sub15P) 1.外部電源 Power supply +(24V) 9.外部電源 Power supply −(GND) 2.制御On指令入力 Control command input 10.全開動作On指令入力 Valve full-open command input 3.全閉指令入力 Valve close command input 11.NC 4.Run出力 Run command output 12.Alarm出力 Alarm output 5.Ready出力 Ready output 13.NC 6.NC 14.設定流量入力 Setting value input−(GND)(4-20mA) 7.設定流量入力 Setting value input+(4-20mA) 15.現在流量出力 Process value output−(GND)(1-5V) 8.現在流量出力 Process value output+(1-5V) AVHPRS AVHPRL Terminal Layout ∼ Valve AVCFV ∼バルブコントローラ部分∼ HDV12 端子図 AVQDV 78.6 AVNVM AVMPV 60 OTHER 20 23 使用例 Example バルブコントローラ(AVC02) Valve Controller 設定器(AVC02S・オプション) Setting terminal (Option) 外部コントロール External control RS485 上位制御機器 Control device of higher rank DC4∼20mA 流量信号 Flow signal バルブ制御信号 Valve control signal 流量計 Flow meter バルブ Valve ●バルブに流体方向の制限はありません。 ●流量計はバルブの一次側に設置することをお奨めします。 ●脈動のあるラインでは AVHPRS(P.68 ∼ P.73)を併せてご使用下さい。 ●設定器(AVC02S)はオプションです。詳しくは設定器の取扱説明書をご 参照下さい。 特性グラフ • There is no restriction to the flow direction of the valve. • It is recommended to set the flowmeter at the upstream side. • Use AVHPR (shown at page 66 through 71) in case there is pulsation. • Setting terminal is option. Please refer to the manual of Setting terminal (AVC02S) for details. Technical Data 応答性 Response 600 設定値 Set point 流 量 Flow rate 流量 Flow rate (mL/min) 500 400 300 200 100 0 0 100 200 300 400 時間 time(sec) このデータは実験値であり、参考値です。 24 The data shown here is the experimental values and the reference values. 25 OTHER AVQDV HDV12 AVCFV AVHPRS AVHPRL AVNVM AVMPV AVSDV AVPVEL AVPVSL AVPVM AVPV3 $96'9 Specialty Valves and Control Products $96'9 26 PTFE製2方弁 Abundant line-up We designed the AVSDV with wide variation sizes, and it is compact since the fitting is integrated as one body. Abundant options (with Travel stop, with Indicator, with Bypass) can be selected to meet various customer’s needs. 仕 様 表 Specifications オ リ フ ィ ス C v 値 重 量 操 作 部 Pilot Installation direction Connection Orifice diameter Cv value 逆作動 Air to open 正作動 Weight Air to close 復作動 Double 逆作動 Air to open 操作圧力 正作動 Air to close Pilot pressure 復作動 Double acting 逆作動 Air to open エア消費量 正作動 Pilot air Air to close consumption 復作動 Double acting 操作ポート接続 Pilot port Flowell 20 series Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting Flare Type Tube Rc、FNPT − mm − kg φ4 0.26 φ8 1.16 φ 10 1.8 AVNVM 続 Frequency of opening and closing − ℃ MPa MPa cm3/min MPa ℃ times/min − サイズ Size 6×4 10×8 12×10 19×16 25×22 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 19.05×15.88 25.40×22.20 逆作動・正作動・復作動 Air to open・Air to close・Double acting 5 ∼ 90 1.0 145psi 0 ∼ 0.4 0 ∼ 58psi 0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi 0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure) 0 ∼ 0.2 0 ∼ 29psi 0 ∼ 0.1 0 ∼ 14.5psi 5 ∼ 60 < 20 自在 Any direction φ 16 4.4 φ 22 7.4 0.2 0.5 0.8 0.2 0.4 0.7 0.2 0.4 0.5 0.01 0.02 0.05 0.06 0.11 0.25 0.07 0.13 0.30 0.4 ∼ 0.5 58 ∼ 72.5psi MPa 0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi 0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi L/times(ANR)※ − Rc1/8" ※エア消費量は操作圧力 0.4MPa の時の値です。 ※The pilot air consumption is the value at 0.4 MPa. AVHPRS AVHPRL 接 Actuation Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Leakage Rate Back Pressure Ambient Temperature 単位 Unit AVCFV 作 動 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 弁 座 漏 れ 量 背 圧 周 囲 温 度 開 閉 頻 度 取 付 姿 勢 Items HDV12 目 AVQDV 項 OTHER AVSDV has excellent durability and reliability. All PTFE made for wetted part. AVPV3 Excellent durability AVPVM 小口径から大口径までラインナップ、各社継手を一体化し、コ ンパクトサイズを実現しております。流量調整、インジケータ、 バイパスなどのオプションも豊富に取り揃えています。 AVPVEL AVPVSL 豊富なラインナップ 高 い 信 頼 性 と 優 れ た 耐 久 性 を 実 現 し ま し た。 接 液 部 は 全 て PTFE 製です。 AVSDV 優れた耐久性 AVMPV 特 長 Features 27 型式選定表 Ordering Code AVSDV 作 動 Actuation オプション G 逆作動 (NC) Air to open S 正作動 (NO)Air to close 0 標準(ON・OFFのみ)Standard (ON•OFF only) F 復作動 (DA) Double acting 1 流量調整付 Travel stop 2 バイパス付 Bypass 3 流量調整・バイパス付 Travel stop • Bypass 4 インジケータ付 Indicator 5 バイパス・インジケータ付 Bypass • Indicator 接続方法 Connection 2 Flowell 20 series 6 Flowell 60 series S Super Type Pillar Fitting 3 Super 300 Type Pillar Fitting ※1 F T※2 Tube R※1 Rc N※1 FNPT 規格 ミリ I インチ Inch 固定方法 2 0 Pilot port connection ③ 1 2 3 Tubing standard M 1 操作ポート Flare Type Option ※4 流体方向 Flow direction ② ① 耐薬仕様 Chemical-resistant ※5 Oリング材質 O-ring material ※6 Millimeter Mounting ※3 V0 FKM E0 EPDM ※7 F0 台座 Baseplate チューブ径 (方向1 Direction1) 台座 Baseplate (方向2 Direction2) Connection tubing size 06 06×04 06.35×04.35 10 10×08 09.53×06.35 12 12×10 12.70×09.53 19 19×16 19.05×15.88 25 25×22 25.40×22.20 ※1:F、R、Nについては“規格”欄はI(インチ)で表記します。 ※2:Tubeの外径、内径サイズはP95を参照ください。 ※3:固定方法“2”の場合、接続方法によっては接続部が台座固定用の穴と干渉する場合があります。 ご注意ください。 ※4:チューブ径が“06”の場合、 オプションは “0”,“1”,“4”のなかから選択ください。 ※5 : 使用流体が強酸等の場合にはご相談ください。 ※6 : Oリングは接液しません。 ※7 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。 ※1: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. ※2: Please refer to page 95 for diameter of “Tube“. ※3: In the case of Mounting “2“ there is some possibility of that the mounting holes are hidden by some connection from top side, and hard to be mounted. ※4: In the case of tubing size “06“, please select the option from 0", “1“, and “4“. ※5 : Please consult us for the specification if the medium is a strong chemical, strong acid etc. ※6 : O-rings are not wetted. ※7 :”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers. オプション Option チューブ径 Connection tubing size 6×4 (6.35×4.35) 組合せNo. Option No. 流量調整 Travel stop インジケータ Indicator 0 1 4 − − ○ − − ○ チューブ径 Connection tubing size 10×8 (9.53×6.35)∼25×22(25.40×22.20) 28 組合せNo. Option No. 流量調整 Travel stop バイパス Bypass インジケータ Indicator 0 1 2 3 4 5 − − − ○ − − − ○ − ○ ○ − − − ○ − ○ ○ AVPVM AVPVEL AVPVSL 1 2 3 4 5 6 7 8 部品名称 Parts 本体 Body ダイヤフラム Diaphragm ベースプレート Base Plate ピストン Piston 隔膜押さえ Bush シリンダ本体 Actuator housing ナット Nut スプリング Spring ※ 接液部品は No.1、2 です。 ※ Wetted parts are No.1, 2. 材質 Material PTFE PPS PFA SUS304 AVSDV No. AVMPV 3 AVNVM 1 7 AVHPRS AVHPRL 2 AVCFV 4 HDV12 5 AVQDV 8 OTHER 6 AVPV3 構 造 図 Parts & Materials 29 寸法図・寸法表 Dimensions 逆作動・正作動・復作動 Air to open・Air to close・Double acting B port (IN) (OUT) 7 D E F A port C Pilot Port Rc1/8" B A inch mm inch Flowell 60 series mm Super Type Pillar Fitting inch/mm Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type inch Tube inch/mm Rc、FNPT inch B C D E F Flowell 20 series G A 6×4 6.35×4.35 76 74 102 100 79 78 96 100 60 10×8 9.53×6.35 85 82 118 114 93 90 102 100 72 □ 40 78 21 46 69.5 88 25.5 56 79.5 19×16 19.05×15.88 112 112 138 138 129 122 126 130 90 □ 50 104 34 68 95 25×22 25.40×22.20 144 144 162 159 150 146 154 140 110 □ 60 138.5 39 84.5 116.5 K Standard H 単位(Unit):mm Size 12×10 12.70×9.53 93 90 118 114 100 98 106 100 72 J バイパス付 Bypass 4-M5L9 R 30 M L 25 P N R 4-S 4-φQ 25 72 78 90 7 42 49 60 流量調整付 Travel stop インジケータ付 Indicator (OUT) E F A C (IN) B 42 49 60 台座 Base Plate(PPS) 4-M5L9 4-S 4-φQ 78 90 P N 6×4(6.35×4.35)∼19×16(19.05×15.88) R M 25×22(25.40×22.20) 4-φQ 25 72 L 78 90 6×4(6.35×4.35)∼19×16(19.05×15.88) 25×22(25.40×22.20) 単位(Unit):mm 6×4 6.35×4.35 L M N P Q R S Size 12×10 12.70×9.53 10×8 9.53×6.35 64 52 40 30 φ 5.5 20 M5L7.5 19×16 19.05×15.88 79 63.5 50 38 φ7 25 AVMPV AVCFV R L 42 49 60 25 72 25 R M 7 25×22 25.40×22.20 − − − − − − − HDV12 91 110 流量調整付 52 Travel stop 25.5 19×16 25×22 4-M5L9 7 19.05×15.88 25.40×22.20 J 109 143 127 162 バイパス付 59 64 Bypass 34 39 P N R G H インジケータ付 J Indicator K 10×8 9.53×6.35 25 6×4 6.35×4.35 81 100 − − 4-S K 単位(Unit):mm Size 12×10 12.70×9.53 AVNVM バイパス付 Bypass 流量調整付 Travel stop インジケータ付 Indicator AVHPRS AVHPRL G AVSDV J AVQDV H K G H AVPVEL AVPVSL AVPVM A OTHER オプション Option 7 D AVPV3 寸法図・寸法表 (オプション) Dimensions (Option) 31 特性グラフ Technical Data 差圧 - 流量 Differential pressure - Flow rate 1000 25×22(25.40×22.20) Cv=7.4 19×16(19.05×15.88) Cv=4.4 100 流量 Flow rate (L/min) 12×10(12.70×9.53) Cv=1.8 10×8(9.53×6.35) Cv=1.16 10 6×4(6.35×4.35) Cv=0.26 0.05 [7.25] 0.1 [14.5] 0.5 [72.5] 差圧 Differential pressure (MPa) [psi] ※これらのデータは実験値であり、参考値です。 ※The data shown here is the experimental values and the reference values. 32 33 OTHER AVQDV HDV12 AVCFV AVHPRS AVHPRL AVNVM AVMPV AVSDV AVPVEL AVPVSL AVPVM AVPV3 AVMPV Specialty Valves and Control Products AVMPV 34 マルチポート弁 目 作 動 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 弁 座 漏 れ 量 背 圧 周 囲 温 度 開 閉 頻 度 取 付 姿 勢 接 操 作 部 Pilot 続 Items Actuation Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Leakage Rate Back Pressure Ambient Temperature Frequency of opening and closing Installation direction Connection 操 作 圧 力 Pilot pressure エ ア 消 費 量 Pilot air consumption 操作ポート接続 Pilot port 単位 Unit − ℃ MPa MPa cm3/min MPa ℃ times/min − 標準仕様 Standard Type 高圧仕様 High Pressure Type 逆作動 Air to open 手動 Manual 5 ∼ 80 1.0 145psi 0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi 0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi 0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure) 0.3 43.5psi 0.5 72.5psi 5 ∼ 50 < 20 自在 Any direction 0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi 0.5 72.5psi − Flowell 20 series Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting Flare Type − MPa マニュアル Manual Type 0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi 0.4 ∼ 0.5 58 ∼ 72.5psi − L/times(ANR)※ 0.01 − − Rc1/8" − ※エア消費量は操作圧力 0.5MPa の時の値です。 ※The pilot air consumption is the value at 0.5 MPa. AVPV3 AVPVM AVPVEL AVPVSL 項 AVSDV 仕 様 表 Specifications AVMPV We designed the MPV with the flexibility to meet the various user's specific needs. Made-to-order designs are available for the manifold layout, branching port quantities, fitting size, etc. AVMPV turns complicated equipment piping into a simple and compact product. AVNVM Made-to-order AVMPV is the optimal valve for flushing, sampling, and branching from the distribution line. This valve is ideal forr slurry, DI water and chemical applications because of its compact design and minimized dead volume. AVHPRS AVHPRL Abundant applications AVCFV ユーザーの多種多様なニーズに合わせカスタマイズ。マニホー ルド・分岐ポート数・継手サイズなど自由に設計可能です。複 雑な装置内配管をシンプルに、かつ省スペース化できます。 HDV12 カスタマイズ 循環ラインからの分岐用、配管内のフラッシング、サンプリン グ用として最適なバルブです。滞留部の少ないコンパクト設計 になっているため、純水・薬液をはじめ、スラリーにもご使用 いただけます。 AVQDV 豊富なアプリケーション OTHER 特 長 Features 35 型式選定表 Ordering Code AVMPV P Number of actuator ※1 連 数 規 格 オプション Tubing standard 1 1 M ミ リ Millimeter 2 2 I インチ Inch ※1 : 下図参照 ※1 : Refer to table ポート数 接 続 方 法 Number of port ※1 2 2 3 3 4 4 5 5 ※1 : 下図参照 2 Flowell 20 series 6 Flowell 60 series S Super Type Pillar Fitting 3 Super 300 Type Pillar Fitting F※2 Flare Type ※2 : In the case of F, please put “I: inch” at standard’s column. Oリング※3 O-ring Actuation V FKM 2 逆作動(標準)Air to open 逆作動(高圧)Air to open E EPDM 3 手 動 F 1 (High pressure) Manual ポートサイズ 01∼12 下表参照 Refer to table 0 下ネジ穴 Thread at bottom 1 台 座 Base plate 3RUWVL]HFRPELQDWLRQ M1 Port 36 M2 Port・SUB Port mm inch 6×4 6.35×4.35 10×8 9.53×6.35 12×10 12.70×9.53 19×16 19.05×15.88 25×22 25.40×22.20 ◇ポート組合せ その他 流量調整付 Travel Stop Revision 無記入 n/a 逆作動 (標準) Air to open 1 逆作動 (高圧) Air to open (High pressure) 手動 Manual AVMPV24-1P02I3V00 AVMPV24-2P02I3V00-1 ◇ポートサイズ組合せ 01 02 03 04 05 06 07 08 09 10 11 12 99 2 型式選定例 固定方法 Mounting Connection tubing size インジケータ付 Indicator Ordering code example Material of actuator PP 1 ※4 ※3 : O-rings are not wetted. ※4 :”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers. P なし Nothing 無記入 n/a ※3 : Oリングは接液しません。 ※4 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。 シリンダ材質 0 変更区分 ※2 : Fについては “規格”欄は (インチ) I で表記します。 ※1 : Refer to table 作 動 Connection Option mm 6×4 6×4 10×8 6×4 10×8 12×10 6×4 10×8 12×10 6×4 10×8 12×10 Other inch Cv 6.35×4.35 6.35×4.35 9.53×6.35 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 0.35 0.35 0.74 0.35 0.74 1.7 0.35 0.74 1.7 0.35 0.74 1.7 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 0.35 0.74 1.7 ◇ポート組合せ 3RUWFRPELQDWLRQ M1 M1 M1 M1 M1 M2 M2 M2 M2 M1 $9039 M2 M1 $9039 $9039 SUB SUB M1 M2 M2 M1 $9039 SUB M1 M2 $9039 $9039 AVMPV AVSDV ※SUB PortとM2 Portは同サイズとなります。異サイズ品をご希望の場合はご相談ください。 ※MPV12のポートサイズは、左表の01、 03、06のいずれかを選定ください。 ※上表以外の継手方向やその他カスタマイズ品をご要望の場合はご相談ください。 ※重量は1連:0.3kg、 2連:0.6kgとなります。 ※68%3RUWDQG03RUWDUHWKHVDPHVL]H3OHDVHFRQVXOWXVLWLQFDVHRIGLIIHUHQWVL]HVDUHUHTXLUHGIRUHDFKSRUW ※,QWKHFDVHRI039SOHDVHFKRRVHIURPRUUHIHUULQJWRWKHOHIWWDEOH ※3OHDVHFRQVXOWXVIRUWKHVSHFLILFDWLRQWKDWDUHQRWVKRZQLQKHUH ※7KHZHLJKWLVNJIRU6LQJOHDQGNJIRUWDQGHP AVNVM 使用例 Example Point of use Slurry AVMPV24 Shut Shut Point of use Open HDV12 Open Dl Water Slurry Dl Water AVCFV Slurry Circulation Flushing Slurry Slurry DI Water スラリーの供給 Supply of slurry AVPVM AVPV3 型式選定表 Ordering Code AVPVEL AVPVSL その他 6×4 10×8 12×10 Other AVHPRS AVHPRL 25.40×22.20 DI Water フラッシング Flushing AVQDV 25×22 OTHER 10 11 12 99 37 構 造 図 Parts & Materials 標準仕様 Standard Type 8 5 8 8 4 5 5 6 4 2 4 6 6 1 2 2 7 1 1 3 No. 1 2 3 4 5 6 3 3 7 7 7 8 部品名称 Parts 本体 Body ダイヤフラム Diaphragm ベースプレート Base plate ピストン Piston シリンダ蓋 Actuator cap シリンダ本体 Actuator housing ナット Nut スプリング Spring 材質 Material PTFE PP PFA SUS304 ※接液部品は No.1、2 です。 ※Wetted parts are No.1, 2. 高圧仕様 High pressure Type 8 6 No. 8 8 4 6 6 5 4 4 2 5 5 1 2 2 7 1 1 3 1 2 3 4 5 6 7 3 3 7 7 マニュアル 38 本体 Body ダイヤフラム Diaphragm ベースプレート Base plate ピストン Piston 隔膜押さえ Bush シリンダ本体 Actuator housing ナット Nut スプリング Spring 材質 Material PTFE PPS PFA SUS304 ※接液部品は No.1、2 です。 ※Wetted parts are No.1, 2. Manual Type No. 7 1 7 9 7 6 9 4 9 6 5 6 4 2 4 5 1 5 2 8 2 1 3 1 8 8 8 部品名称 Parts 3 3 2 3 4 5 6 7 8 9 部品名称 Parts 本体 Body ダイヤフラム Diaphragm ベースプレート Base plate ステム Stem 隔膜押さえ Bush ボンネット Bonnet ハンドル Handle ナット Nut スプリング Spring ※接液部品は No.1、2 です。 ※Wetted parts are No.1, 2. 材質 Material PTFE PP PFA SUS304 AVPV3 寸法図・寸法表 (標準仕様) Dimensions (Standard Type) AVMPV12 5 (10.5) AVPVM 14 Pilot port Rc1/8" EXH M2 G H E F Pilot port Rc1/8" H (10.5) 14 G 5 AVPVEL AVPVSL IN D M1 EXH M2 IN D E 20 AVSDV B 2-M5 L13 A A 70 台座付(PP) Base Plate (PP) 52.5 6.5 Flowell 20 series Flowell 60 series AVNVM inch 71 80 mm 69 77 85 inch 97 113 113 88 mm 95 109 109 74 88 95 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm 73 85 93 91 97 101 inch B 6.5 12×10 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 inch/mm Super Type Pillar Fitting Flare Type 台座付(PP) Base Plate (PP) 10×8 35 D 76 86 E 22 27.5 F 33 43 G 50 60 H 56 66 HDV12 Standard 70 52.5 単位(Unit):mm 6×4 AVCFV 流量調整付(PP) Travel stop (PP) AVQDV インジケータ付(PP) Indicator (PP) 流量調整付(PP) Travel stop (PP) D インジケータ付(PP) Indicator (PP) D 3 D オプション Option AVHPRS AVHPRL D18(MAX 21) 3 20 18(MAX 21) AVMPV 2-M5 L13 OTHER B A F M1 39 寸法図・寸法表 (標準仕様) Dimensions (Standard Type) AVMPV14 (10.5) 14 5 Pilot port Rc1/8" EXH H E F G D IN A B A 単位(Unit):mm M2 Standard 2-M5 L13 20 Flowell 20 series M1 M1 Flowell 60 series A Super Type Pillar Fitting M2 10×8 6.35×4.35 12×10 9.53×6.35 12.70×9.53 inch 18 22.5 mm 17 21 25 inch 31 39 39 26.5 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type 6×4 inch 19 25 29 28 31 33 B 35 D 76 86 E 22 27.5 F 33 43 G 50 60 H 56 66 AVMPV23 (10.5) 14 5 Pilot port Rc1/8" EXH IN E F G D IN H EXH B A C A 単位(Unit):mm Standard 35 Flowell 20 series SUB A Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting 2-M5 L13 M2 40 M1 6.35×4.35 10×8 12×10 9.53×6.35 12.70×9.53 inch 18 22.5 mm 17 21 25 inch 31 39 39 26.5 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type 6×4 inch 19 25 29 28 31 33 B 70 C 35 D 76 86 E 22 27.5 F 33 43 G 50 60 H 56 66 (10.5) IN A C A A 単位(Unit):mm Standard M1 18 22.5 26.5 mm 17 21 25 inch 31 39 39 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 19 25 29 28 31 33 Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type 2-M5 L13 inch B 35 70 C M1 AVMPV25 AVMPV SUB 12×10 9.53×6.35 12.70×9.53 35 D 76 86 E 22 27.5 F 33 43 G 50 60 H 56 66 (10.5) 14 5 AVNVM M2 6.35×4.35 10×8 inch Flowell 20 series A 6×4 Pilot port Rc1/8" EXH EXH IN E F G H D IN B A C A A 単位(Unit):mm Standard M1 M2 Flowell 20 series SUB A Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting M1 12×10 9.53×6.35 12.70×9.53 18 22.5 26.5 mm 17 21 25 inch 31 39 39 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 19 25 29 28 31 33 inch B 35 M2 Flare Type 6.35×4.35 10×8 inch Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm 2-M5 L13 6×4 70 C AVHPRS AVHPRL B A AVCFV E E F G H D IN AVPVEL AVPVSL EXH 35 D 76 86 E 22 27.5 F 33 43 G 50 60 H 56 66 HDV12 EXH AVPVM Pilot port Rc1/8" AVSDV 14 AVQDV 5 OTHER AVMPV24 AVPV3 寸法図・寸法表 (標準仕様) Dimensions (Standard Type) 41 寸法図・寸法表 (高圧仕様) Dimensions (High pressure Type) AVMPV12 13 13 H H M2 M2 E E G G M1 M1 D D Pilot port Rc1/8" Pilot port Rc1/8" 20 20 B B A A 19(MAX.22) 19(MAX.22) 4-M5 L13 4-M5 L13 D D D D 3 3 オプション Option B B B B A A A A インジケータ付(PP) インジケータ付(PP) Indicator (PP) Indicator (PP) 流量調整付(PP) 流量調整付(PP) Travel stop (PP) Travel stop (PP) 4-M5 L7 4-M5 L7 4-φ5.5 4-φ5.5 Flowell 20 series 20 20 52 52 A Flowell 60 series 単位(Unit):mm Standard 6×4 台座付(PPS) 台座付(PPS) Base Plate (PPS) Base Plate (PPS) 42 12×10 inch 76 85 mm 74 82 90 inch 102 118 118 93 mm 100 114 114 inch/mm 79 93 100 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm 78 90 98 96 102 106 Super Type Pillar Fitting Flare Type inch B 20 20 30 30 10×8 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 40 D 93 103 E 22 27.5 G 61 71 H 84.5 94.5 AVMPV14 13 Standard M2 20 M1 18 22.5 26.5 17 21 25 inch 31 39 39 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 19 25 29 28 31 33 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm M1 Flare Type inch B 4-M5 L13 M2 12×10 mm Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting 10×8 9.53×6.35 12.70×9.53 inch Flowell 20 series A 6×4 6.35×4.35 40 D 93 103 E 22 27.5 43 F 33 G 61 71 H 84.5 94.5 AVPVEL AVPVSL 単位(Unit):mm AVSDV A AVNVM B AVMPV23 13 A 単位(Unit):mm Standard Flowell 20 series 20 20 40 SUB A Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting 4-M5 L13 6.35×4.35 M1 12×10 9.53×6.35 12.70×9.53 18 22.5 26.5 mm 17 21 25 inch 31 39 39 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 19 25 29 28 31 33 inch B 80 C M2 10×8 inch Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type 6×4 40 D 93 103 E 22 27.5 43 F 33 G 61 71 H 84.5 94.5 HDV12 C AVQDV A OTHER B AVCFV E F G H D Pilot port Rc1/8" AVHPRS AVHPRL A AVMPV E F G H D AVPVM Pilot port Rc1/8" AVPV3 寸法図・寸法表 (高圧仕様) Dimensions (High pressure Type) 43 寸法図・寸法表 (高圧仕様) Dimensions (High pressure Type) AVMPV24 13 13 B A B E E F F G G H H D D Pilot port Rc1/8" Pilot port Rc1/8" A A A C A C A 単位(Unit):mm M1 M1 Standard M2 M2 20 20 20 20 Flowell 20 series Flowell 60 series A SUB SUB Super Type Pillar Fitting Flare Type 6.35×4.35 18 22.5 26.5 17 21 25 inch 31 39 39 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 19 25 29 28 31 33 inch 80 C M1 M1 12×10 9.53×6.35 12.70×9.53 mm B 40 40 10×8 inch Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm 4-M5 L13 4-M5 L13 6×4 40 D 93 103 E 22 27.5 43 F 33 G 61 71 H 84.5 94.5 AVMPV25 1313 13 BB B AA A E E E F F F GG GH H H DD D Pilot Pilot port port Rc1/8" Rc1/8" Pilot port Rc1/8" AA A CC C AA A 単位(Unit):mm M2M2 M2 M1M1 M1 Standard 20 20 20 20 20 20 Flowell 20 series SUB SUB SUB 4-M5 4-M5 L13 L13 4-M5 L13 4040 M2M2 40 M1M1 M2 44 M1 A Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting 6.35×4.35 10×8 12×10 9.53×6.35 12.70×9.53 inch 18 22.5 26.5 mm 17 21 25 inch 31 39 39 mm 30 37 37 inch/mm 19.5 26.5 30 19 25 29 28 31 33 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm Flare Type 6×4 inch B 80 C 40 D 93 103 E 22 27.5 43 F 33 G 61 71 H 84.5 94.5 AVPV3 寸法図・寸法表 (マニュアル) Dimensions (Manual Type) AVPVM AVMPV12 80 69 77 85 inch 97 113 113 88 mm 95 109 109 inch/mm 74 88 95 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm 73 85 93 91 97 101 Super Type Pillar Fitting Flare Type inch B 35 C 83.5 (MAX86.5) 93.5 (MAX96.5) D 22 27.5 E 33 43 AVSDV 71 mm AVMPV Flowell 60 series inch AVNVM A 12×10 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 AVHPRS AVHPRL Flowell 20 series 10×8 AVCFV 20 Standard 6×4 HDV12 単位(Unit):mm 2-M5 L13 AVQDV B A OTHER D E M1 AVPVEL AVPVSL C M2 45 AVNVM Specialty Valves and Control Products AVNVM 46 ニードル弁 ダイヤフラムにより摺動部を隔離、パーティクルの発生を抑制 します。接液部はすべて PTFE 製です。 Easy Operation Diaphragm Structure Diaphragm isolates moving part from wetted part and it restrains the generation of particles. All PTFE made for wetted part. 仕 様 表 Specifications 接 方 向 続 オ リ フ ィ ス C v 値 重 量 Connection Orifice diameter Cv value Weight − Flowell 20 series Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting Flare Type Tube Rc − mm − kg AVSDV Flow direction れ AVMPV 流 φ 3.5 0.13 0.15 φ6 0.65 0.22 φ7 0.75 0.23 AVNVM − ℃ MPa MPa ℃ − 12×10 12.70×9.53 AVHPRS AVHPRL Actuation Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Ambient Temperature Installation direction サイズ Size 10×8 9.53×6.35 手動 Manual 5 ∼ 90 1.0 145psi 0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi 5 ∼ 60 自在 Any direction ストレート Straight 垂直アングル Vertical angle 水平アングルL Horizontal angle L 水平アングルR Horizontal angle R AVCFV 作 動 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 周 囲 温 度 取 付 姿 勢 6×4 6.35×4.35 HDV12 単位 Unit 目 AVQDV Items 項 OTHER AVNVM provides easy & precise flow control by the dual threaded stem structure, which gives liner flow characteristic and fine-tuning of flow. AVPV3 ダイヤフラム構造 リニアな流量特性と微調節が可能な 2 重ネジ構造により、流量 調節が大変容易です。 AVPVM 容易な操作性 AVPVEL AVPVSL 特 長 Features 47 型式選定表 Ordering Code AVNVM 作 動 M Actuation マルチターン Multi turn 本体材質 T M Body material PTFE 接 続 方 法 T 規 格 Tubing standard ミ リ Millimeter M I 固定方法 Connection チューブ径 インチ Inch Mounting 0 下ネジ穴 Thread at bottom 1 台 座 Base plate P パネルマウント Panel mounting 流れ方向 Flow direction ※3 Connection tubing size 06 06×04 06.35×04.35 10 10×08 09.53×06.35 12 12×10 12.70×09.53 耐薬仕様 Chemical-resistant ※4 Oリング材質 O-ring material ※5 2 Flowell 20 series S ストレート 6 Flowell 60 series V 垂直アングル Vertical angle V0 FKM S Super Type Pillar Fitting L 水平アングルL Horizontal angle L 3 Super 300 Type Pillar Fitting R 水平アングルR Horizontal angle R E0 EPDM ※1 F T※2 ※1 R Straight F0 Flare Type Tube Rc ※6 ※1:F、Rについては “規格”欄はI (インチ) で表記します。 ※2:Tubeの外径、内径サイズは、P97をご参照ください。 ※3:垂直アングルの固定方法はパネルマウントのみです。 水平アングルは下ネジ穴、パネルマウントが選択できます。 ※4 : 使用流体が強酸等の場合にはご相談ください。 ※5 : Oリングは接液しません。 ※6 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。 ※1: ※2: ※3: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column. Please refer to page 97 for "Diameter of Tube". The mounting method in vertical piping is the panel mounting only. The mounting methods in horizontal piping are the panel mounting and the bolting mounting at the valve bottom. ※4: Please consult us for the specification if the medium is a strong chemical, strong acid etc. ※5: O-rings are not wetted. ※6: ”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers. 48 水平アングルR Horizontal angle R オプション組合せ Option Combination 固定方法 Mounting 流れ方向 Flow direction 下ネジ穴 Thread at bottom 台 座 Base plate ― ― ストレート Straight HDV12 垂直アングル Vertical angle パネルマウント Panel mounting AVNVM AVMPV 水平アングルL Horizontal angle L AVHPRS AVHPRL 垂直アングル Vertical angle AVCFV ストレート Straight AVSDV AVPVEL AVPVSL AVPVM 流れ方向 Flow Direction AVPV3 流れ方向・オプション組合せ Flow Direction・Option AVQDV ― OTHER 水平アングルL・R Horizontal angle L • R 49 構 造 図 Parts & Materials 3 4 No. 6 5 1 8 7 2 2 10 3 4 5 6 7 8 1 9 9 10 部品名称 Parts 本体 Body ダイヤフラム Diaphragm ハンドル Handle ロックナット Locknut ボンネット Bonnet ステム A Stem A ステム B Stem B 隔膜押さえ Bush ベースプレート Base plate ナット Nut ※ 接液部品はNo1、2です。 ※ Wetted parts are No.1, 2. 50 材質 Material PTFE PP PPS PP PPS PP PPS PFA C AVPVEL AVPVSL AVPVM AVPV3 寸法図・寸法表 Dimensions B port (OUT) AVSDV D A port (IN) B 単位(Unit):mm 66 80 mm 64 77 85 inch 92 113 113 88 mm 90 109 109 Super Type Pillar Fitting inch/mm 69 88 95 Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm 68 85 93 inch 86 97 101 90 95 Flare Type Tube ● 台 座 Base Plate inch/mm 95 B □ 30 □ 35 C 81 (MAX93) 96 (MAX112) D 21.5 26 E 10 13 単位(Unit):mm Standard Rc inch M J A 2-N 6×4 10×8 12×10 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 44 51 60 B □ 30 □ 35 C 87 (MAX99) 100 (MAX116) D 24 29 E 10 13 AVHPRS AVHPRL Flowell 60 series A inch AVCFV 4-M5 E 12×10 HDV12 Flowell 20 series 10×8 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 AVQDV Standard OTHER 20 6×4 AVNVM AVMPV A 51 E 寸法図・寸法表 (オプション) Dimensions (Option) M J ● 台 座 Base Plate J 2-N L K 単位(Unit):mm M サイズ 2-N 6×4 10×8 12×10 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 J 10 13 K 50 64 L 40 50 L M 30 35 K N φ 5.5 φ7 ● パネルマウント Panel Mounting 4-φ4.5 4-M4 Q R Q +0.3 0 φ30 ● パネルマウント Panel Mounting P パネルカット寸法 4-φ4.5 Panel Cut P φ29 +0.3 0 φ30 R Q φ30 Q 4-M4 P T S φ29 パネルカット寸法 Panel Cut P φ29 φ30 単位(Unit):mm サイズ T S φ29 52 6×4 10×8 12×10 6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 P 23 28 Q 35 40 R 42 47 S 15 16 T 12 16 Technical Data AVPV3 特性グラフ AVPVM ハンドル回転数−流量 Handle rotations − Flow rate Size : 6mm×4mm (6.35mm×4.35mm) (Orifice :φ3.5mm) 5.0 △ 0.5MPa 4.0 AVPVEL AVPVSL 流量 Flow rate(L/min) 4.5 △ 0.4MPa 3.5 △ 0.3MPa 3.0 △ 0.2MPa 2.5 2.0 △ 0.1MPa 1.5 △ 0.05MPa 1.0 0.0 0 1 2 3 4 5 6 7 ハンドル回転数 Handle rotations Size : 10mm×8mm (9.53mm×6.35mm) (Orifice :φ6mm) 26 24 △ 0.5MPa △ 0.3MPa △ 0.2MPa 14 12 10 △ 0.1MPa 8 6 △ 0.05MPa 4 2 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 ハンドル回転数 Handle rotations Size : 12mm×10mm (12.70mm×9.53mm) (Orifice :φ7mm) 26 24 △ 0.5MPa △ 0.4MPa 20 18 HDV12 △ 0.3MPa 16 △ 0.2MPa 14 12 △ 0.1MPa 10 8 AVQDV 流量 Flow rate(L/min) 22 △ 0.05MPa 6 AVHPRS AVHPRL 16 AVNVM △ 0.4MPa 18 AVCFV 20 4 2 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 ハンドル回転数 Handle rotations 流体:水(常温) Fluid : Water (ambient) これらのデータは実験値であり、参考値です。 The data shown here is the experimental values and the reference values. OTHER 流量 Flow rate(L/min) 22 AVMPV AVSDV 0.5 53 $9+35/ Specialty Valves and Control Products $9+35/ 54 定圧弁 バルブに供給する操作エアをカットすることで、バルブを全閉にする ことができます。前後の 2 方弁削減でコストダウンがはかれます。 Tight-shut-off function By stopping the supply of the pilot air, the valve can be fully closed. Therefore, the shut-off valves are not required. 仕 様 表 Specifications 続 Connection 径 Connection tubing size mm 参考流量範囲 Reference Flow Range L/min 接 続 精 重 操 作 部 Pilot 口 度 HF 10 ∼ 90 0.9 130.5psi 操作圧力 +0.05 ∼ 0.5 Pilot pressure +7.25 ∼ 72.5psi < 5 ( 水圧、23℃ ) < 5 (at hydraulic pressure, 23℃ ) 10 ∼ 60 < 20 自在 Any direction Flowell 20 series Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting Flare Type Tube − 3×2 (3.18×1.6) 、 6×4 (6.35×4.35) SHF 6×4 (6.35×4.35) ∼ 12×10 (12.70×9.53) 、 19×16(19.05×15.88)、 12×10 (12.70×9.53) 19×16 (19.05×15.88) 25×22(25.40×22.20) 10 ∼ 500mL/min 0.4 ∼ 15 5 ∼ 50 10 ∼ 100 一次側圧力が最低使用圧力∼ 0.5 MPa の範囲で変化した際の流量変化が± 5%F.S. 以内(注:二次側 圧力の変化がない状態) ±5%F.S. Accuracy of flow rate when the range of inlet pressure is from minimum working pressure to 0.5MPa, and there is no back pressure change. − Accuracy Type AVSDV 接 Installation direction MF Weight 量 kg 自力式 操作圧力 MPa Pilot pressure フィードバック制御 エ ア 消 費 量 L/times(ANR)※ Pilot air consumption 操作ポート接続 − Pilot port 0.2 0.1 ∼ 0.3 0.4 0.06 0.11 1.0 0.08 ∼ 0.3 0.12∼0.3 2.0 0.32 0.65 Rc1/8" ※エア消費量は操作圧力 0.3MPa の時の値です。※The pilot air consumption is the value at 0.3 MPa. 型式選定表 Ordering Code AVHPR タイプ Low Flow MF Medium Flow HF High Flow SHF 本体材質 Body material Type LF 0 T T PTFE 規 格 Tubing standard M I Oリング O-ring ※1 ミ リ Millimeter V FKM インチ Inch E EPDM F Super High Flow 1 ※2 ※1 : Oリングは接液しません。 ※2 : バイフロン®Fは耐酸用三元系 弗素ラバーです。 Fluorocarbon Elastomers. 接 続 方 法 LF MF HF SHF Connection 2 Flowell 20 series 6 Flowell 60 series ○ S Super Type Pillar Fitting 3 Super 300 Type Pillar Fitting F Flare Type 03 3 × 2 3.18 × 1.6 ○ 06 6 × 4 6.35 × 4.35 ○ 10 10 × 8 9.53 × 6.35 ○ 12 12 × 10 12.70 × 9.53 ○ 19 19 × 16 19.05 × 15.88 25 25 × 22 25.40 × 22.20 ○ ○ ○ ○ T※3 MF HF SHF 型式選定例 Ordering code example AVHPRLF-T06I3V0-1 AVHPRHF-T19I3V0-1 Tube ※3 : チューブ径03は接続方法Tubeを選定できません。 Tubeの外径、内径サイズはP97をご参照下さい。 ※3:In 変更区分 Revision LF ※1 : O-rings are not wetted. ※2 :”Vifron” is the Terpolymerization チューブ径 Connection tubing size mm inch 1 case the tube diameter is “03”, “Tube” connection is not available. Please refer to page 97 for diameter of “Tube“. AVMPV Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Leakage Rate Ambient Temperature LF AVNVM 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 弁 座 漏 れ 量 周 囲 温 度 開 閉 頻 度 取 付 姿 勢 Frequency of opening and closing タイプ 単位 Unit ℃ MPa MPa cm3/min ℃ times/min − AVHPRS AVHPRL Items AVCFV 目 HDV12 項 AVQDV The flow can be maintained stable instantly in the change of setting due to the quick response of the valve. There is no overshooting even just after the valve started. OTHER Excellent stability AVPV3 シャットオフ可能 素早いレスポンスで設定流量変更にも即座に安定した流量が得られま す。オフ状態からのオーバーシュートもまったくありません。 AVPVM 優れた安定性 AVPVEL AVPVSL 特 長 Features 55 構 造 図 Parts & Materials LF, MF 5 4 9 2 1 8 No. 1 2 3 4 5 7 3 7 8 9 部品名称 Parts 本体 Body 弁体 Seat ダイヤフラム Diaphragm ダイヤフラム Diaphragm ボンネット Actuator Housing ベースプレート Base plate ナット Nut スプリング Spring 材質 Material PTFE PVDF PFA SUS304 ※接液部品は No.1 ∼ 4 です。 ※Wetted parts are No. 1∼4. HF, SHF 5 9 6 1 4 2 No. 1 2 8 3 4 5 6 7 8 3 7 9 部品名称 Parts 本体 Body 弁体 Seat ダイヤフラム Diaphragm ダイヤフラム Diaphragm ボンネット Actuator Housing ボンネット押さえ Actuator Housing weight ベースプレート Base plate ナット Nut スプリング Spring ※接液部品は No.1 ∼ 4 です。 ※Wetted 56 parts are No. 1∼4. 材質 Material PTFE PP PVDF PFA SUS304 寸法図 Dimensions C LF, MF D B E Pilot port Rc1/8" B port (OUT) G F A port (IN) A 2-M5L6 4-φ5.5 52 台 座 Base Plate LF 67 73 37 44 25 30 25 2-M5L7 R3 7 .5 台 座 Base Plate MF 57 寸法図 Dimensions C HF, SHF D Pilot port Rc1/8” E B B port (OUT) G F A port (IN) A J L 2-M H HF、SHF 58 4-φK SHF D E F G H J K L M 40 40 64 59 21 7 − − − − − 55 55 85 76.5 25.5 7 − − − − − 75 75 121 97.5 34 8 103 50 9 40 M5L8 95 95 131 119 39 8 113 70 9 50 M5L8 AVPV3 AVHPRS AVHPRL AVNVM AVMPV C AVCFV HF B ※接続方法 Connection 2…Flowell 20 series 6…Flowell 60 series S…Super Type Pillar Fitting 3…Super 300 Type Pillar Fitting F…Flare Type T…Tube ※TubeのA寸法は別途ご相談ください。 ※Please consult us for the dimension ”A” for Tube connection. HDV12 MF A 58 75 75 70 70 76 74 100 102 79 78 96 90 91 89 117 115 94 93 111 105 100 97 133 129 108 105 117 115 108 105 133 129 115 113 121 115 128 125 153 149 135 133 141 135 137 137 163 163 154 147 151 155 157 157 183 183 174 167 171 175 179 179 197 194 185 181 189 175 AVQDV LF Tube size Standard Connection mm 2 inch 3×2 6 mm (3.18×1.6) inch/mm S inch/mm 3 inch 2 mm inch 6 6×4 mm S 6.35×4.35 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T inch 2 mm inch 6 6×4 mm S 6.35×4.35 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T inch 2 mm inch 6 10 × 8 mm S 9.53×6.35 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T inch 2 mm inch 6 12 × 10 mm S 12.70×9.53 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T inch 2 mm inch 6 12 × 10 mm S 12.70×9.53 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T inch 2 mm inch 6 19 × 16 mm S 19.05×15.88 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T inch 2 mm inch 6 19 × 16 mm S 19.05×15.88 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T inch 2 mm inch 6 25 × 22 mm S 25.40×22.20 inch/mm inch/mm 3 inch/mm F inch/mm T OTHER Type 寸法 Dimension AVPVM 型式 Specification AVPVEL AVPVSL 単位(Unit):mm AVSDV 寸法表 Dimensions 59 使 用 例 Example 制御機器 Control device 電空レギュレータ 制御信号 外部コントロール Control signal External Control Electro-pneumatic regulator 操作圧力(Pa) Pilot pressure 上位制御機器 Control device of higher rank DC4∼20mA 流量信号 Flow signal 流れ方向 使用場所 Flow Point of use AVSDV 60 AVHPRL Flow meter AVNVM AVPV3 Technical Data 試験ライン Test line P2 オリフィス 大気開放 Orifice Atmosphere Flow 一次側圧力 Upstream pressure 二次側圧力 Downstream pressure 試験条件 1. 特性グラフの結果は配管を水平に設置した場合です。 2. 試験は水(23℃) で行ったものです。 3. 特性グラフの結果は、 各特性グラフに記載してある継手サイズによるものです。 4. 特性グラフの結果は実験値であり参考値です。 Test condition 1. The characteristic graph shows the data in the case of horizontal piping. 2. The test temperature is 23℃. 3. The characteristic graph is by connection tubing size mentioned in each graph. 4. The data in the characteristic graph are the experiment value and the reference value. 使用上の注意 1. 流量調整には二次側にオリフィスなどの絞りを設置してください。 2. バルブに負圧を加えないでください。 (破損する恐れがあります) 3. 操作圧力には清浄な圧縮エアを用いてください。化学薬品、有機溶剤を含有する合成油、塩分、 腐食性ガス等 を含む場合は破損や作動不良の原因となります。 4. 操作圧力の調整にはエア用精密レギュレータや電空レギュレータなどの精度の良い物をご使用ください。 5. 排気機能のないレギュレータは使用しないでください。 (バルブが正常に作動しない恐れがあります) 6. 長期間使用されない場合は操作圧力を加えない状態にしてください。 7. 高粘性流体に使用される場合は流量範囲が水の場合と異なります。 ご使用を希望される場合はご相談ください。 8. 結晶性流体やスラリーへの使用には適しません。 AVSDV P1 流れ方向 AVMPV Pilot pressure AVNVM 操作圧力(Pa) AVHPRS AVHPRL Precision regulator for air AVPVEL AVPVSL AVPVM エア用精密レギュレータ AVCFV 特性グラフ AVQDV 1. Please install a constriction such as the orifice at downstream side for proper flow control. 2. Please do not use the AVHPRL in negative pressure. (It would cause the breakage of the valve) 3. Please use CDA (clean, dry compression air) for pilot air. In case the pilot air contains foreign substance, such as chemicals, synthetic oil contains organic solvent, salt, corrosive gas and so on, it would cause the breakage and operation defectiveness. 4. We recommend to use the high quality regulator for pilot air control such as the precise regulator and Electronic-Pneumatic regulator. 5. Please do not use the regulator without the exhaust function. (The valve may not operate precisely) 6. Please leave the pilot air pressure off in case the valve is not used for long time. 7. The range of the flow rate differs with high viscosity fluid from the one for water. Please consult us in case of use of high viscosity fluid. 8. The valve is not suited to the use to the crystallizing nature fluid and Slurry. 9. Please use AVHPRL for the fluid that has passed filter. OTHER Cautions for use HDV12 9. フィルタを通過後の流体にご使用ください。 61 Technical Data 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.4mm [43.5] 一次 Ups 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.4mm 120 Pa:0.3MPa 0.25 Pa:0.3MPa Pa:0.25MPa 0.2 [29] 0.15 [21.75] Pa:0.2MPa 0.1 [14.5] Pa:0.15MPa 0.05 流量 Flow rate (mL/min) 100 [36.25] Pa:0.25MPa 80 Pa:0.2MPa 60 Pa:0.15MPa 40 Pa:0.1MPa 20 [7.25] Pa:0.1MPa 0 0 0 0.1 0.2 [14.5] [29] 0.3 [43.5] 0.4 0.5 [58] [72.5] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 0.6 [50.75] 0.3 [43.5] 0.25 Pa:0.3MPa 0.2 [29] Pa:0.25MPa 0.15 [21.75] Pa:0.2MPa 0.1 [14.5] Pa:0.15MPa 0.05 Pa:0.1MPa 0 0 0.2 [29] 0.3 [43.5] 0.4 0.5 [58] [72.5] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 0.3 100 200 300 400 500 0.25 0.2 0 [14 0.0 [7.2 0.3 0 [43 0.2 0.15 [21.75] 0.1 0 [ 0.1 [21 [14.5] 0.05 [7.25] 0 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 0.4 [58] 0 [14 0.0 [7. 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 操作 Pilot 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 600 1 Ǿ0.8mm 500 オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference) 400 オリフィス Orifice(mm)流量 Flow rate(mL/min) Ǿ0.7mm 300 200 Ǿ0.4mm 100 Ǿ0.25mm 0 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 0.4 [58] φ0.25 10∼ 50 φ0.4 20∼100 φ0.7 65∼330 φ0.8 100∼500 流量 Flow rate (L/min) 流量 Flow rate (mL/min) 0.1 [21.7 [36 [29] 操作圧力 − 流量 Pilot pressure -- Flow rate 62 0 [2 [50 [43.5] 0 0.2 [36.2 流量 Flow 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.4mm 流量 Flow rate(mL/min) 0 0.6 0 [43 [87] [36.25] [36.25] [7.25] 0.1 [14.5] 操作圧力 − 二次側圧力 Pilot pressure -- Downstream pressure 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 0.35 0 [87] 流量 − 二次側圧力 Flow rate -- Downstream pressure 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 一次側圧力 − 流量 Upstream pressure -- Flow rate 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 一次側圧力 − 二次側圧力 Upstream pressure -- Downstream pressure 0.3 AV 試験チューブ径 Connection tubing size of test:6.35×4.35 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] AVHPRLF 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 特性グラフ 1 1 1 Pa:0.2MPa 0.1 Pa:0.15MPa [14.5] 0.05 0 0 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 0.4 0.5 [58] [72.5] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] [87] 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 6×4(6.35×4.35) 0.3 10×8(9.53×6.35) 12×10(12.70×9.53) [43.5] 0.25 [36.25] Pa:0.3MPa 0.2 [29] 0.15 Pa:0.2MPa 0.1 Pa:0.15MPa 0.05 [7.25] 0 0.2 [29] 0.4 [58] 0.5 [72.5] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 0.3 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3.5mm [43.5] 0.25 [36.25] 0.2 [29] 0.15 0.1 2.5 5 0.05 [7.25] Pa:0.1MPa Pa:0.08MPa 7.5 10 12.5 15 0 0 流量 Flow rate(L/min) 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 操作圧力 − 流量 Pilot pressure -- Flow rate 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 流量 Flow rate (L/min) 16 φ4.5mm 14 12 オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference) 10 φ3.5mm オリフィス Orifice(mm) 流量 Flow rate(L/min) 8 6 φ2.5mm 4 2 0 φ1.2mm 0 0.6 [87] 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 0.4 [58] AVPVM AVPV3 0.3 [43.5] [14.5] [14.5] 0 0.1 [14.5] [21.75] [21.75] 0.4 0 操作圧力 − 二次側圧力 Pilot pressure -- Downstream pressure 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 0.35 [50.75] [58] Pa:0.08 MPa 2 0 0.6 流量 − 二次側圧力 Flow rate -- Downstream pressure MPa 4mm Pa:0.1MPa 4 Pa:0.1MPa Pa:0.08 MPa [7.25] [87] 6 AVPVEL AVPVSL 0.15 [21.75] Pa:0.15MPa 一 U AVSDV 0.6 [29] Pa:0.2MPa 8 A 流 F AVNVM a 0.2 0.4 [58] AVHPRS AVHPRL Pa Pa:0.3MPa 10 [36.25] AVCFV a Pa:0.3MPa 0.25 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3.5mm 12 φ1.2 0.4 ∼ 1.4 φ2.5 1.8 ∼ 5.5 φ3.5 3.0 ∼10.0 φ4.5 4.5 ∼15.0 HDV12 Pa 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3.5mm 0.3 [43.5] 流量 Flow rate (L/min) a 一次側圧力 − 流量 Upstream pressure -- Flow rate 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] mm 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 一次側圧力 − 二次側圧力 Upstream pressure -- Downstream pressure AVMPV 試験チューブ径 Connection tubing size of test:12.70×9.53 AVQDV AVHPRMF Technical Data OTHER 特性グラフ 63 操 P 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ7mm 一次 Upst 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ7mm 50 [29] Pa:0.2MPa 0.1 [14.5] Pa:0.15MPa 0.05 流量 Flow rate (L/min) Pa:0.3MPa 0.15 [21.75] Pa:0.1MPa [7.25] 40 Pa:0.3MPa 30 Pa:0.15MPa Pa:0.1MPa 20 0 0.1 0.2 [14.5] [29] 0.3 [43.5] 0.4 0.5 Pa:0.08MPa 10 [58] [72.5] 0.3 12×10(12.70×9.53) 19×16(19.05×15.88) 0.25 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 0.4 0.5 [58] [72.5] [36.25] Pa:0.3MPa [29] 0.15 [21.75] Pa:0.15MPa 0.1 Pa:0.2MPa [14.5] 0.05 Pa:0.1MPa [7.25] Pa:0.08MPa 0 0 10 20 30 流量 Flow rate(L/min) 40 50 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 0.2 [29] 0. [36 0.15 0.1 0.05 [7.25] 0 0 [ 0. [21 [14.5] 0 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 0.4 0 [14 0. [7. [58] 操作 Pilot 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 12 non-orifice 50 オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference) φ8mm 40 30 φ7mm φ6mm 20 φ5mm オリフィス Orifice(mm) 流量 Flow rate(L/min) 10 0 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 0.4 [58] φ5 10∼22 φ6 12.5∼30 φ7 15.5∼39 φ8 non-orifice 17.5∼47 21∼50 流量 Flow rate (L/min) 流量 Flow rate (L/min) 0 [43 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 0 64 流量 Flow 一次側圧力 Upstream pressure:0.4MPa、 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ7mm 操作圧力 − 流量 Pilot pressure -- Flow rate 60 0.0 0.6 [21.75] 0.2 0 [14 [87] 操作圧力 − 二次側圧力 Pilot pressure -- Downstream pressure 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa [43.5] 0 [87] 流量 − 二次側圧力 Flow rate -- Downstream pressure 0.1 [7.2 0 0.6 0 [2 [21. Pa:0.2MPa Pa:0.08MPa 0 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 一次側圧力 − 流量 Upstream pressure -- Flow rate 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 一次側圧力 − 二次側圧力 Upstream pressure -- Downstream pressure 0.2 AV 試験チューブ径 Connection tubing size of test:19.05×15.88 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] AVHPRHF Technical Data 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 特性グラフ 10 8 6 4 2 Pa:0.15MPa Pa:0.1MPa 0.1 [14.5] 0.2 [29] 0.3 0.4 [43.5] 0.5 [58] 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 流量 − 二次側圧力 Flow rate -- Downstream pressure 19×16(19.05×15.88) 25×22(25.4×22.2) 0.25 [36.25] [29] 0.15 [21.75] 0.1 Pa:0.15MPa AVPV3 0.3 0.4 0.5 0.6 [43.5] [58] [72.5] [87] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 一次側圧力 Upstream pressure:0.4MPa、 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ10mm 0.2 [29] 0.15 0.1 0.05 [7.25] 0.05 [7.25] 0 0.2 [29] [14.5] Pa:0.2MPa [14.5] 0.1 [14.5] [21.75] Pa:0.3MPa 0.2 0 操作圧力 − 二次側圧力 Pilot pressure -- Downstream pressure 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa 0.3 Pa:0.08MPa 20 [87] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] [43.5] Pa:0.1MPa 30 0 0.6 [72.5] 40 10 Pa:0.06MPa 0 0 Pa:0.15MPa 50 Pa:0.1MPa Pa:0.08MPa 0 [58] 20 40 60 80 100 0 0 流量 Flow rate(L/min) 0.1 0.2 0.3 0.4 [14.5] [29] [43.5] [58] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 流量 Flow rate (L/min) 一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa φ12mm 100 80 オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference) φ10mm オリフィス Orifice(mm)流量 Flow rate(mL/min) 60 φ8mm 40 φ6mm 20 0 0 0.2 [14.5] 0.2 [29] 0.3 [43.5] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 0.4 [58] AVPVM AVCFV 操作圧力 − 流量 Pilot pressure -- Flow rate 120 立 AVNVM 0.05 Pa:0.2MPa 60 AVPVEL AVPVSL [14.5] 70 AVSDV Pa:0.2MPa 0.1 流量 Flow rate (L/min) 0.15 [21.75] [7.25] Pa:0.3MPa 80 AVMPV Pa:0.3MPa φ6 8∼31 φ8 15∼51 φ10 20∼76 φ12 25∼100 HDV12 [29] 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ10mm 90 AVHPRS AVHPRL 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:無し non-orifice 0.2 立 Re 一次側圧力 − 流量 Upstream pressure -- Flow rate 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi] 一次側圧力 − 二次側圧力 Upstream pressure -- Downstream pressure [87] 0.4 試験チューブ径 Connection tubing size of test:25.40×22.20 AVQDV AVHPRSHF 0.6 、 mm Technical Data OTHER 特性グラフ 65 脈 S 特性グラフ Technical Data 立上がり・立下がり Response Time 圧力 Pressure(MPa)[psi] 二次側圧力 Downstream pressure 0.12 [17.4] 6 5 信号 Signal 0.1 4 [14.5] 0.08 [11.6] 3 0.06 [8.7] 2 0.04 [5.8] 1 0.02 [2.9] 0 On/Off信号 On/Off Signal(V) AVHPRMF、二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ1.2mm、一次側 Upstream pressure:0.3MPa 0.14 [20.3] 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 時間 time(sec) 6 7] 立下がり Down 圧力 Pressure(MPa)[psi] 0.12 5 二次側圧力 Downstream pressure [17.4] 0.1 信号 Signal [14.5] 4 0.08 [11.6] 3 0.06 [8.7] 2 0.04 [5.8] 1 0.02 [2.9] 0 1.5 1.6 1.7 1.8 1.9 2 2.1 2.2 2.3 2.4 0.14 6 [20.3] 圧力 Pressure(MPa)[psi] 6 On/Off信号 On/Off Signal(V) 0.14 [20.3] 0.12 二次側圧力 Downstream pressure [17.4] 4 [14.5] 0.08 [11.6] 3 0.06 [8.7] 2 0.04 [5.8] 1 0.02 [2.9] 0 6.5 6.6 6.7 6.8 6.9 0 2.5 時間 time(sec) 4 5 信号 Signal 0.1 7 On/Off信号 On/Off Signal(V) 立上がり Up 0 7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 時間 time(sec) 脈動特性 Stability for pulsation AVHPRMF、二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3mm 0.45 圧力 Pressure(MPa)[psi] [65.25] 1.4 0.4 [58] 1.2 0.35 [50.75] 0.3 1 [43.5] 0.25 0.8 [36.25] 一次側圧力 Upstream pressure 0.2 [2.9] 二次側圧力 Downstream pressure 0.15 流量 Flow rate [21.75] 0.6 0.4 0.1 [14.5] 流量 Flow rate(L/min) 8] 0.2 0.05 [7.25] 0 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 0 20 時間 time(sec) これらのデータは実験値であり、参考値です。 The data shown here is the experimental values and the reference values. 66 67 OTHER AVQDV HDV12 AVCFV AVHPRS AVHPRL AVNVM AVMPV AVSDV AVPVEL AVPVSL AVPVM AVPV3 $9+356 Specialty Valves and Control Products $9+356 68 定圧弁スラリー用 シンプル 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 最高設定圧力 周 囲 温 度 取 付 姿 勢 Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Max. setting pressure Ambient Temperature Installation direction ℃ MPa MPa MPa ℃ − 接 Connection 続 接 続 口 径 参考流量範囲 Connection tubing size Reference Flow Range 精 度 Accuracy 重 量 操 作 部 Pilot Weight 操 作 圧 力 Pilot pressure 操作ポート接続 Pilot port 締 付 ト ル ク Tighten the torque − mm L/min − タイプ Type 50 60 10 ∼ 50 0.5 72.5psi 操作圧力 +0.03 ∼ 0.3 Pilot pressure +4.35 ∼ 43.5psi 0.1 1.45psi 10 ∼ 50 自在 Any direction Flowell 20 series Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting KURABO FINALLOCK Flare Type Tube 6×4(6.35×4.35) 10×8(9.53×6.35)、12×10(12.70×9.53) 0.05 ∼ 0.50 0.05 ∼ 3.0 一次側圧力が最低使用圧力∼ 0.3 MPa の範囲で変化した際の流量変化が± 5%F.S. 以内(注:二次側 圧力の変化がない状態) ±5%F.S. Accuracy of flow rate when the range of inlet pressure is from minimum working pressure to 0.3MPa, and there is no back pressure change. kg 0.3 0.5 MPa 0.03 ∼ 0.1(自力式・フィードバック制御) − Rc1/8" N・m 0.2 ∼ 0.4 使用上の注意 Cautions for Use 1.2方弁などによるラインの閉止は AVHPRS の一次側で行ってください。(破損する恐れがあります) 2.AVHPRS の二次側は大気開放でご使用ください。 3.流量調整には二次側にオリフィスなどの絞りを設置してください。 4.バルブに負圧を加えないでください。(破損する恐れがあります) 5.操作圧力には清浄な圧縮エアを用いてください。化学薬品、有機溶剤を含有する合成油、塩分、腐食性ガス等を含む場合は破損や作動不良の 原因となります。 AVSDV 単位 Unit 目 AVMPV Items 項 AVNVM 仕 様 表 Specifications AVHPRS AVHPRL The valve has proprietary simple structure. There is almost no influence to the particle size even with the highly coherent fluid such as slurry solution. It also can be used for DI water or chemicals. AVCFV Simple Structure AVPVEL AVPVSL AVPVM 独自のシンプル構造になっています。例えばスラリーのような凝集性の高い流体であってもパーティクルサイズに与える影響は ほとんどありません。もちろん純水・一般薬液などでもご使用いただけます。 AVPV3 特 長 Features 7.排気機能のないレギュレータは使用しないでください。(バルブが正常に作動しない恐れがあります) 8.長期間使用されない場合は操作圧力を加えない状態にしてください。 9.高粘性流体に使用される場合は流量範囲が水の場合と異なります。ご使用を希望される場合はご相談ください。 10.結晶性流体への使用には適しません。 HDV12 6.操作圧力の調整にはエア用精密レギュレータや電空レギュレータなどの精度の良い物をご使用ください。 OTHER 1. Please install the shut-off valve at upstream side of AVHPRS.(Otherwise it would cause breakage of the valve) 2. Please use the AVHPRS with the downstream side opened to atmosphere. 3. Please install a constriction such as the orifice at downstream side for proper flow control. 4. Please do not use the AVHPR in negative pressure. (It would cause the breakage of the valve) 5. Please use CDA for pilot air. In case the pilot air contains foreign substance, such as chemicals, synthetic oil contains organic solvent, salt, corrosive gas and so on, it would cause the breakage and operation defectiveness. 6. We recommend to use the high quality regulator for pilot air control such as the precise regulator and Electronic-Pneumatic regulator. 7. Please do not use the regulator without the exhaust function. (The valve may not operate precisely) 8. Please leave the pilot air pressure off in case the valve is not used for long time. 9. The range of the flow rate differs with high viscosity fluid from the one for water. Please consult us in case of use of high viscosity fluid. 10. The valve is not suited to the use to the crystallizing nature fluid. 11. Please use AVHPR for the fluid that has passed filter. AVQDV 11.フィルタを通過後の流体にご使用ください。 69 型式選定表 Ordering Code AVHPR タイプ T 規 格 Type 50 50 M 60 60 I Oリング O-ring ※1 Tubing standard ミ リ Millimeter V FKM インチ Inch E EPDM F ※2 本体材質 ※1 Oリングは接液しません。 ※2 バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。 ※1 ※2 Body material PTFE T チューブ径 Connection tubing size 接 続 方 法 O-rings are not wetted. ”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers. Connection 06 06×04 06.35×04.35 2 Flowell 20 series 10 10×08 09.53×06.35 6 Flowell 60 series 12 12×10 12.70×09.53 S Super Type Pillar Fitting 6 Super 300 Type Pillar Fitting K KURABO FINALLOCK F Flare Type T※3 固定方法 Mounting 0 下ネジ穴 Thread at bottom 1 台 座 Base plate Tube ※3 Tubeの外径、内径サイズはP97をご参照下さい。 ※3 Please refer to page 97 for diameter of “Tube“. 構 造 図 Parts & Materials 1 No. 5 1 3 2 3 6 2 4 70 4 5 6 部品名称 Parts ボンネット Bonnet 本体 Body リング Ring ベースプレート Base plate ダイヤフラム Diaphragm ナット Nut ※接液部品は No.1、2、5 です。 ※Wetted parts are No.1, 2 and 5. 材質 Material PTFE PP PTFE PFA AVPV3 寸法図・寸法表 Dimensions AVPVM B port (OUT) AVPVEL AVPVSL B A Pilot port Rc1/8" H AVMPV 10 K J AVSDV 4-φ7 G 2-M5 L10 AVNVM 台 座 Base Plate 下ネジ穴 Thread at bottom 単位(Unit):mm 6.35×4.35 10×8 9.53×6.35 60 12×10 12.70×9.53 inch mm inch mm inch/mm inch/mm inch/mm inch/mm inch/mm inch mm inch mm inch/mm inch/mm inch/mm inch/mm inch/mm inch mm inch mm inch/mm inch/mm inch/mm inch/mm inch/mm Connection 2 6 S 3 K F T 2 6 S 3 K F T 2 6 S 3 K F T A 86 84 112 110 89 88 86 106 110 105 102 138 134 113 110 114 122 102 113 110 138 134 120 118 116 126 120 B C1 50 55 60 70 C2 − − 56 56 55 − 56 58 − − − − − 71 − 72.5 71 − 73 73 72 72 74 73 74 72 − D E F G H J K 46 22 22 20 37 74 62 57.5 25.5 25.5 25 42 84 72 AVHPRS AVHPRL 6×4 Standard AVCFV 50 Tube size HDV12 Type 寸法 Dimension AVQDV 型式 Specification ※接続方法の記号はP68の型式選定表をご参照ください。 * Please refer to page 68 for the symbols of the connection methods. OTHER E F C1 D C2 A port (IN) 71 Technical Data AVHPR50 AVHPR60 二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi] 二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi] 一次側圧力 − 二次側圧力 Upstream pressure -- Downstream pressure 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.5mm 0.14 [20.3] Pa:0.1MPa 0.12 [17.4] 操作 AVH 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ2.0mm 0.12 [17.4] Pa:0.1MPa 0.1 [14.5] 0.1 Pa:0.07MPa [14.5] 0.08 Pa:0.05MPa [11.6] 0.06 Pa:0.03MPa [8.7] 0.04 [5.8] 0.02 [2.9] 0 0 0.05 0.1 0.15 [7.25] [14.5] [21.75] 0.2 [29] 0.25 0.3 0.35 [36.25] [43.5] [50.75] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 0.08 Pa:0.07MPa 0.06 Pa:0.05MPa 0.04 Pa:0.03MPa [11.6] [8.7] [5.8] 0.02 [2.9] 0 0 0.05 0.1 0.15 0.2 [7.25] [14.5] [21.75] [29] 0.25 0.3 0.35 [36.25] [43.5] [50.75] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 0 [ [ 0 [ 0 0 0 操作 AVHPR50 AVH AVHPR60 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.5mm 二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ2.0mm 2.5 Pa:0.08MPa 50 Pa:0.05MPa 40 Pa:0.03MPa 30 20 流量 Flow rate(L/min) 10 0 Pa:0.1MPa 2 Pa:0.08MPa 1.5 Pa:0.05MPa Pa:0.03MPa 1 0.5 AVH 0 0.05 [7.25] 0.1 [14.5] 0.15 [21.75] 0.2 [29] 0.25 0.3 0 0.35 [36.25] [43.5] [50.75] 0 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 0.05 0.1 0.15 0.2 [7.25] [14.5] [21.75] [29] 0.25 0.3 0.35 [36.25] [43.5] [50.75] 一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi] 流量 − 二次側圧力 Flow rate -- Downstream pressure AVHPR60 一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa [20.3] 0.12 [17.4] [14.5] [11.6] Pa:0.05MPa 0.06 [8.7] Pa:0.03MPa 0.04 [5.8] 0.02 [2.9] 0 200 400 600 流量 Flow rate(mL/min) ※試験ラインおよび試験条件はP61をご参照ください。 * Please refer to page 61 for the test conditions. Pa:0.1MPa 0.08 1 [11.6] Pa:0.07MPa 0.08 0.1 [14.5] Pa:0.1MPa 0.1 0 一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa 0.12 [17.4] 800 流量 Flow rate(mL/min) 0.14 二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi] 二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi] AVHPR50 流量 Flow rate(L/min) 流量 Flow rate(mL/min) Pa:0.1MPa 60 流量 Flow rate(mL/min) 一次側圧力 − 流量 Upstream pressure -- Flow rate 70 72 二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi] 特性グラフ Pa:0.07MPa 0.06 [8.7] Pa:0.05MPa 0.04 [5.8] Pa:0.03MPa 0.02 [2.9] 0 0 2 4 流量 Flow rate(L/min) 6 8 1 1 Technical Data AVPV3 特性グラフ 操作圧力 − 二次側圧力 Pilot pressure -- Downstream pressure 0.08 [11.6] 0.06 [8.7] 0.04 [5.8] 0.02 [2.9] 0 0.02 [2.9] 0.04 [5.8] 0.06 [8.7] 0.08 [11.6] 0.1 [14.5] 0.12 [17.4] 0.08 [11.6] 0.06 [8.7] 0.04 [5.8] 0.02 [2.9] 0 0 0.02 [2.9] 0.06 [8.7] 0.08 [11.6] 0.1 [14.5] 0.12 [17.4] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 操作圧力 − 流量 Pilot pressure -- Flow rate AVHPR50 35∼ 60 φ0.6 70∼115 φ0.7mm 200 φ0.7 120∼200 φ0.5mm φ0.8 100 170∼290 0 0 0.02 [2.9] 0.04 [5.8] 0.06 [8.7] 0.08 [11.6] φ0.9 250∼420 φ1.0 360∼580 0.1 [14.5] 0.12 [17.4] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] AVHPR60 流量 Flow rate(L/min) 75] a 一次側圧力 Upstream pressure:0.2MPa 4 35 φ2.5mm 3.5 オリフィス Orifice (mm) 3 2.5 2 φ2.0mm 1.5 φ1.5mm 1 0.5 0 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 [2.9] [5.8] [8.7] [11.6] [14.5] [17.4] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 流量 Flow rate(mL/min) 1400 8 流量 Flow rate (L/min) φ1.0 0.3 ∼0.55 φ1.2 0.5 ∼0.8 φ1.4 0.6 ∼1.0 φ1.6 0.8 ∼1.3 φ1.8 0.95∼1.6 φ2.0 1.1 ∼1.9 φ2.5 1.8 ∼3.2 オリフィスサイズ (参考値)Orifice diameter(reference) 1200 φ1.5mm 1000 オリフィス Orifice (mm) 流量 Flow rate (mL/min) φ0.5 800 400 200 0 0.02 [2.9] 0.04 [5.8] 0.06 [8.7] 0.08 [11.6] 40∼ 71 φ0.6 72∼130 φ0.7 120∼210 φ0.7mm φ0.8 175∼310 φ0.5mm φ0.9 240∼430 φ1.0mm 600 0 オリフィスサイズ (参考値)Orifice diameter (reference) 0.1 [14.5] 0.12 AVNVM φ0.5 400 300 オリフィス Orifice (mm) 流量 Flow rate (mL/min) AVHPRS AVHPRL 500 オリフィスサイズ (参考値)Orifice diameter(reference) AVCFV φ1.0mm 600 AVMPV 一次側圧力 Upstream pressure:0.2MPa 700 流量 Flow rate(mL/min) m AVPVM AVSDV 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] 0.04 [5.8] HDV12 0 0.1 [14.5] AVPVEL AVPVSL 0.1 [14.5] 0.12 [17.4] AVQDV 0.75] 0.12 [17.4] 一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa、 オリフィス径 Downstream Orifice size:φ1.5mm [17.4] 操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi] これらのデータは実験値であり、参考値です。 The data shown here is the experimental values and the reference values. OTHER .35 AVHPR60 一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa、 オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.5mm 二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi] m 二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi] AVHPR50 73 $9&)9 Specialty Valves and Control Products $9&)9 74 定流量弁 仕 様 表 Specifications 接 Connection Frequency of opening and closing Installation direction 接 続 口 径 参考流量範囲 精 度 レンジアビリティ 重 量 MPa Max. 0.3(自力式)/0.15 ∼ 0.3(フィードバック制御) − Rc1/8" N・m 0.4 ∼ 0.6 − Connection tubing size Reference Flow Range Accuracy Range ability Weight 操 作 圧 力 Pilot pressure 操作ポート接続 Pilot port 締 付 ト ル ク Tighten the torque 操 作 部 Pilot mm mL/min − − kg ℃ MPa MPa MPa cm3/min ℃ times/min − AVSDV Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Minimum differential pressure Leakage Rate Ambient Temperature AVMPV 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 最低動作差圧 弁 座 漏 れ 量 周 囲 温 度 開 閉 頻 度 取 付 姿 勢 続 タイプ Type LF 10 ∼ 90 0.6 87psi 0.1 ∼ 0.5 14.5 ∼ 72.5psi 0.1 14.5psi 0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure) 10 ∼ 60 < 20 自在 Any direction Flowell 20 series Flowell 60 series Super Type Pillar Fitting Super 300 Type Pillar Fitting Flare Type Tube 6×4(6.35×4.35) 5 ∼ 2000 ± 5%F.S. 5 倍 5 times 0.5 単位 Unit Items AVNVM 目 AVHPRS AVHPRL 項 型式選定表 Ordering Code AVCFV タイプ LF LF T Oリング O-ring ※1 Low Flow 最大流量 Maximum flow rate 本体材質 003 30 mL/min 005 50 mL/min 007 70 mL/min 012 125 mL/min チューブ径 018 180 mL/min 06 025 250 mL/min 027 270 mL/min 050 500 mL/min 100 200 06 Type 1000 mL/min 2000 mL/min FKM E EPDM ※2 ※1 : Oリングは接液しません。 ※2 : バイフロン®Fは耐酸用三元系 弗素ラバーです。 PTFE T V F Body material ※1 : O-rings are not wetted. ※2 :”Vifron” is the Terpolymerization 6×4 規 格 M I Fluorocarbon Elastomers. Connection tubing size 6.35×4.35 Tubing standard ミ リ Millimeter インチ Inch 接 続 方 法 Connection 2 Flowell 20 series 6 Flowell 60 series S Super Type Pillar Fitting 3 Super 300 Type Pillar Fitting F ※3 T Flare Type Tube ※3 : Tubeの外径、内径サイズはP97をご参照下さい。 ※3 : Please refer to page 97 for diameter of ”Tube“. AVPV3 AVPVEL AVPVSL By stopping the supply of the pilot air, the valve can be fully closed. Therefore, the shut-off valves are not required. AVCFV Tight-shut-off function AVCFV is not for pressure control but for flow rate control. Use of AVCFV makes the plumbing design easier than use of pressure regulating valve since it is unnecessary to worry about the pressure fluctuation by the influence of the pipe length and back pressure. HDV12 Control flow rate バルブに供給する操作エアをカットすることで、バルブを全閉 にすることができます。前後の 2 方弁削減でコストダウンがは かれます。 AVQDV シャットオフ可能 AVCFV は圧力制御ではなく流量を制御します。従来の定圧弁を 使った流量制御に比べ、配管長や背圧の影響による圧力変動を 気にする必要がなくなるため、配管設計が容易になります。 OTHER 流量をコントロール AVPVM 特 長 Features 75 構 造 図 Parts & Materials 1 No. 2 1 6 2 3 3 4 5 8 6 7 4 7 8 9 5 9 部品名称 Parts カバープレート Cover plate 上部本体 Upper body ダイヤフラム Diaphragm 下部本体 Lower body ベースプレート Base plate ダイヤフラム Diaphragm ダイヤフラム Diaphragm ナット Nut スプリング Spring 材質 Material PVDF PTFE PVDF PTFE PFA SUS304 ※接液部品は No.2、3、4、6、7 です。 ※Wetted parts are No.2, 3, 4, 6 and 7. 寸法図・寸法表 Dimensions 番号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 27.5 42.5 71.5 Pilot port Rc1/8" 名称 カバープレート 上部本体 ダイヤフラム 下部本体 ベースプレート ダイヤフラム ダイヤフラム キャップナット スプリング 材質 PVDF PTFE PTFE PTFE PVDF PTFE PTFE PFA SUS304 A 2-M5 L10 単位(Unit):mm 60 30 Type LF 60 ※接続方法の記号はP75の型式選定表をご参照ください。 ※Please 76 型 式 Specification Dimension Tube size Standard Connection A inch 96 2 mm 94 inch 122 6 6×4 mm 120 6.35×4.35 inch/mm S 99 inch/mm 3 98 inch/mm F 116 inch/mm T 120 refer to page 75 for the symbols of the connection methods. AVPV3 Technical Data 差圧 − 流量 Differential pressure − Flow rate Pa:0.2MPa Pa:0.15MPa Pa:0.2MPa [43.5] [58] 0.1 [14.5] 0.1 0.2 [29] 0.3 0.4 [43.5] [58] [72.5] 差圧 Differential pressure (MPa) [psi] 0.2 0.3 0.4 [87] 0.5 [58] LF200 差圧 Differential pressure (MPa) [psi] 2.5 2 [87] Pa:0.15MPa 0.5 0.6 0.6 [72.5] [87] LF200 2.5 2 1.5 LF200 LF100 2 1.5 1 AVNVM 流量 Flow 流量 Flow rate (流量 Flow L/min) rate (L/min) rate (L/min) [72.5] 差圧 Differential pressure (MPa) [psi] LF100 1.5 1 0.5 LF100 LF010 1 0 0.5 0.1 0.2 [14.5] 0.3 [29] 0.4 [43.5] [58] LF010 操作圧力 Pilot pressure (MPa) [psi] 0.5 0 0.1 0.2 [14.5] 0.3 [29] 0 100 0.1 0.4 [43.5] LF010 [58] 操作圧力 Pilot pressure (MPa) [psi] 0.2 0.3 [14.5] 流量 Flow 流量 Flow rate(流量 Flow mL/min) rate(mL/min) rate(mL/min) Pa:0.15MPa 0.5 0.6 0.4 AVSDV [29] 0.3 AVMPV [14.5] 0.2 [29] 0.35 0.4[50.75] [58] [43.5] 0.3 操作圧力 Pilot pressure (MPa) [psi] 80 100 [43.5] 0.35 脈動特性 Stability for pulsation [50.75] 0.25 [36.25] 0.3 60 80 100 [43.5] 0.2 0.35 [29] [50.75] 0.25 40 80 60 20 40 60 0 10 20 0 10 20 0 20 一次側圧力 Upstream pressure [36.25] 0.15 0.3 [21.75] [43.5] 流量 Flow rate 0.1 [29] 0.25 [14.5] [36.25] 一次側圧力 Upstream pressure [21.75] 0.05 0.2 [7.25] [29] 0.2 0.15 0.1 流量 Flow rate 0 [14.5] 0.15 [21.75] 一次側圧力 30 40 Upstream 50pressure 600.05 [7.25] 0.1 時間 time (sec) 流量 Flow rate [14.5] 0 0.05 30 40 50 60 [7.25] 時間 time (sec) 0 0 10 20 30 0 40 50 60 時間 time (sec) 流体:水(常温) Fluid : Water (ambient) Pa は操作圧です。 Pa is pilot pressure. これらのデータは実験値であり、参考値です。 The data shown here is the experimental values and the reference values. AVHPRS AVHPRL 0.1 操作圧力 − 流量 Pilot pressure − Flow rate [14.5] [29] [43.5] 0 40 20 AVPVEL AVPVSL Pa:0.3MPa AVCFV 0 Pa:0.3MPa Pa:0.2MPa HDV12 0 20 0 2.5 0 AVPVM Pa:0.3MPa 100 120 140 80 100 120 60 80 100 40 60 80 20 40 60 0 20 0 40 AVQDV 120 140 一次側圧力 Upstream 一次側圧力 Upstream 一次側圧力 Upstream pressure ( pressure MPa) [ (psi] pressure MPa) [psi] (MPa) [psi] 流量 Flow 流量 Flow rate (流量 Flow mL/min) rate (mL/min) rate (mL/min) 140 OTHER 特性グラフ 77 +'9 Specialty Valves and Control Products +'9 78 PVC製2方弁 作 動 流 体 温 度 使 用 圧 力 範 囲※ 1 弁 座 漏 れ 量 背 圧※ 1 周 囲 温 度 開 閉 頻 度 取 付 姿 勢 Actuation Medium Temperature Working Pressure range Leakage Rate Back Pressure Ambient Temperature 接 Connection 続 オ リ フ ィ ス C v 値 操 作 部 Pilot Frequency of opening and closing Installation direction 単位 Unit 15mm 1/2inch − ℃ MPa cm3/min MPa ℃ times/min − − Orifice diameter mm Cv value − 逆作動 Air to open 操作圧力 MPa Pilot pressure 復作動 Double acting 逆作動 エア消費量 Air to open Pilot air L/times(ANR)※2 復作動 consumption Double acting 操作ポート接続 − Pilot port φ 16 4.8 呼び径 Nominal size 20mm 3/4inch 25mm 1inch 40mm 1•1/2inch 50mm 2inch 逆作動・復作動 Air to open・Double acting 0 ∼ 60 0 ∼ 50 0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi 0 ∼ 0.4 0 ∼ 58psi 0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure) 0 ∼ 0.2 0 ∼ 29psi 0 ∼ 60 0 ∼ 50 < 20 < 15 自在 Any direction ソケット形 Socket ねじ込み形 Threaded フランジ形 Flanged φ 22 φ 22 φ 40 φ 50 8 9.5 26 44 0.4 ∼ 0.5 58 ∼ 72.5psi 0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi 0.02 0.05 0.20 0.39 0.13 0.30 1.21 2.13 Rc1/8" ※1:詳細は P.84 に記載の特性グラフ「流体温度− 使用圧力」 「使用圧力−背圧」をご参照ください。 ※2:エア消費量は操作圧力 0.4MPa の時の値です。 ※1. For the details, please refer to the characteristic graph of “Fluid temperature - Working pressure” and “Working pressure - Back pressure” in page 84. ※2. The pilot air consumption is the value at 0.4 MPa. AVPV3 AVPVM AVPVEL AVPVSL Items AVSDV 目 AVMPV 項 AVNVM 仕 様 表 Specifications AVHPRS AVHPRL HDV12 has excellent durability and reliability since it is designed based on our know-how cultivated for years as a pioneer of plastic valve and our experience in developing valves for semiconductor industry. AVCFV Excellent durability HDV12 プラスチックバルブのパイオニアとして長年培ったノウハウと、半導体用バルブの経験を元に設計した HDV12 の開閉寿命は、 アサヒ AV ブランドを受け継いだ高い信頼性を持っています。 AVQDV 優れた耐久性 OTHER 特 長 Features 79 作動 接続 ・規格 取付方法 型式選定表 Ordering Code オプション 操作ポート方向 Oリング材質 サイズ HDV12 作 動 Actuation G 逆作動 (NC) Air to open F 復作動 (DA) Double acting 操作ポート Pilot port connection ③ 0 接続・規格 Connection 1 ※1 TJ ソケット形・JIS規格 Socket • JIS 2 NJ ねじ込み形・JIS規格 Threaded • JIS 3 F1 フランジ形・JIS10K規格 Flanged • JIS10K 4 固定方法 Mounting 0 下ネジ穴 Thread at bottom 1 台座 オプション ② ① Pilot port direction : 0 操作ポート方向:0・スピコン付 Speed controller 5 port direction : 1 操作ポート方向:1・スピコン付 Pilot Speed controller 6 操作ポート方向:2・スピコン付 Speed controller 7 操作ポート方向:3・スピコン付 Speed controller Base plate Pilot port direction : 2 Pilot port direction : 3 Oリング Option 0 標準(ON・OFFのみ)Standard (ON•OFF only) 1 流量調整付 Travel stop 2 バイパス付 Bypass 3 流量調整・バイパス付 Travel stop • Bypass 4 インジケータ付 Indicator 5 バイパス・インジケータ付 Bypass • Indicator ※ 6 2 流量調整・インジケータ付 Travel stop • Indicator ※ 7 2 流量調整・バイパス・インジケータ付 Travel stop • Bypass • Indicator O-ring V FKM E EPDM ※3 F ※3 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。 ※3 :”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers. 呼び径 ※1:その他の規格をご利用になりたい場合は別途ご相談下さい ※2:呼び径 40mm、50mmは選定できません ※1. ※2. 流体方向 Flow direction Please consult us for the other connecting standard for detail. Size 40mm and 50mm are not available. Nominal size 15 15mm 20 20mm 25 25mm 40 40mm 50 50mm オプション Option 呼び径 Nominal size 15 ∼ 25mm 組合せ No. Option No. 流量調整 Travel stop バイパス Bypass インジケータ Indicator 0 − − − 1 ○ − − 2 − ○ − 3 ○ ○ − 4 − − ○ 5 − ○ ○ 1 ○ − − 2 − ○ − 3 ○ ○ − 4 − − ○ 5 − ○ ○ 呼び径 Nominal size 40、50mm 組合せ No. Option No. 流量調整 Travel stop バイパス Bypass インジケータ Indicator 80 0 − − − 6 ○ − ○ 7 ○ ○ ○ ソケット形 Socket ねじ込み形 Threaded フランジ形 Flanged 0.4 0.7 0.8 3.1 5.6 0.5 0.7 0.8 3.1 5.6 0.7 1.0 1.3 3.8 6.4 0.4 0.7 0.8 2.7 4.9 0.4 0.7 0.8 2.8 4.9 0.6 1.0 1.2 3.4 5.7 構 造 図 Parts & Materials 17 18 2 13 4 3 5 6 7 A port (IN) B port (OUT) 4 1 9 2 3 8 9 O-ring A 10 O-ring B 11 O-ring C 12 O-ring D 13 O-ring E 17 18 スプリング A Spring A スプリング B Spring B ※接液部品は No.1、3、5、9 です。 ※Wetted parts are No.1, 3, 5 and 9. U-PVC PTFE AVPV3 PPS AVNVM 10 8 6 12 7 11 5 本体 Body キャップナット Union nut ボディキャップ End connector 台座 Base plate ダイヤフラム Diaphragm ピストン Piston 隔膜押さえ Bush シリンダ本体 Actuator housing 材質 Material FKM EPDM SUS304 AVHPRS AVHPRL 1 部品名称 Parts AVCFV No. AVPVM フランジ形 Flanged AVPVEL AVPVSL ねじ込み形 Threaded HDV12 Nominal size ソケット形 Socket AVQDV 呼び径︵ ︶ mm 15 20 25 40 50 復作動 Double acting OTHER 接 続 Connection 逆作動 Air to open AVSDV 単位 (Unit) :kg 作 動 Actuation AVMPV 製品重量表(参考値) Weight List (Reference) 81 寸法図・寸法表 Dimensions D D 2 4 D2 D4 Pilot port Rc1/8" H H2 (OUT) φD 1 ℓ H3 B port φd1 φ D1 H1 φD 3 L1 L φd1 (IN) Taper 1/T ℓ φd A port φd φ D3 Taper 1/T (IN) H1 A port H2 H3 H Pilot port Rc1/8" B port (OUT) φD φD t P.C.D.C ℓ ねじ込み Threaded S P.C.D.C φd3 φd2 φ D1 S ℓ φd3 2-S1 φd2 φ D1 L1 L 2-S1 n-φh フランジ形 t Flanged n-φh ねじ込み Threaded H6 H4 H5 H4 H5 H6 フランジ形 Flanged D5 インジケータ付 Indicator 流量調整付 Travel stop インジケータ付 呼び径 Nominal size 82 流量調整付 d U-PVC inch d1 ℓ 15 1/2 15.5 22.11 20 20 3/4 20.5 26.13 24 25 1 25 32.16 40 11/2 40 50 2 1/T U-PVC d2 JIS 10K ℓ L d3 1/34 124.4 Rc1/2 15 117.0 1/34 147.0 Rc3/4 17 139.0 27 1/34 163.5 Rc1 20 48.21 37 1/37 241.0 Rc11/2 50 60.25 42 1/37 283.0 Rc2 H H1 H2 H3 L S S1 D5 流量調整・インジケータ付 バイパス付 Travel stop・Indicator Bypass フランジ形 Flanged Indicator ねじ込み形 Threaded Travel stop ソケット形 Socket mm 呼び径 Nominal size 流量調整・インジケータ付 バイパス付 Travel stop・Indicator Bypass L1 単位(Unit):mm D1 D2 D3 (Orifice) D4 D C n h L t 15 95 70 4 15 158.0 12 79.0 48 □ 50 16 13 20 100 75 4 15 191.0 14 88.0 60 □ 60 22 13 149.5 25 125 90 4 19 205.5 14 94.5 70 □ 60 22 13 25 215.0 40 140 105 4 19 264.0 16 145.0 100 □ 95 40 12.5 28 260.0 50 155 120 4 19 297.0 16 177.0 126 □ 115 50 13 H4 H5 (MAX) (MAX) H6 D5 (MAX) mm inch 15 1/2 69 17.0 33 60 20 M6 L7 92 111 55 20 3/4 98 20.5 44 76 25 M6 L7 102.0 121 140 59 25 1 99 21.5 45 77 25 M6 L7 103.0 122 141 59 40 11/2 147 35.0 68 115 45 M10 L10 155.0 185 − 90 50 2 174 48.0 83 137 45 M10 L17 185.0 215 − 100 72.5 D2 D5 D D 寸法図・寸法表 (台座付) Dimensions (With Base Plate) 2 D3 D2 AVPV3 5 AVPVM D3 D5 D3 Pilot port Rc1/8" L d2 Indicator AVSDV AVMPV AVNVM 10 18 D6 L1バイパス付 D1 D2 D3 Bypass D4 (Orifice) D5 15 1/2 15.5 22.11 20 1/34 124.4 Rc1/2 15 117.0 15 95 70 4 15 158.0 12 79.0 48 □ 50 92 16 13 20 3/4 20.5 26.13 24 1/34 147.0 Rc3/4 17 139.0 20 100 75 4 15 191.0 14 88.0 60 □ 60 92 22 13 25 1 25 32.16 27 1/34 163.5 Rc1 20 149.5 25 125 90 4 19 205.5 14 94.5 70 □ 60 92 22 13 40 11/2 40 48.21 37 1/37 241.0 Rc11/2 25 215.0 40 140 105 4 19 264.0 16 145.0 100 □ 95 145 40 12.5 50 2 50 60.25 42 1/37 283.0 Rc2 28 260.0 50 155 120 4 19 297.0 16 177.0 126 □ 115 145 50 13 H H1 H2 H3 H6 D6 (MAX) 93.0 105.5 125.0 144.0 101 mm inch 15 1/2 102.0 33.0 66.0 20 3/4 134.5 36.5 80.5 112.5 138.5 157.5 176.5 105 1 136.5 37.5 82.5 114.5 140.5 159.5 178.5 105 25 40 50 11/2 200.0 53.0 120.5 168.0 208.0 237.5 2 240.0 66.0 149.0 202.0 251.0 281.0 − 162 − 172 AVCFV AVHPRS AVHPRL 10 18 JIS 10K 流量調整・インジケータ付 C h L t Traveln stop・Indicator inch H4 H5 (MAX) (MAX) ℓ 流量調整付 L Travel d3 stop D 単位(Unit):mm HDV12 1/T 16 流量調整・インジケータ付 Travel stop・Indicator フランジ形 Flanged AVQDV ℓ H6 流量調整付 ねじ込み形 Travel Threadedstop D6 バイパス付 Bypass D6 バイパス付 Bypass mm 呼び径 Nominal size d1 H5 H4 流量調整・インジケータ付 Travel stop・Indicator U-PVCインジケータ付 U-PVC d H6 8 呼び径 Nominal size H6 H5 H5 H4 インジケータ付 ソケット形Indicator Socket 流量調整付 Travel stop OTHER 9 110 120 125 145 10 18 110 60 フランジ形 t φ nh 台座 台座 Flanged Base Plate(15∼25mm) Base Plate(40、50mm) 110 60 フランジ形 t n-φh 台座 台座 Flanged Base Plate(15∼25mm) Base Plate(40、50mm) 110 60 フランジ形 台座 台座 Flanged Base Plate(15∼25mm) Base Plate(40、50mm) H4 インジケータ付 Indicator H H H3 110 120 125 145 80 9 9 8 ねじ込み Threaded AVPVEL AVPVSL H H3 H2 H3 H1 H2 90 46 40 6.5 φD P.C.D.C φd3 n-φh 80 9 9 110 120 125 145 9 46 40 6.5 9 φD t φD P.C.D.C P.C.D.C φd3 φd3 φd2 φ D1 ねじ込み Threaded ℓ 80 9 90 46 40 6.5 φd2 φ D1 φd2 φ D1 ℓ ねじ込み Threaded 90 9 L1 L ℓ (OUT) H2 ℓ H1 L1 L 66.5 78 92 (IN) (OUT) B port 66.5 78 16 16 92 66.5 78 92 L1 L D4 φ Taper 1/T B port 8 A port ℓ H1 φD 4 φd1 φD1 Taper 1/T φd1 φD1 (IN) φD 4 φd1 φ D1 A port Taper 1/T Pilot port Rc1/8" B port ℓ (OUT) φd (IN) φd A port φd Pilot port Rc1/8" 83 HDV12型特性 特性グラフ Technical Data 呼び径 Nominal size:15mm∼25mm 1 [145] 0.5 [72.5] C PV U- C PV U- 0 -40 -20 0 20 40 60 80 100 120 使用圧力 Working pressure(MPa) [psi] 使用圧力 Working pressure(MPa) [psi] 流体温度 − 使用圧力 Temperature--Working pressure 呼び径 Nominal size:40mm・50mm 1 [145] 0.5 [72.5] -20 0 20 40 60 80 C PV U- 0 -40 -20 0 温度 Temperature(℃) -40 C PV U- 20 40 60 80 100 120 100 120 温度 Temperature(℃) 100 120 -40 -20 0 20 40 E TF 60 80 E TF P P 使用圧力 − 背圧 Working pressure−Back pressure 0.5 [72.5] 0.4 [58] 0.3 [43.5] 0.2 0∼40℃ [29] 50℃ 0.1 [14.5] 0 0.1 0.4 [58] 0.3 [43.5] 0.2 [29] 0.2 0∼40℃ 0.1 0.3 0.4 0.5 [29] [43.5] [58] [72.5] 使用圧力 Working pressure(MPa)[psi] 84 0.5 [72.5] [14.5] 60℃ [14.5] 呼び径 Nominal size:40mm・50mm 背圧 Back pressure(MPa) [psi] 背圧 Back pressure(MPa) [psi] 呼び径 Nominal size:15mm∼25mm 0 50℃ 0.1 [14.5] 0.2 0.3 0.4 0.5 [29] [43.5] [58] [72.5] 使用圧力 Working pressure(MPa)[psi] 100 80 60 15mm 500 400 300 40 200 20 100 0 0 0 1 2 3 ハンドル回転数 Handle rotations △P=0.2MPa 250 40mm 0 1000 1 2 3 4 5 ハンドル回転数 Handle rotations △P=0.2MPa 900 200 20mm 100 15mm 流量 Flow rate(L/min) 流量 Flow rate (L/min) 25mm 150 ※流量調整及びバイパスのハンドル は全閉状態から1/ 4回転以上開 けた状態でご使用ください。それ 以下でのご使用は使用条件により キャビテーション、流量変動などが 発生する恐れがあります。 800 50mm 700 600 500 40mm 400 300 200 50 100 ※Please use Travel Stop and Bypass of HDV12 with slightly opened position (at least 1/4 turns from the fully closed position). Otherwise, there would be the cavitations or the fluctuation of flow. 0 0 0 1 2 3 ハンドル回転数 Handle rotations 0 1 2 3 4 5 ハンドル回転数 Handle rotations ハンドル回転数 − 流量(バイパス付・バイパス流路部) Handle rotations−Flow rate(Bypass・Bypass port) △P=0.1MPa 30 35 40・50mm 20 15 15∼25mm 10 5 use Travel Stop and Bypass of HDV12 with slightly opened position (at least 1/4 turns from the fully closed position). Otherwise, there would be the cavitations or the fluctuation of flow. 30 40・50mm 25 20 15∼25mm 15 10 5 ※Please 0 流量 Flow rate (L/min) 流量 Flow rate (L/min) 25 ※流量調整及びバイパスのハンドル は全閉状態から1/ 4回転以上開 けた状態でご使用ください。それ 以下でのご使用は使用条件により キャビテーション、流量変動などが 発生する恐れがあります。 △P=0.2MPa 40 0 1 2 ハンドル回転数 Handle rotations 0 0 1 2 ハンドル回転数 Handle rotations AVPVEL AVPVSL 20mm AVSDV 120 50mm AVMPV 25mm AVNVM 600 流量 Flow rate (L/min) 流量 Flow rate(L/min) 140 △P=0.1MPa AVHPRS AVHPRL 700 AVCFV △P=0.1MPa HDV12 160 AVQDV ハンドル回転数 − 流量(流量調整付・メイン流路部) Handle rotations−Flow rate(Travel stop・Main port) AVPVM AVPV3 Technical Data OTHER 特性グラフ 85 特性グラフ Technical Data 開度別Cv値 Valve travel− Cv value 100 Cv値 Cv value(%) 80 60 全開 Cv 値 Full open Cv value 40 呼び径 (mm) 15 nominal size 20 Cv値 (−) Cv value 4.8 20 25 40 50 8 9.5 26 44 0 0 20 40 60 80 100 開度 Valve travel(%) 差圧 − 流量 Differential pressure−Flow rate バイパス部 Bypass port メイン流量部 Main port 100 50mm (44) 1000 40mm (26) 25mm (9.5) 20mm ( 8 ) 15mm (4.8) 100 0.05 0.1 [7.25] [14.5] 流量 Flow rate(L/min) 流量 Flow rate(L/min) 10000 40・50mm (1.5) 15∼25mm (0.8) 10 5 0.5 0.05 [72.5] 0.1 [7.25][14.5] 差圧 Differential pressure(MPa) [psi] 0.5 [72.5] 差圧 Differential pressure(MPa)[psi] ※( )内の数値は全開Cv値です。 これらのデータは実験値であり、参考値です。 ※ Valve in ( ) shows Cv value at full open. The data shown here is the experimental values and the reference values. 86 87 OTHER AVQDV HDV12 AVCFV AVHPRS AVHPRL AVNVM AVMPV AVSDV AVPVEL AVPVSL AVPVM AVPV3 $94'9 Specialty Valves and Control Products $94'9 88 急速排水弁 Compact Design Since AVQDV is including the actuator in the body, it is light, compact and do not require the plumbing space. It is possible to install or remove the valve body easily for both vertical and horizontal piping. 仕 様 表 Specifications 本体材質 Body material U-PVC 続 オ リ フ ィ ス C v 値 Orifice diameter Cv value 操 作 圧 力 Pilot pressure エ ア 消 費 量 Pilot air consumption 操作ポート接続 Pilot port 操 作 部 Pilot 80mm 100mm 40mm 50mm 80mm 100mm 復作動 Double acting ℃ MPa MPa cm3/min MPa ℃ times/min − 5 ∼ 40 5 ∼ 80 5 ∼ 40 − mm − φ 40 51 φ 51 83 φ 70 198 MPa AVSDV 0.06 8.7psi 0 ∼ 0.02 0 ∼ 2.9psi 0(水圧) 0 (at hydraulic pressure) 0 5 ∼ 50 <6 自在 Any direction ソケット形 Socket ねじ込み形 Threaded フランジ形 Flanged φ 100 φ 40 348 52 AVMPV Connection Installation direction 50mm φ 51 83 φ 70 196 φ 100 380 0.19 0.44 1.17 0.3 ∼ 0.5 43.5 ∼ 72.5psi L/times(ANR)※ 0.09 0.19 0.44 1.17 − 0.09 Rc1/8" ※エア消費量は操作圧力 0.5MPa の時の値です。 ※The pilot air consumption is the value at 0.5 MPa. 型式選定表 Ordering Code AVQDV タイプ F F F Oリング Type 自在型 True Union 呼び径 O-ring V FKM E EPDM F 作 動 F Actuation ※ バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。 ※ 復作動 (DA) Double acting 本体材質 U-PVC P PP ”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers. 接続・規格 Body material U ※ Connection 040 40mm 050 50mm 080 80mm 100 100mm ※ TJ ソケット形・JIS規格 Socket • JIS TD ソケット形・DIN規格 Socket • DIN NJ ねじ込み形・JIS規格 Threaded • JIS F1 フランジ形・JIS 10K規格 Flanged • JIS10K ※ その他の規格をご利用になりたい場合は別途ご相談下さい ※ Nominal size AVNVM 接 Frequency of opening and closing 40mm AVHPRS AVHPRL Actuation Medium Temperature Proof Pressure Working Pressure range Leakage Rate Back Pressure Ambient Temperature AVCFV 作 動 流 体 温 度 構 造 耐 圧 使用圧力範囲 弁 座 漏 れ 量 背 圧 周 囲 温 度 開 閉 頻 度 取 付 姿 勢 HDV12 Items Please consult us for the other connecting standard for detail. AVQDV 目 OTHER 項 PP 呼び径 Nominal size 単位 Unit AVPV3 アクチュエータを内蔵しているため、軽量コンパクトで配管スペースを取りません。また、本体の着脱が容易に行え、縦配管、 横配管のいずれにも使用可能です。 AVPVM コンパクト AVPVEL AVPVSL 特 長 Features 89 製品重量表(参考値) Weight List (Reference) 単位(Unit) :kg 本体材質 Body material 接 続 Connection Nominal size 呼び径︵ ︶ mm U-PVC PP ソケット形 Socket ねじ込み形 Threaded フランジ形 Flanged ソケット形 Socket ねじ込み形 Threaded フランジ形 Flanged 40 1.1 1.1 1.7 0.7 0.7 1.2 50 1.8 1.8 2.6 1.2 1.2 1.7 80 3.4 3.3 4.5 2.2 2.2 3.1 100 8.2 8.2 9.4 4.9 5.0 6.1 構 造 図 Parts & Materials No. 9 7 12 13 1 2 3 A port (IN) B port (OUT) 4 5 6 7 8 2 10 11 1 4 5 14 6 3 15 8 9 10 部品名称 Parts 本体 Body ユニオン A Union A ユニオン B Union B ピストン Piston シリンダキャップ Cylinder cap キャップナット Union nut 溝アダプタ Groove adapter ボディキャップ End connector 弁体 Seat ブッシュ Bush 11 O-ring A 12 O-ring B 13 O-ring C 14 O-ring D 15 O-ring E 材質 Material U-PVC PP PTFE UHMW-PE, PTFE FKM EPDM ※Oリング材質がFKM、EPDMの場合はブッシュ材質が UHMW-PE、 の場合はブッシュ材質がPTFE となります。 ※ I n the case of FKM or EPDM O ring, the Bush material is UHMW-PE, and in the case of O-ring, the Bush material is PTFE. ※接液部品は No.1 ∼ 3、5、7、9、10、14、15 です。 ※Wetted 90 parts are No.1~3, 5, 7, 9, 10, 14 and 15. AVPV3 寸法図・寸法表 Dimensions L3 Pilot port Rc1/8" AVPVEL AVPVSL ℓ φD1 Taper 1/T φd1 φd φd2 AVPVM L2 d mm inch U-PVC, C-PVC PP AVNVM PVDF U-PVC d1 ℓ 1/T L d1 d2 ℓ L d1 d2 ℓ L d3 ℓ L 40 11/2 40 48.21 37 1/37 205.0 47.0 46.0 28 187.0 47.45 47.20 28 187.0 Rc11/2 25 179.0 50 2 51 60.25 42 1/37 234.0 59.0 58.0 28 206.0 59.45 59.10 30 210.0 Rc2 28 211.0 80 3 78 89.60 64 1/49 300.0 88.0 86.0 35 242.0 88.00 87.65 36 244.0 Rc3 35 249.0 100 4 100 114.7 84 1/56 404.0 113.0 111.0 45 326.0 113.02 112.65 41 318.0 Rc4 45 345.0 単位(Unit):mm 呼び径 フランジ形 Flanged Nominal size L1 L2 L3 D1 19 110.0 49 70.5 100 19 128.0 56 84 126 8 19 155.0 68.5 104 152 8 19 205.0 89 141 210 mm inch d4 L t D C n h 40 11/2 40 228.0 16 140 105 4 50 2 51 248.0 16 155 120 4 80 3 78 290.0 18 185 150 100 4 100 359.0 18 210 175 AVHPRS AVHPRL 呼び径 Nominal size ねじ込み形 Threaded AVCFV 単位(Unit):mm ソケット形(JIS) Socket HDV12 フランジ形 Flanged ねじ込み形 Threaded AVQDV n-φh OTHER t φD P.C.D.C φd4 ℓ φD1 φd3 AVMPV AVSDV L1 L 91 特性グラフ Technical Data 排水性能 Discharging performance 30 40mm 50mm 80mm 100mm 槽内水量 Water Quantity (L) 25 レベルセンサ Level sensor 水 220mm 115mm 20 AVQDV 排水(大気開放) Atmosphere 15 ※Tank size : W420×D270×H325mm 10 5 0 0 5 10 15 20 25 排水時間 Discharging time (sec) ※縦配管時の結果です。 2次側の配管状況によって排水時間は異なります。 このデータは実験値であり、参考値です。 92 ※The data shown here is in the case of vertical piping. The discharging time depends on the condition of downstream piping. The data shown here is the experimental values and the reference values. AVPV3 AVPVM AVNVM AVHPRS AVHPRL AVCFV HDV12 AVQDV OTHER Unit Products & Made to Order Products AVMPV AVSDV ユニット製品 & カスタマイズ AVPVEL AVPVSL Specialty Valves and Control Products 93 ユニット製品 Unit products シリーズをワンパッケージ化した薬液制御ユニット、 スラリー制御ユニットをご用意いたしました。 最も時間とマンパワーを要するライン開発期間が大幅に削減されます。 We prepared the flow control unit for chemical and slurry. You can minimize the development cost and manpower substantially. ■薬液制御ユニット AVHPR、AVMPV の各シリーズと流量計を組合せワンパッ ケージ化した薬液制御ユニットです。SC-1、SC-2 などのイ ンラインミックス(直前混合制御)、DIW によるリンス、HF の制御の他に、DIW でのフラッシングが自在に行えるなど 多くのラインに適用いただけます。 The flow control unit for chemical The flow control unit for chemical is the package of an assortment of AVHPR, AVMPV and Flowmeter. It could be applied to many lines, which is combined with a several applications such as in-line mixing of SC-1 and SC-2, DI water rinsing, HF control, DI water flushing and so on. メリット • 秤量タンク、調合タンクが不要 • 低コスト • 直前混合により濃度変化がない • 複数ラインに対応 • レシピの変更にも短時間で応答 Customer‘s benefit • Measurement tank and mixing tank are not necessary • Lower cost • There is no fluctuation of concentration due to the mixture just in front of use. • The unit can adopt to the lines. • Quick response to the change of the mixture. ■スラリー制御ユニット AVHPR、AVMPV、AVPVEL の各シリーズと流量計を組合 せワンパッケージ化したスラリー制御ユニットです。 CMP スラリーの流量制御や、設定流量の変更、定期的なフ ラッシングなど自在に行えます。また CMP スラリーと添加 剤をユースポイント直前で高精度に混合したい場合にもご使 用いただけます。 The Flow Control Unit for Slurry The flow control unit for slurry is the package of an assortment of AVHPR, AVMPV, AVPVEL and Flowmeter. Many applications are available such as flow control of CMP slurry, change the setting of flow rate, periodical flushing and so on. Also it could be used for mixing of CMP slurry and addition agent just in front of use point with high accuracy. メリット • 流量制御精度の向上 • 制御流量レンジの拡大 • 設定流量の変更や、全開、全閉が自在 • ポンプの脈動やライン切替えによる脈動を抑制 • パーティクル・凝集の抑制 • メンテナンスフリー Customer‘s benefit • Improved flow control accuracy. • Enlarged range of the flow rate for control. • Flexible operation in change of setting for flow rate, fully open and fully close. • Control the pulsation from the pump and the switching the line. • Control the particle and agglomeration of slurry. • Maintenance free 94 AVPV3 カスタマイズ Made-to-Order Products ■対応製品 ■ Available Items 全シリーズ ユニット製品 All the products アプリケーション例 Application example • AVMPV の 5 連、8 連マニホールドなど 5 to 8 leagues manifold of AVMPV. • スラリー制御ユニットのカスタマイズなど Made-to-Order system of Slurry control unit. HDV12 AVQDV ユニット Unit OTHER バ ル ブ Valve AVCFV AVHPRS AVHPRL AVNVM AVMPV series including Unit AVPVEL AVPVSL Made-to-order valves are available in series. We will fulfill the customer’s requirement for the high quality products and the short delivery time. AVSDV ユーザーの様々なニーズに合わせ製品力と短納期でお答えいたします。 AVPVM シリーズのカスタマイズ製品を取り扱っています。 95 保 証 弊社製品の保証内容について必ずお読みください。 (A)弊社製品のご使用に際しては、製品仕様や注意事項等の遵守をお願い致します。 (B)弊社は製品の品質・信頼性の向上に努めておりますが、その完全性を保証するものではあり ません。特に人の生命、身体または財産を侵害する恐れのある設備等へご使用される場合には、 通常発生し得る不具合を十分に考慮した適切な安全設計等の対策を施してください。このよう なご使用については、事前に仕様書等の書面による弊社の同意を得ていない場合は、弊社はそ の責を負いかねますのでご了承願います。 (C)弊社製品の選定、施工・据付、操作、メンテナンス等の注意事項は技術資料、取扱説明書等に 記載してありますので、最寄の販売店・弊社営業所へお問い合わせください。 (D)弊社製品の保証期間は納入後 1 年間※ 1 とし、保証期間中に不具合が生じ、弊社に通知された 場合は直ちに原因究明を行い、弊社製品に欠陥が発見された場合には弊社の責任でその製品を 修理・交換致します※ 2。 (E)弊社製品に特殊流体(強腐食性流体など)をご使用される場合、上記保証期間を保証致しか ねます※ 1。また、圧縮性流体(気体:エア、N2、オゾンなど)をご使用される場合、その安 全性を保証致しかねますので、ご了承ください。配管施工完了後、管路の洩れ試験を行う場合、 水圧にて確認してください。やむを得ず気体にて試験を行う場合、安全性については保証の限 りではありません。 (F)保証期間経過後の修理・交換は有償となります。 (1)ダイヤフラムのみの供給は致しかねますのでご了承ください。 (2)ダイヤフラム以外の部品につきましては、弊社までご相談ください。 (G)ただし、次に該当する場合は保証の対象外と致します。 (1)ご使用条件が弊社の定義する保証範囲を超えている場合。 (2)施工・据付、取扱い、メンテナンス等において、弊社の定義する注意事項等が守られて いない場合。 (3)不具合の原因が弊社製品以外の場合。 (4)弊社以外による製品の改造・二次加工・分解された場合。 (5)部品をその製品の本来の使い方以外にご使用された場合。 (6)天災・災害等の弊社製品以外の原因による場合。 ※1 「保証期間納入後1年間」 は各バルブの仕様表記載の開閉頻度で純水・常温の場合に限ります。強腐食性流体 などの特殊流体の場合は別途ご相談ください。 ※2 弊社製品の不具合により誘発される損害については、保証の対象外と致します。 96 接続チューブサイズ Connetion tubing size 03 Flowell 20 series mm チューブ径 10 12 06 3×2 Flowell 60 series 10 × 8 25 12 × 10 3×2 25 × 22 19 × 15.8 Flowell 20 series - Flowell 60 series 3.18 × 1.6 Flare Type 19 19 × 16 6×4 Super Type Pillar fitting Super 300 Type Pillar fitting inch 単位(Unit) :mm 6.35 × 4.35 9.53 × 6.35 12.70 × 9.53 19.05 × 15.88 - Super Type Pillar fitting Super 300 Type Pillar fitting 25.4 × 22.2 3.18 × 2.18 6.35 × 3.95 9.53 × 6.33 12.7 × 9.5 19 × 15.8 ※継手に接続するチューブサイズにつきましては各継手メーカーの 取扱説明書を参照してください。 ※ Please refer to the instruction manual given by the manufacturer of fittings about connection tubing size. “接続方法・Tube” サイズ “Connection・Tube”size 単位(Unit) :mm チューブ径 06 10 12 19 25 mm 6×4 10 × 8 12 × 10 19 × 16 25 × 22 inch 6.35 × 4.35 9.53 × 6.35 12.70 × 9.53 19.05 × 15.88 25.40 × 22.20 外径公差 ± 0.1 肉厚公差 ± 0.15 ± 0.15 “接続方法・Rc、 FNPT” サイズ "Connection・Rc, FNPT" size 単位(Unit) :mm Rc φd FNPT φd 06 10 12 19 25 Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 1/2" Rc 3/4" Rc 1" FNPT 1/4" FNPT 3/8" FNPT 1/2" FNPT 3/4" φd チューブ径 FNPT 1" 単位換算表 Unit conversion table 1mm 1MPa 1L 1L 1kg 1℃ 0.039inch 145psi 0.22Gallon(UK) 0.26Gallon(US) 2.2lb 1.8 ×℃+ 32゜ F 、および は、旭有機材工業株式会社の登録商標です。Flowell は、株式会社フロウエ ルの登録商標です。Pillar は、日本ピラー工業株式会社の登録商標です。KURABO は、倉敷紡績株式会社の登 録商標です。 and are the trade mark of ASAHI ORGANIC CHEMICALS INDUSTRY CO., LTD. Flowell is the trademark of FLOWELL Co., Ltd. Pillar is the trademark of NIPPON PILLAR PACKING CO., LTD. KURABO is the trademark of KURABO INDUSTRIES, LTD. 97 ISO9001 ■管材システム事業部 東京都千代田区内神田2-15-9 内神田282ビル 〒101-0047 電話:(03)3254-8795 Fax:(03)3254-3473 9 9 QMS Accreditation R004 ■大阪営業所 大阪府大阪市中央区瓦町4丁目5番9号 井門瓦町ビル7F 〒541-0048 電話:(06)4707-1080 Fax:(06)4707-1088 ISO14001 ■福岡営業所 福岡県福岡市博多区博多駅南1-2-15 事務機ビル6F 〒812-0016 電話:(092)413-8700 Fax:(092)413-8722 管 材 システム 事 業 部 は ISO9001:2000の品質マネ ジメントシステムの認証を取 得しています。 EMS Accreditation RE011 ■Head Office / Overseas Department (UCHIKANDA 282 Bldg.) 15-9, Uchikanda 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan tel.(03)3254-8795 Fax.(03)3254-3473 延岡本社・延岡製造所・エンジ ニアリング部・北方工場・物流 管理課(大武倉庫含む) ・愛知 工場・栃木工場・広島工場は ISO14001:2004の環境マネジ メントシステムの認証を取得し ています。 旭有機材ホームページ http://www.asahi-yukizai.co.jp/ 2004年3月初版 2007年11月第10版 マーケ部 ○ Y 2,000 AV-V-029-J Printed in Japan. 2007.11 2,000 Y -10 ●このカタログに記載してある仕様等は製品改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。 ●本カタログに掲載の写真、記事、デザイン等の無断転載、複製、転用を禁じます。 The contents in this catalog are subject to change without any notice in advance for the purpose of product improvement. It is prohibited to do the things without any notice of following; Diversion and/or duplicate of the photographs, articles and designs from this catalog