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Transcript
ユニークな発想と
それが
です。
Unique ideas and cutting edge technology. That’s Dymatrix.
Dymatrix
ユニーク [unique](形動)
同じようなものがほかにあまり見られぬさま。独特なさま。
「――な存在」
「――な発想」
技術力、
旭有機材は、
1952年に世界初の
塩ビ製バルブ(AVバルブ)
を開発・
製 品 化し、以 来 現 在にいたるまで
プラスチックバルブで世 界トップ
シェアを維 持してまいりました 。
現在も配管材料の技術を活かし
た新製品を積極的に開発し、周辺
分野への更なる展開に挑戦し続け
て おります 。
そして、半 導 体や F P D 分 野に
おいて高度化、多様化するニーズに
お応えするため、新たに
を製 品 化しました 。ウエットプロ
セスで使 用される純 水 、ケミカル
はもとより、バルブにとって 過 酷
な条 件となるC M Pスラリーのラ
インでも安 心してご使 用いただけ
ます。
プラスチックバルブで長 年 培っ
た技術とユニークな発想で皆様の
あらゆるニーズにお応えします。
Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd.
(AOC) has grown steadily since our
establishment in 1945. In 1952, we
developed thermoplastic valves and have
become a leading manufacturer in the
piping industry. AOC continues to be a
pioneer in the development and research of
plastics and polymer technology.
Our strong knowledge of thermoplastic
valve technology has allowed us to
actively develop new products and expand
our product offering for new industries.
The Dymatrix products were specifically
developed for the Semiconductor and
FPD industries to meet their advanced
technological requirements.
These products are ideally suited for CMP
Slurry, DI Water, and Chemical Process.
Weareproud
unique products.
to offer you these
半導体・FPDプロセスのニーズに対応する
樹脂製バルブ&フローコントロール製品
Thermoplastic valves and control products to meet the requirement of the
Semiconductor and FPD industry.
半導体・FPD関連のウェットプロセス装置向けバルブ シリーズが皆様のニーズにお応え致します。
CMPスラリーに対して優れた耐久性をもつピンチバルブをはじめ、流量制御用バルブ、流量制御ユニットなど
ユニークかつ安心してお使いいただける製品をご提供致します。
The
products were designed to respond to our customer’s needs.
We provide unique and reliable products such as pinch valves, which have a superior resistance
against CMP Slurry. Other products that target specific applications are a pressure regulator, flow
control valve, and flow control system to target specific needs.
材料・部品購入
3XUFKDVHRIPDWHULDODQGSDUWV
成形・加工
,QMHFWLRQPROGLQJ・0DFKLQLQJ
外観・寸法検査
,QVSHFWLRQRIDSSHDUDQFHDQGGLPHQVLRQVPROGLQJ・0DFKLQLQJ
クリーンルーム &OHDQURRP
02
洗 浄
&OHDQLQJ
乾 燥
'U\LQJ
組 立
$VVHPEO\
製品検査
,QVSHFWLRQRISURGXFWV
梱 包
3DFNDJLQJ
出 荷
6KLSSLQJ
集中管理システム
,QWHQVLYHPDQDJHPHQWV\VWHP
クリーンパック(クラス100)
&OHDQSDFNDJLQJ&ODVV
精密成形
3UHFLVLRQPROGLQJ
クリーン洗浄
3UHFLVLRQFOHDQLQJ
●CONTENTS●
AVPV3
………………………… 08
6×4
10×8
12×10
19×16
6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53 19.05×15.88
25×22
25.40×22.20
Pinch valve
ピ ン チ 弁
AVPVM
………………………… 12
6× 4
10× 8
12× 10
19× 16
25× 22
6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20
AVPVSL
………………………… 16
6× 4
10× 8
12× 10
19× 16
25× 22
6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20
AVPVEL
………………………… 20
PTFE 2 way valve Multi port valve Needle valve
ニードル弁
PTFE製2方弁 マルチポート弁
6× 4
6.35× 4.35
AVSDV
………………………… 26
6× 4
10× 8
12× 10
19× 16
25× 22
6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20
AVMPV
………………………… 34
6× 4
10× 8
12× 10
19× 16
25× 22
6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20
AVNVM
………………………… 46
6× 4
10× 8
12× 10
6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53
High purity Regulator
定 圧 弁
AVHPRL
………………………… 54
3× 2
6× 4
10× 8
12× 10
19× 16
25× 22
3.18× 1.60 6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53 19.05× 15.88 25.40× 22.20
AVHPRS
………………………… 66
6× 4
10× 8
12× 10
6.35× 4.35 9.53× 6.35 12.70× 9.53
Constant flow valve PVC 2 way valve Quick drain valve
定流量弁
PVC製2方弁 急速排水弁
AVCFV
………………………… 72
6× 4
6.35× 4.35
HDV12
………………………… 76
15
20
25
40
50
AVQDV
………………………… 86
40
50
80 100
※ 流体 Medium
作動 Actuation
用途 Application
超純水 エア駆動タイプ 閉止用途 DIWater
Air Operation type
for Shut
各種薬液 手動タイプ Chemical
Manual type
流量調節 スラリー 電動タイプ 圧力調節 Slurry
Electric Motor type
for Pressure control
for Flow control
スローリーク for Slowleak
※適合流体は p.06 の適合流体リストをご参照ください。※ Pleaserefertopage06for“SuitabilytyListonMedium”.
03
本製品の取扱注意事項 Important notice for use of
ご使用の前に必ずお読み下さい。 Please read the following instructions carefully before using the Dymatrix products.
警 告
Warning
● 弊社製品のご使用に際しては、
製品仕様や注意事項等の遵守をお願い致します。
● 弊社は製品の品質・信頼性の向上に努めておりますが、
その完全性を保証するものではありません。
特に人の生命、
身体または財産を侵害
する恐れのある設備等へご使用される場合には、
通常発生し得る不具合を十分に考慮した適切な安全設計等の対策を施してください。
この
ようなご使用については、
事前に仕様書等の書面による弊社の同意を得ていない場合は、
弊社はその責を負いかねますのでご了承願います。
● 弊社製品の選定、
施工・据付け、
操作、
メンテナンス等の注意事項は技術資料、
取扱説明書等に記載してありますので、
最寄りの販売店・弊
社営業所へお問い合わせ下さい。
Follow all product specification and warnings when using these products.
Our company does not guarantee every application, although we are constantly making every effort to improve the quality and reliability of these product. The Dymatrix
products used in equipment could cause serious physical damage or property damage, if appropriate and safe design procedures are not followed. We take no responsibility
for these products if there was no written agreement regarding the compatibility of the product with the application.
Consult your nearest the Dymatrix products supplier or our office if you need assistance on product specification, installation/plumbing, operation and maintenance.
警告:取り扱いを誤った場合に、人が死亡もしくは重症を負うことが想定される。
Warning : Wrongful use of these products could cause death or severe injury.
注意:取り扱いを誤った場合に、人が軽症を負う危険、もしくは物的損害のみが発生する危険を負うこと
が想定される。
Attention : Wrongful use of these products could cause material damage.
設計・選定時の注意事項 Cautions for design of piping and product selection.
警 告
Warning
1. 製品仕様:流体・温度・圧力その他の使用条件等を考慮し、本製品の仕様範囲内でご使用下さい。
2. 使用流体:製品の構成材料と使用流体との適合性については、適合流体リストにてご確認の上ご使用下さい。リストに記載以外の
流体につきましては、別途お問い合わせ下さい。
圧縮性流体をご使用の際は安全対策を十分に実施して下さい。
3. 流体圧力:本カタログに記載しております使用圧力範囲内でご使用下さい。
4. 流体温度:本カタログに記載しております使用流体温度範囲内でご使用下さい。
5. 周囲環境:本カタログに記載しております周囲温度範囲内でご使用下さい。製品の構成材料と周囲雰囲気との適合性をご確認の上
ご使用下さい。また製品外面に流体が付着しないようにして下さい。
6. 液封:システム上に逃がし弁を設け、液封の回路にならないようにして下さい。
7. メンテナンススペース:メンテナンスに必要なスペースを確保して下さい。
1. Product Specifications : Use the Dymatrix products within the specification range of the working conditions such as medium, working temperature/pressure and so on.
2. U
se Medium : Confirm the fluid compatibility with the wetted part of the Dymatrix products in the ”Suitability List on Medium”. Consult us on any medium, which is not
listed in ”Suitability List on Medium”. Pay careful attention to the use of our products with compressive fluids.
3. Working pressure : Use the Dymatrix products within the range of working pressure shown in this catalog.
4. Working Temperature : Use the Dymatrix products within the range of working temperature shown in this catalog.
5. Atmospheric Temperature : Use the Dymatrix products within the range of atmospheric temperature shown in this catalog. Please use the Dymatrix products upon
confirmation of compatibility with material and atmosphere. Do not adhere any fluid to the external surface of product.
6. When preparing the bypath piping, avoid making the circuit a sealed loop, which would cause breakage of the piping material.
7. Maintenance space : Secure the maintenance space.
据付・配管時の注意事項 Cautions for installation and plumbing
警 告
Warning
1. 事前に各製品の取扱説明書をよくお読みいただき、理解した上で正しく据付・配管を行って下さい。
2. 据付・配管前には配管内を十分フラッシングし、異物を取り除いて下さい。
3. 据付・配管後は漏れの検査を行い、正しく実施されているかご確認下さい。
4. バルブに引張・圧縮・曲げ等の応力がかからないようにして下さい。
5. 流体方向が表記されている製品は、流体の流れ方向と一致するようにして下さい。
6. 逆作動の場合、操作圧を加えないポートは大気開放にして下さい。
1. Read User’s Manual (IOM-Manual) carefully prior to installation/plumbing.
2. Flush the piping completely and make sure that there is no foreign substances in the piping prior to installation/plumbing of our product into it.
3. Confirm the leak inspection is carried out correctly after the installation/plumbing.
4. Make sure that the valves are free of tensile/compression/bending stresses.
5. Confirm the flow direction of the valve matches the flow direction indication on the body.
6. In the case of Air-To-Open (Spring Return) Type, leave the port that is not for pilot air supply opened to atmosphere.
注 意
Attention
1. チューブとの接続については、各継手メーカーが推奨する取り付け方法で行って下さい。
2. エア配管用継手は必ず樹脂製を使用してください。締付けは、0.4 〜 0.6N ・ m の締付けトルクで行って下さい。
※ AVHPRS は 0.2 〜 0.4N ・ m の締付けトルクです。 1. To connect our products with tubing, follow the procedure given by the manufacturer of fittings.
2. Please use the pilot air supply fitting made of the plastic. To fit the pilot air supply tube onto actuator cylinder tighten the torque to 0.4 to 0.6N-m. For the AVHPRS,
tighten the torque to 0.2 to 0.4N-m.
0
使用上の注意事項 Cautions for use of the Dymatrix products
警 告
Warning
1. 流体・温度・圧力その他の使用条件等を考慮し、本製品の仕様範囲内でご使用下さい。
1. Use the Dymatrix products within the specification range of the working conditions such as medium, working temperature/pressure and so on.
注 意
Attention
1. 製品の構成材料と使用流体との適合性については、適合流体リストにてご確認の上ご使用下さい。
リストに記載以外の流体につきましては、別途お問い合わせ下さい。
2.使用圧力によってはウォーターハンマーが発生する恐れがあります。スピードコントローラなどで開閉速度を調整して下さい。
3.使用条件によってはキャビテーションが発生する恐れがあります。流体圧力や配管条件などの見直しをして下さい。
4.クリーンルーム内での設置を想定し、精密洗浄後クリーンパックしておりますので、お取り扱いにはご注意下さい。
5. 流量調整付、バイパス付については、ハンドルを閉め過ぎないようにして下さい。
6. 操作エアは有機溶剤や腐食性ガスを含まない、清浄なエアをご使用下さい。
7. 流体方向が表記されている製品は、流体の流れ方向と一致するようにして下さい。
1. C
onfirm the fluid compatibility with the wetted part of the Dymatrix products in the ”Suitability List on Medium”. Consult us on any medium, which is not listed in ”Suitability
List on Medium”.
2. Water hammering could be generated depending on the working pressure. To avoid water hammering, adjust the operation speed by the speed controller.
3. Cavitations could be generated depending on the working condition. If cavitations are observed, review the fluid pressure and piping design.
4. Handle the Dymatrix products carefully to protect the clean (room) packaging.
5. To avoid breakage or deformation, don’t apply excess force to the handle.
6. Use CDA (Clean Dry Air) for pilot air, which does not contain any organic solvents or corrosive gases.
7. Confirm the flow direction of the valve matches the flow direction indication on the body.
メンテナンス時の注意事項 Cautions for maintenance
警 告
Warning
1. 事前に操作エアおよび流体を抜いて下さい。
2. バルブおよび配管内に残留した薬液を除去し、純水、エアで十分置換した上で作業して下さい。
3.製品を分解しないで下さい。分解されました場合本来の性能、仕様を損なう可能性があります。分解されました製品の保証は致し
かねますのでご了承下さい。
4.製品を最適な状態でご使用いただくために、バルブおよび継手からの漏れの有無の確認を定期的に行って下さい。
1. Discharge the fluid and the pilot air prior to the maintenance.
2. Start maintenance after medium has been completely flushed by DI Water or air.
3. D
o not disassemble the product. Disassembled products which may cause them to not keep their original specifications or performance. We cannot guarantee a
disassembled product.
4. Check the piping periodically to maintain the appropriate condition for the products.
輸出に際して Cautions for export, when exporting to overseas from Japan
注 意
本カタログ中には、輸出貿易管理令(リスト規制)において輸出規制の対象となる製品が含まれております。リストをご参照の上、対
象となる製品のお取り扱いにはご注意下さい。
輸出貿易管理令(リスト規制)該当品リスト
ラインナップ
ピ
ン
チ
弁
AVPV3
AVPVM
AVPVSL
AVPVEL
輸出貿易管理令(リスト規制)
非該当品
インチ
6×4~25×22
6.35×4.35~
25.40×22.20
6×4
PTFE 製 2 方弁
AVSDV
6×4~12×10
マルチポート弁
AVMPV
6×4~12×10※
ニ ー ド ル 弁
AVNVM
6×4~12×10
AVHPRL
3×2~12×10
AVHPRS
6×4~12×10
AVCFV
HDV12
AVQDV
6×4
15~50
40~100
定
圧
弁
定 流 量 弁
PVC 製 2 方弁
急 速 排 水 弁
該当品
ミリ
6.35×4.35
6.35×4.35~
12.70×9.53
6.35×4.35~
12.70×9.53※
6.35×4.35~
12.70×9.53
3.18×1.6~
12.70×9.53
6.35×4.35~
12.70×9.53
6.35×4.35
−
−
ミリ
インチ
−
19.05×15.88、
25.40×22.20
19×16、
25×22
−
19.05×15.88、
25.40×22.20
19×16、
25×22
−
−
※ M1 ポート、
M2 ポート及びSUB ポート全てが6×4(6.35×4.35)~12×10(12.70×9.53) で構成される場合に限ります。
0
適合流体リスト Suitability List on Medium
接液部・ボディ材質と流体との適合性 Suitability of wet parts, body material and medium
ピンチバルブ(AVPV3、
AVPVM、
AVPVSL、
AVPVEL)
Pinch Valve
接液部材質 Material of wet part
流 体
Medium
純
シリコンベースラバー Silicon based rubber
水
○
DI Water
水酸化アンモニウム
Ammonium hydroxide
水酸化カリウム 5% 以下
Potassium hydroxide ≦ 5%
過
酸
化
水
素
Hydrogen peroxide
界
面
活
性
剤
Surfactant
硫
酸
Sulfuric acid
塩
酸
Hydrochloric acid
フ
ッ
酸
Hydrofluoric acid
硝
酸
Nitric acid
○
○
○
○
×
○:使用可
×
△:条件により使用可
×
Suitable
Suitable under conditions
×:使用不可
Not suitable
×
上記流体以外はご相談下さい。
特にスラリーに含まれる分散剤、添加剤につきましては、ご注意ください。
Please consult us on any medium, which is not listed. Be careful about dispersants and additives which are contained especially in Slurry.
その他のバルブ Other Valve
接液部・ボディ材質 Material of wet part
流 体
Medium
PTFE
U-PVC
PP
水
DI Water
水 酸 化 カ リ ウ ム
Potassium hydroxide
過
酸
化
水
素
Hydrogen peroxide
硫
酸
Sulfuric acid
塩
酸
Hydrochloric acid
フッ化アンモ ニウム
Ammonium fluoride
水酸 化アンモニウム
Ammonium hydroxide
フ
ッ
酸
Hydrofluoric acid
酢
酸
ブ
チ
ル
Butyl acetate
イソ プ ロ ピ ルアルコ ール
Isopropyl alcohol
○
○
○
○
○
○
○
△
△
○
△
△
○
△
△
○
○
△
○
△
△
○
△
△
○
×
×
○
○
○
純
■上記リストは流体温度が、
シリコンベースラバー:40℃以下、PTFE:90℃以下、U-PVC:60℃以下、PP:80℃以下における適合性を
示します。
■上記リストはあくまでも参考値であり、
製品を保証するものではありません。
■上記流体以外はご相談下さい。
•T
he above list shows suitability of each material with a working temperature of 40℃ and below for Silicon base rubber, 90℃ and below for PTFE, 60℃ and below for PVC
and 80℃ and below for PP.
• The data shown above are for reference purposes only and not a guarantee of product performance.
• Please consult us on any medium, which is not listed.
0
樹脂製バルブ
&
AVNVM
AVHPRS AVHPRL
AVCFV
HDV12
AVQDV
OTHER
Thermoplastic valves
&
flow control products
for wet process
AVMPV
AVSDV
フローコントロール製品
AVPVM
AVPV3
ウェットプロセス用
AVPVEL AVPVSL
Specialty Valves and Control Products
0
$939
Specialty Valves and Control Products
$939
08
ピンチ弁
The use of a pinch seal structure provides superior durability.
Our slurry evalution test shows there is no decline in the sealing performance,
and that it has excellent durability against foreign substances caught in the
flow passage.
仕 様 表 Specifications
単位
Unit
接
Connection
続
オ リ フ ィ ス
C v 値
重
量
操 作 部
Pilot
Frequency of opening and closing
Installation direction
Orifice diameter
Cv value
Weight
操 作 圧 力
Pilot pressure
エ ア 消 費 量
Pilot air consumption
操作ポート接続
Pilot port
−
℃
MPa
MPa
cm3/min
℃
times/min
−
−
mm
−
kg
φ 3.5
0.4
0.3
MPa
0.35 ∼ 0.5 50.8 ∼ 72.5psi
L/times(ANR)※
0.02
0.05
0.05
−
0.13
0.13
Rc1/8"
※エア消費量は操作圧力 0.5MPa の時の値です。
※The
pilot air consumption is the value at 0.5 MPa.
型式選定表 Ordering Code
AVPV3
作 動
1
1
本体材質
Actuation
逆作動
(NC)
Air to open
チューブ径
F
Connection tubing size
F
Body
material
PVDF
規 格
M
I
Tubing standard
固定方法
ミ リ Millimeter
0
インチ Inch
1
接 続 方 法
Mounting ※1
at
下ネジ穴 Thread
bottom
台 座 Base plate
Connection
06
06×04
06.35×04.35
10
10×08
09.53×06.35
6
Flowell 60 series
12
12×10
12.70×09.53
S
Super Type Pillar Fitting
19
19×16
19.05×15.88
3
Super 300 Type Pillar Fitting
25
25×22
25.40×22.20
2
AVHPRS AVHPRL
Actuation
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Leakage Rate
Ambient Temperature
10×8
9.53×6.35
AVCFV
作
動
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
弁 座 漏 れ 量
周 囲 温 度
開 閉 頻 度
取 付 姿 勢
サイズ Size
12×10
19×16
25×22
12.70×9.53 19.05×15.88 25.40×22.20
逆作動 Air to open
10 ∼ 40
1.0 145psi
0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi
0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure)
10 ∼ 40
< 20
自在 Any direction
Flowell 20 series
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
Flare Type
Rc、FNPT
φ6
φ7
φ 11
φ 11
1.64
2.57
7.63
7.63
0.6
0.6
1.0
1.1
6×4
6.35×4.35
HDV12
Items
Flowell 20 series
※2
Flare Type
※2
Rc
※2
FNPT
F
R
N
※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。
※2:F ,R ,Nについては
“規格”欄は I(インチ)
で表記します。
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate.
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
AVQDV
目
OTHER
項
AVPV3
Excellent durability/seal performance
The straight flow path applies no stress to the medium.
There is almost no influence to the particle size even with highly coherent
fluids such as slurry. It can also be used for DI water, and there is no
restriction on the flow direction.
AVPVM
Straight flow
AVPVEL AVPVSL
チューブを挟み込む(ピンチ)シール構造の採用により、高耐
久性を実現。スラリーの実流試験においてもシール性能の低下
はみられません。また、スラリー以外の異物の噛み込みに関し
ても高い耐久性を持っています。
AVSDV
優れた耐久性・シール性
ストレートな流路構造により、ストレスフリーを実現しました。
スラリーのような凝集性の高い流体であってもパーティクルサ
イズに与える影響はほとんどありません。もちろん、純水など
にもご使用いただけ、流体方向に制限がありません。
AVMPV
ストレートな流路
AVNVM
特 長 Features
09
構 造 図 Parts & Materials
6
8
2
3
No.
1
1
2
7
3
5
4
5
6
7
8
部品名称
Parts
シリンダ本体
Actuator housing
ピストン
Piston
挟圧子
Compressor
チューブ
Tube
継手
End connector
インジケータ
Indicator
ナット
Nut
スプリング
Spring
※接液部品は No.4、5 です。
4
10
※Wetted parts are No.4 and 5.
材質
Material
PVDF
シリコンベースラバー
Silicon based rubber
PTFE
PP
PFA
SUS304
AVSDV
D
E
C
AVPVEL AVPVSL
Pilot port Rc1/8"
B
単位(Unit):mm
Standard
inch
mm
inch
Flowell 60 series
mm
Super Type Pillar Fitting
inch/mm
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
inch
Rc、FNPT
inch
B
C
D
E
F
G
H
I
A
6×4
6.35×4.35
107
105
133
131
110
109
127
81
□ 35
96(MAX 101)
17
42
25
64
50
35
10×8
9.53×6.35
140
137
173
169
148
145
157
111
□ 45
116(MAX 124)
23
52
32
74
60
45
Size
12×10
12.70×9.53
148
145
173
169
155
153
161
111
□ 45
116(MAX 124)
23
52
32
74
60
45
19×16
19.05×15.88
172
172
198
198
189
182
186
142
□ 55
141(MAX 155)
26
61.5
42
85
70
55
25×22
25.40×22.20
194
194
212
209
220
216
204
156
□ 55
151(MAX165)
36
71.5
−
85
70
55
AVHPRS AVHPRL
台 座(PVDF)
Base Plate ( PVDF)
AVCFV
10
2-M6 L10
HDV12
H
G
AVQDV
I
F
7
AVNVM
AVMPV
A
Flowell 20 series
AVPVM
AVPV3
Dimensions
OTHER
寸法図・寸法表
11
$9390
ピンチ弁手動タイプ
Specialty Valves and Control Products
$9390
12
Straight flow
Excellent durability/seal performance
1
Body
material 6×4
Unit
PVDF6.35×4.35
単位
本体材質
逆作動
(NC)
F
Actuation
作
動 to open
−
Air
Medium Temperature
流 体 温 度
℃
Proof Pressure
構 造 耐 圧
MPa
Working Pressure range
使用圧力範囲
MPa
Connection
チュ
Leakage
Rate tubing sizecm3/min
弁 座
漏ーブ径
れ 量
Ambient Temperature
周 囲
06×04
06.35×04.35 ℃
06 温 度
Installation direction
取 付 姿 勢
−
接
10
10×08
09.53×06.35
12
12×10
12.70×09.53
19
19×16
19.05×15.88
Connection
続
25
25×22
オ リ フ ィ ス
C v 値
重
量
−
mm
−
kg
at
9.53×6.35
12.70×9.53 0 19.05×15.88
25.40×22.20
ミ リ Millimeter
下ネジ穴 Thread
M
bottom
I
25.40×22.20
Orifice diameter
Cv value
Weight
サイズ Size
※1
規 格
10×8Tubing standard
12×10 固定方法
19×16Mounting 25×22
φ 3.5
0.4
0.3
手 動 Manual
インチ Inch 10 ∼ 40
1
台 座 Base plate
1.0 145psi
0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi
接 続 方 法
0 ( 水圧 ) 0 (atConnection
hydraulic pressure)
10Flowell
∼ 40 20 series
2
自在 Any direction
6
60 series
FlowellFlowell
20 series
Flowell
60
series
S
Super Type Pillar Fitting
Super Type Pillar Fitting
3
Super 300 Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
F※2
Flare Type
Flare Type
※2
Rc、FNPT
R
Rc
φ6
φ7
φ 11
※2
N 1.64
2.57 FNPT 7.63
※1:チューブ径が
0.4“25”の場合は台座付になり
0.4 ます。
0.7
※2:F ,R ,Nについては
“規格”欄は I(インチ)
で表記します。
AVMPV
作 動 目Actuation
Items
φ 11
7.63
0.9
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate.
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
型式選定表 Ordering Code
F
F
規 格
M
I
チューブ径
Tubing standard
ミ リ Millimeter
0
インチ Inch
1
接 続 方 法
Connection tubing size
固定方法
Mounting 1
at
下ネジ穴 Thread
bottom
台 座 Base plate
Connection
06
06×04
06.35×04.35
10
10×08
09.53×06.35
6
Flowell 60 series
12
12×10
12.70×09.53
S
Super Type Pillar Fitting
19
19×16
19.05×15.88
3
Super 300 Type Pillar Fitting
25
25×22
2
25.40×22.20
※
Flowell 20 series
※2
Flare Type
※2
Rc
※2
FNPT
F
R
N
HDV12
Body
material
PVDF
本体材質
AVQDV
AVPVM
※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。
※2:F ,R ,Nについては
“規格”欄は I(インチ)
で表記します。
作 動
Actuation
1
OTHER
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate.
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
AVPVSL
F
Body
AVNVM
項
AVHPRS AVHPRL
1
F
AVPV3
仕 様 表 Specifications
The use of a pinch seal structure provides superior durability.
Our slurry evalution test shows there is no decline in the sealing performance,
and that it has excellent durability against foreign substances caught in the
flow passage.
AVCFV
The straight flow path applies no stress to the medium.
There is almost no influence to the particle size even with highly coherent
fluids such as slurry. It can also be used for DI water, and there is no
restriction on the flow direction.
AVPV3
チューブを挟み込む(ピンチ)シール構造の採用により、高耐
久性を実現。スラリーの実流試験においてもシール性能の低下
はみられません。また、スラリー以外の異物の噛み込みに関し
ても高い耐久性を持っています。
AVPVM
優れた耐久性・シール性
ストレートな流路構造により、ストレスフリーを実現しました。
スラリーのような凝集性の高い流体であってもパーティクルサ
イズに与える影響はほとんどありません。もちろん、純水など
にもご使用いただけ、流体方向に制限がありません。
AVPVEL AVPVSL
ストレートな流路
AVSDV
特 長 Features
13
Tubing standard
※
Mounting 1
構 造 図 Parts & Materials
1
3
No.
2
6
1
5
2
3
4
5
6
部品名称
Parts
ハンドル
Handle
ボンネット
Bonnet
挟圧子
Compressor
チューブ
Tube
継手
End connector
ナット
Nut
材質
Material
PP
PVDF
シリコンベースラバー
Silicon based rubber
PTFE
PFA
※接液部品は No.4、5 です。
4
Dimensions
D
C
寸法図
※Wetted parts are No.4 and 5.
B
7
H
E
A
G
F
10
2-M6 L10
台 座(PVDF)
Base Plate (PVDF)
14
25
10×8(9.53×6.35)
20
15
10
6×4(6.35×4.35)
5
0
差圧 Differential pressure:0.2MPa
50
10×8(9.53×6.35)
30
20
10
6×4(6.35×4.35)
0
0
2
4
6
0
ハンドル回転数 Handle rotations
差圧 Differential pressure:0.1MPa
25×22(25.40×22.20)
150
2
4
6
ハンドル回転数 Handle rotations
19×16(19.05×15.88)
100
50
300
流量 Flow rate(L/min)
200
0
2
4
ハンドル回転数 Handle rotations
6
AVPV3
差圧 Differential pressure:0.2MPa
250
25×22(25.40×22.20)
200
19×16(19.05×15.88)
150
100
50
0
0
AVPVM
12×10(12.70×9.53)
40
AVNVM
12×10(12.70×9.53)
30
AVMPV
60
差圧 Differential pressure:0.1MPa
35
AVHPRS AVHPRL
流量 Flow rate(L/min)
25×22
25.40×22.20
194
194
212
209
220
216
204
156
□ 55
112(MAX 125)
36
−
85
70
55
Technical Data
40
流量 Flow rate(L/min)
19×16
19.05×15.88
172
172
198
198
189
182
186
142
□ 55
102(MAX 115)
26
42
85
70
55
0
2
4
6
ハンドル回転数 Handle rotations
このデータは実験値であり、参考値です。
AVCFV
特性グラフ
流量 Flow rate(L/min)
A
10×8
9.53×6.35
140
137
173
169
148
145
157
111
□ 45
82.5(MAX 90.5)
23
32
74
60
45
HDV12
inch
mm
inch
Flowell 60 series
mm
Super Type Pillar Fitting
inch/mm
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
inch
Rc、FNPT
inch
B
C
D
E
F
G
H
Flowell 20 series
6×4
6.35×4.35
107
105
133
131
110
109
127
81
□ 35
74(MAX 79)
17
25
64
50
35
AVQDV
Standard
AVPVEL AVPVSL
単位(Unit):mm
Size
12×10
12.70×9.53
148
145
173
169
155
153
161
111
□ 45
82.5(MAX 90.5)
23
32
74
60
45
AVSDV
Dimensions
The data shown here is the experimental values and the reference values.
OTHER
寸法表
15
$9396/
Specialty Valves and Control Products
$9396/
16
ピンチ弁
スローリークタイプ
1
6
Flowell 60 series
12×10
12.70×09.53
12
S
Super Type Pillar Fitting
ピンチバルブのストレートな流路構造を利用した手動流量調節弁です。調節ねじにより、バルブのリーク量を任意に調整できます。
F※2
25
25×22valve25.40×22.20
Air operated
pinch
with manual stop adjustment
AVPVM
操作エアにより全開フラッシングが可能なので目詰まりを完全に防ぐことができます。
19×16
19.05×15.88
19
3
Super 300 Type Pillar Fitting
Flare Type
This air operated pinch valve has manual flow control capabilities.
R※2
Rc
By operating the handle, the leak rate can be adjusted. The full-open position allows the valve to flush completely, preventing clogs.
※2
N
FNPT
※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。
※2:F ,R ,Nについては
“規格”欄は I(インチ)
で表記します。
仕 様 表 Specifications
項
目
単位
Unit
Items
AVPVM
チューブ径
接
℃
MPa
MPa
cm3/min
℃
times/min
−
Connection tubing size
06
続
06×04Connection
06.35×04.35
10
10×08
09.53×06.35
12×10
12.70×09.53
サイズ Size
12×10
19×16
25×22
12.70×9.53 19.05×15.88 25.40×22.20
逆作動 Air to open
10 ∼ 40
1.0 145psi
0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi
規 格 Tubing standard
固定方法 Mounting ※1
0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure)
at
100∼ 40
ミ リ Millimeter
下ネジ穴 Thread
M
bottom
< 20
インチ Inch
台 座 Base plate
I
自在 1
Any direction
Flowell 20 series
Flowell 60 series
接 続 方 法 Connection
Super Type Pillar Fitting
2
Flowell
20 series
Super
300 Type
Pillar Fitting
Flare
6
Flowell
60 Type
series
Rc、FNPT
S
Super Type φ
Pillar
Fitting φ 11
φ 3.5
φ6
7
φ 11
0.4
1.64
2.57
7.63
3
Super 300 Type
Pillar Fitting7.63
0.5※2
0.7
0.7
1.4
1.7
6×4
6.35×4.35
F−
Actuation
作
動
Medium Temperature
流 体 温 度
Proof Pressure
構 造 耐 圧
Working Pressure range
使 用 圧 力 範 囲 Body
本体材質
Leakage Rate
弁 座 漏 れ 量 material
Ambient Temperature
周 囲
F 温 度PVDF
Frequency of opening and closing
開 閉 頻 度
Installation direction
取 付 姿 勢
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate.
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
−
Orifice diameter
オ リ12フ ィ ス
mm
C v19 値
−
19×16Cv value19.05×15.88
Weight
重
量
kg
25
25×22
操 作 25.40×22.20
圧 力
MPa
Pilot pressure
操 作 部
エ ア 消 費 量
L/times(ANR)※
Pilot air consumption
Pilot
操作ポート接続
−
Pilot port
10×8
9.53×6.35
F
Flare Type
0.35 ∼ 0.5 50.8 ∼ 72.5psi
※2
R
0.02
※2
0.05
N
Rc
0.05
0.13
FNPT
0.13
Rc1/8"
※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。
※2:F ,R ,Nについては
“規格”欄は I(インチ)
で表記します。
※エア消費量は操作圧力
0.5MPa の時の値です。
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with
base plate.
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at
※standard’s
The pilotcolumn.
air consumption is the value at 0.5 MPa.
型式選定表 Ordering Code
AVPVSL
作 動
1
F
本体材質
Actuation
逆作動
(NC)
Air to open
チューブ径
1
F
Connection tubing size
Body
material
PVDF
規 格
M
I
Tubing standard
固定方法
ミ リ Millimeter
0
インチ Inch
1
接 続 方 法
Mounting 1
at
下ネジ穴 Thread
bottom
台 座 Base plate
Connection
06
06×04
06.35×04.35
2
Flowell 20 series
10
10×08
09.53×06.35
6
Flowell 60 series
12
12×10
12.70×09.53
S
Super Type Pillar Fitting
19
19×16
19.05×15.88
3
Super 300 Type Pillar Fitting
25.40×22.20
F※2
25
25×22
Flare Type
※2
Rc
※2
FNPT
R
N
※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。
※2:F ,R ,Nについては
“規格”欄は I(インチ)
で表記します。
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate.
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
※
AVPVEL AVPVSL
Flowell 20 series
AVSDV
2
AVPV3
Connection
AVMPV
09.53×06.35
下ネジ穴 bottom
台 座 Base plate
AVNVM
10
手動流量調節弁
インチ Inch
接 続 方 法
Connection tubing size
特 長 Features
06×04
06.35×04.35
06
10×08
0
AVHPRS AVHPRL
I
ミ リ Millimeter
AVCFV
M
HDV12
チューブ径
PVDF
F
AVQDV
逆作動
(NC)
Air to open
OTHER
1
17
構 造 図 Parts & Materials
1
8
3
No.
1
4
7
2
2
3
6
4
5
6
7
8
5
18
部品名称
Parts
ハンドル
Handle
シリンダ本体
Actuator housing
ピストン
Piston
挟圧子
Compressor
チューブ
Tube
継手
End connector
ナット
Nut
スプリング
Spring
※接液部品は No.5、6 です。
※Wetted parts are No.5 and 6.
材質
Material
PVDF
シリコンベースラバー
Silicon based rubber
PTFE
PFA
SUS304
AVSDV
D
E
C
Pilot port Rc1/8"
台 座(PVDF)
Base Plate (PVDF)
単位(Unit):mm
Standard
inch
mm
inch
Flowell 60 series
mm
Super Type Pillar Fitting
inch/mm
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
inch
Rc、FNPT
inch
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
Flowell 20 series
A
6×4
6.35×4.35
107
105
133
131
110
109
127
81
□ 35
108(MAX 123)
17
42
10.5
45
25
64
50
35
10×8
9.53×6.35
140
137
173
169
148
145
157
111
□ 45
118(MAX 129)
23
52
13
53
32
74
60
45
Size
12×10
12.70×9.53
148
145
173
169
155
153
161
111
□ 45
118(MAX 129)
23
52
13
53
32
74
60
45
19×16
25×22
19.05×15.88
25.40×22.20
172
194
172
194
198
212
198
209
189
−
182
−
186
204
142
156
□ 55
□ 55
164.5(MAX 191) 174.5(MAX 201)
26
36
61.5
71.5
16
16
67
67
42
−
85
85
70
70
55
55
※25×22(25.40×22.20)の場合はB寸法よりL寸法が大きくなります。詳細はお問い合わせください。
※In
the case of 25×22(25.40×22.20), L dimensions is bigger than B dimensions. Please consult us for detail.
AVHPRS AVHPRL
10
2-M6 L10
AVCFV
J
I
HDV12
K
AVNVM
H
7
AVQDV
G
OTHER
L
A
AVMPV
F
B
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
AVPV3
寸法図・寸法表 Dimensions
19
$939(/
Specialty Valves and Control Products
$939(/
20
ピンチ弁
スラリー流量調整タイプ
Super Type Pillar Fitting
19×16
19.05×15.88
3
Super 300 Type Pillar Fitting
19
Electric actuated flow control valve
Excellent slight flow control
※2
25electric 25×22
Flareflow
Type
This is an
actuated flow 25.40×22.20
control pinch valve that has a straight F
flow
Excellent response. Precise
control down to minimum flow of 20 mL/min.
channel.
※2
Rto
The full open position is available by an input signal, allowing the valve
flush completely and prevent clogs. Of course, the valve can be fully closed. ※2
Rc
N
FNPT
※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。
※2:F ,R ,Nについては
“規格”欄は I(インチ)
で表記します。
仕 様 表 Specifications
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate.
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
バルブコントローラ Valve Controller
サイズ Size
単位
Unit
項
目
Items
駆 動 部
−
Actuation
流 体 温 度
℃
Medium Temperature
構 造 耐 圧
MPa
Proof Pressure
作 動 Actuation
使用圧力範囲
MPa
Working Pressure range
逆作動
(NC)
弁 座 漏1れ 量
3/min
open
Leakage Rate Air tocm
周 囲 温 度
℃
Ambient Temperature
開 閉 頻 度
times/min
AVPVSL
チューブ径
Frequency of opening and closing
PVDF
F
0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure)
10 ∼ 40
1
09.53×06.35Flowell 20 series
12.70×09.53Flowell 60 series
接
12 続 12×10
−
Connection
19×16
Super Type Pillar Fitting
19.05×15.88
Super 300 Type Pillar Fitting
19
25
1.0 145psi
Body
本体材質
0.03 ∼ 0.3 material
4.4 ∼ 43.5psi
06.35×04.35 自在 Any direction
10×08
25×22
オリフィス
Orifice diameter
C v 値
Cv value
参考流量範囲
Reference Flow Range
重
量
Weight
110 ∼ 40 F
Connection tubing size
取 付 姿 勢
06direction 06×04−
Installation
10
6×4
6.35×4.35
高分解能ステッピングモータ
High resolution Stepping motor
25.40×22.20
Flare Type
mm
φ 1.6
−
0.065
mL/min
20 ∼ 800
kg
1.0
型 式 Type
電 源 Power supply
消費電力 Drain current
AVC02
DC24V ( ± 10%)
≦ 0.5A
現在流量(圧力) DC4∼20mA
Process value (Pressure)
設定流量(圧力) DC4∼20mA
Set Point (Pressure)
※1
Mounting
規 格 Tubing standard
固定方法制御On指令
Control
On
全閉動作On指令
Thread at
Millimeter
ミ リ Input
M 入 力
0 下ネジ穴
bottomOn
Full close operation
全開動作On指令
インチ Inch
座
I
1 台 Base plate
Full open operation
On
状態出力 (Run・Ready)
State output
接 続 方 法 Connection リミットセンサ信号
Limit signal
2
Flowell 20 series
モータ駆動信号
Motor drive signal
6
Flowell 60現在流量(圧力) DC1∼5V
series
value (Pressure)
S 出 力 OutSuper
Type PillarProcess
Fitting
put
制御異常警報
AlarmPillar
for abnormalities
3
Super 300 Type
Fitting in valve operation
リミットセンサ用電源
F※2
Flare Type Limit sensor power
RS485により設定器と通信可能
R※2 通 信 Communication It'sRc
possible to communicate with a set machine by RS485.
緑:電源
N※2
FNPT
Green : Power
※1:チューブ径が“25”の場合は台座付になります。
※2:F ,R
,Nについては
“規格”
I(インチ)
で表記します。 黄:制御
Display欄は
(LED)
表 示
※1: In the case of tubing size “25”, It completes with base plate. Yellow : Run
※2: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
赤:エラー
Red : Error
型式選定表 Ordering Code
AVPVEL
U
06
Body
material
U-PVC
本体材質
U
1
規 格
M
I
チューブ径
06
ミ リ Millimeter
06.35×04.35
2
設定器型式
型式選定例
Setting terminal ordering code
Ordering code example
AVC02S
AVPVEL-U06I30-1
固定方法
0
インチ Inch
接 続 方 法
Connection tubing size
06×04
Tubing standard
Mounting
at
下ネジ穴 Thread
bottom
Connection
Flowell 20 series
6
Flowell 60 series
S
Super Type Pillar Fitting
3
Super 300 Type Pillar Fitting
F
Flare Type
AVPV3
優れた応答性、最少流量 20mL/min まで高精度な流量調整が可
Flowell 60 series
能です。
AVPVM
2
AVPVEL AVPVSL
06.35×04.35
ピンチバルブのストレートな流路構造を利用した電動流量調節
10×08
09.53×06.35
6
10
弁です。外部信号により全開フラッシングが可能なので目詰ま
12×10
12.70×09.53
S
12
りを完全に防ぐことができます。もちろん全閉も可能です。
Connection
優れた微少流量制御
Flowell 20 series
AVSDV
接 続 方 法
Connection tubing size
台 座 Base plate
AVMPV
1
AVNVM
チューブ径
電動流量調節弁
06×04
06
インチ Inch
AVHPRS AVHPRL
特 長 Features
0
※
AVCFV
I
ミ リ Millimeter
Mounting 1
at
下ネジ穴 Thread
bottom
HDV12
M
固定方法
Tubing standard
AVQDV
F
規 格
OTHER
Body
material
PVDF
本体材質
21
構 造 図 Parts & Materials
3
1
No.
6
1
5
2
3
4
5
6
本体
Actuator housing
挟圧子
Compressor
ステッピングモータ
Stepping motor
チューブ
Tube
継手
End connector
ナット
Nut
材質
Material
U-PVC
̶
シリコンベースラバー
Silicon based rubber
PTFE
PFA
※接液部品は No.4、5 です。
4
2
部品名称
Parts
※Wetted parts are No.4 and 5.
21
73.5
138.5
φ6
50
寸法図・寸法表 Dimensions
77.5
A
Standard
20
A
2-M5L10
22
inch
mm
inch
Flowell 60 series
mm
Super Type Pillar Fitting
inch/mm
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
inch
Flowell 20 series
単位(Unit):mm
Size
6×4
6.35×4.35
149.5
147.5
175.5
173.5
152.5
151.5
169.5
Controller
単位(Unit):mm
AVPVEL AVPVSL
AVSDV
95.9
86
AVPVM
■ コントローラ
∼ Valve Controller
AVPV3
寸法図 ∼バルブコントローラ部分∼ Dimensions
38
RS-485 ID
Green
Brown
Blue
Orange
NC
Gray
Red
Black
RS-485 GND
RS-485 −
RS-485 +
電源
電源
空き
空き
流量 Flow rate−(4−20mA)
流量 Flow rate+(4−20mA)
1
9
2
10
3
LED
緑 Green :電源 Power
黄 Yellow:制御 RUN
赤 Red :エラー Error
11
4
12
5
13
6
14
7
15
8
Power supply+DC24
Power supply−GND
None connection
None connection
I/O (D-Sub15P)
1.外部電源 Power supply +(24V)
9.外部電源 Power supply −(GND)
2.制御On指令入力 Control command input
10.全開動作On指令入力 Valve full-open command input
3.全閉指令入力 Valve close command input
11.NC
4.Run出力 Run command output
12.Alarm出力 Alarm output
5.Ready出力 Ready output
13.NC
6.NC
14.設定流量入力 Setting value input−(GND)(4-20mA)
7.設定流量入力 Setting value input+(4-20mA)
15.現在流量出力 Process value output−(GND)(1-5V)
8.現在流量出力 Process value output+(1-5V)
AVHPRS AVHPRL
Terminal Layout ∼ Valve
AVCFV
∼バルブコントローラ部分∼
HDV12
端子図
AVQDV
78.6
AVNVM
AVMPV
60
OTHER
20
23
使用例 Example
バルブコントローラ(AVC02) Valve Controller
設定器(AVC02S・オプション)
Setting terminal
(Option)
外部コントロール
External control
RS485
上位制御機器
Control device
of higher rank
DC4∼20mA
流量信号
Flow signal
バルブ制御信号
Valve control signal
流量計 Flow meter
バルブ Valve
●バルブに流体方向の制限はありません。
●流量計はバルブの一次側に設置することをお奨めします。
●脈動のあるラインでは AVHPRS(P.68 ∼ P.73)を併せてご使用下さい。
●設定器(AVC02S)はオプションです。詳しくは設定器の取扱説明書をご
参照下さい。
特性グラフ
• There is no restriction to the flow direction of the valve.
• It is recommended to set the flowmeter at the upstream side.
• Use AVHPR (shown at page 66 through 71) in case there is pulsation.
• Setting terminal is option. Please refer to the manual of Setting
terminal (AVC02S) for details.
Technical Data
応答性 Response
600
設定値 Set point
流 量 Flow rate
流量 Flow rate (mL/min)
500
400
300
200
100
0
0
100
200
300
400
時間 time(sec)
このデータは実験値であり、参考値です。
24
The data shown here is the experimental values and the reference values.
25
OTHER
AVQDV
HDV12
AVCFV
AVHPRS AVHPRL
AVNVM
AVMPV
AVSDV
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
AVPV3
$96'9
Specialty Valves and Control Products
$96'9
26
PTFE製2方弁
Abundant line-up
We designed the AVSDV with wide variation sizes, and it is compact since
the fitting is integrated as one body. Abundant options (with Travel stop, with
Indicator, with Bypass) can be selected to meet various customer’s needs.
仕 様 表 Specifications
オ リ フ ィ ス
C v 値
重
量
操 作 部
Pilot
Installation direction
Connection
Orifice diameter
Cv value
逆作動
Air to open
正作動
Weight
Air to close
復作動
Double
逆作動
Air to open
操作圧力
正作動
Air to close
Pilot pressure
復作動
Double acting
逆作動
Air to open
エア消費量
正作動
Pilot air
Air to close
consumption
復作動
Double acting
操作ポート接続
Pilot port
Flowell 20 series
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
Flare Type
Tube
Rc、FNPT
−
mm
−
kg
φ4
0.26
φ8
1.16
φ 10
1.8
AVNVM
続
Frequency of opening and closing
−
℃
MPa
MPa
cm3/min
MPa
℃
times/min
−
サイズ Size
6×4
10×8
12×10
19×16
25×22
6.35×4.35
9.53×6.35
12.70×9.53 19.05×15.88 25.40×22.20
逆作動・正作動・復作動 Air to open・Air to close・Double acting
5 ∼ 90
1.0 145psi
0 ∼ 0.4 0 ∼ 58psi
0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi
0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure)
0 ∼ 0.2 0 ∼ 29psi
0 ∼ 0.1 0 ∼ 14.5psi
5 ∼ 60
< 20
自在 Any direction
φ 16
4.4
φ 22
7.4
0.2
0.5
0.8
0.2
0.4
0.7
0.2
0.4
0.5
0.01
0.02
0.05
0.06
0.11
0.25
0.07
0.13
0.30
0.4 ∼ 0.5 58 ∼ 72.5psi
MPa
0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi
0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi
L/times(ANR)※
−
Rc1/8"
※エア消費量は操作圧力 0.4MPa の時の値です。
※The pilot air consumption is the value at 0.4 MPa.
AVHPRS AVHPRL
接
Actuation
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Leakage Rate
Back Pressure
Ambient Temperature
単位
Unit
AVCFV
作
動
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
弁 座 漏 れ 量
背
圧
周 囲 温 度
開 閉 頻 度
取 付 姿 勢
Items
HDV12
目
AVQDV
項
OTHER
AVSDV has excellent durability and reliability. All PTFE made for wetted part.
AVPV3
Excellent durability
AVPVM
小口径から大口径までラインナップ、各社継手を一体化し、コ
ンパクトサイズを実現しております。流量調整、インジケータ、
バイパスなどのオプションも豊富に取り揃えています。
AVPVEL AVPVSL
豊富なラインナップ
高 い 信 頼 性 と 優 れ た 耐 久 性 を 実 現 し ま し た。 接 液 部 は 全 て
PTFE 製です。
AVSDV
優れた耐久性
AVMPV
特 長 Features
27
型式選定表 Ordering Code
AVSDV
作 動
Actuation
オプション
G
逆作動
(NC) Air to open
S
正作動
(NO)Air to close
0
標準(ON・OFFのみ)Standard (ON•OFF only)
F
復作動
(DA) Double acting
1
流量調整付 Travel stop
2
バイパス付 Bypass
3
流量調整・バイパス付 Travel stop • Bypass
4
インジケータ付 Indicator
5
バイパス・インジケータ付 Bypass • Indicator
接続方法
Connection
2
Flowell 20 series
6
Flowell 60 series
S
Super Type Pillar Fitting
3
Super 300 Type Pillar Fitting
※1
F
T※2
Tube
R※1
Rc
N※1
FNPT
規格
ミリ
I
インチ Inch
固定方法
2
0
Pilot port connection
③
1
2
3
Tubing standard
M
1
操作ポート
Flare Type
Option ※4
流体方向 Flow direction
②
①
耐薬仕様 Chemical-resistant ※5
Oリング材質 O-ring material ※6
Millimeter
Mounting ※3
V0
FKM
E0
EPDM
※7
F0
台座
Baseplate
チューブ径
(方向1
Direction1)
台座
Baseplate
(方向2
Direction2)
Connection tubing size
06
06×04
06.35×04.35
10
10×08
09.53×06.35
12
12×10
12.70×09.53
19
19×16
19.05×15.88
25
25×22
25.40×22.20
※1:F、R、Nについては“規格”欄はI(インチ)で表記します。
※2:Tubeの外径、内径サイズはP95を参照ください。
※3:固定方法“2”の場合、接続方法によっては接続部が台座固定用の穴と干渉する場合があります。
ご注意ください。
※4:チューブ径が“06”の場合、
オプションは
“0”,“1”,“4”のなかから選択ください。
※5 : 使用流体が強酸等の場合にはご相談ください。
※6 : Oリングは接液しません。
※7 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。
※1: In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
※2: Please refer to page 95 for diameter of “Tube“.
※3: In the case of Mounting “2“ there is some possibility of that the mounting holes are hidden by some connection from
top side, and hard to be mounted.
※4: In the case of tubing size “06“, please select the option from 0", “1“, and “4“.
※5 : Please consult us for the specification if the medium is a strong chemical, strong acid etc.
※6 : O-rings are not wetted.
※7 :”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers.
オプション Option
チューブ径 Connection tubing size 6×4
(6.35×4.35)
組合せNo. Option No.
流量調整
Travel stop
インジケータ
Indicator
0
1
4
−
−
○
−
−
○
チューブ径 Connection tubing size 10×8
(9.53×6.35)∼25×22(25.40×22.20)
28
組合せNo. Option No.
流量調整
Travel stop
バイパス
Bypass
インジケータ
Indicator
0
1
2
3
4
5
−
−
−
○
−
−
−
○
−
○
○
−
−
−
○
−
○
○
AVPVM
AVPVEL AVPVSL
1
2
3
4
5
6
7
8
部品名称
Parts
本体
Body
ダイヤフラム
Diaphragm
ベースプレート
Base Plate
ピストン
Piston
隔膜押さえ
Bush
シリンダ本体
Actuator housing
ナット
Nut
スプリング
Spring
※ 接液部品は No.1、2 です。
※ Wetted parts are No.1, 2.
材質
Material
PTFE
PPS
PFA
SUS304
AVSDV
No.
AVMPV
3
AVNVM
1
7
AVHPRS AVHPRL
2
AVCFV
4
HDV12
5
AVQDV
8
OTHER
6
AVPV3
構 造 図 Parts & Materials
29
寸法図・寸法表 Dimensions
逆作動・正作動・復作動 Air to open・Air to close・Double acting
B port
(IN)
(OUT)
7
D
E
F
A port
C
Pilot Port Rc1/8"
B
A
inch
mm
inch
Flowell 60 series
mm
Super Type Pillar Fitting
inch/mm
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
inch
Tube
inch/mm
Rc、FNPT
inch
B
C
D
E
F
Flowell 20 series
G
A
6×4
6.35×4.35
76
74
102
100
79
78
96
100
60
10×8
9.53×6.35
85
82
118
114
93
90
102
100
72
□ 40
78
21
46
69.5
88
25.5
56
79.5
19×16
19.05×15.88
112
112
138
138
129
122
126
130
90
□ 50
104
34
68
95
25×22
25.40×22.20
144
144
162
159
150
146
154
140
110
□ 60
138.5
39
84.5
116.5
K
Standard
H
単位(Unit):mm
Size
12×10
12.70×9.53
93
90
118
114
100
98
106
100
72
J
バイパス付
Bypass
4-M5L9
R
30
M
L
25
P
N
R
4-S
4-φQ
25
72
78
90
7
42
49
60
流量調整付
Travel stop
インジケータ付
Indicator
(OUT)
E
F
A
C
(IN)
B
42
49
60
台座 Base Plate(PPS)
4-M5L9
4-S
4-φQ
78
90
P
N
6×4(6.35×4.35)∼19×16(19.05×15.88)
R
M
25×22(25.40×22.20)
4-φQ
25
72
L
78
90
6×4(6.35×4.35)∼19×16(19.05×15.88)
25×22(25.40×22.20)
単位(Unit):mm
6×4
6.35×4.35
L
M
N
P
Q
R
S
Size
12×10
12.70×9.53
10×8
9.53×6.35
64
52
40
30
φ 5.5
20
M5L7.5
19×16
19.05×15.88
79
63.5
50
38
φ7
25
AVMPV
AVCFV
R
L
42
49
60
25
72
25
R
M
7
25×22
25.40×22.20
−
−
−
−
−
−
−
HDV12
91
110
流量調整付
52
Travel
stop
25.5
19×16
25×22
4-M5L9
7
19.05×15.88
25.40×22.20
J
109
143
127
162
バイパス付
59
64
Bypass
34
39
P
N
R
G
H
インジケータ付
J
Indicator
K
10×8
9.53×6.35
25
6×4
6.35×4.35
81
100
−
−
4-S
K
単位(Unit):mm
Size
12×10
12.70×9.53
AVNVM
バイパス付
Bypass
流量調整付
Travel stop
インジケータ付
Indicator
AVHPRS AVHPRL
G
AVSDV
J
AVQDV
H
K
G
H
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
A
OTHER
オプション Option
7
D
AVPV3
寸法図・寸法表
(オプション) Dimensions (Option)
31
特性グラフ
Technical Data
差圧 - 流量
Differential pressure - Flow rate
1000
25×22(25.40×22.20)
Cv=7.4
19×16(19.05×15.88)
Cv=4.4
100
流量 Flow rate (L/min)
12×10(12.70×9.53)
Cv=1.8
10×8(9.53×6.35)
Cv=1.16
10
6×4(6.35×4.35)
Cv=0.26
0.05
[7.25]
0.1
[14.5]
0.5
[72.5]
差圧 Differential pressure (MPa) [psi]
※これらのデータは実験値であり、参考値です。
※The data shown here is the experimental values and the reference values.
32
33
OTHER
AVQDV
HDV12
AVCFV
AVHPRS AVHPRL
AVNVM
AVMPV
AVSDV
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
AVPV3
AVMPV
Specialty Valves and Control Products
AVMPV
34
マルチポート弁
目
作
動
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
弁 座 漏 れ 量
背
圧
周 囲 温 度
開 閉 頻 度
取 付 姿 勢
接
操 作 部
Pilot
続
Items
Actuation
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Leakage Rate
Back Pressure
Ambient Temperature
Frequency of opening and closing
Installation direction
Connection
操 作 圧 力
Pilot pressure
エ ア 消 費 量
Pilot air consumption
操作ポート接続
Pilot port
単位
Unit
−
℃
MPa
MPa
cm3/min
MPa
℃
times/min
−
標準仕様
Standard Type
高圧仕様
High Pressure Type
逆作動 Air to open
手動 Manual
5 ∼ 80
1.0 145psi
0 ∼ 0.3 0 ∼ 43.5psi
0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi
0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure)
0.3 43.5psi
0.5 72.5psi
5 ∼ 50
< 20
自在 Any direction
0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi
0.5 72.5psi
−
Flowell 20 series
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
Flare Type
−
MPa
マニュアル
Manual Type
0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi
0.4 ∼ 0.5 58 ∼ 72.5psi
−
L/times(ANR)※
0.01
−
−
Rc1/8"
−
※エア消費量は操作圧力 0.5MPa の時の値です。
※The pilot air consumption is the value at 0.5 MPa.
AVPV3
AVPVM
AVPVEL AVPVSL
項
AVSDV
仕 様 表 Specifications
AVMPV
We designed the MPV with the flexibility to meet the various user's specific
needs. Made-to-order designs are available for the manifold layout, branching
port quantities, fitting size, etc. AVMPV turns complicated equipment piping
into a simple and compact product.
AVNVM
Made-to-order
AVMPV is the optimal valve for flushing, sampling, and branching from the
distribution line.
This valve is ideal forr slurry, DI water and chemical applications because of
its compact design and minimized dead volume.
AVHPRS AVHPRL
Abundant applications
AVCFV
ユーザーの多種多様なニーズに合わせカスタマイズ。マニホー
ルド・分岐ポート数・継手サイズなど自由に設計可能です。複
雑な装置内配管をシンプルに、かつ省スペース化できます。
HDV12
カスタマイズ
循環ラインからの分岐用、配管内のフラッシング、サンプリン
グ用として最適なバルブです。滞留部の少ないコンパクト設計
になっているため、純水・薬液をはじめ、スラリーにもご使用
いただけます。
AVQDV
豊富なアプリケーション
OTHER
特 長 Features
35
型式選定表 Ordering Code
AVMPV
P
Number of actuator ※1
連 数
規 格
オプション
Tubing standard
1
1
M
ミ リ
Millimeter
2
2
I
インチ
Inch
※1 : 下図参照
※1 : Refer to table
ポート数
接 続 方 法
Number of port ※1
2
2
3
3
4
4
5
5
※1 : 下図参照
2
Flowell 20 series
6
Flowell 60 series
S
Super Type Pillar Fitting
3
Super 300 Type Pillar Fitting
F※2
Flare Type
※2 : In
the case of F, please put “I: inch” at standard’s column.
Oリング※3
O-ring
Actuation
V
FKM
2
逆作動(標準)Air to open
逆作動(高圧)Air to open
E
EPDM
3
手 動
F
1
(High pressure)
Manual
ポートサイズ
01∼12
下表参照 Refer to table
0
下ネジ穴
Thread at bottom
1
台 座
Base plate
3RUWVL]HFRPELQDWLRQ
M1 Port
36
M2 Port・SUB Port
mm
inch
6×4
6.35×4.35
10×8
9.53×6.35
12×10
12.70×9.53
19×16
19.05×15.88
25×22
25.40×22.20
◇ポート組合せ
その他
流量調整付
Travel Stop
Revision
無記入
n/a
逆作動
(標準)
Air to open
1
逆作動
(高圧)
Air to open
(High pressure)
手動
Manual
AVMPV24-1P02I3V00
AVMPV24-2P02I3V00-1
◇ポートサイズ組合せ
01
02
03
04
05
06
07
08
09
10
11
12
99
2
型式選定例
固定方法 Mounting
Connection tubing size
インジケータ付
Indicator
Ordering code example
Material of actuator
PP
1
※4
※3 : O-rings are not wetted.
※4 :”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers.
P
なし
Nothing
無記入
n/a
※3 : Oリングは接液しません。
※4 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。
シリンダ材質
0
変更区分
※2 : Fについては
“規格”欄は (インチ)
I
で表記します。
※1 : Refer to table
作 動
Connection
Option
mm
6×4
6×4
10×8
6×4
10×8
12×10
6×4
10×8
12×10
6×4
10×8
12×10
Other
inch
Cv
6.35×4.35
6.35×4.35
9.53×6.35
6.35×4.35
9.53×6.35
12.70×9.53
6.35×4.35
9.53×6.35
12.70×9.53
6.35×4.35
9.53×6.35
12.70×9.53
0.35
0.35
0.74
0.35
0.74
1.7
0.35
0.74
1.7
0.35
0.74
1.7
6.35×4.35
9.53×6.35
12.70×9.53
0.35
0.74
1.7
◇ポート組合せ
3RUWFRPELQDWLRQ
M1
M1
M1
M1
M1 M2
M2
M2
M2
M1
$9039
M2
M1
$9039
$9039
SUB
SUB
M1 M2
M2
M1
$9039
SUB
M1 M2
$9039
$9039
AVMPV
AVSDV
※SUB PortとM2 Portは同サイズとなります。異サイズ品をご希望の場合はご相談ください。
※MPV12のポートサイズは、左表の01、
03、06のいずれかを選定ください。
※上表以外の継手方向やその他カスタマイズ品をご要望の場合はご相談ください。
※重量は1連:0.3kg、
2連:0.6kgとなります。
※68%3RUWDQG03RUWDUHWKHVDPHVL]H3OHDVHFRQVXOWXVLWLQFDVHRIGLIIHUHQWVL]HVDUHUHTXLUHGIRUHDFKSRUW
※,QWKHFDVHRI039SOHDVHFKRRVHIURPRUUHIHUULQJWRWKHOHIWWDEOH
※3OHDVHFRQVXOWXVIRUWKHVSHFLILFDWLRQWKDWDUHQRWVKRZQLQKHUH
※7KHZHLJKWLVNJIRU6LQJOHDQGNJIRUWDQGHP
AVNVM
使用例 Example
Point of use
Slurry
AVMPV24
Shut
Shut
Point of use
Open
HDV12
Open
Dl Water
Slurry
Dl Water
AVCFV
Slurry
Circulation
Flushing
Slurry
Slurry
DI Water
スラリーの供給
Supply of slurry
AVPVM
AVPV3
型式選定表 Ordering Code
AVPVEL AVPVSL
その他
6×4
10×8
12×10
Other
AVHPRS AVHPRL
25.40×22.20
DI Water
フラッシング
Flushing
AVQDV
25×22
OTHER
10
11
12
99
37
構 造 図 Parts & Materials
標準仕様 Standard Type
8
5
8
8
4
5
5
6
4
2
4
6
6
1
2
2
7
1
1
3
No.
1
2
3
4
5
6
3
3
7
7
7
8
部品名称
Parts
本体
Body
ダイヤフラム
Diaphragm
ベースプレート
Base plate
ピストン
Piston
シリンダ蓋
Actuator cap
シリンダ本体
Actuator housing
ナット
Nut
スプリング
Spring
材質
Material
PTFE
PP
PFA
SUS304
※接液部品は No.1、2 です。
※Wetted
parts are No.1, 2.
高圧仕様 High pressure Type
8
6
No.
8
8
4
6
6
5
4
4
2
5
5
1
2
2
7
1
1
3
1
2
3
4
5
6
7
3
3
7
7
マニュアル
38
本体
Body
ダイヤフラム
Diaphragm
ベースプレート
Base plate
ピストン
Piston
隔膜押さえ
Bush
シリンダ本体
Actuator housing
ナット
Nut
スプリング
Spring
材質
Material
PTFE
PPS
PFA
SUS304
※接液部品は No.1、2 です。
※Wetted
parts are No.1, 2.
Manual Type
No.
7
1
7
9
7
6
9
4
9
6
5
6
4
2
4
5
1
5
2
8
2
1
3
1
8
8
8
部品名称
Parts
3
3
2
3
4
5
6
7
8
9
部品名称
Parts
本体
Body
ダイヤフラム
Diaphragm
ベースプレート
Base plate
ステム
Stem
隔膜押さえ
Bush
ボンネット
Bonnet
ハンドル
Handle
ナット
Nut
スプリング
Spring
※接液部品は No.1、2 です。
※Wetted
parts are No.1, 2.
材質
Material
PTFE
PP
PFA
SUS304
AVPV3
寸法図・寸法表
(標準仕様) Dimensions (Standard Type)
AVMPV12
5
(10.5)
AVPVM
14
Pilot port Rc1/8"
EXH
M2
G
H
E
F
Pilot port Rc1/8"
H
(10.5)
14
G
5
AVPVEL AVPVSL
IN
D
M1
EXH
M2
IN
D
E
20
AVSDV
B 2-M5 L13
A
A
70
台座付(PP)
Base Plate (PP)
52.5
6.5
Flowell 20 series
Flowell 60 series
AVNVM
inch
71
80
mm
69
77
85
inch
97
113
113
88
mm
95
109
109
74
88
95
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
73
85
93
91
97
101
inch
B
6.5
12×10
6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53
inch/mm
Super Type Pillar Fitting
Flare Type
台座付(PP)
Base Plate (PP)
10×8
35
D
76
86
E
22
27.5
F
33
43
G
50
60
H
56
66
HDV12
Standard
70
52.5
単位(Unit):mm
6×4
AVCFV
流量調整付(PP)
Travel stop (PP)
AVQDV
インジケータ付(PP)
Indicator (PP)
流量調整付(PP)
Travel stop (PP)
D
インジケータ付(PP)
Indicator (PP)
D
3 D
オプション Option
AVHPRS AVHPRL
D18(MAX 21)
3
20
18(MAX 21)
AVMPV
2-M5 L13
OTHER
B
A
F
M1
39
寸法図・寸法表
(標準仕様) Dimensions (Standard Type)
AVMPV14
(10.5)
14
5
Pilot port Rc1/8"
EXH
H
E
F
G
D
IN
A
B
A
単位(Unit):mm
M2
Standard
2-M5 L13
20
Flowell 20 series
M1
M1
Flowell 60 series
A
Super Type Pillar Fitting
M2
10×8
6.35×4.35
12×10
9.53×6.35 12.70×9.53
inch
18
22.5
mm
17
21
25
inch
31
39
39
26.5
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
6×4
inch
19
25
29
28
31
33
B
35
D
76
86
E
22
27.5
F
33
43
G
50
60
H
56
66
AVMPV23
(10.5)
14
5
Pilot port Rc1/8"
EXH
IN
E
F
G
D
IN
H
EXH
B
A
C
A
単位(Unit):mm
Standard
35
Flowell 20 series
SUB
A
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
2-M5 L13
M2
40
M1
6.35×4.35
10×8
12×10
9.53×6.35 12.70×9.53
inch
18
22.5
mm
17
21
25
inch
31
39
39
26.5
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
6×4
inch
19
25
29
28
31
33
B
70
C
35
D
76
86
E
22
27.5
F
33
43
G
50
60
H
56
66
(10.5)
IN
A
C
A
A
単位(Unit):mm
Standard
M1
18
22.5
26.5
mm
17
21
25
inch
31
39
39
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
19
25
29
28
31
33
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
2-M5 L13
inch
B
35
70
C
M1
AVMPV25
AVMPV
SUB
12×10
9.53×6.35 12.70×9.53
35
D
76
86
E
22
27.5
F
33
43
G
50
60
H
56
66
(10.5)
14
5
AVNVM
M2
6.35×4.35
10×8
inch
Flowell 20 series
A
6×4
Pilot port Rc1/8"
EXH
EXH
IN
E
F
G
H
D
IN
B
A
C
A
A
単位(Unit):mm
Standard
M1
M2
Flowell 20 series
SUB
A
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
M1
12×10
9.53×6.35 12.70×9.53
18
22.5
26.5
mm
17
21
25
inch
31
39
39
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
19
25
29
28
31
33
inch
B
35
M2
Flare Type
6.35×4.35
10×8
inch
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
2-M5 L13
6×4
70
C
AVHPRS AVHPRL
B
A
AVCFV
E
E
F
G
H
D
IN
AVPVEL AVPVSL
EXH
35
D
76
86
E
22
27.5
F
33
43
G
50
60
H
56
66
HDV12
EXH
AVPVM
Pilot port Rc1/8"
AVSDV
14
AVQDV
5
OTHER
AVMPV24
AVPV3
寸法図・寸法表
(標準仕様) Dimensions (Standard Type)
41
寸法図・寸法表
(高圧仕様) Dimensions (High pressure Type)
AVMPV12
13
13
H
H
M2
M2
E
E
G
G
M1
M1
D
D
Pilot port Rc1/8"
Pilot port Rc1/8"
20
20
B
B
A
A
19(MAX.22)
19(MAX.22)
4-M5 L13
4-M5 L13
D
D
D
D
3
3
オプション Option
B
B
B
B
A
A
A
A
インジケータ付(PP)
インジケータ付(PP)
Indicator (PP)
Indicator (PP)
流量調整付(PP)
流量調整付(PP)
Travel stop (PP)
Travel stop (PP)
4-M5 L7
4-M5 L7
4-φ5.5
4-φ5.5
Flowell 20 series
20
20
52
52
A
Flowell 60 series
単位(Unit):mm
Standard
6×4
台座付(PPS)
台座付(PPS)
Base Plate (PPS)
Base Plate (PPS)
42
12×10
inch
76
85
mm
74
82
90
inch
102
118
118
93
mm
100
114
114
inch/mm
79
93
100
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
78
90
98
96
102
106
Super Type Pillar Fitting
Flare Type
inch
B
20
20
30
30
10×8
6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53
40
D
93
103
E
22
27.5
G
61
71
H
84.5
94.5
AVMPV14
13
Standard
M2
20
M1
18
22.5
26.5
17
21
25
inch
31
39
39
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
19
25
29
28
31
33
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
M1
Flare Type
inch
B
4-M5 L13
M2
12×10
mm
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
10×8
9.53×6.35 12.70×9.53
inch
Flowell 20 series
A
6×4
6.35×4.35
40
D
93
103
E
22
27.5
43
F
33
G
61
71
H
84.5
94.5
AVPVEL AVPVSL
単位(Unit):mm
AVSDV
A
AVNVM
B
AVMPV23
13
A
単位(Unit):mm
Standard
Flowell 20 series
20
20
40
SUB
A
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
4-M5 L13
6.35×4.35
M1
12×10
9.53×6.35 12.70×9.53
18
22.5
26.5
mm
17
21
25
inch
31
39
39
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
19
25
29
28
31
33
inch
B
80
C
M2
10×8
inch
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
6×4
40
D
93
103
E
22
27.5
43
F
33
G
61
71
H
84.5
94.5
HDV12
C
AVQDV
A
OTHER
B
AVCFV
E
F
G
H
D
Pilot port Rc1/8"
AVHPRS AVHPRL
A
AVMPV
E
F
G
H
D
AVPVM
Pilot port Rc1/8"
AVPV3
寸法図・寸法表
(高圧仕様) Dimensions (High pressure Type)
43
寸法図・寸法表
(高圧仕様) Dimensions (High pressure Type)
AVMPV24
13
13
B
A
B
E
E
F
F
G
G H
H
D
D
Pilot port Rc1/8"
Pilot port Rc1/8"
A
A
A
C
A
C
A
単位(Unit):mm
M1
M1
Standard
M2
M2
20
20
20
20
Flowell 20 series
Flowell 60 series
A
SUB
SUB
Super Type Pillar Fitting
Flare Type
6.35×4.35
18
22.5
26.5
17
21
25
inch
31
39
39
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
19
25
29
28
31
33
inch
80
C
M1
M1
12×10
9.53×6.35 12.70×9.53
mm
B
40
40
10×8
inch
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
4-M5 L13
4-M5 L13
6×4
40
D
93
103
E
22
27.5
43
F
33
G
61
71
H
84.5
94.5
AVMPV25
1313
13
BB
B
AA
A
E E
E
F F
F
GG
GH H
H
DD
D
Pilot
Pilot
port
port
Rc1/8"
Rc1/8"
Pilot port Rc1/8"
AA
A
CC
C
AA
A
単位(Unit):mm
M2M2
M2
M1M1
M1
Standard
20 20
20
20 20
20
Flowell 20 series
SUB
SUB
SUB
4-M5
4-M5
L13
L13
4-M5 L13
4040
M2M2 40 M1M1
M2
44
M1
A
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
6.35×4.35
10×8
12×10
9.53×6.35 12.70×9.53
inch
18
22.5
26.5
mm
17
21
25
inch
31
39
39
mm
30
37
37
inch/mm
19.5
26.5
30
19
25
29
28
31
33
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
Flare Type
6×4
inch
B
80
C
40
D
93
103
E
22
27.5
43
F
33
G
61
71
H
84.5
94.5
AVPV3
寸法図・寸法表
(マニュアル) Dimensions (Manual Type)
AVPVM
AVMPV12
80
69
77
85
inch
97
113
113
88
mm
95
109
109
inch/mm
74
88
95
Super 300 Type Pillar Fitting inch/mm
73
85
93
91
97
101
Super Type Pillar Fitting
Flare Type
inch
B
35
C
83.5
(MAX86.5)
93.5
(MAX96.5)
D
22
27.5
E
33
43
AVSDV
71
mm
AVMPV
Flowell 60 series
inch
AVNVM
A
12×10
6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53
AVHPRS AVHPRL
Flowell 20 series
10×8
AVCFV
20
Standard
6×4
HDV12
単位(Unit):mm
2-M5 L13
AVQDV
B
A
OTHER
D
E
M1
AVPVEL AVPVSL
C
M2
45
AVNVM
Specialty Valves and Control Products
AVNVM
46
ニードル弁
ダイヤフラムにより摺動部を隔離、パーティクルの発生を抑制
します。接液部はすべて PTFE 製です。
Easy Operation
Diaphragm Structure
Diaphragm isolates moving part from wetted part and it restrains the
generation of particles.
All PTFE made for wetted part.
仕 様 表 Specifications
接
方
向
続
オ リ フ ィ ス
C v 値
重
量
Connection
Orifice diameter
Cv value
Weight
−
Flowell 20 series
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
Flare Type
Tube
Rc
−
mm
−
kg
AVSDV
Flow direction
れ
AVMPV
流
φ 3.5
0.13
0.15
φ6
0.65
0.22
φ7
0.75
0.23
AVNVM
−
℃
MPa
MPa
℃
−
12×10
12.70×9.53
AVHPRS AVHPRL
Actuation
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Ambient Temperature
Installation direction
サイズ Size
10×8
9.53×6.35
手動 Manual
5 ∼ 90
1.0 145psi
0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi
5 ∼ 60
自在 Any direction
ストレート Straight
垂直アングル Vertical angle
水平アングルL Horizontal angle L
水平アングルR Horizontal angle R
AVCFV
作
動
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
周 囲 温 度
取 付 姿 勢
6×4
6.35×4.35
HDV12
単位
Unit
目
AVQDV
Items
項
OTHER
AVNVM provides easy & precise flow control by the dual threaded stem
structure, which gives liner flow characteristic and fine-tuning of flow.
AVPV3
ダイヤフラム構造
リニアな流量特性と微調節が可能な 2 重ネジ構造により、流量
調節が大変容易です。
AVPVM
容易な操作性
AVPVEL AVPVSL
特 長 Features
47
型式選定表 Ordering Code
AVNVM
作 動
M
Actuation
マルチターン Multi turn
本体材質
T
M
Body material
PTFE
接 続 方 法
T
規 格
Tubing standard
ミ リ Millimeter
M
I
固定方法
Connection
チューブ径
インチ Inch
Mounting
0
下ネジ穴 Thread at bottom
1
台 座 Base plate
P
パネルマウント Panel mounting
流れ方向
Flow direction ※3
Connection tubing size
06
06×04
06.35×04.35
10
10×08
09.53×06.35
12
12×10
12.70×09.53
耐薬仕様 Chemical-resistant ※4
Oリング材質 O-ring material ※5
2
Flowell 20 series
S
ストレート
6
Flowell 60 series
V
垂直アングル Vertical angle
V0
FKM
S
Super Type Pillar Fitting
L
水平アングルL Horizontal angle L
3
Super 300 Type Pillar Fitting
R
水平アングルR Horizontal angle R
E0
EPDM
※1
F
T※2
※1
R
Straight
F0
Flare Type
Tube
Rc
※6
※1:F、Rについては
“規格”欄はI
(インチ)
で表記します。
※2:Tubeの外径、内径サイズは、P97をご参照ください。
※3:垂直アングルの固定方法はパネルマウントのみです。
水平アングルは下ネジ穴、パネルマウントが選択できます。
※4 : 使用流体が強酸等の場合にはご相談ください。
※5 : Oリングは接液しません。
※6 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。
※1:
※2:
※3:
In the case of F, R and N, please put “I: inch” at standard’s column.
Please refer to page 97 for "Diameter of Tube".
The mounting method in vertical piping is the panel mounting only.
The mounting methods in horizontal piping are the panel mounting
and the bolting mounting at the valve bottom.
※4: Please consult us for the specification if the medium is a
strong chemical, strong acid etc.
※5: O-rings are not wetted.
※6: ”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers.
48
水平アングルR
Horizontal angle R
オプション組合せ Option Combination
固定方法 Mounting
流れ方向
Flow direction
下ネジ穴
Thread at bottom
台 座
Base plate
―
―
ストレート
Straight
HDV12
垂直アングル
Vertical angle
パネルマウント
Panel mounting
AVNVM
AVMPV
水平アングルL
Horizontal angle L
AVHPRS AVHPRL
垂直アングル
Vertical angle
AVCFV
ストレート
Straight
AVSDV
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
流れ方向 Flow Direction
AVPV3
流れ方向・オプション組合せ Flow Direction・Option
AVQDV
―
OTHER
水平アングルL・R
Horizontal angle L • R
49
構 造 図 Parts & Materials
3
4
No.
6
5
1
8
7
2
2
10
3
4
5
6
7
8
1
9
9
10
部品名称
Parts
本体
Body
ダイヤフラム
Diaphragm
ハンドル
Handle
ロックナット
Locknut
ボンネット
Bonnet
ステム A
Stem A
ステム B
Stem B
隔膜押さえ
Bush
ベースプレート
Base plate
ナット
Nut
※ 接液部品はNo1、2です。
※ Wetted parts are No.1, 2.
50
材質
Material
PTFE
PP
PPS
PP
PPS
PP
PPS
PFA
C
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
AVPV3
寸法図・寸法表 Dimensions
B port
(OUT)
AVSDV
D
A port
(IN)
B
単位(Unit):mm
66
80
mm
64
77
85
inch
92
113
113
88
mm
90
109
109
Super Type Pillar Fitting
inch/mm
69
88
95
Super 300 Type Pillar Fitting
inch/mm
68
85
93
inch
86
97
101
90
95
Flare Type
Tube
● 台 座 Base Plate
inch/mm
95
B
□ 30
□ 35
C
81
(MAX93)
96
(MAX112)
D
21.5
26
E
10
13
単位(Unit):mm
Standard
Rc
inch
M
J
A
2-N
6×4
10×8
12×10
6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53
44
51
60
B
□ 30
□ 35
C
87
(MAX99)
100
(MAX116)
D
24
29
E
10
13
AVHPRS AVHPRL
Flowell 60 series
A
inch
AVCFV
4-M5 E
12×10
HDV12
Flowell 20 series
10×8
6.35×4.35 9.53×6.35 12.70×9.53
AVQDV
Standard
OTHER
20
6×4
AVNVM
AVMPV
A
51
E
寸法図・寸法表
(オプション) Dimensions (Option)
M
J
● 台 座 Base Plate
J
2-N
L
K
単位(Unit):mm
M
サイズ
2-N
6×4
10×8
12×10
6.35×4.35
9.53×6.35
12.70×9.53
J
10
13
K
50
64
L
40
50
L
M
30
35
K
N
φ 5.5
φ7
● パネルマウント Panel Mounting
4-φ4.5
4-M4
Q
R
Q
+0.3
0
φ30
● パネルマウント Panel Mounting
P
パネルカット寸法
4-φ4.5
Panel Cut
P
φ29
+0.3
0
φ30
R
Q
φ30
Q
4-M4
P
T
S
φ29
パネルカット寸法
Panel Cut
P
φ29
φ30
単位(Unit):mm
サイズ
T
S
φ29
52
6×4
10×8
12×10
6.35×4.35
9.53×6.35
12.70×9.53
P
23
28
Q
35
40
R
42
47
S
15
16
T
12
16
Technical Data
AVPV3
特性グラフ
AVPVM
ハンドル回転数−流量 Handle rotations − Flow rate
Size : 6mm×4mm
(6.35mm×4.35mm)
(Orifice :φ3.5mm)
5.0
△ 0.5MPa
4.0
AVPVEL AVPVSL
流量 Flow rate(L/min)
4.5
△ 0.4MPa
3.5
△ 0.3MPa
3.0
△ 0.2MPa
2.5
2.0
△ 0.1MPa
1.5
△ 0.05MPa
1.0
0.0
0
1
2
3
4
5
6
7
ハンドル回転数 Handle rotations
Size : 10mm×8mm
(9.53mm×6.35mm)
(Orifice :φ6mm)
26
24
△ 0.5MPa
△ 0.3MPa
△ 0.2MPa
14
12
10
△ 0.1MPa
8
6
△ 0.05MPa
4
2
0
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
ハンドル回転数 Handle rotations
Size : 12mm×10mm
(12.70mm×9.53mm)
(Orifice :φ7mm)
26
24
△ 0.5MPa
△ 0.4MPa
20
18
HDV12
△ 0.3MPa
16
△ 0.2MPa
14
12
△ 0.1MPa
10
8
AVQDV
流量 Flow rate(L/min)
22
△ 0.05MPa
6
AVHPRS AVHPRL
16
AVNVM
△ 0.4MPa
18
AVCFV
20
4
2
0
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
ハンドル回転数 Handle rotations
流体:水(常温) Fluid : Water (ambient)
これらのデータは実験値であり、参考値です。
The data shown here is the experimental values
and the reference values.
OTHER
流量 Flow rate(L/min)
22
AVMPV
AVSDV
0.5
53
$9+35/
Specialty Valves and Control Products
$9+35/
54
定圧弁
バルブに供給する操作エアをカットすることで、バルブを全閉にする
ことができます。前後の 2 方弁削減でコストダウンがはかれます。
Tight-shut-off function
By stopping the supply of the pilot air, the valve can be fully closed.
Therefore, the shut-off valves are not required.
仕 様 表 Specifications
続
Connection
径
Connection tubing size
mm
参考流量範囲
Reference Flow Range
L/min
接
続
精
重
操 作 部
Pilot
口
度
HF
10 ∼ 90
0.9 130.5psi
操作圧力 +0.05 ∼ 0.5 Pilot pressure +7.25 ∼ 72.5psi
< 5 ( 水圧、23℃ ) < 5 (at hydraulic pressure, 23℃ )
10 ∼ 60
< 20
自在 Any direction
Flowell 20 series
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
Flare Type
Tube
−
3×2
(3.18×1.6)
、
6×4
(6.35×4.35)
SHF
6×4
(6.35×4.35)
∼ 12×10
(12.70×9.53)
、 19×16(19.05×15.88)、
12×10
(12.70×9.53) 19×16
(19.05×15.88) 25×22(25.40×22.20)
10 ∼ 500mL/min
0.4 ∼ 15
5 ∼ 50
10 ∼ 100
一次側圧力が最低使用圧力∼ 0.5 MPa の範囲で変化した際の流量変化が± 5%F.S. 以内(注:二次側
圧力の変化がない状態)
±5%F.S. Accuracy of flow rate when the range of inlet pressure is from minimum working pressure to 0.5MPa, and
there is no back pressure change.
−
Accuracy
Type
AVSDV
接
Installation direction
MF
Weight
量
kg
自力式
操作圧力
MPa
Pilot pressure フィードバック制御
エ ア 消 費 量
L/times(ANR)※
Pilot air consumption
操作ポート接続
−
Pilot port
0.2
0.1 ∼ 0.3
0.4
0.06
0.11
1.0
0.08 ∼ 0.3
0.12∼0.3
2.0
0.32
0.65
Rc1/8"
※エア消費量は操作圧力 0.3MPa の時の値です。※The pilot air consumption is the value at 0.3 MPa.
型式選定表 Ordering Code
AVHPR
タイプ
Low Flow
MF
Medium Flow
HF
High Flow
SHF
本体材質 Body material
Type
LF
0
T
T
PTFE
規 格 Tubing standard
M
I
Oリング O-ring ※1
ミ リ Millimeter
V
FKM
インチ Inch
E
EPDM
F
Super High Flow
1
※2
※1 : Oリングは接液しません。
※2 : バイフロン®Fは耐酸用三元系
弗素ラバーです。
Fluorocarbon Elastomers.
接 続 方 法
LF MF HF SHF
Connection
2
Flowell 20 series
6
Flowell 60 series
○
S
Super Type Pillar Fitting
3
Super 300 Type Pillar Fitting
F
Flare Type
03
3 × 2
3.18 × 1.6
○
06
6 × 4
6.35 × 4.35
○
10
10 × 8
9.53 × 6.35
○
12
12 × 10
12.70 × 9.53
○
19
19 × 16
19.05 × 15.88
25
25 × 22
25.40 × 22.20
○
○
○
○
T※3
MF
HF
SHF
型式選定例
Ordering code example
AVHPRLF-T06I3V0-1
AVHPRHF-T19I3V0-1
Tube
※3 : チューブ径03は接続方法Tubeを選定できません。
Tubeの外径、内径サイズはP97をご参照下さい。
※3:In
変更区分 Revision
LF
※1 : O-rings are not wetted.
※2 :”Vifron” is the Terpolymerization
チューブ径 Connection tubing size
mm
inch
1
case the tube diameter is “03”, “Tube” connection is not available.
Please refer to page 97 for diameter of “Tube“.
AVMPV
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Leakage Rate
Ambient Temperature
LF
AVNVM
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
弁 座 漏 れ 量
周 囲 温 度
開 閉 頻 度
取 付 姿 勢
Frequency of opening and closing
タイプ
単位
Unit
℃
MPa
MPa
cm3/min
℃
times/min
−
AVHPRS AVHPRL
Items
AVCFV
目
HDV12
項
AVQDV
The flow can be maintained stable instantly in the change of setting due to the
quick response of the valve. There is no overshooting even just after the valve
started.
OTHER
Excellent stability
AVPV3
シャットオフ可能
素早いレスポンスで設定流量変更にも即座に安定した流量が得られま
す。オフ状態からのオーバーシュートもまったくありません。
AVPVM
優れた安定性
AVPVEL AVPVSL
特 長 Features
55
構 造 図 Parts & Materials
LF, MF
5
4
9
2
1
8
No.
1
2
3
4
5
7
3
7
8
9
部品名称
Parts
本体
Body
弁体
Seat
ダイヤフラム
Diaphragm
ダイヤフラム
Diaphragm
ボンネット
Actuator Housing
ベースプレート
Base plate
ナット
Nut
スプリング
Spring
材質
Material
PTFE
PVDF
PFA
SUS304
※接液部品は No.1 ∼ 4 です。
※Wetted
parts are No. 1∼4.
HF, SHF
5
9
6
1
4
2
No.
1
2
8
3
4
5
6
7
8
3
7
9
部品名称
Parts
本体
Body
弁体
Seat
ダイヤフラム
Diaphragm
ダイヤフラム
Diaphragm
ボンネット
Actuator Housing
ボンネット押さえ
Actuator Housing weight
ベースプレート
Base plate
ナット
Nut
スプリング
Spring
※接液部品は No.1 ∼ 4 です。
※Wetted
56
parts are No. 1∼4.
材質
Material
PTFE
PP
PVDF
PFA
SUS304
寸法図 Dimensions
C
LF, MF
D
B
E
Pilot port Rc1/8"
B port
(OUT)
G
F
A port
(IN)
A
2-M5L6
4-φ5.5
52
台 座
Base Plate
LF
67
73
37
44
25
30
25
2-M5L7
R3
7
.5
台 座
Base Plate
MF
57
寸法図 Dimensions
C
HF, SHF
D
Pilot port Rc1/8”
E
B
B port
(OUT)
G
F
A port
(IN)
A
J
L
2-M
H
HF、SHF
58
4-φK
SHF
D
E
F
G
H
J
K
L
M
40
40
64
59
21
7
−
−
−
−
−
55
55
85
76.5
25.5
7
−
−
−
−
−
75
75
121
97.5
34
8
103
50
9
40
M5L8
95
95
131
119
39
8
113
70
9
50
M5L8
AVPV3
AVHPRS AVHPRL
AVNVM
AVMPV
C
AVCFV
HF
B
※接続方法 Connection
2…Flowell 20 series
6…Flowell 60 series
S…Super Type Pillar Fitting
3…Super 300 Type Pillar Fitting
F…Flare Type
T…Tube
※TubeのA寸法は別途ご相談ください。
※Please
consult us for the dimension ”A” for Tube
connection.
HDV12
MF
A
58
75
75
70
70
76
74
100
102
79
78
96
90
91
89
117
115
94
93
111
105
100
97
133
129
108
105
117
115
108
105
133
129
115
113
121
115
128
125
153
149
135
133
141
135
137
137
163
163
154
147
151
155
157
157
183
183
174
167
171
175
179
179
197
194
185
181
189
175
AVQDV
LF
Tube size Standard Connection
mm
2
inch
3×2
6
mm
(3.18×1.6) inch/mm
S
inch/mm
3
inch
2
mm
inch
6
6×4
mm
S
6.35×4.35 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
inch
2
mm
inch
6
6×4
mm
S
6.35×4.35 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
inch
2
mm
inch
6
10 × 8
mm
S
9.53×6.35 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
inch
2
mm
inch
6
12 × 10
mm
S
12.70×9.53 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
inch
2
mm
inch
6
12 × 10
mm
S
12.70×9.53 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
inch
2
mm
inch
6
19 × 16
mm
S
19.05×15.88 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
inch
2
mm
inch
6
19 × 16
mm
S
19.05×15.88 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
inch
2
mm
inch
6
25 × 22
mm
S
25.40×22.20 inch/mm
inch/mm
3
inch/mm
F
inch/mm
T
OTHER
Type
寸法 Dimension
AVPVM
型式 Specification
AVPVEL AVPVSL
単位(Unit):mm
AVSDV
寸法表 Dimensions
59
使 用 例 Example
制御機器
Control device
電空レギュレータ
制御信号
外部コントロール
Control signal
External Control
Electro-pneumatic
regulator
操作圧力(Pa)
Pilot pressure
上位制御機器
Control device
of higher rank
DC4∼20mA
流量信号
Flow signal
流れ方向
使用場所
Flow
Point of use
AVSDV
60
AVHPRL
Flow meter
AVNVM
AVPV3
Technical Data
試験ライン Test line
P2
オリフィス
大気開放
Orifice
Atmosphere
Flow
一次側圧力
Upstream pressure
二次側圧力
Downstream pressure
試験条件
1.
特性グラフの結果は配管を水平に設置した場合です。
2.
試験は水(23℃)
で行ったものです。
3.
特性グラフの結果は、
各特性グラフに記載してある継手サイズによるものです。
4.
特性グラフの結果は実験値であり参考値です。
Test condition
1. The characteristic graph shows the data in the case of horizontal piping.
2. The test temperature is 23℃.
3. The characteristic graph is by connection tubing size mentioned in each graph.
4. The data in the characteristic graph are the experiment value and the reference value.
使用上の注意
1.
流量調整には二次側にオリフィスなどの絞りを設置してください。
2.
バルブに負圧を加えないでください。
(破損する恐れがあります)
3.
操作圧力には清浄な圧縮エアを用いてください。化学薬品、有機溶剤を含有する合成油、塩分、
腐食性ガス等
を含む場合は破損や作動不良の原因となります。
4.
操作圧力の調整にはエア用精密レギュレータや電空レギュレータなどの精度の良い物をご使用ください。
5.
排気機能のないレギュレータは使用しないでください。
(バルブが正常に作動しない恐れがあります)
6.
長期間使用されない場合は操作圧力を加えない状態にしてください。
7.
高粘性流体に使用される場合は流量範囲が水の場合と異なります。
ご使用を希望される場合はご相談ください。
8.
結晶性流体やスラリーへの使用には適しません。
AVSDV
P1
流れ方向
AVMPV
Pilot pressure
AVNVM
操作圧力(Pa)
AVHPRS AVHPRL
Precision regulator for air
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
エア用精密レギュレータ
AVCFV
特性グラフ
AVQDV
1. Please install a constriction such as the orifice at downstream side for proper flow control.
2. Please do not use the AVHPRL in negative pressure. (It would cause the breakage of the valve)
3. Please use CDA (clean, dry compression air) for pilot air. In case the pilot air contains foreign substance, such as
chemicals, synthetic oil contains organic solvent, salt, corrosive gas and so on, it would cause the breakage and
operation defectiveness.
4. We recommend to use the high quality regulator for pilot air control such as the precise regulator and
Electronic-Pneumatic regulator.
5. Please do not use the regulator without the exhaust function. (The valve may not operate precisely)
6. Please leave the pilot air pressure off in case the valve is not used for long time.
7. The range of the flow rate differs with high viscosity fluid from the one for water. Please consult us in case of use of
high viscosity fluid.
8. The valve is not suited to the use to the crystallizing nature fluid and Slurry.
9. Please use AVHPRL for the fluid that has passed filter.
OTHER
Cautions for use
HDV12
9.
フィルタを通過後の流体にご使用ください。
61
Technical Data
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.4mm
[43.5]
一次
Ups
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.4mm
120
Pa:0.3MPa
0.25
Pa:0.3MPa
Pa:0.25MPa
0.2
[29]
0.15
[21.75]
Pa:0.2MPa
0.1
[14.5]
Pa:0.15MPa
0.05
流量 Flow rate (mL/min)
100
[36.25]
Pa:0.25MPa
80
Pa:0.2MPa
60
Pa:0.15MPa
40
Pa:0.1MPa
20
[7.25]
Pa:0.1MPa
0
0
0
0.1
0.2
[14.5]
[29]
0.3
[43.5]
0.4
0.5
[58]
[72.5]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
0.6
[50.75]
0.3
[43.5]
0.25
Pa:0.3MPa
0.2
[29]
Pa:0.25MPa
0.15
[21.75]
Pa:0.2MPa
0.1
[14.5]
Pa:0.15MPa
0.05
Pa:0.1MPa
0
0
0.2
[29]
0.3
[43.5]
0.4
0.5
[58]
[72.5]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
0.3
100
200
300
400
500
0.25
0.2
0
[14
0.0
[7.2
0.3
0
[43
0.2
0.15
[21.75]
0.1
0
[
0.1
[21
[14.5]
0.05
[7.25]
0
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
0.4
[58]
0
[14
0.0
[7.
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
操作
Pilot
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
600
1
Ǿ0.8mm
500
オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference)
400
オリフィス Orifice(mm)流量 Flow rate(mL/min)
Ǿ0.7mm
300
200
Ǿ0.4mm
100
Ǿ0.25mm
0
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
0.4
[58]
φ0.25
10∼ 50
φ0.4
20∼100
φ0.7
65∼330
φ0.8
100∼500
流量 Flow rate (L/min)
流量 Flow rate (mL/min)
0.1
[21.7
[36
[29]
操作圧力 − 流量
Pilot pressure -- Flow rate
62
0
[2
[50
[43.5]
0
0.2
[36.2
流量
Flow
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.4mm
流量 Flow rate(mL/min)
0
0.6
0
[43
[87]
[36.25]
[36.25]
[7.25]
0.1
[14.5]
操作圧力 − 二次側圧力
Pilot pressure -- Downstream pressure
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
0.35
0
[87]
流量 − 二次側圧力
Flow rate -- Downstream pressure
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
一次側圧力 − 流量
Upstream pressure -- Flow rate
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
一次側圧力 − 二次側圧力
Upstream pressure -- Downstream pressure
0.3
AV
試験チューブ径 Connection tubing size of test:6.35×4.35
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
AVHPRLF
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
特性グラフ
1
1
1
Pa:0.2MPa
0.1
Pa:0.15MPa
[14.5]
0.05
0
0
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
0.4
0.5
[58]
[72.5]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
[87]
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
6×4(6.35×4.35)
0.3
10×8(9.53×6.35)
12×10(12.70×9.53)
[43.5]
0.25
[36.25]
Pa:0.3MPa
0.2
[29]
0.15
Pa:0.2MPa
0.1
Pa:0.15MPa
0.05
[7.25]
0
0.2
[29]
0.4
[58]
0.5
[72.5]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
0.3
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3.5mm
[43.5]
0.25
[36.25]
0.2
[29]
0.15
0.1
2.5
5
0.05
[7.25]
Pa:0.1MPa
Pa:0.08MPa
7.5
10
12.5
15
0
0
流量 Flow rate(L/min)
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
操作圧力 − 流量
Pilot pressure -- Flow rate
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
流量 Flow rate (L/min)
16
φ4.5mm
14
12
オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference)
10
φ3.5mm
オリフィス Orifice(mm) 流量 Flow rate(L/min)
8
6
φ2.5mm
4
2
0
φ1.2mm
0
0.6
[87]
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
0.4
[58]
AVPVM
AVPV3
0.3
[43.5]
[14.5]
[14.5]
0
0.1
[14.5]
[21.75]
[21.75]
0.4
0
操作圧力 − 二次側圧力
Pilot pressure -- Downstream pressure
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
0.35
[50.75]
[58]
Pa:0.08 MPa
2
0
0.6
流量 − 二次側圧力
Flow rate -- Downstream pressure
MPa
4mm
Pa:0.1MPa
4
Pa:0.1MPa
Pa:0.08 MPa
[7.25]
[87]
6
AVPVEL AVPVSL
0.15
[21.75]
Pa:0.15MPa
一
U
AVSDV
0.6
[29]
Pa:0.2MPa
8
A
流
F
AVNVM
a
0.2
0.4
[58]
AVHPRS AVHPRL
Pa
Pa:0.3MPa
10
[36.25]
AVCFV
a
Pa:0.3MPa
0.25
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3.5mm
12
φ1.2
0.4 ∼ 1.4
φ2.5
1.8 ∼ 5.5
φ3.5
3.0 ∼10.0
φ4.5
4.5 ∼15.0
HDV12
Pa
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3.5mm
0.3
[43.5]
流量 Flow rate (L/min)
a
一次側圧力 − 流量
Upstream pressure -- Flow rate
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
mm
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
一次側圧力 − 二次側圧力
Upstream pressure -- Downstream pressure
AVMPV
試験チューブ径 Connection tubing size of test:12.70×9.53
AVQDV
AVHPRMF
Technical Data
OTHER
特性グラフ
63
操
P
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ7mm
一次
Upst
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ7mm
50
[29]
Pa:0.2MPa
0.1
[14.5]
Pa:0.15MPa
0.05
流量 Flow rate (L/min)
Pa:0.3MPa
0.15
[21.75]
Pa:0.1MPa
[7.25]
40
Pa:0.3MPa
30
Pa:0.15MPa
Pa:0.1MPa
20
0
0.1
0.2
[14.5]
[29]
0.3
[43.5]
0.4
0.5
Pa:0.08MPa
10
[58]
[72.5]
0.3
12×10(12.70×9.53)
19×16(19.05×15.88)
0.25
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
0.4
0.5
[58]
[72.5]
[36.25]
Pa:0.3MPa
[29]
0.15
[21.75]
Pa:0.15MPa
0.1
Pa:0.2MPa
[14.5]
0.05
Pa:0.1MPa
[7.25]
Pa:0.08MPa
0 0
10
20
30
流量 Flow rate(L/min)
40
50
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
0.2
[29]
0.
[36
0.15
0.1
0.05
[7.25]
0
0
[
0.
[21
[14.5]
0
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
0.4
0
[14
0.
[7.
[58]
操作
Pilot
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
12
non-orifice
50
オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference)
φ8mm
40
30
φ7mm
φ6mm
20
φ5mm
オリフィス Orifice(mm) 流量 Flow rate(L/min)
10
0
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
0.4
[58]
φ5
10∼22
φ6
12.5∼30
φ7
15.5∼39
φ8
non-orifice
17.5∼47
21∼50
流量 Flow rate (L/min)
流量 Flow rate (L/min)
0
[43
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
0
64
流量
Flow
一次側圧力 Upstream pressure:0.4MPa、
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ7mm
操作圧力 − 流量
Pilot pressure -- Flow rate
60
0.0
0.6
[21.75]
0.2
0
[14
[87]
操作圧力 − 二次側圧力
Pilot pressure -- Downstream pressure
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
[43.5]
0
[87]
流量 − 二次側圧力
Flow rate -- Downstream pressure
0.1
[7.2
0
0.6
0
[2
[21.
Pa:0.2MPa
Pa:0.08MPa
0
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
一次側圧力 − 流量
Upstream pressure -- Flow rate
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
一次側圧力 − 二次側圧力
Upstream pressure -- Downstream pressure
0.2
AV
試験チューブ径 Connection tubing size of test:19.05×15.88
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
AVHPRHF
Technical Data
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
特性グラフ
10
8
6
4
2
Pa:0.15MPa
Pa:0.1MPa
0.1
[14.5]
0.2
[29]
0.3
0.4
[43.5]
0.5
[58]
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
流量 − 二次側圧力
Flow rate -- Downstream pressure
19×16(19.05×15.88)
25×22(25.4×22.2)
0.25
[36.25]
[29]
0.15
[21.75]
0.1
Pa:0.15MPa
AVPV3
0.3
0.4
0.5
0.6
[43.5]
[58]
[72.5]
[87]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
一次側圧力 Upstream pressure:0.4MPa、
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ10mm
0.2
[29]
0.15
0.1
0.05
[7.25]
0.05
[7.25]
0
0.2
[29]
[14.5]
Pa:0.2MPa
[14.5]
0.1
[14.5]
[21.75]
Pa:0.3MPa
0.2
0
操作圧力 − 二次側圧力
Pilot pressure -- Downstream pressure
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
0.3
Pa:0.08MPa
20
[87]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
[43.5]
Pa:0.1MPa
30
0
0.6
[72.5]
40
10
Pa:0.06MPa
0
0
Pa:0.15MPa
50
Pa:0.1MPa
Pa:0.08MPa
0
[58]
20
40
60
80
100
0
0
流量 Flow rate(L/min)
0.1
0.2
0.3
0.4
[14.5]
[29]
[43.5]
[58]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
流量 Flow rate (L/min)
一次側圧力 Upstream pressure:0.5MPa
φ12mm
100
80
オリフィス径(参考値)Orifice diameter(reference)
φ10mm
オリフィス Orifice(mm)流量 Flow rate(mL/min)
60
φ8mm
40
φ6mm
20
0
0
0.2
[14.5]
0.2
[29]
0.3
[43.5]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
0.4
[58]
AVPVM
AVCFV
操作圧力 − 流量
Pilot pressure -- Flow rate
120
立
AVNVM
0.05
Pa:0.2MPa
60
AVPVEL AVPVSL
[14.5]
70
AVSDV
Pa:0.2MPa
0.1
流量 Flow rate (L/min)
0.15
[21.75]
[7.25]
Pa:0.3MPa
80
AVMPV
Pa:0.3MPa
φ6
8∼31
φ8
15∼51
φ10
20∼76
φ12
25∼100
HDV12
[29]
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ10mm
90
AVHPRS AVHPRL
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:無し non-orifice
0.2
立
Re
一次側圧力 − 流量
Upstream pressure -- Flow rate
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
二次側圧力 Downstream pressure(MPa)[psi]
一次側圧力 − 二次側圧力
Upstream pressure -- Downstream pressure
[87]
0.4
試験チューブ径 Connection tubing size of test:25.40×22.20
AVQDV
AVHPRSHF
0.6
、
mm
Technical Data
OTHER
特性グラフ
65
脈
S
特性グラフ
Technical Data
立上がり・立下がり
Response Time
圧力 Pressure(MPa)[psi]
二次側圧力 Downstream pressure
0.12
[17.4]
6
5
信号 Signal
0.1
4
[14.5]
0.08
[11.6]
3
0.06
[8.7]
2
0.04
[5.8]
1
0.02
[2.9]
0
On/Off信号 On/Off Signal(V)
AVHPRMF、二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ1.2mm、一次側 Upstream pressure:0.3MPa
0.14
[20.3]
0
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
時間 time(sec)
6
7]
立下がり Down
圧力 Pressure(MPa)[psi]
0.12
5
二次側圧力
Downstream pressure
[17.4]
0.1
信号 Signal
[14.5]
4
0.08
[11.6]
3
0.06
[8.7]
2
0.04
[5.8]
1
0.02
[2.9]
0
1.5
1.6
1.7
1.8
1.9
2
2.1
2.2
2.3
2.4
0.14
6
[20.3]
圧力 Pressure(MPa)[psi]
6
On/Off信号 On/Off Signal(V)
0.14
[20.3]
0.12
二次側圧力
Downstream pressure
[17.4]
4
[14.5]
0.08
[11.6]
3
0.06
[8.7]
2
0.04
[5.8]
1
0.02
[2.9]
0
6.5 6.6 6.7 6.8 6.9
0
2.5
時間 time(sec)
4
5
信号 Signal
0.1
7
On/Off信号 On/Off Signal(V)
立上がり Up
0
7.1 7.2 7.3 7.4 7.5
時間 time(sec)
脈動特性
Stability for pulsation
AVHPRMF、二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ3mm
0.45
圧力 Pressure(MPa)[psi]
[65.25]
1.4
0.4
[58]
1.2
0.35
[50.75]
0.3
1
[43.5]
0.25
0.8
[36.25]
一次側圧力 Upstream pressure
0.2
[2.9]
二次側圧力 Downstream pressure
0.15
流量 Flow rate
[21.75]
0.6
0.4
0.1
[14.5]
流量 Flow rate(L/min)
8]
0.2
0.05
[7.25]
0
0
2
4
6
8
10
12
14
16
18
0
20
時間 time(sec)
これらのデータは実験値であり、参考値です。
The data shown here is the experimental values and the reference values.
66
67
OTHER
AVQDV
HDV12
AVCFV
AVHPRS AVHPRL
AVNVM
AVMPV
AVSDV
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
AVPV3
$9+356
Specialty Valves and Control Products
$9+356
68
定圧弁スラリー用
シンプル
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
最高設定圧力
周 囲 温 度
取 付 姿 勢
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Max. setting pressure
Ambient Temperature
Installation direction
℃
MPa
MPa
MPa
℃
−
接
Connection
続
接 続 口 径
参考流量範囲
Connection tubing size
Reference Flow Range
精
度
Accuracy
重
量
操 作 部
Pilot
Weight
操 作 圧 力
Pilot pressure
操作ポート接続
Pilot port
締 付 ト ル ク
Tighten the torque
−
mm
L/min
−
タイプ Type
50
60
10 ∼ 50
0.5 72.5psi
操作圧力 +0.03 ∼ 0.3 Pilot pressure +4.35 ∼ 43.5psi
0.1 1.45psi
10 ∼ 50
自在 Any direction
Flowell 20 series
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
KURABO FINALLOCK
Flare Type
Tube
6×4(6.35×4.35)
10×8(9.53×6.35)、12×10(12.70×9.53)
0.05 ∼ 0.50
0.05 ∼ 3.0
一次側圧力が最低使用圧力∼ 0.3 MPa の範囲で変化した際の流量変化が± 5%F.S. 以内(注:二次側
圧力の変化がない状態)
±5%F.S. Accuracy of flow rate when the range of inlet pressure is from minimum working pressure to 0.3MPa, and
there is no back pressure change.
kg
0.3
0.5
MPa
0.03 ∼ 0.1(自力式・フィードバック制御)
−
Rc1/8"
N・m
0.2 ∼ 0.4
使用上の注意 Cautions for Use
1.2方弁などによるラインの閉止は AVHPRS の一次側で行ってください。(破損する恐れがあります)
2.AVHPRS の二次側は大気開放でご使用ください。
3.流量調整には二次側にオリフィスなどの絞りを設置してください。
4.バルブに負圧を加えないでください。(破損する恐れがあります)
5.操作圧力には清浄な圧縮エアを用いてください。化学薬品、有機溶剤を含有する合成油、塩分、腐食性ガス等を含む場合は破損や作動不良の
原因となります。
AVSDV
単位
Unit
目
AVMPV
Items
項
AVNVM
仕 様 表 Specifications
AVHPRS AVHPRL
The valve has proprietary simple structure.
There is almost no influence to the particle size even with the highly coherent fluid such as slurry solution.
It also can be used for DI water or chemicals.
AVCFV
Simple Structure
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
独自のシンプル構造になっています。例えばスラリーのような凝集性の高い流体であってもパーティクルサイズに与える影響は
ほとんどありません。もちろん純水・一般薬液などでもご使用いただけます。
AVPV3
特 長 Features
7.排気機能のないレギュレータは使用しないでください。(バルブが正常に作動しない恐れがあります)
8.長期間使用されない場合は操作圧力を加えない状態にしてください。
9.高粘性流体に使用される場合は流量範囲が水の場合と異なります。ご使用を希望される場合はご相談ください。
10.結晶性流体への使用には適しません。
HDV12
6.操作圧力の調整にはエア用精密レギュレータや電空レギュレータなどの精度の良い物をご使用ください。
OTHER
1. Please install the shut-off valve at upstream side of AVHPRS.(Otherwise it would cause breakage of the valve)
2. Please use the AVHPRS with the downstream side opened to atmosphere.
3. Please install a constriction such as the orifice at downstream side for proper flow control.
4. Please do not use the AVHPR in negative pressure. (It would cause the breakage of the valve)
5. Please use CDA for pilot air. In case the pilot air contains foreign substance, such as chemicals, synthetic oil contains organic solvent, salt, corrosive gas and
so on, it would cause the breakage and operation defectiveness.
6. We recommend to use the high quality regulator for pilot air control such as the precise regulator and Electronic-Pneumatic regulator.
7. Please do not use the regulator without the exhaust function. (The valve may not operate precisely)
8. Please leave the pilot air pressure off in case the valve is not used for long time.
9. The range of the flow rate differs with high viscosity fluid from the one for water. Please consult us in case of use of high viscosity fluid.
10. The valve is not suited to the use to the crystallizing nature fluid.
11. Please use AVHPR for the fluid that has passed filter.
AVQDV
11.フィルタを通過後の流体にご使用ください。
69
型式選定表 Ordering Code
AVHPR
タイプ
T
規 格
Type
50
50
M
60
60
I
Oリング O-ring ※1
Tubing standard
ミ リ Millimeter
V
FKM
インチ Inch
E
EPDM
F
※2
本体材質
※1 Oリングは接液しません。
※2 バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。
※1
※2
Body material
PTFE
T
チューブ径
Connection tubing size
接 続 方 法
O-rings are not wetted.
”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon
Elastomers.
Connection
06
06×04
06.35×04.35
2
Flowell 20 series
10
10×08
09.53×06.35
6
Flowell 60 series
12
12×10
12.70×09.53
S
Super Type Pillar Fitting
6
Super 300 Type Pillar Fitting
K
KURABO FINALLOCK
F
Flare Type
T※3
固定方法 Mounting
0
下ネジ穴
Thread at bottom
1
台 座
Base plate
Tube
※3 Tubeの外径、内径サイズはP97をご参照下さい。
※3
Please refer to page 97 for diameter of “Tube“.
構 造 図 Parts & Materials
1
No.
5
1
3
2
3
6
2
4
70
4
5
6
部品名称
Parts
ボンネット
Bonnet
本体
Body
リング
Ring
ベースプレート
Base plate
ダイヤフラム
Diaphragm
ナット
Nut
※接液部品は No.1、2、5 です。
※Wetted
parts are No.1, 2 and 5.
材質
Material
PTFE
PP
PTFE
PFA
AVPV3
寸法図・寸法表 Dimensions
AVPVM
B port
(OUT)
AVPVEL AVPVSL
B
A
Pilot port Rc1/8"
H
AVMPV
10
K
J
AVSDV
4-φ7
G
2-M5 L10
AVNVM
台 座
Base Plate
下ネジ穴
Thread at bottom
単位(Unit):mm
6.35×4.35
10×8
9.53×6.35
60
12×10
12.70×9.53
inch
mm
inch
mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch
mm
inch
mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch
mm
inch
mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
inch/mm
Connection
2
6
S
3
K
F
T
2
6
S
3
K
F
T
2
6
S
3
K
F
T
A
86
84
112
110
89
88
86
106
110
105
102
138
134
113
110
114
122
102
113
110
138
134
120
118
116
126
120
B
C1
50
55
60
70
C2
−
−
56
56
55
−
56
58
−
−
−
−
−
71
−
72.5
71
−
73
73
72
72
74
73
74
72
−
D
E
F
G
H
J
K
46
22
22
20
37
74
62
57.5
25.5
25.5
25
42
84
72
AVHPRS AVHPRL
6×4
Standard
AVCFV
50
Tube size
HDV12
Type
寸法 Dimension
AVQDV
型式 Specification
※接続方法の記号はP68の型式選定表をご参照ください。
* Please refer to page 68 for the symbols of the connection methods.
OTHER
E
F
C1
D
C2
A port
(IN)
71
Technical Data
AVHPR50
AVHPR60
二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi]
二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi]
一次側圧力 − 二次側圧力 Upstream pressure -- Downstream pressure
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.5mm
0.14
[20.3]
Pa:0.1MPa
0.12
[17.4]
操作
AVH
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ2.0mm
0.12
[17.4]
Pa:0.1MPa
0.1
[14.5]
0.1
Pa:0.07MPa
[14.5]
0.08
Pa:0.05MPa
[11.6]
0.06
Pa:0.03MPa
[8.7]
0.04
[5.8]
0.02
[2.9]
0
0
0.05
0.1
0.15
[7.25] [14.5] [21.75]
0.2
[29]
0.25
0.3
0.35
[36.25] [43.5] [50.75]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
0.08
Pa:0.07MPa
0.06
Pa:0.05MPa
0.04
Pa:0.03MPa
[11.6]
[8.7]
[5.8]
0.02
[2.9]
0
0
0.05
0.1
0.15
0.2
[7.25] [14.5] [21.75]
[29]
0.25
0.3
0.35
[36.25] [43.5] [50.75]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
0
[
[
0
[
0
0
0
操作
AVHPR50
AVH
AVHPR60
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.5mm
二次側オリフィス径 Downstream Orifice size:φ2.0mm
2.5
Pa:0.08MPa
50
Pa:0.05MPa
40
Pa:0.03MPa
30
20
流量 Flow rate(L/min)
10
0
Pa:0.1MPa
2
Pa:0.08MPa
1.5
Pa:0.05MPa
Pa:0.03MPa
1
0.5
AVH
0
0.05
[7.25]
0.1
[14.5]
0.15
[21.75]
0.2
[29]
0.25
0.3
0
0.35
[36.25] [43.5] [50.75]
0
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
0.05
0.1
0.15
0.2
[7.25] [14.5] [21.75] [29]
0.25
0.3
0.35
[36.25] [43.5] [50.75]
一次側圧力 Upstream pressure (MPa)[psi]
流量 − 二次側圧力 Flow rate -- Downstream pressure
AVHPR60
一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa
[20.3]
0.12
[17.4]
[14.5]
[11.6]
Pa:0.05MPa
0.06
[8.7]
Pa:0.03MPa
0.04
[5.8]
0.02
[2.9]
0
200
400
600
流量 Flow rate(mL/min)
※試験ラインおよび試験条件はP61をご参照ください。
* Please refer to page 61 for the test conditions.
Pa:0.1MPa
0.08
1
[11.6]
Pa:0.07MPa
0.08
0.1
[14.5]
Pa:0.1MPa
0.1
0
一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa
0.12
[17.4]
800
流量 Flow rate(mL/min)
0.14
二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi]
二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi]
AVHPR50
流量 Flow rate(L/min)
流量 Flow rate(mL/min)
Pa:0.1MPa
60
流量 Flow rate(mL/min)
一次側圧力 − 流量 Upstream pressure -- Flow rate
70
72
二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi]
特性グラフ
Pa:0.07MPa
0.06
[8.7]
Pa:0.05MPa
0.04
[5.8]
Pa:0.03MPa
0.02
[2.9]
0
0
2
4
流量 Flow rate(L/min)
6
8
1
1
Technical Data
AVPV3
特性グラフ
操作圧力 − 二次側圧力 Pilot pressure -- Downstream pressure
0.08
[11.6]
0.06
[8.7]
0.04
[5.8]
0.02
[2.9]
0
0.02
[2.9]
0.04
[5.8]
0.06
[8.7]
0.08
[11.6]
0.1
[14.5]
0.12
[17.4]
0.08
[11.6]
0.06
[8.7]
0.04
[5.8]
0.02
[2.9]
0
0
0.02
[2.9]
0.06
[8.7]
0.08
[11.6]
0.1
[14.5]
0.12
[17.4]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
操作圧力 − 流量 Pilot pressure -- Flow rate
AVHPR50
35∼ 60
φ0.6
70∼115
φ0.7mm
200
φ0.7
120∼200
φ0.5mm
φ0.8
100
170∼290
0
0
0.02
[2.9]
0.04
[5.8]
0.06
[8.7]
0.08
[11.6]
φ0.9
250∼420
φ1.0
360∼580
0.1
[14.5]
0.12
[17.4]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
AVHPR60
流量 Flow rate(L/min)
75]
a
一次側圧力 Upstream pressure:0.2MPa
4
35
φ2.5mm
3.5
オリフィス Orifice
(mm)
3
2.5
2
φ2.0mm
1.5
φ1.5mm
1
0.5
0
0
0.02
0.04
0.06
0.08
0.1
0.12
[2.9]
[5.8]
[8.7]
[11.6]
[14.5]
[17.4]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
流量 Flow rate(mL/min)
1400
8
流量 Flow rate
(L/min)
φ1.0
0.3 ∼0.55
φ1.2
0.5 ∼0.8
φ1.4
0.6 ∼1.0
φ1.6
0.8 ∼1.3
φ1.8
0.95∼1.6
φ2.0
1.1 ∼1.9
φ2.5
1.8 ∼3.2
オリフィスサイズ
(参考値)Orifice diameter(reference)
1200
φ1.5mm
1000
オリフィス Orifice
(mm) 流量 Flow rate
(mL/min)
φ0.5
800
400
200
0
0.02
[2.9]
0.04
[5.8]
0.06
[8.7]
0.08
[11.6]
40∼ 71
φ0.6
72∼130
φ0.7
120∼210
φ0.7mm
φ0.8
175∼310
φ0.5mm
φ0.9
240∼430
φ1.0mm
600
0
オリフィスサイズ
(参考値)Orifice diameter
(reference)
0.1
[14.5]
0.12
AVNVM
φ0.5
400
300
オリフィス Orifice
(mm) 流量 Flow rate
(mL/min)
AVHPRS AVHPRL
500
オリフィスサイズ
(参考値)Orifice diameter(reference)
AVCFV
φ1.0mm
600
AVMPV
一次側圧力 Upstream pressure:0.2MPa
700
流量 Flow rate(mL/min)
m
AVPVM
AVSDV
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
0.04
[5.8]
HDV12
0
0.1
[14.5]
AVPVEL AVPVSL
0.1
[14.5]
0.12
[17.4]
AVQDV
0.75]
0.12
[17.4]
一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa、
オリフィス径 Downstream Orifice size:φ1.5mm
[17.4]
操作圧力 Pilot pressure (MPa)[psi]
これらのデータは実験値であり、参考値です。
The data shown here is the experimental values and the reference values.
OTHER
.35
AVHPR60
一次側圧力 Upstream pressure:0.3MPa、
オリフィス径 Downstream Orifice size:φ0.5mm
二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi]
m
二次側圧力 Downstream pressure (MPa)[psi]
AVHPR50
73
$9&)9
Specialty Valves and Control Products
$9&)9
74
定流量弁
仕 様 表 Specifications
接
Connection
Frequency of opening and closing
Installation direction
接 続 口 径
参考流量範囲
精
度
レンジアビリティ
重
量
MPa
Max. 0.3(自力式)/0.15 ∼ 0.3(フィードバック制御)
−
Rc1/8"
N・m
0.4 ∼ 0.6
−
Connection tubing size
Reference Flow Range
Accuracy
Range ability
Weight
操 作 圧 力
Pilot pressure
操作ポート接続
Pilot port
締 付 ト ル ク
Tighten the torque
操 作 部
Pilot
mm
mL/min
−
−
kg
℃
MPa
MPa
MPa
cm3/min
℃
times/min
−
AVSDV
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Minimum differential pressure
Leakage Rate
Ambient Temperature
AVMPV
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
最低動作差圧
弁 座 漏 れ 量
周 囲 温 度
開 閉 頻 度
取 付 姿 勢
続
タイプ Type
LF
10 ∼ 90
0.6 87psi
0.1 ∼ 0.5 14.5 ∼ 72.5psi
0.1 14.5psi
0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure)
10 ∼ 60
< 20
自在 Any direction
Flowell 20 series
Flowell 60 series
Super Type Pillar Fitting
Super 300 Type Pillar Fitting
Flare Type
Tube
6×4(6.35×4.35)
5 ∼ 2000
± 5%F.S.
5 倍 5 times
0.5
単位
Unit
Items
AVNVM
目
AVHPRS AVHPRL
項
型式選定表 Ordering Code
AVCFV
タイプ
LF
LF
T
Oリング O-ring ※1
Low Flow
最大流量 Maximum
flow rate
本体材質
003
30 mL/min
005
50 mL/min
007
70 mL/min
012
125 mL/min
チューブ径
018
180 mL/min
06
025
250 mL/min
027
270 mL/min
050
500 mL/min
100
200
06
Type
1000 mL/min
2000 mL/min
FKM
E
EPDM
※2
※1 : Oリングは接液しません。
※2 : バイフロン®Fは耐酸用三元系
弗素ラバーです。
PTFE
T
V
F
Body material
※1 : O-rings are not wetted.
※2 :”Vifron” is the Terpolymerization
6×4
規 格
M
I
Fluorocarbon Elastomers.
Connection tubing size
6.35×4.35
Tubing standard
ミ リ Millimeter
インチ Inch
接 続 方 法
Connection
2
Flowell 20 series
6
Flowell 60 series
S
Super Type Pillar Fitting
3
Super 300 Type Pillar Fitting
F
※3
T
Flare Type
Tube
※3 : Tubeの外径、内径サイズはP97をご参照下さい。
※3 : Please refer to page 97 for diameter of ”Tube“.
AVPV3
AVPVEL AVPVSL
By stopping the supply of the pilot air, the valve can be fully closed.
Therefore, the shut-off valves are not required.
AVCFV
Tight-shut-off function
AVCFV is not for pressure control but for flow rate control.
Use of AVCFV makes the plumbing design easier than use of pressure
regulating valve since it is unnecessary to worry about the pressure fluctuation
by the influence of the pipe length and back pressure.
HDV12
Control flow rate
バルブに供給する操作エアをカットすることで、バルブを全閉
にすることができます。前後の 2 方弁削減でコストダウンがは
かれます。
AVQDV
シャットオフ可能
AVCFV は圧力制御ではなく流量を制御します。従来の定圧弁を
使った流量制御に比べ、配管長や背圧の影響による圧力変動を
気にする必要がなくなるため、配管設計が容易になります。
OTHER
流量をコントロール
AVPVM
特 長 Features
75
構 造 図 Parts & Materials
1
No.
2
1
6
2
3
3
4
5
8
6
7
4
7
8
9
5
9
部品名称
Parts
カバープレート
Cover plate
上部本体
Upper body
ダイヤフラム
Diaphragm
下部本体
Lower body
ベースプレート
Base plate
ダイヤフラム
Diaphragm
ダイヤフラム
Diaphragm
ナット
Nut
スプリング
Spring
材質
Material
PVDF
PTFE
PVDF
PTFE
PFA
SUS304
※接液部品は No.2、3、4、6、7 です。
※Wetted
parts are No.2, 3, 4, 6 and 7.
寸法図・寸法表 Dimensions
番号
1
2
3
4
5
6
7
8
9
27.5
42.5
71.5
Pilot port Rc1/8"
名称
カバープレート
上部本体
ダイヤフラム
下部本体
ベースプレート
ダイヤフラム
ダイヤフラム
キャップナット
スプリング
材質
PVDF
PTFE
PTFE
PTFE
PVDF
PTFE
PTFE
PFA
SUS304
A
2-M5 L10
単位(Unit):mm
60
30
Type
LF
60
※接続方法の記号はP75の型式選定表をご参照ください。
※Please
76
型 式 Specification
Dimension
Tube size
Standard Connection
A
inch
96
2
mm
94
inch
122
6
6×4
mm
120
6.35×4.35
inch/mm
S
99
inch/mm
3
98
inch/mm
F
116
inch/mm
T
120
refer to page 75 for the symbols of the connection methods.
AVPV3
Technical Data
差圧 − 流量 Differential pressure − Flow rate
Pa:0.2MPa
Pa:0.15MPa
Pa:0.2MPa
[43.5]
[58]
0.1
[14.5]
0.1
0.2
[29]
0.3
0.4
[43.5]
[58]
[72.5]
差圧 Differential pressure
(MPa)
[psi]
0.2
0.3
0.4
[87]
0.5
[58]
LF200
差圧 Differential pressure
(MPa)
[psi]
2.5
2
[87]
Pa:0.15MPa
0.5
0.6
0.6
[72.5]
[87]
LF200
2.5
2
1.5
LF200
LF100
2
1.5
1
AVNVM
流量 Flow
流量 Flow
rate
(流量 Flow
L/min)
rate
(L/min)
rate
(L/min)
[72.5]
差圧 Differential pressure
(MPa)
[psi]
LF100
1.5
1
0.5
LF100
LF010
1
0
0.5
0.1
0.2
[14.5]
0.3
[29]
0.4
[43.5]
[58]
LF010
操作圧力 Pilot pressure
(MPa)
[psi]
0.5
0
0.1
0.2
[14.5]
0.3
[29]
0
100 0.1
0.4
[43.5]
LF010
[58]
操作圧力 Pilot pressure
(MPa)
[psi]
0.2
0.3
[14.5]
流量 Flow
流量 Flow
rate(流量 Flow
mL/min)
rate(mL/min)
rate(mL/min)
Pa:0.15MPa
0.5
0.6
0.4
AVSDV
[29]
0.3
AVMPV
[14.5]
0.2
[29]
0.35
0.4[50.75]
[58]
[43.5]
0.3
操作圧力 Pilot pressure
(MPa)
[psi]
80
100
[43.5]
0.35
脈動特性 Stability for pulsation
[50.75]
0.25
[36.25]
0.3
60
80
100
[43.5]
0.2
0.35
[29]
[50.75]
0.25
40
80
60
20
40
60
0
10
20
0
10
20
0
20
一次側圧力 Upstream pressure
[36.25]
0.15
0.3
[21.75]
[43.5]
流量 Flow rate
0.1
[29]
0.25
[14.5]
[36.25]
一次側圧力 Upstream pressure
[21.75]
0.05
0.2
[7.25]
[29]
0.2
0.15
0.1
流量 Flow rate
0
[14.5]
0.15
[21.75]
一次側圧力
30
40 Upstream
50pressure 600.05
[7.25]
0.1
時間 time
(sec)
流量 Flow rate
[14.5]
0
0.05
30
40
50
60
[7.25]
時間 time
(sec)
0
0
10
20
30
0
40
50
60
時間 time
(sec)
流体:水(常温) Fluid : Water (ambient)
Pa は操作圧です。 Pa is pilot pressure.
これらのデータは実験値であり、参考値です。
The data shown here is the experimental values and the reference
values.
AVHPRS AVHPRL
0.1
操作圧力 − 流量 Pilot pressure
− Flow
rate
[14.5]
[29]
[43.5]
0
40
20
AVPVEL AVPVSL
Pa:0.3MPa
AVCFV
0
Pa:0.3MPa
Pa:0.2MPa
HDV12
0
20 0
2.5
0
AVPVM
Pa:0.3MPa
100
120
140
80
100
120
60
80
100
40
60
80
20
40
60
0
20 0
40
AVQDV
120
140
一次側圧力 Upstream
一次側圧力 Upstream
一次側圧力 Upstream
pressure
(
pressure
MPa)
[
(psi]
pressure
MPa)
[psi]
(MPa)
[psi]
流量 Flow
流量 Flow
rate
(流量 Flow
mL/min)
rate
(mL/min)
rate
(mL/min)
140
OTHER
特性グラフ
77
+'9
Specialty Valves and Control Products
+'9
78
PVC製2方弁
作
動
流 体 温 度
使 用 圧 力 範 囲※ 1
弁 座 漏 れ 量
背
圧※ 1
周 囲 温 度
開 閉 頻 度
取 付 姿 勢
Actuation
Medium Temperature
Working Pressure range
Leakage Rate
Back Pressure
Ambient Temperature
接
Connection
続
オ リ フ ィ ス
C v 値
操 作 部
Pilot
Frequency of opening and closing
Installation direction
単位
Unit
15mm 1/2inch
−
℃
MPa
cm3/min
MPa
℃
times/min
−
−
Orifice diameter
mm
Cv value
−
逆作動
Air to open
操作圧力
MPa
Pilot pressure
復作動
Double acting
逆作動
エア消費量
Air to open
Pilot air
L/times(ANR)※2
復作動
consumption
Double acting
操作ポート接続
−
Pilot port
φ 16
4.8
呼び径 Nominal size
20mm 3/4inch
25mm 1inch
40mm 1•1/2inch
50mm 2inch
逆作動・復作動 Air to open・Double acting
0 ∼ 60
0 ∼ 50
0 ∼ 0.5 0 ∼ 72.5psi
0 ∼ 0.4 0 ∼ 58psi
0 ( 水圧 ) 0 (at hydraulic pressure)
0 ∼ 0.2 0 ∼ 29psi
0 ∼ 60
0 ∼ 50
< 20
< 15
自在 Any direction
ソケット形 Socket
ねじ込み形 Threaded
フランジ形 Flanged
φ 22
φ 22
φ 40
φ 50
8
9.5
26
44
0.4 ∼ 0.5 58 ∼ 72.5psi
0.3 ∼ 0.4 43.5 ∼ 58psi
0.02
0.05
0.20
0.39
0.13
0.30
1.21
2.13
Rc1/8"
※1:詳細は P.84 に記載の特性グラフ「流体温度−
使用圧力」
「使用圧力−背圧」をご参照ください。
※2:エア消費量は操作圧力 0.4MPa の時の値です。
※1. For
the details, please refer to the characteristic
graph of “Fluid temperature - Working pressure” and
“Working pressure - Back pressure” in page 84.
※2. The pilot air consumption is the value at 0.4 MPa.
AVPV3
AVPVM
AVPVEL AVPVSL
Items
AVSDV
目
AVMPV
項
AVNVM
仕 様 表 Specifications
AVHPRS AVHPRL
HDV12 has excellent durability and reliability since it is designed based on our know-how cultivated for years as a pioneer of plastic valve and our experience
in developing valves for semiconductor industry.
AVCFV
Excellent durability
HDV12
プラスチックバルブのパイオニアとして長年培ったノウハウと、半導体用バルブの経験を元に設計した HDV12 の開閉寿命は、
アサヒ AV ブランドを受け継いだ高い信頼性を持っています。
AVQDV
優れた耐久性
OTHER
特 長 Features
79
作動
接続
・規格 取付方法
型式選定表 Ordering
Code
オプション 操作ポート方向
Oリング材質
サイズ
HDV12
作 動
Actuation
G
逆作動
(NC) Air to open
F
復作動
(DA) Double acting
操作ポート
Pilot port connection
③
0
接続・規格
Connection
1
※1
TJ
ソケット形・JIS規格 Socket • JIS
2
NJ
ねじ込み形・JIS規格 Threaded • JIS
3
F1
フランジ形・JIS10K規格 Flanged • JIS10K
4
固定方法
Mounting
0
下ネジ穴 Thread at bottom
1
台座
オプション
②
①
Pilot port direction : 0
操作ポート方向:0・スピコン付 Speed controller
5
port direction : 1
操作ポート方向:1・スピコン付 Pilot
Speed controller
6
操作ポート方向:2・スピコン付 Speed controller
7
操作ポート方向:3・スピコン付 Speed controller
Base plate
Pilot port direction : 2
Pilot port direction : 3
Oリング
Option
0
標準(ON・OFFのみ)Standard (ON•OFF only)
1
流量調整付 Travel stop
2
バイパス付 Bypass
3
流量調整・バイパス付 Travel stop • Bypass
4
インジケータ付 Indicator
5
バイパス・インジケータ付 Bypass • Indicator
※
6 2
流量調整・インジケータ付 Travel stop • Indicator
※
7 2
流量調整・バイパス・インジケータ付 Travel stop • Bypass • Indicator
O-ring
V
FKM
E
EPDM
※3
F
※3 : バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。
※3 :”Vifron” is
the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers.
呼び径
※1:その他の規格をご利用になりたい場合は別途ご相談下さい
※2:呼び径 40mm、50mmは選定できません
※1.
※2.
流体方向
Flow direction
Please consult us for the other connecting standard for detail.
Size 40mm and 50mm are not available.
Nominal size
15
15mm
20
20mm
25
25mm
40
40mm
50
50mm
オプション Option
呼び径 Nominal size 15 ∼ 25mm
組合せ No. Option No.
流量調整
Travel stop
バイパス
Bypass
インジケータ
Indicator
0
−
−
−
1
○
−
−
2
−
○
−
3
○
○
−
4
−
−
○
5
−
○
○
1
○
−
−
2
−
○
−
3
○
○
−
4
−
−
○
5
−
○
○
呼び径 Nominal size 40、50mm
組合せ No. Option No.
流量調整
Travel stop
バイパス
Bypass
インジケータ
Indicator
80
0
−
−
−
6
○
−
○
7
○
○
○
ソケット形
Socket
ねじ込み形
Threaded
フランジ形
Flanged
0.4
0.7
0.8
3.1
5.6
0.5
0.7
0.8
3.1
5.6
0.7
1.0
1.3
3.8
6.4
0.4
0.7
0.8
2.7
4.9
0.4
0.7
0.8
2.8
4.9
0.6
1.0
1.2
3.4
5.7
構 造 図 Parts & Materials
17
18
2
13
4
3
5
6
7
A port
(IN)
B port
(OUT)
4 1 9
2 3
8
9
O-ring A
10
O-ring B
11
O-ring C
12
O-ring D
13
O-ring E
17
18
スプリング A
Spring A
スプリング B
Spring B
※接液部品は No.1、3、5、9 です。
※Wetted
parts are No.1, 3, 5 and 9.
U-PVC
PTFE
AVPV3
PPS
AVNVM
10
8
6
12
7
11
5
本体
Body
キャップナット
Union nut
ボディキャップ
End connector
台座
Base plate
ダイヤフラム
Diaphragm
ピストン
Piston
隔膜押さえ
Bush
シリンダ本体
Actuator housing
材質
Material
FKM
EPDM
SUS304
AVHPRS AVHPRL
1
部品名称
Parts
AVCFV
No.
AVPVM
フランジ形
Flanged
AVPVEL AVPVSL
ねじ込み形
Threaded
HDV12
Nominal size
ソケット形
Socket
AVQDV
呼び径︵ ︶
mm
15
20
25
40
50
復作動
Double acting
OTHER
接 続
Connection
逆作動
Air to open
AVSDV
単位
(Unit)
:kg
作 動
Actuation
AVMPV
製品重量表(参考値)
Weight List (Reference)
81
寸法図・寸法表 Dimensions
D
D
2
4
D2
D4
Pilot port Rc1/8"
H
H2
(OUT)
φD 1
ℓ
H3
B port
φd1
φ D1
H1
φD 3
L1
L
φd1
(IN)
Taper
1/T
ℓ
φd
A port
φd
φ D3
Taper
1/T
(IN)
H1
A port
H2
H3
H
Pilot port Rc1/8"
B port
(OUT)
φD
φD
t
P.C.D.C
ℓ
ねじ込み
Threaded
S
P.C.D.C
φd3
φd2
φ D1
S
ℓ
φd3
2-S1
φd2
φ D1
L1
L 2-S1
n-φh
フランジ形
t
Flanged n-φh
ねじ込み
Threaded
H6
H4
H5
H4
H5
H6
フランジ形
Flanged
D5
インジケータ付
Indicator
流量調整付
Travel stop
インジケータ付
呼び径
Nominal size
82
流量調整付
d
U-PVC
inch
d1
ℓ
15
1/2
15.5 22.11
20
20
3/4
20.5 26.13
24
25
1
25
32.16
40
11/2
40
50
2
1/T
U-PVC
d2
JIS 10K
ℓ
L
d3
1/34 124.4 Rc1/2
15
117.0
1/34 147.0 Rc3/4
17
139.0
27
1/34 163.5 Rc1
20
48.21
37
1/37 241.0 Rc11/2
50
60.25
42
1/37 283.0 Rc2
H
H1
H2
H3
L
S
S1
D5
流量調整・インジケータ付 バイパス付
Travel
stop・Indicator
Bypass
フランジ形
Flanged
Indicator ねじ込み形 Threaded
Travel stop
ソケット形 Socket
mm
呼び径
Nominal size
流量調整・インジケータ付 バイパス付
Travel stop・Indicator
Bypass
L1
単位(Unit):mm
D1
D2
D3
(Orifice)
D4
D
C
n
h
L
t
15
95
70
4
15
158.0
12
79.0
48
□ 50
16
13
20
100
75
4
15
191.0
14
88.0
60
□ 60
22
13
149.5
25
125
90
4
19
205.5
14
94.5
70
□ 60
22
13
25
215.0
40
140
105
4
19
264.0
16
145.0 100
□ 95
40
12.5
28
260.0
50
155
120
4
19
297.0
16
177.0 126 □ 115
50
13
H4
H5
(MAX) (MAX)
H6
D5
(MAX)
mm
inch
15
1/2
69 17.0
33
60
20
M6 L7
92
111
55
20
3/4
98 20.5
44
76
25
M6 L7 102.0 121
140
59
25
1
99 21.5
45
77
25
M6 L7 103.0 122
141
59
40
11/2
147 35.0
68
115
45
M10 L10 155.0 185
−
90
50
2
174 48.0
83
137
45
M10 L17 185.0 215
−
100
72.5
D2
D5
D
D
寸法図・寸法表
(台座付)
Dimensions (With Base Plate)
2
D3
D2
AVPV3
5
AVPVM
D3
D5
D3
Pilot port Rc1/8"
L
d2
Indicator
AVSDV
AVMPV
AVNVM
10
18
D6
L1バイパス付
D1
D2
D3
Bypass
D4
(Orifice)
D5
15
1/2
15.5 22.11
20
1/34 124.4 Rc1/2
15
117.0
15
95
70
4
15
158.0
12
79.0
48 □ 50
92
16
13
20
3/4
20.5 26.13
24
1/34 147.0 Rc3/4
17
139.0
20
100
75
4
15
191.0
14
88.0
60 □ 60
92
22
13
25
1
25
32.16
27
1/34 163.5 Rc1
20
149.5
25
125
90
4
19
205.5
14
94.5
70 □ 60
92
22
13
40
11/2
40
48.21
37
1/37 241.0 Rc11/2 25
215.0
40
140
105
4
19
264.0
16
145.0 100 □ 95 145
40
12.5
50
2
50
60.25
42
1/37 283.0 Rc2
28
260.0
50
155
120
4
19
297.0
16
177.0 126 □ 115 145
50
13
H
H1
H2
H3
H6
D6
(MAX)
93.0 105.5 125.0 144.0 101
mm
inch
15
1/2
102.0 33.0
66.0
20
3/4
134.5 36.5
80.5 112.5 138.5 157.5 176.5 105
1
136.5 37.5
82.5 114.5 140.5 159.5 178.5 105
25
40
50
11/2 200.0 53.0 120.5 168.0 208.0 237.5
2
240.0 66.0 149.0 202.0 251.0 281.0
−
162
−
172
AVCFV
AVHPRS AVHPRL
10
18
JIS 10K
流量調整・インジケータ付
C
h
L
t
Traveln stop・Indicator
inch
H4
H5
(MAX) (MAX)
ℓ
流量調整付
L Travel
d3 stop
D
単位(Unit):mm
HDV12
1/T
16
流量調整・インジケータ付
Travel
stop・Indicator
フランジ形
Flanged
AVQDV
ℓ
H6
流量調整付
ねじ込み形 Travel
Threadedstop
D6
バイパス付
Bypass
D6
バイパス付
Bypass
mm
呼び径
Nominal size
d1
H5
H4
流量調整・インジケータ付
Travel stop・Indicator
U-PVCインジケータ付
U-PVC
d
H6
8
呼び径
Nominal size
H6
H5
H5
H4
インジケータ付
ソケット形Indicator
Socket
流量調整付
Travel stop
OTHER
9
110
120
125
145
10
18
110
60
フランジ形
t
φ
nh
台座
台座
Flanged
Base Plate(15∼25mm) Base Plate(40、50mm)
110
60
フランジ形
t
n-φh 台座
台座
Flanged
Base Plate(15∼25mm) Base Plate(40、50mm)
110
60
フランジ形
台座
台座
Flanged
Base Plate(15∼25mm) Base Plate(40、50mm)
H4
インジケータ付
Indicator
H
H
H3
110
120
125
145
80
9
9
8
ねじ込み
Threaded
AVPVEL AVPVSL
H
H3
H2
H3
H1
H2
90
46
40
6.5
φD
P.C.D.C
φd3
n-φh
80
9
9
110
120
125
145
9
46
40
6.5
9
φD
t
φD
P.C.D.C P.C.D.C
φd3
φd3
φd2
φ D1
ねじ込み
Threaded
ℓ
80
9
90
46
40
6.5
φd2
φ D1
φd2
φ D1
ℓ
ねじ込み
Threaded
90
9
L1
L
ℓ
(OUT)
H2
ℓ
H1
L1
L
66.5
78
92
(IN)
(OUT)
B port
66.5
78
16
16 92
66.5
78
92
L1
L D4
φ
Taper
1/T
B port
8
A port
ℓ
H1
φD 4
φd1
φD1
Taper
1/T
φd1
φD1
(IN)
φD 4
φd1
φ D1
A port
Taper
1/T
Pilot port Rc1/8"
B port
ℓ
(OUT)
φd
(IN)
φd
A port
φd
Pilot port Rc1/8"
83
HDV12型特性
特性グラフ Technical Data
呼び径 Nominal size:15mm∼25mm
1
[145]
0.5
[72.5]
C
PV
U-
C
PV
U-
0
-40
-20
0
20
40
60
80
100
120
使用圧力 Working pressure(MPa)
[psi]
使用圧力 Working pressure(MPa)
[psi]
流体温度 − 使用圧力 Temperature--Working pressure
呼び径 Nominal size:40mm・50mm
1
[145]
0.5
[72.5]
-20
0
20
40
60
80
C
PV
U-
0
-40
-20
0
温度 Temperature(℃)
-40
C
PV
U-
20
40
60
80
100
120
100
120
温度 Temperature(℃)
100
120
-40
-20
0
20
40
E
TF
60
80
E
TF
P
P
使用圧力 − 背圧 Working pressure−Back pressure
0.5
[72.5]
0.4
[58]
0.3
[43.5]
0.2
0∼40℃
[29]
50℃
0.1
[14.5]
0
0.1
0.4
[58]
0.3
[43.5]
0.2
[29]
0.2
0∼40℃
0.1
0.3
0.4
0.5
[29] [43.5] [58] [72.5]
使用圧力 Working pressure(MPa)[psi]
84
0.5
[72.5]
[14.5]
60℃
[14.5]
呼び径 Nominal size:40mm・50mm
背圧 Back pressure(MPa)
[psi]
背圧 Back pressure(MPa)
[psi]
呼び径 Nominal size:15mm∼25mm
0
50℃
0.1
[14.5]
0.2
0.3
0.4
0.5
[29] [43.5] [58] [72.5]
使用圧力 Working pressure(MPa)[psi]
100
80
60
15mm
500
400
300
40
200
20
100
0
0
0
1
2
3
ハンドル回転数 Handle rotations
△P=0.2MPa
250
40mm
0
1000
1
2
3
4
5
ハンドル回転数 Handle rotations
△P=0.2MPa
900
200
20mm
100
15mm
流量 Flow rate(L/min)
流量 Flow rate
(L/min)
25mm
150
※流量調整及びバイパスのハンドル
は全閉状態から1/ 4回転以上開
けた状態でご使用ください。それ
以下でのご使用は使用条件により
キャビテーション、流量変動などが
発生する恐れがあります。
800
50mm
700
600
500
40mm
400
300
200
50
100
※Please
use Travel Stop and Bypass of
HDV12 with slightly opened position
(at least 1/4 turns from the fully closed
position). Otherwise, there would be the
cavitations or the fluctuation of flow.
0
0
0
1
2
3
ハンドル回転数 Handle rotations
0
1
2
3
4
5
ハンドル回転数 Handle rotations
ハンドル回転数 − 流量(バイパス付・バイパス流路部)
Handle rotations−Flow rate(Bypass・Bypass port)
△P=0.1MPa
30
35
40・50mm
20
15
15∼25mm
10
5
use Travel Stop and Bypass of
HDV12 with slightly opened position
(at least 1/4 turns from the fully closed
position). Otherwise, there would be the
cavitations or the fluctuation of flow.
30
40・50mm
25
20
15∼25mm
15
10
5
※Please
0
流量 Flow rate
(L/min)
流量 Flow rate
(L/min)
25
※流量調整及びバイパスのハンドル
は全閉状態から1/ 4回転以上開
けた状態でご使用ください。それ
以下でのご使用は使用条件により
キャビテーション、流量変動などが
発生する恐れがあります。
△P=0.2MPa
40
0
1
2
ハンドル回転数 Handle rotations
0
0
1
2
ハンドル回転数 Handle rotations
AVPVEL AVPVSL
20mm
AVSDV
120
50mm
AVMPV
25mm
AVNVM
600
流量 Flow rate
(L/min)
流量 Flow rate(L/min)
140
△P=0.1MPa
AVHPRS AVHPRL
700
AVCFV
△P=0.1MPa
HDV12
160
AVQDV
ハンドル回転数 − 流量(流量調整付・メイン流路部)
Handle rotations−Flow rate(Travel stop・Main port)
AVPVM
AVPV3
Technical Data
OTHER
特性グラフ
85
特性グラフ
Technical Data
開度別Cv値
Valve travel− Cv value
100
Cv値 Cv value(%)
80
60
全開 Cv 値
Full open Cv value
40
呼び径
(mm)
15
nominal size
20
Cv値
(−)
Cv value
4.8
20
25
40
50
8
9.5
26
44
0
0
20
40
60
80
100
開度 Valve travel(%)
差圧 − 流量
Differential pressure−Flow rate
バイパス部 Bypass port
メイン流量部 Main port
100
50mm (44)
1000
40mm (26)
25mm (9.5)
20mm ( 8 )
15mm (4.8)
100
0.05
0.1
[7.25]
[14.5]
流量 Flow rate(L/min)
流量 Flow rate(L/min)
10000
40・50mm (1.5)
15∼25mm (0.8)
10
5
0.5
0.05
[72.5]
0.1
[7.25][14.5]
差圧 Differential pressure(MPa)
[psi]
0.5
[72.5]
差圧 Differential pressure(MPa)[psi]
※( )内の数値は全開Cv値です。
これらのデータは実験値であり、参考値です。
※ Valve
in ( ) shows Cv value at full open.
The data shown here is the experimental values and the reference values.
86
87
OTHER
AVQDV
HDV12
AVCFV
AVHPRS AVHPRL
AVNVM
AVMPV
AVSDV
AVPVEL AVPVSL
AVPVM
AVPV3
$94'9
Specialty Valves and Control Products
$94'9
88
急速排水弁
Compact Design
Since AVQDV is including the actuator in the body, it is light, compact and do not require the plumbing space.
It is possible to install or remove the valve body easily for both vertical and horizontal piping.
仕 様 表 Specifications
本体材質 Body material
U-PVC
続
オ リ フ ィ ス
C
v
値
Orifice diameter
Cv value
操 作 圧 力
Pilot pressure
エ ア 消 費 量
Pilot air consumption
操作ポート接続
Pilot port
操 作 部
Pilot
80mm
100mm
40mm
50mm
80mm
100mm
復作動 Double acting
℃
MPa
MPa
cm3/min
MPa
℃
times/min
−
5 ∼ 40
5 ∼ 80
5 ∼ 40
−
mm
−
φ 40
51
φ 51
83
φ 70
198
MPa
AVSDV
0.06 8.7psi
0 ∼ 0.02 0 ∼ 2.9psi
0(水圧) 0 (at hydraulic pressure)
0
5 ∼ 50
<6
自在 Any direction
ソケット形 Socket
ねじ込み形 Threaded
フランジ形 Flanged
φ 100
φ 40
348
52
AVMPV
Connection
Installation direction
50mm
φ 51
83
φ 70
196
φ 100
380
0.19
0.44
1.17
0.3 ∼ 0.5 43.5 ∼ 72.5psi
L/times(ANR)※
0.09
0.19
0.44
1.17
−
0.09
Rc1/8"
※エア消費量は操作圧力 0.5MPa の時の値です。
※The
pilot air consumption is the value at 0.5 MPa.
型式選定表 Ordering Code
AVQDV
タイプ
F
F
F
Oリング
Type
自在型 True Union
呼び径
O-ring
V
FKM
E
EPDM
F
作 動
F
Actuation
※ バイフロン®Fは耐酸用三元系弗素ラバーです。
※
復作動
(DA)
Double acting
本体材質
U-PVC
P
PP
”Vifron” is the Terpolymerization Fluorocarbon Elastomers.
接続・規格
Body material
U
※
Connection
040
40mm
050
50mm
080
80mm
100
100mm
※
TJ
ソケット形・JIS規格 Socket • JIS
TD
ソケット形・DIN規格 Socket • DIN
NJ
ねじ込み形・JIS規格 Threaded • JIS
F1
フランジ形・JIS 10K規格 Flanged • JIS10K
※ その他の規格をご利用になりたい場合は別途ご相談下さい
※
Nominal size
AVNVM
接
Frequency of opening and closing
40mm
AVHPRS AVHPRL
Actuation
Medium Temperature
Proof Pressure
Working Pressure range
Leakage Rate
Back Pressure
Ambient Temperature
AVCFV
作
動
流 体 温 度
構 造 耐 圧
使用圧力範囲
弁 座 漏 れ 量
背
圧
周 囲 温 度
開 閉 頻 度
取 付 姿 勢
HDV12
Items
Please consult us for the other connecting standard for detail.
AVQDV
目
OTHER
項
PP
呼び径 Nominal size
単位
Unit
AVPV3
アクチュエータを内蔵しているため、軽量コンパクトで配管スペースを取りません。また、本体の着脱が容易に行え、縦配管、
横配管のいずれにも使用可能です。
AVPVM
コンパクト
AVPVEL AVPVSL
特 長 Features
89
製品重量表(参考値)
Weight List (Reference)
単位(Unit)
:kg
本体材質
Body material
接 続
Connection
Nominal size
呼び径︵ ︶
mm
U-PVC
PP
ソケット形
Socket
ねじ込み形
Threaded
フランジ形
Flanged
ソケット形
Socket
ねじ込み形
Threaded
フランジ形
Flanged
40
1.1
1.1
1.7
0.7
0.7
1.2
50
1.8
1.8
2.6
1.2
1.2
1.7
80
3.4
3.3
4.5
2.2
2.2
3.1
100
8.2
8.2
9.4
4.9
5.0
6.1
構 造 図 Parts & Materials
No.
9
7 12 13
1
2
3
A port
(IN)
B port
(OUT)
4
5
6
7
8
2 10 11 1 4 5 14 6 3 15 8
9
10
部品名称
Parts
本体
Body
ユニオン A
Union A
ユニオン B
Union B
ピストン
Piston
シリンダキャップ
Cylinder cap
キャップナット
Union nut
溝アダプタ
Groove adapter
ボディキャップ
End connector
弁体
Seat
ブッシュ
Bush
11
O-ring A
12
O-ring B
13
O-ring C
14
O-ring D
15
O-ring E
材質
Material
U-PVC
PP
PTFE
UHMW-PE, PTFE
FKM
EPDM
※Oリング材質がFKM、EPDMの場合はブッシュ材質が
UHMW-PE、
の場合はブッシュ材質がPTFE
となります。
※ I n the case of FKM or EPDM O ring, the Bush material
is UHMW-PE, and in the case of
O-ring, the Bush
material is PTFE.
※接液部品は No.1 ∼ 3、5、7、9、10、14、15 です。
※Wetted
90
parts are No.1~3, 5, 7, 9, 10, 14 and 15.
AVPV3
寸法図・寸法表 Dimensions
L3
Pilot port Rc1/8"
AVPVEL AVPVSL
ℓ
φD1
Taper
1/T
φd1
φd
φd2
AVPVM
L2
d
mm inch
U-PVC, C-PVC
PP
AVNVM
PVDF
U-PVC
d1
ℓ
1/T
L
d1
d2
ℓ
L
d1
d2
ℓ
L
d3
ℓ
L
40 11/2
40
48.21
37
1/37
205.0
47.0
46.0
28
187.0
47.45
47.20
28
187.0
Rc11/2
25
179.0
50
2
51
60.25
42
1/37
234.0
59.0
58.0
28
206.0
59.45
59.10
30
210.0
Rc2
28
211.0
80
3
78
89.60
64
1/49
300.0
88.0
86.0
35
242.0
88.00
87.65
36
244.0
Rc3
35
249.0
100
4
100
114.7
84
1/56
404.0
113.0
111.0
45
326.0 113.02 112.65
41
318.0
Rc4
45
345.0
単位(Unit):mm
呼び径
フランジ形 Flanged
Nominal size
L1
L2
L3
D1
19
110.0
49
70.5
100
19
128.0
56
84
126
8
19
155.0
68.5
104
152
8
19
205.0
89
141
210
mm inch
d4
L
t
D
C
n
h
40 11/2
40
228.0
16
140
105
4
50
2
51
248.0
16
155
120
4
80
3
78
290.0
18
185
150
100
4
100
359.0
18
210
175
AVHPRS AVHPRL
呼び径
Nominal size
ねじ込み形 Threaded
AVCFV
単位(Unit):mm
ソケット形(JIS) Socket
HDV12
フランジ形
Flanged
ねじ込み形
Threaded
AVQDV
n-φh
OTHER
t
φD
P.C.D.C
φd4
ℓ
φD1
φd3
AVMPV
AVSDV
L1
L
91
特性グラフ
Technical Data
排水性能 Discharging performance
30
40mm
50mm
80mm
100mm
槽内水量 Water Quantity
(L)
25
レベルセンサ
Level sensor
水
220mm
115mm
20
AVQDV
排水(大気開放)
Atmosphere
15
※Tank size : W420×D270×H325mm
10
5
0
0
5
10
15
20
25
排水時間 Discharging time
(sec)
※縦配管時の結果です。
2次側の配管状況によって排水時間は異なります。
このデータは実験値であり、参考値です。
92
※The
data shown here is in the case of vertical piping.
The discharging time depends on the condition of downstream piping.
The data shown here is the experimental values and the reference
values.
AVPV3
AVPVM
AVNVM
AVHPRS AVHPRL
AVCFV
HDV12
AVQDV
OTHER
Unit Products
&
Made to Order
Products
AVMPV
AVSDV
ユニット製品
&
カスタマイズ
AVPVEL AVPVSL
Specialty Valves and Control Products
93
ユニット製品 Unit products
シリーズをワンパッケージ化した薬液制御ユニット、 スラリー制御ユニットをご用意いたしました。 最も時間とマンパワーを要するライン開発期間が大幅に削減されます。 We prepared the flow control unit for chemical and slurry.
You can minimize the development cost and manpower substantially.
■薬液制御ユニット AVHPR、AVMPV の各シリーズと流量計を組合せワンパッ
ケージ化した薬液制御ユニットです。SC-1、SC-2 などのイ
ンラインミックス(直前混合制御)、DIW によるリンス、HF
の制御の他に、DIW でのフラッシングが自在に行えるなど
多くのラインに適用いただけます。
The flow control unit for chemical
The flow control unit for chemical is the package of an assortment of AVHPR,
AVMPV and Flowmeter. It could be applied to many lines, which is combined
with a several applications such as in-line mixing of SC-1 and SC-2, DI water
rinsing, HF control, DI water flushing and so on.
メリット • 秤量タンク、調合タンクが不要
• 低コスト
• 直前混合により濃度変化がない
• 複数ラインに対応
• レシピの変更にも短時間で応答
Customer‘s benefit
• Measurement tank and mixing tank are not necessary
• Lower cost
• There is no fluctuation of concentration due to the mixture just in front of use.
• The unit can adopt to the lines.
• Quick response to the change of the mixture.
■スラリー制御ユニット AVHPR、AVMPV、AVPVEL の各シリーズと流量計を組合
せワンパッケージ化したスラリー制御ユニットです。
CMP スラリーの流量制御や、設定流量の変更、定期的なフ
ラッシングなど自在に行えます。また CMP スラリーと添加
剤をユースポイント直前で高精度に混合したい場合にもご使
用いただけます。
The Flow Control Unit for Slurry
The flow control unit for slurry is the package of an assortment of AVHPR, AVMPV,
AVPVEL and Flowmeter. Many applications are available such as flow control of CMP
slurry, change the setting of flow rate, periodical flushing and so on. Also it could be
used for mixing of CMP slurry and addition agent just in front of use point with high
accuracy.
メリット • 流量制御精度の向上
• 制御流量レンジの拡大
• 設定流量の変更や、全開、全閉が自在
• ポンプの脈動やライン切替えによる脈動を抑制
• パーティクル・凝集の抑制
• メンテナンスフリー
Customer‘s benefit
• Improved flow control accuracy.
• Enlarged range of the flow rate for control.
• Flexible operation in change of setting for flow rate, fully open and fully close.
• Control the pulsation from the pump and the switching the line.
• Control the particle and agglomeration of slurry.
• Maintenance free
94
AVPV3
カスタマイズ Made-to-Order Products
■対応製品
■ Available Items
全シリーズ
ユニット製品
All the products
アプリケーション例
Application example
• AVMPV の 5 連、8 連マニホールドなど
5 to 8 leagues manifold of AVMPV.
• スラリー制御ユニットのカスタマイズなど
Made-to-Order system of Slurry control unit.
HDV12
AVQDV
ユニット Unit
OTHER
バ ル ブ Valve
AVCFV
AVHPRS AVHPRL
AVNVM
AVMPV
series including Unit
AVPVEL AVPVSL
Made-to-order valves are available
in
series.
We will fulfill the customer’s requirement
for the high quality products and the short delivery time.
AVSDV
ユーザーの様々なニーズに合わせ製品力と短納期でお答えいたします。 AVPVM
シリーズのカスタマイズ製品を取り扱っています。 95
保 証
弊社製品の保証内容について必ずお読みください。
(A)弊社製品のご使用に際しては、製品仕様や注意事項等の遵守をお願い致します。
(B)弊社は製品の品質・信頼性の向上に努めておりますが、その完全性を保証するものではあり
ません。特に人の生命、身体または財産を侵害する恐れのある設備等へご使用される場合には、
通常発生し得る不具合を十分に考慮した適切な安全設計等の対策を施してください。このよう
なご使用については、事前に仕様書等の書面による弊社の同意を得ていない場合は、弊社はそ
の責を負いかねますのでご了承願います。
(C)弊社製品の選定、施工・据付、操作、メンテナンス等の注意事項は技術資料、取扱説明書等に
記載してありますので、最寄の販売店・弊社営業所へお問い合わせください。
(D)弊社製品の保証期間は納入後 1 年間※ 1 とし、保証期間中に不具合が生じ、弊社に通知された
場合は直ちに原因究明を行い、弊社製品に欠陥が発見された場合には弊社の責任でその製品を
修理・交換致します※ 2。
(E)弊社製品に特殊流体(強腐食性流体など)をご使用される場合、上記保証期間を保証致しか
ねます※ 1。また、圧縮性流体(気体:エア、N2、オゾンなど)をご使用される場合、その安
全性を保証致しかねますので、ご了承ください。配管施工完了後、管路の洩れ試験を行う場合、
水圧にて確認してください。やむを得ず気体にて試験を行う場合、安全性については保証の限
りではありません。
(F)保証期間経過後の修理・交換は有償となります。
(1)ダイヤフラムのみの供給は致しかねますのでご了承ください。
(2)ダイヤフラム以外の部品につきましては、弊社までご相談ください。
(G)ただし、次に該当する場合は保証の対象外と致します。
(1)ご使用条件が弊社の定義する保証範囲を超えている場合。
(2)施工・据付、取扱い、メンテナンス等において、弊社の定義する注意事項等が守られて
いない場合。
(3)不具合の原因が弊社製品以外の場合。
(4)弊社以外による製品の改造・二次加工・分解された場合。
(5)部品をその製品の本来の使い方以外にご使用された場合。
(6)天災・災害等の弊社製品以外の原因による場合。
※1 「保証期間納入後1年間」
は各バルブの仕様表記載の開閉頻度で純水・常温の場合に限ります。強腐食性流体
などの特殊流体の場合は別途ご相談ください。
※2 弊社製品の不具合により誘発される損害については、保証の対象外と致します。
96
接続チューブサイズ Connetion tubing size
03
Flowell 20 series
mm
チューブ径
10
12
06
3×2
Flowell 60 series
10 × 8
25
12 × 10
3×2
25 × 22
19 × 15.8
Flowell 20 series
-
Flowell 60 series
3.18 × 1.6
Flare Type
19
19 × 16
6×4
Super Type Pillar fitting
Super 300 Type Pillar fitting
inch
単位(Unit)
:mm
6.35 × 4.35 9.53 × 6.35 12.70 × 9.53 19.05 × 15.88
-
Super Type Pillar fitting
Super 300 Type Pillar fitting
25.4 × 22.2
3.18 × 2.18 6.35 × 3.95 9.53 × 6.33
12.7 × 9.5
19 × 15.8
※継手に接続するチューブサイズにつきましては各継手メーカーの
取扱説明書を参照してください。
※ Please refer to the instruction manual given by the manufacturer
of fittings about connection tubing size.
“接続方法・Tube”
サイズ “Connection・Tube”size
単位(Unit)
:mm
チューブ径
06
10
12
19
25
mm
6×4
10 × 8
12 × 10
19 × 16
25 × 22
inch
6.35 × 4.35
9.53 × 6.35 12.70 × 9.53 19.05 × 15.88 25.40 × 22.20
外径公差
± 0.1
肉厚公差
± 0.15
± 0.15
“接続方法・Rc、
FNPT”
サイズ "Connection・Rc, FNPT" size
単位(Unit)
:mm
Rc
φd
FNPT
φd
06
10
12
19
25
Rc 1/4"
Rc 3/8"
Rc 1/2"
Rc 3/4"
Rc 1"
FNPT 1/4" FNPT 3/8" FNPT 1/2" FNPT 3/4"
φd
チューブ径
FNPT 1"
単位換算表 Unit conversion table
1mm
1MPa
1L
1L
1kg
1℃
0.039inch
145psi
0.22Gallon(UK)
0.26Gallon(US)
2.2lb
1.8 ×℃+ 32゜
F
、および は、旭有機材工業株式会社の登録商標です。Flowell は、株式会社フロウエ
ルの登録商標です。Pillar は、日本ピラー工業株式会社の登録商標です。KURABO は、倉敷紡績株式会社の登
録商標です。
and
are the trade mark of ASAHI ORGANIC CHEMICALS INDUSTRY CO., LTD.
Flowell is the trademark of FLOWELL Co., Ltd.
Pillar is the trademark of NIPPON PILLAR PACKING CO., LTD.
KURABO is the trademark of KURABO INDUSTRIES, LTD.
97
ISO9001
■管材システム事業部
東京都千代田区内神田2-15-9 内神田282ビル 〒101-0047
電話:(03)3254-8795 Fax:(03)3254-3473
9
9
QMS Accreditation
R004
■大阪営業所
大阪府大阪市中央区瓦町4丁目5番9号 井門瓦町ビル7F 〒541-0048
電話:(06)4707-1080 Fax:(06)4707-1088
ISO14001
■福岡営業所
福岡県福岡市博多区博多駅南1-2-15 事務機ビル6F 〒812-0016
電話:(092)413-8700 Fax:(092)413-8722
管 材 システム 事 業 部 は
ISO9001:2000の品質マネ
ジメントシステムの認証を取
得しています。
EMS Accreditation
RE011
■Head Office / Overseas Department
(UCHIKANDA 282 Bldg.) 15-9, Uchikanda 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan
tel.(03)3254-8795 Fax.(03)3254-3473
延岡本社・延岡製造所・エンジ
ニアリング部・北方工場・物流
管理課(大武倉庫含む)
・愛知
工場・栃木工場・広島工場は
ISO14001:2004の環境マネジ
メントシステムの認証を取得し
ています。
旭有機材ホームページ
http://www.asahi-yukizai.co.jp/
2004年3月初版
2007年11月第10版 マーケ部 ○
Y 2,000 AV-V-029-J
Printed in Japan. 2007.11 2,000 Y -10
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