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REF Nは D254-201-39 Nは SE l10-21 lR2 平 ア ル ミ ナ 厚 膜 確 第 十 般 ■ 章 宇 形 定 仕 パ ス 成 様 ッ タ 成 0 4 - 0 2 - 1 2 婆試 董 書 項 1.概 要 本 ア ル ミ ナ 厚 膜 形 成 ス パ ッ タ 装 置 は 、 大 面 積 に わ た り、 均 一 的 な 保 護 膜 が 形 成 で き る 、 高 速 ス パ ッ タ 装 置 の 研 究 、 生 産 用 装 置 と して 設 計 、 製 作 し納 入 し ま す 。 尚 装 置 は 、 真 空 容 器 、 真 空 排 気 装 置 、 タ ー ゲ ッ ト電 極 、 基 板 ホ ル ダ ー 、 加 熱 冷 却 機 構 、 ガ ス 供 給 制 御 装 置、 RFス パ ッ タ 電 源 、 及 び 制 御 装 置 な ど よ り構 成 さ れ て お り ま す 。 2 . 納 入範 囲 下 記 品 の 設 計 製 作 ・検 査 ・据 付 ( 一 次 配 線 は 別 ) を 行 な い ま す 。 ( 1 ) 保護 膜 形 成 装 置 (型 式 1) IS-15… 1台 3.納 期 別 途 申 し出 納 期 に よ り ま す 。 4.納 入場所 貴社 御 指定 場 所 5 . 引 渡場所 及 び 方法 同 上 指 定 場 所 、据 付 渡 し 6.検 収 原 則 と して 、 引 渡 し試 験 完 了 後 と し ま す 。 7 . 提 出書 類 ( 引渡 しま で ) 提 出 書 提 出期 日 類 提 出 先 ・部 数 見積 書 即 日 顧 客殿 4部 納 入仕 様 書 完成検査時迄 顧 客殿 4部 3 承 認 申請 図 必 要 の都 度 顧 客殿 4部 4 試験成績書 試験 後 10日 以 内 顧 客殿 4部 5 打合 せ 議事録 打合せ後 7日 以 内 顧 客殿 4部 6 取扱説明書 検収迄 顧客殿 4部 1 ９ “ 8 . 製 造者 の指定 外 注 品 の 指 定 は 、 な い も の と し ます 。 9 . 精 算事項 本仕 様 書 内 の納 入範 囲 に お い て 、変 更 が あ る場 合は精 算 され る も の と し、精 算 方 法 に つ いて は別途 協 議 す る もの と します 。 1 0 . 納 入範 囲 ( 1 ) 第2 章 ヽ 第 3 章 ま で の 機 器 及 び 作 業 G ( 2 ) 納入機 器 の 製 作 か ら据 付 ま で の 間 の 管 理 ( 安 全 、 そ の 他 の 労 務 面 、 機 器 保 管 な ど ) の作 業 a ( 3 ) その 他 、 下 記 と し ま す 。 件 名 (1) 機 器 据 付 範 日 納 入範 囲 内 機 内 配 線 作 業 を含 む 納 太内 引渡 試 験 定格 運転 1時 間 作 内 人 P可 機 器 及 び配 管 の塗装 色調 、塗 料 、銘 柄 、 時期 は 、原 則 納 入内 と して 当社 の 標 準 と す る 。 (4) 本装 置 へ の接 続 作業 本 装 置 へ の 外 部 よ りの 電 気 、 水 、 絡 内 八 1外 ガ ス 等 の給 排 配 管 、 配 線 作 業 当社 納 入 外 の 機 器 の 取 扱 い 一 切 旅 内入タ ト 一 tw‐ 孫 内 ス タト 及び取 付 、組 込 作業 本仕 様 書 に記 載 な き事 項 11.全 般設計製造要領 1 ) 設計 、 製 作 に あ た り下 記 の 事 項 を考 慮 し生 産 性 機 能 発 揮 に 重 点 を お き ま す じ 1 , 保 守 、取 扱 の容 易 な構 造 。 2 . 信 頼 性 あ る構 造 、 部 品 の 採 用 。 3 . 安 全 性 を考 慮 した構 造 、 シ ス テ ム 。 2 ) 準拠 規 格 は 、 本 仕 様 に 明 記 して あ る 事 項 以 外 は 原 風J と して 、 」i S ・J E C o J E Mど な国 内 法 規 に よ り ます 。 12.保証 納 入 し た 各 機 器 が 引 き 渡 し完 了 後 1 ケ 年 以 内 に 使 用 材 料 の 不 良 あ る い は 設 計 、 製 作 上 の 欠 陥 に よ り故 障 を 生 じ た 場 合 は 無 償 に て 修 理 ま た は 代 替 品 を 納 入 し ま す 。 但 し消 耗 品 、 寿 命 の あ る 部 品 に つ い て は 、 本 保 証 に 含 まれ な い も の と し ま す 。 納 入後 の 保 守 、 改 造 に つ い て は 、 別 途 御 契 約 頂 くも の と し ま す 。 1 3 . 試 験 及 び検 査 ( 1 ) 工場 試 験 は 工 場 製 作 完 了 時 及 び 製 作 期 間 中 に 納 入者 の 製 作 工 場 に お い て 原 則 と して 行 わ れ 合 格 す る も の と します 。 ( 2 ) 立会 試 験 は 、 前 も つ て 試 験 法 案 を 立 案 し、 承 認 を う け る も の と し ま す 。 ( 3 ) 原R U として 試 験 検 査 は 、 検 査 仕 様 に 基 づ く機 器 性 能 試 験 と し、 成 膜 性 能 試 験 は 参 考 試 験 と します 。 ( 4 ) 現地 試 験 は 、 据 付 完 了 後 行 い 、 こ れ に 合 格 す る も の と L ノ ます 。 - 2 - 14.機器塗 色 ( 1 ) 真空 タ ン タ 、 カ バ ー そ の 他 S U S 材 ( 2 ) 外機 器 、 配 管 別 色せ ず 。 塗 途 マ ン セ ル 値 に て 御 指 定 い た だ くも の と し ま す 。 ( 3 ) 組込 計 器 計 器 標 準 色 と します 。 15.注意事項 本 装 置 は 外 国 為 替 及 び 外 国 貿 易 管 理 法 に 定 め る 戦 略 物 資 ( 又は 技 術 ) に 該 当 す る た め 輸 出 な ど 国 外 へ 持 出 しす る 場 合 は 同 法 に 基 ず く 輸 出 認 可 が 必 要 で す 。 1 6 . そ の他 本 仕 様 に 優 先 し、 顧 客 殿 購 入仕 様 書 N o . l N R 1 0 0 2 3 5 を満 足 す る も の と し ま す 。 ま た 、 内 容 に 疑 義 が 生 じた 場 合 、 ま た は 、 本 仕 様 書 に 記 載 され な い 事 項 が 生 じ た 場 合 は 、打 合せ を行 い決 定 す る も の と します 。 - 3 - 第 2章 機 器 構 成 1.概 要 本 装 置 は 大 別 し て 、 真 空 室 、 真 空 排 気 装 置 、タ ー ゲ ッ ト電 極 、基 板 ホ ル ダ ー な ど か ら な る 本体装 置 と、 RFス イ ア ス 電 源 、 計 測 ・制 御 盤 な ど か ら な る 電 源 制 パ ッタ 用電 源 、 R F バ 御 装 置 か ら構 成 さ れ ま す 。 真 空 室 は 、 1 5 〃 ( イ ン チ ) サ イ ズ の タ ー ゲ ッ ト電 極 等 が 十 分 収 納 で き 、 且 つ 清 掃 交 換 が 容 ‐プ を 採 用 易 な よ う 、 大 口径 の 開 閉 カ バ ー を 設 け ます 。 主 排 気 真 空 ポ ン プ は 、 クラ イ オ ボ ニ し、 短 時 間 に な 高 真 空 が 得 られ る よ う に し ま す 。 基 板 ホ ル ダ ー は 、 ゅ3 イ ン チ 基 板 ス パ ッタ は 、 バ イ ア ス付 R F コ 8枚 の取付 が可能 です 。 ン ベ ン シ ョ ナ ル 方 式 と し 、 タ ー ダ ッ ト電 極 に つ い て は 、 1 5 〃 ( イ レ チ ) サ イ ズ の 大 面 積 タ ー ゲ ッ トが 取 付 け ら れ る よ う に し ま す っ ス パ ッタ 電 源 に は 、 5 k W ク 源 と、 また、 バ イア ス電 源 には ス パ ッ ラスの大容量 RF電 タ電 源 と 同 一 の 発 振 器 の位 相 を制 御 した 3 k W ク ラスの RF電 源 と用 い ます 。 機 器 の 性 能 検 査 に つ い て は 、 仕 様 に 基 づ く機 器 性 能 試 験 を お こ な い ま す 。 実 際 に 保 護 膜 を 形 成 し て 行 う 成 膜 性 能 試 験 に つ い て は 参 考 試 験 と し′ま す Ⅲ 2,真 空室 1 ( 1 ) 数量 ( 2 ) 寸法 大略 6 0 0 ×1 2 0 0 X 1 5 0 ( 3 ) 材質 S U S 3 0 4 ( 4 ) 到達 真 空 度 スパ ッタ 室 ( 5 ) リー ク レ ー ト 1 , 3 X 1 0 ｀P a ( 6 ) 覗窓 2 ケ ( 方向別 ) φ1 0 0 × 7 × 1 0 5 P a 以下 2/s以 下 ( 7 ) 真空 系 計 測 ポ ー ト ガ ス 導 入系 ポ ー ト 1式 駆動 用ポー ト その他予備ポー ト ( 8 ) 防着 板 1式 ( 9 ) その 他 装 置架 台 、 カバー 開 聞装 置、 装 置外 装 バ ネ ル等 1 式 3.真 空排 気装 置 ( 1 ) 主排 気 ポ ン プ 8〃 . ク ラ イオポ ンプ 排 気速度 G.Hc圧 直 1200ゼ/s 縮機付 結 型 油 回転 ポ ンプ 排 気速度 約 10002/min ス ロー リー タ 、 ス ロー 排 気 機 構 付 - 4 - ムロ ( 2 ) 粗引 ポ ン プ 約 1式 ( 3 ) バル ブ 類 ゲ ー トバ ル ブ 8〃 1式 粗 引系バル ブ 1式 リー ク 、 パ ー ジ 用 バ ル ブ 1式 R2 そ の他 は 系統 図 に よ り ます ( 4 ) 真空 配 管 SUS ( 5 ) オリ フ ィ ス 付 ( 6 ) 排気 時 間 304 ン ダ ク タ ンス 調 整 コ 10 ( 7 ) 真空 ゲ ー ジ J へ 大 気 よ り約 3 0 分 Pa台 離 真 空 ゲ ー ジ ( 真空 室 、 ク ラ イ オ 用 ) 2 式 電 ビラ ニー ゲー ジ ( 〃 ) 2式 4 . タ ー ゲ ッ ト電 極 ( 1 ) ター ゲ ッ ト電 極 ( 2 ) 冷却 ( 3 ) 取付 方 向 ( 4 ) 防着 板 平 板型 1式 冷 ジ ャ ケ ッ ト方 式 水 平 取 付 、下 面 ス パ ッタ 水 SUS ( 5 ) スパ ッ タ 速 度 304製 ノ ンバ イ ア ス 1.5μ バ イ ア ス ス パ ッタ 4.()μ m Hr R2 m H r ( 目標 ) R 2 3.6μm Hr(保 言 正) R 2 ￨ ます 。 ) ( 但 し 、 タ ー ゲ ッ ト仕 様 に よ り 異 な ヤ ( 6 ) 膜厚 分 布 5.タ ーゲ ッ ト 2 9 0 内( バイ ア ス 時 ) ゅ (性 ± 7%以 内 能確認用) 御 支 給 頂 くも の と し増 す 。 6.基 板ホルダー ( 1 ) 基板 トレ イ 平 板 型 ( 約 φ4 2 0 ) 1式 3 イ ンチ 基 板 8 枚 取 付 け 可 ) (ex.ゅ ( 2 ) 基板 シ ャ ッ タ ( 3 ) 冷却 機 構 ( 4 ) バイ ア ス 機 構 ( 5 ) ホル ダ プ レ ー ト 水 平 ス ラ イ ド式 1式 付 付 1式 7.基 板加 熱冷却系 ( 1 ) 基板 加 熱 と ― タ 3.O ( 2 ) 基板 温 度 基板 ホル ダー 250℃ ( 3 ) 均熱 性 ( 基板 ホ ル ダ ) 250C± k W シー ス ヒー タ加 熱 方 式 PID待 J御、過温保護 付 ( 4 ) 基板 冷 却 Galn接 - 5 - 触冷却 5% 上 式 8,電 源系 ( 1 ) R F ス パ ッタ 電 源 数 員 出力 1台 周波数 (2)RFバ イアス電 源 員 5k ∼ W可 13.56 数 変 Rl MHz 他 励式 1台 出力 ∼ 周波 数 3kW可 13,56 RFス 変 MHz パ ッタ 電 源 子 き振 共 用 式 ン トロ ー ラ ー 付 VDCコ 位相制御器付 ( 3 ) マッチ ン グ ボ ッ ク ス 数 員 1台 各 逆 L 型 整 合方 式 自 動 手 動切換 式 水 冷 ロ ー ドコ イ ル 付 1 0 . ガ ス導 入制御 装 置 ( 1 ) マス フ ロ ー コ ン ト ロ ー ラ ー 最 大流量 ( 2 ) フィ ル タ 1式 Ar 500SCCM 付 1 1 . 計 測 、 待J 御装 置 計 測 、 制 御 装 置 は 、 特 に 御 指 定 な い 限 り 、 別 置 専 用 ラ ッ ク 内 に 下 記 ハ ヤ、ル を 設 置 致 します 。 ( 1 ) 制御 盤 パ ネ ル 真 空 排 気 系操 作 パ ネ ル 真空系取付パネル 1 加 熱 系操 作 バ ネル 1 RF電 源 操作パ ネル 1 そ の他 操 作パ ネ ル ( 2 ) 制御 方 式 1 1 盤 面 操 作 に よ る シ ー ケ ンサ 制 御 基 本 仕 様 詳 細 は 弊社 標 準 とす る 。 ( 3 ) モニ タ ー 各 バ ル ブ等 状 態 表 示 の他 記 録 用 と して 下 言 己を モ ニター 可能 で す 。 1 , 電 離 真 空 計 ( 真 空 室 倶J 、 ク ラ イ オ 1 J民) 切換 式 2 . ス パ ッタ電 源 入 射電 力 (Pf) 3 . ス パ ッタ電 源 反 射電 力 (Pr) 4.バ イア ス電 源 入 射電力 (Pf) 5.バ イア ス電 源 反 射電 力 (Pr) 6.基 板 ホル ダー電 位 7.ク ライ オ温度 8.Arガ ス流 量 但 し、 記 録 計 は オ プ シ ョ ン と し ま す 。 - 6 - 12.試験 機 器 仕 様 に 基 づ く、機 器 性 能 試 験 を 行 い ま す 。 ( 1 ) 機器 性 能 試 験 主 な項 目 。 外観構 造検 査 。ヘ リ ウ ム リ ー タ 試 験 ・封 止 圧 力 上 昇 試 験 ・到 達 真 空 度 試 験 その他 詳細 は ・ヒ ー タ ー 昇 温 冷 却 試 験 試験 要 領書 に ・動 作 試 験 ' ます 。 よ↓ ・シ ー ケ ン ス テ ス ト、耐 電 圧 テ ス ト ・膜 厚 均 一 度 、 蒸 着 速 度 測 定 弊 社 標 準 方 法 に よ り基 板 に 保 護 膜 を 形 成 t ま す 。 ( 2 ) 成膜 性 能 試 験 ( 参考 試 験 ) 。 実 施 の 内 容 、 方 法 に つ い て は 、 打 合 せ に よる も の と し ます ′ ターゲ ッ ト ガラ ス 4t 基 板 第害 3 岩 書 据 付 、 組 ギ友 、 , ます 。 支 給 い た だ く セサの と し 御 司司 整 1.据 付 ( 1 ) 工事 範 囲 は 、 下 記 と し ま す 。 J 納 入機 器 据 付 工 事 1式 納 入機 器 内 ケ ー ブ ル 材 納 入 及 び 配 線 工 事 納 入機 器 内 配 管 工 事 上 式 1式 機 器据 付 位 置迄 の一 時 配線 配 管 作 業 、第 1 種 接 地 工 事 納 入外 ( 2 ) 据付 要 領 1 ) 御指 定 の 場 所 に 搬 入 、 据 付 を 行 な い ま す 。 2 ) 御指 定 の 方 法 に て 、 ベ ー ス に 固 定 し ま す 。 3 ) 機器 相 互 間 の 配 線 は 、 ダ ウ ン フ ロ ー 内 に 設 け た ケ ー ブ ル ダ ク ト内 を 経 由 して 、 配 線 フグ 加 工 等 は 納 入 外 ) す る も の と し ま す 。 ( ケ ー ブ ル ダ ク ト布 設 、 グ レ ー チ う 4 ) 配線 経 路 の 点 検 を 行 な い 、 ケ ー ブ ル r _ R 傷 の 原 因 の 有 無 を 確 認 し、 ケ ー ブ ブ レ、 ダ ク ト 内 を整 然 と 、 配 線 す る も の と し ます 。 5 ) 現地 据 付 施 行 要 領 に つ い て は 、 別 途 打 合 せ る も の と し ま す 。 2.組 立、調整 ( 1 ) 現地 に て 、 据 付 組 立 後 、 下 記 試 験 を 行 な い ます 。 1 ) 寸法 、 構 造 試 験 2 ) 真空 試 験 3 ) 単独 通 電 試 験 4 ) シー ケ ン ス 動 作 試 験 ( 2 ) 試験 方 法 の 詳 細 に つ い て は 、 打 合 せ の 上 、 決 定 す る も の と い た し ま す 。 - 7 -‐ 3 . 保 安設備 設 備 の 安 全 取 扱 い 、 及 び 危 険 防 止 の た め 、 下 記 を具 備 す る も の と します 。 1 . 高 電 圧 部 には感電 防 止 用 カバ ー 、 高 温 部 、動 力伝 達駆 動 部 に は、接 触 防止 用 保 護 カ バ ー の 設 置 も し くは 、 同 等 の 構 造 と し ま す 。 2 . 可 動 部 、 落 下 防 止 部 に は 、 安 全 機 構 を設 け ます 。 3 . 感 電 防 止 の た め の 、 イ ン タ ロ ッ ク 、 ブ レ ー カ ー 、 非 常 停 止 ス イ ッチ を 設 け ま す 。 4 . 冷 却 装 置 よ り の 漏 水 、 冷 却 水 断 水 保 護 用 の イ ン タ ロ ッ タ 、 又 は 警 報 と備 え ま す 。 5 . 地 震 転 倒 防 止 の ため の 、 ベ ー ス 固 定 金 具 を準 備 し ます 。 4 . 必 要設備 本 装 置 を稼 働 さ せ る た め 下 記 設 備 を 御 準 備 頂 け る も の と し ま す 。 ( 1 ) 電源 ( 2 ) 冷却 水 供給水圧 ( 3 ) 接地 ( 4 ) その 他 3千 目 220V 40ビ 2∼ 第 バ 60Hz 40 kV 25 C以 !/min 3 cm!G (装 A連 続 Rl 下 置 内 毒 圧 足k s Rl cm!(1以 上) 一種 ー ジ 用 N 」ガ ス 供 給 装 置 排 気 ガス排 出設備 ス パ ッタ 用 A r ガ 操 作用乾 燥 A - 8 - ス i r ( 6 k g / G t t 上C)以 Rl Rl
