Download 04275-97002 4275A マルチ・フリケンシLCRメータ 取扱説明書

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要な場合など）が、その他のサポートはご提供いたしかねます。誠に恐縮ではございま
すが、ご理解願います。
なお、この製品に関するその他の情報や、代替製品情報などは、弊社 電子計測 ウェブ
サイト http://www.agilent.co.jp/find/tm にて、できるだけご提供しておりますので、ご利用
ください。
訂正のお願い
本文中に「HP」または「YHP」とある語句を、「Agilent」と読み替えてください。
また、「横河・ヒューレット・パッカード株式会社」、「日本ヒューレット・パッカード株式会
社」とある語句は、それぞれ、「アジレント・テクノロジー株式会社」と読み替えてください。
ヒューレット・パッカード社の電子計測、自動計測、半導体製品、ライフライフサイエンス
のビジネス部門は、1999年11月に分離独立してアジレント・テクノロジー社となりました。
社名変更に伴うお客様の混乱を避けるため、製品番号の前に付されたブランドのみ
ＨＰからAgilent へと変更しております。
（例：旧製品名 HP 8648は、現在 Agilent 8648として販売いたしております。）
sa
]ll'こ 1,1,t
、llilll::￨
書
モデ ル 4 2 7 5 A
マル チ ・フ リケ ンシL C R メ ー タ
パ ッカード株式会社
ヒユーレット・
横河 ・
YOKOGAWA・ HEWLETT‐PACKARD,LTD.
禁 無断転載
部 品 番 号 o4275-97002
E口 昴1: 1989書 二3月
■
1
目
次
概
要
1-1 ま
1-4.概
1-9.仕
1-11.安
1-14 計
1-16 ォ
1-18. オ
3-23.測
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・1 - 2
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
¨・
様・
…
…
…………
……
……
…
1-2
つ
い
て
全性 に
3-27 測
器 番号 ………………… … ………… … … 1-3
… …… … …… …… 1-3
・
・
…… …・
・
・
プ シ ョン・
3-31.実
プ シ ョン 001…… … …… …… ……… ・1-3
3-35.測
・
・
・
¨・
・
・1‐ 3
…………・
¨・
…・
オ プ シ ョ ン 002-¨ ¨・
…
…
…
…
…
…
…
…
…
1-3
ブ シ ョン 0 0 3 …
ォ
1--20
1-22
1-24. オ
1-26. オ
・1 3
ブ シ ョン 0 0 4 … … … … … … … … … : ・
…
…
…
…
…
…
…
…
…
…
ン
1-3
ブシ ョ 101・
1 -28.
1-30. 特
1-32
そ
1-35 付
1-37月
第 2章
・ … …1 - 3
別 源1 定周 波数 追 加 オ ブ シ ョ ン …
…
…
…
…
… … 1-4
…
…
の 他 の ォ プ シ ョン
… … … … … … … … … … … … … … …1 - 4
属 品。
…
………………… 1-4
り売 の ア ク セ サ リ … …
使 用 前の 注意
2-1 概
2-3.検
3-21 自
・1 - 1
・
・
…… ……… ・
… … … … ……・
えが き・
・
・
・
・
・
…
・
・
:
1
・
.
.
.
.
・
・
.
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
…・
・
1‐ 1
説
・
・
…… … … … ・・
… … … … … ・2 - 1
説・
・
……
・
…… ・
・2 - 1
¨
・
・
……
…
…
…。
・
=・
査・ …
源 ……………………………………… 2-1
2-7 3芯
電源 コー ド…………………………… 2-2
2-9.動
作環境 ………………………………………2-2
2-5.電
3-25 接
3-29 ゼ
…… …………3-22
際 の演1定回路 … … ……… ・
… …・
…… …3-23
…………
料 の特性 と測定 値
…… … … …… …… … …………3-24
定 確度 …・
…… …… …… …3-24‐
ベ
定信 号 レ ル の 確度 …・
ス トフ ィク ス チ ュアの特性 ……… …… 3-34
3-33.試
3-37測
3-39 テ
・
……・3-34
差測 定 … …………・… ………
・
・
・3-34
……
……
3-43.二
般的 なull定方法 ……… ……
…… … … 3-34
3-45 警
告 表示 … ………… …… ………
……3-41
……
…… Ⅲ
………
…
3-47 外
部 直流 バ イア ス
…… …… … …… …… …3-41
3-50.外 部 トリガ… …… ・
¨・
¨・
…・
…・
¨¨……3--46
¨
・
¨
・
¨・
¨・
ー
¨
¨
・
3--52 ォ ブ シ ョン
3 - 5 4 . ォ ブ シ ョンの 表示 …… ……… …… ……… 3 - 4 6
3-56
オ プシ ョン 0 0 1 … … …… … …… ……・3 - 4 6
・
・
¨・3--47
……・
…・
…・
…・
…・
3--58.
ォ ブシ ョ ン 002… …・
¨
・
・
…
…3--48
¨
・
…
・
・
…
…
・
…
¨
3--60.
オ ブ シ ョ ン 003-・
…
…3 - 4 9
…
………
3 - 6 2 . ォ ブ シ ョン 0 0 4 ・………
3 - 6 4 . 特 別 周波数 オプ シ ョン… … ……… …… 3 - 4 9
3-41.LCRIZ偏
3 - 6 6 ォ ブ シ ョン 1 0 1
………3 - ―m ‐
・
H P 一 I B イ ン タ ー フ ェース ……………・
3-68.IIP―
3-70.
HP―
プ シ ョン (907,908,909)
の取付 け…………………………………… 2-2
2-14.保 存 お よび輸送 の環境 …………………… 2-2
3-72. L00ALボ
2-16.輸 送 とこん包 ……………………………… 2-2
3-76
2-12.オ
3-74.HP―
HP―
・
・
… …… …… …… … 3 - 5 0
I B と の 接続 ・
I B ス テ ー タス ・イ / ジ ケー タ… 3 - 5 0
タ ン…………… ……… …… … 3 - 5 0
I B コ ン トロー ル ・ス イ ッチ… … 3 - 5 0
・
・
…… 3 - 5 1
I B イ ンター フ ェー ス機 能 ・
…… 3-51
・
・
モ ー ト ・プ ログ ラ ム ・コー ド・
3-80. DOバ
イアスの 設定 … …… ……… … … 3 - 5 1
ー
3-82. デ
タ出 力 … … … …… …… ……… …… 3 - 5 ■
デー タ … …… … 3 - 5 1
3-84. DISPLAY A,Bの
3-78. リ
第 3 章 使 用法
3-1.ま
3-3.パ
・
・3-1
・
・
・
・
… ……・
・
・
…………・
…… …・
えが さ・
ネ ルの説 明 … … ……… ……… …… …… 3-1
3-86.基
3-88
3-8 測
ル フテ ス ト…… ……… ……… …… … … 3-1
……… …… … ……… ……… …3-7
定 機 能… ・
3-10.表
… ……… ……… … ……… …… …3-7
示部 … ・
3-92. サ
3-5.セ
…・
…… … ……… … 3-9
3-12 演 1定信 号 …………… …・
3-14.測 定 レン ジ……… ………… …… ……… … 3-9
3-16.等
測
3-90. キ
3-94.
準 値 の デ ー タ……… …… ………… … 3 - 5 4
定 信 号 ンベ ルの デ ー タ …… … …… … 3 - 5 4
ーの 設 定状 態 のデ ー タ・
…… …… … …3 - 5 4
ー ビス ・リク エス トの
ス テ 丁 タ ス ・パ イ ト… …… … ………… 3 - 5 5
4 2 7 5 A プ ログ ラ ミン グ ・ガイ ド………¨・3 - 5 5
ド …・
・3-15
……… …… ・
Ⅲ… …… 。
価回路 モ
4275A
ｄ則磯鯛習
・
・
期 自動 フ ァンタ シ ョン ・テ ス ト ……・3-17
……………… ……… 3-17
動 初期設 定 ………
…… …… ………… 3-17
…………
……
定 端子
……… …3-18
地 され た試 料 の 演1定…… … …・
…・
・
・
… … 3-18
ー
……
……
定 ケ ブル長 の 選択
……
…3-19
…
・
……
…
ロ 。オ フセ ッ ト調整 …
3-19.初
第 1章
図
表
目
次
図 1-1
…… ……1-1
4275Aお よび付属 品… … … …… ・
図 2-1
図 2-2
……… ……… …2-1
電 源電 圧 の選択 …… …… ・
・
…
……… ……… …2-3
ラ ック マ ウ ン トの 方法
図 3-1
表 面 パ ネ ル の 説 明 …… … ……… ……… … 3-2
図 3-16
図 3-2
…… … ……… …3-5
裏面 パ ネ ル の説 明… …… ・
…… … …3-16
並 列等価 と直列等価 との 変 換 … ・
図 3-17
並 列 等価 と直列 等価 の
適 用範囲 (概 略 )・…… … ……… ……… …3-16
図 3-19.
図 3-12
図 3-13
図 3-14
図 3-15
図 3-3
図 3-4.
図 3-5
図 3-6
図 3-7
図 3-8.
図 3-9
図 3-10
図 3-11
4端 子対法 に よる試料 の 接続 …… …… … 3-17
……… ……… …3-18
4端 子対 測定 法 … …… … ・
演1定 ケー ブルに生 ず る位相差…………… 3-19
…………………3-20
残 留 パ ラメー タの影響 …・
残留 バ ラメータ と演1定確度 との関係 …… 3-21
・
寄生 ィン ピー タ ンスを含 む等価回路 …… 3-22
試料 に固有 な寄生 イン ピー ダンス……… 3-23
図 3-18
図 3--20
図 3-21
図 3-22
図 3-23.
図 3-24.
図 3-25
・
・
・
… ・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・
・1 - 5
・
様・
ー
・
……
…
…………
………
………
タ
1-11
考デ
表 3-5
表 1-2.参
表 1-3.ァ
ク セサ リ……… …… …… …………… … 1 - 1 2
表 3-7
表 1-1.仕
表 3-6
表 3-8
表 2-1,電
表 2-2 ラ
表 3-1.測
表 3-2 測
表 3-3 測
表 3-4.測
4275A
源 ヒ ュー ズ…… ……… ………… …… … 2 - 2
ッタ マ ウン トの部 品表 ………… … …… 2 - 3
=-3-7
………… ・
・
・
定 バ ラメー タの 選択 … …・
ー
・
・
・
・
・
…………
パ
: …3 - 8
定 ラメ タの 計算 式
…… …… …3 - 9
定 信 号 レベル と周 波数 ……・
定 レン ジ と最 大表示 … ………… …… … 3 - 1 0
… …… … …3-23
試 料 の 共振 … …………… ……・
イ ン ピー ダ ンスの ベ ク トル表現 ………… 3-23
共 振 に よる ベ ク トル
・
・
∴…… ……… .・
:3-23
イ ン ピー ダ ンスの 変化 ・
…… …・
:・
…… … …:.….……… …3-25
測定 確度 ・
-般 的 な演
……… …… … …3-35
1定方法 … …… ・
…
…
……
…
・
・
:・
……… …3-37
半導 体部品 の測定
・
:…… …… … 3-42
外 部 直流 バ イア ス ……… …・
オ プシ ョンの表 示 ……… …… …………… 3-46
1rf DC BIAS CON「 RoLコ ネクタ……,・
3-48
1 1 P 一I B コ ン ト自― ル ・ス ィ ッチ… …… 3 - 5 0
4 2 7 5 A ォブシ ョン 1 0 1 の
ス テ ー タ ス ・パ イ ト…… …… ……… … ・
・
:3-55
サ ン プル ・プ ログ ラム 1 ・…… ……… …3 - 5 6
サ ン プル ・プ ログ ラム 2 … ……… … … 3 - 5 7
サ ンプル ・プ ログ ラム 3 … … ……… … 3 - 5 8
測定信 号 レベ ル ・モ ニ タの レン ジ… … … 3-15
…… …… … …3-15
,…
損 失 係数 の 計算 式 ……… ・
・
…… …・
・
1.……3-24
測定信 号 レベル の 確 度 … 1・
ス
ス
テ トフ ィク テ ュア と
‐
測定 ケー ブルの 代表特性 …… …………… 3-34
警 告 表示 ……… ………… …… …………… … 3-39
・
・
…… … 3-51
HP― IBイ ン ター フ ェー ス機 能 ・
表 3-10
リモ ー ト ・プ ログラ■ ・コァ ド……… … 3-52
表 3-H
・
・
…・
:・
……… ………… 3-54
表 3 - 1 2 . デ ー タ出カ コー ド・
9825Aを 用 い た サ ン プ ル ・
表 3-13
表 3-9
プ ログ ラム… … …… …… …… …… Ⅲ … … 3-55
まえが き
ー タは高確度 , 高 速度
Y H P 4 2 7 5 A マルチ ・フ リケ ンシー L C R メ
演1 定, さ ま ざま な測定分野 に対す る広 い汎用性 と高度 の 自動化 に よ
ダ ンス
る使 いやす さを備えた電 子部品測定器 です。 この イ ンピ
一
バ ラメー タ測定の 新 しい高性能 器は電子部品測定 を 層幅広 〈容易
に行 ない , 基 礎材料 の物理的 お よび化学的 な研究 開発 に, ま たその
他 の電子測定分野 に新 しい測定能力 を もた らします。 4 2 7 5 A に は
その限 りない用途 に応 え るための 多 くの アイデアが採 り入れ られて
います。 Y H P は これ らの新 しい L C R メ ー タの 概念 に基 づい て,
モ デ ル 4 2 7 4 A と 4 2 7 5 A を生み 出しま した。 この 2 種 の ユニ ットは
ー
それぞれ低い周波数 および高 い周波数領域 を カパ し, 同 様 の新 し
い概念 を反映 しています。特 に 4 2 7 5 A は高周波 における部 品測定 を
ー タです。
容易にす る高性能 L C R メ
4274A
4275A
YHP 4274A/4275A
YHP 4274Aと 4275ム を組 み 合 わ せ る と ,基 本
100H zか ら 10 MIzま での 周波 数
確度 01%で
範 囲 を カバ ーす る 高性 能 LCR演 1定シス テ ムに
な ります。 どち らの ユニ ット もマ イク ロ :プ ロ
セ ッサの 能 力 を活用 して完 全 自動 測定 と容 易 な
操作 を実 現 して い ます。 その 測定 能 力 もマ イク
ロ ・プ ロセ ッサ に よる高度 な コ ン トロ ル と強
力 な演算 機能 に よって高 め られ ていま す。 あら
ー
ゆ る測 定 に おいて希望 す る測定 バ ラ メ タを融
通 性 に富む組 み 合 わせ て選択 す る ことが で きま
ー
す。 内蔵 の マル チ メ タが 演1定周波 数 を,ま た
は そ れ に替 わ って測定 信号 電圧 ま たは電流 を表
示 し,試 料 に加 え られ る演1定信 号 をモ ニ タす る
機 能 を も備 え て い ます。
iV
4275A
第 1章
1 - 1 。 まえが き
の取扱説明書は YHPモ デ ル 4275Aマ ル チ 。フ
ー
リケ ツ シ LCRメ ー タの 概要,据 え付 け,お よび使用
1-2.こ
法 を記述 し解 説 します。図 1-1に
4275Aと その付 属品を
示 します。第 1章 では,仕 様,製 品概説,ォ ブシ ョンな ら
びにアク セサ リなど,製 品につい ての基本的 なことが らに
ついて述 べ ます。
概
要
ま なパ ラメー タ値 を全 自動で演り
定 す る,高 性能な LOR測
モ
ル
です。
定器
デ 4275Aは インタクタンス (L),キ
ャパ
抗 (R),損
失係数 (D),Q係
ィタンス (0),抵
数,
コ ングク タンス (G),サ
セ プタン不 (B), リ アクタン
ス (X),そ
してさ らにベ ク トル ・イン ピーダンスの絶対
値 (IZI)と位相角 (θ )を 広 い測定 レン ジにわた り短時間
に高い確度 で測定 します。 測定周波数は 10 kHzか ら 10
MHzま で 2点 の任意周波数 (ォ プション )を 含む12点の 周
波数か ら 1-2-4-10ス
1-3.こ
の取扱説 明書 を余分にお求めに なる場合は, ′
イ トル のペ ー ジに書 かれ てい る部品番号 に よって最 寄 りの
YHP営 業所 またはサ ー ビス部 にお 申 し付け ください。
1-4.概
説
1-5.YHPモ
デ ル 4 2 7 5 A マ ル チ ・フ リケ ン シー L O R
メー タは比 較 的 高 い 周波数範 囲 に おい て部 品 素子 の さま ざ
16047A
測定信号 レベルは lmVか ら lVま で 表 面 パネ ルの操作に
よって任意の値 に設定 す る ことが で きます。4275Aの 特長
で ある マル チ ・スポ ッ ト測定 周波数 と演1定信号 レベル可変
機 能は,部 品素子が実際 に動作す る条件 と同様 の 試験条 件
の もとで測定 を行 な うことを可能 に します。部品を規定 の
試験条件で測定 したい とき,4275Aは その標準 的 な測定条
件に合わせて測定を行なうことがで きます。それ ゆえ に
4275Aは研究,回 路設計ち製造上 の試験,そ して品質管理
上 のさま ざまな要求に応える真に万能なLCRメ ー タです。
割ζ
品1番号 8120--4753
図 1
4275A
テ ップで選 択 で き,こ れは高 い測定
能力 と広 い汎用性 を備 えた本器 の大 きな特長です。
-1 4275Aお
よび付属品
1-1
第 1章
概
要
これ ら測定信号可変機能に よる もう一つ の大 きな特長は,
半導体や磁性 体 コアを使用 したイ ングク タの ようにその値
が動作条件 に強 く依存 して変化す る非 直線 イ ン ピこグ シス
素 子の測定が容 易に なる ことです。特に 4275Aは 半導体測
定 の分野に おい て素子の実験的評価,研 究に大 きな能力を
発揮 します。
測定値は 2つ の演1定パ ラメー タ値にそれぞ れの適切 な単位
を伴った41/2桁の数字で同時に表示されます。高分解能
測定 モ ー ドでは , 1 0 回 の 測定値 を平 均演 算す る こ とに よっ
て,さ らに下位桁の測定値と51/2桁の分解能が得 られます。
4275Aの 特徴 的 な第 3の 表 示 部 には,設 定 され た 測定 周波
数 や 測定 され る試料 に 加え られ る測定信号 の真 の 電 圧 ま た
この多機 能表 示 部は ,測 定 中に いつ
で も必要 な測定 条件 を選択 してモニ′するこ とを可能 に しま
は電 流 が表示 され ま九
す。それ ゆえ 4275Aは 他の機器 の助けを借 りず にすべ ての
試験測定条件 (周 波数,測 定電 圧 お よび電流 )デ ー タを与
え る,必 要 な機 能 をす べ て備え た LCR測
タンス,抵 抗 とイン ピー ダ ンスの偏差測定 を行 ないます。
この操作 キーはある測定値 を基 準値 として記憶 し,そ れ に
続 く演1定結果 をそ の基準値か らの差 または%偏 差 として演
算 し表示 す る機 能を持 ちます。基準値は機器 を 「ス トア」
モ ー ドに設定 した ときの測定値か ら得 られ,記 憶 されま九
デ ジタル ・オ フセ ッ ト機能 は使 用す るテ ス トフィクス チ ュ
アrC特有 の浮遊容量 や残留 イング クタンス,抵 抗分を測定
・
し,そ れ らの寄生 イン ピ 夕 ンスの影響 を測定値 か ら取 り
除 きます。測定が行 なわれ る毎 に最適 なオ フセ ッ ト補償 値
を 自動的 に計算 し,補 正 を行 な って正確 な測定値 を表示 し
ます。それ ゆえ,テ ス トフィタステ ュアの 20 pFまでの浮
遊容 量,2000 hHまでの残留 イングク タンス, 0.5Ω までの
抵抗,そ れ に 5μSま で の コ ング ク タンスに原 因す る測 定
誤差が 自動的 に除去 され ます。 マイク ロ ●プ ロセ ッサの 応
用は 4275Aの 高 信頼性設計 に も活かされ てい ます。操作 ボ
タ ンを押す だけで 自己診断 を行 な うセル フテ ス ト機 能を備
え,機 器 の正 常 な動 作 を簡単 に確認することが で きます。
定器 です。
はその豊 富 な機能 を よ リー 層拡張す るた
め に,用 途 に合 わせたテ ス トフィクスチ ュアや 直流 パ イア
ス内蔵, メ モ リ ・パ ックア ップ (設 定状態 の 永久記憶 と適
時再現 ),HP― IBイ ンター フ ェ ス 機能 などのオブシ ョ
1-8.4275Aに
1-6.測
定範 囲は キ ャパ ツタンスにうい て 0 01 fF(フェ
・
ム ト フ ァラ ッ ド=10 15フ ァラッド)か ら199.99μ F,イ
ンダ クタンスは 0.001 nHか ら 199.99H,抵 抗 と イ ン ピー
ダ ンスは 0.01 mΩか ら 19.999 MΩ に及び,レ ンジ,測 定信
ンが用意 され ています。
号 レベル と周波数 に よって 0.1%か ら5%の 測定確度 を持
ち, 140か ら 180msの 測定時間 でEll定します。測定 等 価回
路は並列 お よび直列等価 回路 の両方か ら選択できます。LCR
とIZI濃
1定に加え て損失係数,Q係 数,等 価直列抵抗, コ ン
・
タ クタンス, リ アク タンス,サ セ プタンス または位相角の
いず れかの測定 パ ラメー タが 同時 に選択で きます。損失係
1-10 4275Aマ
数 の演1定範囲は 0.00001か ら9.9999,Q係
数 は 0.01か ら
9900,等 価直列抵抗は 0.01 mΩ か ら 19.999 MΩ ,コ ング
ク タンス とサ セプタンスは 0.01 nSか ら19.999S,卸 角は
様 を表 1-1に
001° か ら 180.00°まで を含み ます。 測定値 は L, 0,R
またはIZIの測定値 と同時 に表示 され ます。4275Aの 広 い演1
定範囲は セ ラミック ・チ ップ コンデ ンサや半導体接合容量
す。 これ らは機 器 の使 用上 で必 要 に なる と思 わ れ る代 表的
の よ うな小容量 か ら電解 コンデ ンサの大容量 まで を カバー
します。その高分解能測定 能 力は ス テ ロール ・キ ャパ ツタ
荷 され ます。
様
1-9.仕
ル チ 。フ リケ ン シ ー LCRメ
ー タ の仕
示 します。 この 仕様 は 4275A4ヽ検査 され る
場 合 に基 準 となる動 作標 準 また は限 界値 とな ります。 また
一
表 1-2は 仕様 以外 の 4275Aの 動 作 に関す る 般的情報 で
な特 性 で あ り,仕 様 では あ りませ ん。 4275Aが YHPか
出荷 され る場合 に は ,表 1-1の
ら
仕 様 を満足 す る状態 で 出
の よ うな非常 に小 さな損失係数 の測定 を可能に します。高
周波 コイルか ら出カ トランスの イ ング クタンスまで,広 範
囲の インダクタンス測定 を適切 な周 波数 で行 な うことがで
きます。 また広 い抵 抗測定範囲は, ケ ー ブル導体の低抵抗
か ら固定抵抗 器 の高抵抗 まで を任意の周波数 を選択 して測
定す ることが可能 です。
マ イタ ロ ・プ ロセ ッサの記憶,演 算,制
御機 能を高度 に活用 した ユニ■クな操作機能 を持 ってい ま
・
す。 2つ の z(デ ル タ )キ ーはキ ャパ ンタンス, イ ンタ ク
1 - 1 1 . 安 全性 について
1-12 4275Aは
IEc PuBLICATION-348(1971)
の規 定す る安全 階級 I の 製 品 です。
1-7 4275Aは
1-2
1_13.こ
の取 扱 説 明書 の 中で , “注 意
", 曖
記
"と
いう
部 分が あ り. ます が , これ らは 本器 を正 し く安 全 に使 用 して
第 1章
いただ くために特に重要 な事項 ですか ら必ず守 って くださ喝
1-20.オ
概
要
プシ ョン 002
1-21 4275Aォ ブシ ョン 002は Ovか ら 99.9vまで16023
Bバ イァ ス ・コン トロー ラまたは HP― IBコ ン トロー ル信
1-14.計
号 に よって任意の電 圧 に設 定 で きる直流 バ イアス電源 を内
蔵 します。 バ ィァス電 圧は ±000vか ら±99.9vまで 1レ
器 番号
ン ジで 3桁 の数字で設定 します。
機器 を識別す るために,本 器 の裏面 パ ネ
ル上 に計器番号 を付 けています。本器 に関す るお問い合 わ
せや修理 依頼 の際には,こ の計器番号 も一緒 にお申 し付け
1-15.YHPは
くだ さい。
1-22.オ プシ ョン ∞3
1-23 4275Aォ プ シ ョン ∞3は ス タンバ イ電 池 を内蔵す
る ことに よって,電 源切断時に も機器 の任意の設定に関す
る記憶 を保持 し,電 源が再 投入 された時または使用中必要
な時にその設定 を再現す ることがで きる機 能 をもちます。
1-16.オ
1-24.オ
ブ シ ョン
1 - 1 7 4 2 7 5 A r C は 基 本的 に 8 つ の ォ ブ シ ョンが用意 され
てお り, そ れ ぞ れ 次 の機 能 や ア ク セサ リを装備 します。
オ プ シ ョン 0 0 1 直流 パ イア ス 内蔵 ( 0 - 3 5 V ) 。
直流 バ イ ア ス 内蔵 ( 0 - 9 9 9 v ) 。
パ ッテ リ ・メモ リ ・パ ッタ ア ップ。
ス タ ンパ イ電 池 内蔵 に よる電 源切断 時
オ プ シ ョン 0 0 2
オ プ シ ョン 0 0 3
の 設定 デ ー タ記憶 保持 6
オ プ シ ョン 0 0 4
1-3-5ス
テ ップ選択測 定 周波数。
H P ― I B イ ン タ ー フ ェー ス。
オ プ シ ョン 1 0 1
プシ ョン 004
1-25 4275Aォ
オ プ シ ョン 1 0 2
プ シ ョン ∞4は 1-2-4ス テ ップで選択
す る標準測定周波数 に替え て 1-3-5ス テ ップで選択 する
10点の測 定 周波 数を備え ます。 さ らに 2点 の 任意周波数
を追加す る特別周波数ォプシ ョン も併用で きます。
1-26.オ
ブシ ョン 101
1-27 4275Aォ
プション 101は , HP― IB(Hewiett―
P a c k a r d l n t e r f a c e B u s )イラ
ンか ら リモー トコン トロー
ル信号 を受け て測定 デー タをその ラインを通 して送 り出す
ための イ ンター フェー不機能を備 え, 4 2 7 5 A を H P ― I B シ
ス テムに組み込む ことが で きます ( I E E E 4 8 8 準 拠 ) 。
オ プ シ ョン 9 0 7 , 9 0 8 , 9 0 9 : ハ ン ドル, ラ ック マ ウン
ト, お よび ハ ン ドル と ラ ック マ ウン ト
組 み合 わせ キ ッ ト。
オ プ シ ョ ン 910,91S, 91P:取
扱説 明書 1部 追加。
記
記
オ プシ ョン O o 3 バ ッテ リ ・メモ リ ・バ ックア ップ とオ
プ シ ョン 1 0 1 H P ―I B イ ン ター フ ェー スの機 育日ま, 計
器 番号 2 0 4 5 」0 1 2 4 3 以 降 の機 器 には , 標 準装備 されて
い ます。
オプシ ョン 0 0 1 と 0 0 2 は同一 機 器 に同時 に内蔵す るこ
とはできません。
1-28.
1--29.
1-30.特
1-18.オ
ブシ ョン 0 0 1
1 - 1 9 4 2 7 5 A オ プ シ ョン 0 0 1 は O V か ら 3 5 V ま で 1 6 0 2 3
B バ イア ス ・コ ン トロー ラまたは H P ― I B コ ン トロー ル信
号 に よって, 任 意 の電 圧 に設 定 で き る直流 バ イァ ス電 源 を
内蔵 します。 パ ィア ス電 圧 は 3 レ ン ジに わた って 3 桁 の数
字 で 次 の よ うに設 定 します。
士. o o o v ―土。
999V
± 000V―
±999v
別 測定 周波 数追 加オ ブシ ョ ン
1-31.4275A特
別周波数 追 加 オ ブ シ ョンは 1点 または 2
の
点 任意 の 測定周 波数 を10点 標準 周波数 また はォ ブ シ ョン
004に 追 加 します 。追 加周波数 は ォ プ シ ョ ン番号 に よ って
次の よ うに指 定 され ます。
オ プシ ョン
周
波数 範囲
_99.O kHz
RXX
lo o kHz―
SXx
loo kHz
TXX
-99o kHz
1 00MHz-9.9oMHz
± 00.OV― ±350V
アル フ ァベ ッ トに続 〈2桁 の 数 字 に ょって測定 周波数 の 最
上 位桁 と 2桁 目の数 字 を指定 します。 オ ブ シ ョン番号 の ア
ル フ ァベ ッ トが Fの ときには次 の 特定 周波 数 を指定 しま九
4275A
1-3
第 1章
概
要
オ プ シ ョン
測
定周波数
F01
15 7 kHz
Fo2
32 8 kHz
Fo3
455 kHz
F04
1-35.付
4 2 7 5 A の付 属 品一 式が示 され ています。
ー ド ( 部 品番号 : 8 1 2 0 - 4 7 5 3 ) ,
コ
本体 の ほ か に 電 源
お よび 1 6 0 4 7 A テ ス トフィク ス チ ュアが付属 します。 .
1-36 図
3 58MHz
F05
4 19 MHz
Fo6
10 7 MHz
属 品
1 - 3 2 . そ の 他 の オ プ シ ョン
1-1に
1-37.別 売 のア クセサ リ
1-33電 気的性育
標準機器と同じで, ラックァ ウン
レヽ
ト用部 品 などが追 加 され るオ プ シ ョン に次 の ものが あ りますb
オ ブ シ ョン 907:ア ロン ト ・ハ ン ドル キ ッ ト。 4275Aの 前
チ
フ
面 両側面 に運搬 用 ハ ン ドル を取 り付 け ます。
・
シ
ン
フラン
ジキ
タ
4275Aを
プ
ト
オ
標準
ッ 。
ョ 908:ラ ノ
象
は浪1定rC便利 な 8種 類 の テ ス トフ ィク ス
ー
ュア とテ ス トケ ブ ルが用 意 され てい ます。 それぞ れ の
ー
ィク ス テ ュ アや ケ プルは さま ざま な測定 用 途 や測定 対
の 形状 に適 す る よ うに設 計 され て お り,各 種 部品素 子 を
表
率 よ く簡単 rc測定す るた めに ご利用 いただ け ます。
1-3に それ らに つい ての 簡単 な説 明が あ ります。 詳 し
く
は第 3章 を参 照 して くだ さい。
能
ックに 組み込 む た めの キ ッ トですo
ォ プシ ョン 9o9:ラ ック ・フ ラン ジお よび フ ロン ト ・ハ ン
ドル キ ッ ト。 4275Aに ハ ン ドル を取 り付 け て ラ ックに 組
l-38 4275Aに
EIAラ
み込 む ための キ ッ トです。
これ らの ォ プ シ ョンの取 り付 け方法 や 組み 立 て方法 は第 2
章 に詳 し く述 べ てあ ります。
1-34.次
の ォ プ シ ョン を指定 (本 体 発注 時 に )し ます と
常 に付 属 す る取 扱説 明書 のほ か に下記 の説 明書 が追 加 され
ます。
オプ シ ョン 910:英 文取 扱説 明書 1部 追 加。
オ プ シ ョン 91S:英 文 サ ー ビスマ ニ ュアル 1部 追 加 。
オ ブ シ 彗ン 91P:和 文 オ ペ レー テ ィ ン グ ノ ー ト1部 追 加。
1-4
4275A
第 1章
測定項 目 :
パ ラメ ー タ :C(容 量 ), L(イ ン ダ クタ ンス), R(抵
(イ ンピー ダ ンス), D(損 失係 数 ),Q(=1/D),ESR(等
抗 ), IZI
モー ドでは,C― D・ Q・ ESR,
モ ード
‐ R3・
測定 の 組み 合せ : o―
L― D・ Q・ ESR R一
X・ L, IZ―
a
では,C― D・ Q・ G,L― D・ Q・ G,R一
測定信 号 :
月
文:10k, 20k, 40k, 100k, 200k, 400k, lM, 2M, 4M, 10
1,支姜
価
直ラ嚇低抗 ), G(コ ン ダクタ ンス), X(リ ア クタ ンス), B(サ
セプ タ ンス),θ (位相 角 )お よび L・ C・ R,ZIの
△ (偏差値 )
または△%(偏 差値 の パ ー セ ン ト表示 )。
M H z ± 0 . 0 1 % 。オ プション0 0 4 により1 - 3 - 5 ス テ ップに変更
可能。1 0 k H z ∼
1 0 . 7 M H z あ 範囲で 1 点 または2 点 あ周波数 を
追加 できる ( 特注 仕様 ) 。
レ: 3 レ ンジ, l m V ∼ l V r m s 連 続可笙
O S C レ ベィ
レベ ルモ ニ タ :測 定電 圧 または電 流 をモ ニ タで きる。
自動 ゼ ロ調整 :測 定用 治具 等 の残 留分 をプ ッシュ ボタ ンに よ り少
B・ C, IZI― &
表示 :5・1/2オ飢 最大 表示199999(高 分解能 モー ド),4・ 1/2桁 ,
最大 表示19999(ノ ー マ ル モー ド)。 (有効桁数 は測定 周波数 ,
信号 レ^tル レ ンジに よ って変 る )。
測 定回路 モ ー ド : …
(直
列 等価 回路 )お よび ●R3・
ー ドに よ り自動 選 択 可育じ
(並 列等価 回路 ),AUTOモ
偏 差測 定 :基 準値 を言己録 し,測 定値 との偏 差 ま たは偏 差 の パ ー
セ ンテー ジ を表示 す る。
ンジの とき, -199999∼ +199999カ ウ ン ト。
表示 範囲 :AUTOレ
マ ニ ュアル レンジの とき-199999∼ +199999カ ウ ン ト,イ
旦し試
な くとも下 記 の範 囲 内 で 自動 的 に除去 で きる。
C:20pFま
きる。
(2)OSC LEVELパ
ー ニ ャ :× 1, ×0.1の レンジ でパー ニヤ
を
最大 位 置 (右 いっぱ い)に した場 合 。
(3)CABLE LENGTHを
0(ゼ ロ )の位 置 に し, 自 動 ゼ ロ調整
を実施 した場 合
(4)周 囲温度 :2『C± 5℃ ,0° ∼5げCで は誤差 の 限 界値 は 2倍 に
+19999%
な る。
外部 または手動
芳u蜀ヒ冑七月F: 4古 出F[ナ寸蹴
Sま ( L:2000nHま
ス
■R:o.5Ω まで
ー に よ り4275Aの 動作 を確 認 で
測 定 範 囲 お よ び 測 定 確 度 :各 測定項 目につ い て以下 に示 す。
測定確度 は次 の 条件 を満 足す る とき測 定端 子 面 で規定 す る。
(1)ウ ォー ムア ップ時 間 :30分 以上
レンジ切 換 :自 動 または手 動 (ア ップ ダ ウ ン)
トリガ :内 邦
ζ G:5″
セル フテ ス ト :SELF TESTキ
料 は そ の レンジで測定 で きる範 匹
%の 表示範 囲 :-199.99%∼
概
(5)有 効 測定値 の カウ ン ト数 が 20カ ウ ン ト以上 の場合 。
(6)確 度 は 土 (読 みの %十 カウ ン ト+残 留分 )で 表 わすび
但 し, Dの 確 度 は 士(読 みの%+Dの
絶対値 +ヵ ゥ ン ト),位
相 角 の確 度 は 土角度 (°)で表 わ す。
。
ト値 は, 有 効測定イ
( 7 ) ( 6 ) おけるカウン
こ
直に対するカウン ト誤為
α＝
触 瞬訛
確度
aEa2
1/α と 1/α2
ヽ
4 0 0 k ' 4 M H z ( C 測定 )
定)
/盤
写雰踏製表聟
ギ
】
晰晃'測
MH2(L・
C 測定)
2 0 k 2・0 0 k2・
0
50000
100000
L ・C ・R ・l Z の 表示 カウン ト数
…
〔
150000
200000
分解能 モ ー ド)
(高
"〕
上の グラフの横軸はデ ィスプレー A の 表示 カウン ト数、縦軸が確度
係数 ( α
. α 2 . 1 / α, 1 / ′ ) を あらわします。L お よびC 測 定 の場合
表 1-1仕
4275A
L ・C ・R ・I Z l の
表示 カウン ト数
は周波数に対応するカー プか ら、R お よびI Z I 測定の場合はカープ
売み とります。β, γおょびδについては, 各測定 の右側の注
① か ら言
を参照。
様
1-5
要
第 1章
概
要
C‐D, C‐ Q預J,t―
ま
。
●
示
す
左
却
E彊]を
● Cの 確 度 は D≦ 0.1の 場 合 に適 用 され る。0.1
く Dく 1の 場 合 は次 の 誤 差 を加 算 す る。
lMH2)
D/10(%)(≦
D/2(%)(>l MH2)
︵
Ｌ︶ ヽ ヽ ■０
[:礁
)署FttI品
●● 1/α :1-5ペ ァ ジ の 確 度 係 数 の グ ラ フ を参 照 。
“ =2(10kH2,100kHz,lMHz 10MHz)
1(20kH2,200kHz,2MHz)
5(4鎌
Hz,400kHz,4MHz)
● γ : 1 - 5 ペ ー ジ の 確 度 係 数 の グラ フに お い て ①
｀
″
の カー プ を 1 / α ス ケ ー ル で読 む 。
0 1%+(β +￨)
( 0 3 + 0 0 3 / )α% + ( 0 0 0 0 5 + 3 / 1 0 1 m a ) + ￨
● D の 測定 範囲 : 0 0 0 0 1 - 9 9 9 9
tti+(?r+| )+t.Orrt
q)r*(o.rr*;L.
.r*
● Q の F R定
」 範 囲 : 0 _ 0 1 ∼9 0 0 0 , 但 し1 / D の 演
算 表 示 ( ノ ー マ ル モ ー ドで は0 0 1 - 1 2 0 0 )
● C の 表 示 範囲 ( ノ ー マ ル モ ー ドで の カ ウ ン ト数 ) :
03%+(′+1)+￨●1,F
・
n3・
:::奎
::1約6∞以下∼1"9
定
瀾
周
波
…
約800以下 ∼1999
(D≦ 1)
数
0∼19999
●左 表 はC―ESR C―
0∼19999
Gお ょびR―C浪 J定のCの
確 度 に も適 用 され る。
● Cの 有 効 表示 桁 数 は 淑1定 レベ ル, レ ンジ,周
波 数 に よっ て変 る。最大 5桁 。最大 分 解 能 C
:0_01fF。
●〃 / / / 1 部 分 の 確 度 は 規 定 して い ませ ん 。
ESR, C‐
G測 定
●左 表 は
を示 す 。
︵
０︶ヽ ヽ ユ ０＼ ︵ｑ︶ヽ ヽ ユ αＯ回
● C の 確 度 はC ―D / Q 測 定 の 項 を参 照
● α, α2 , 1 / α, 1 / α 2 : 1 _ 5 ペ ー ジの 確 度 係
数 の グラ フを参 ‰
● γ : 1 - 5 ペ ー ジの 確 度 係 数 の グラ フ に お い
て, ① の カ ー プ をαス ケ ー ル で読 む。
●E S R , G の
表 示 範 囲 ( ノー マ ル モ ー ドで の
カ ウ ン ト数 ) :
ESR
G
ESRレンシ:
0∼19999
10009∼
1 0MΩ
1Bし
,411k,4001
0 ∞∼1 9 9 9
約1
Gレンシ:
4MH2のときは
(D≦ 1)
n
S
∼
10∞ 10mS
o∼moo
01%+(1/α +2)
l
o2%+(2/α
o.to/6+$a+so+t\
o.t%+(t/a+z,
01%+(5♂
+5α+￨)
l
+3)
l ・
|
0.3%+(51+50+r)
I
o.z%+Qla+3'
。
2
|
.z
+5)
3%+(6/α
2%+(15汁 5)
E S R レンシ:
101111nQ∼
1∞Ω
Gレンジ
S
l
10o口 oS
0-19999
約2 5 0 ∼
19N99
( D ≦1 )
●E S R , G の 有効表示桁数 は4 梅 但 し
レベル, レンジ, 周 波数 によって変 る。
最大 5桁 。最大分解能 ESR:001“
Ω、G
:0 01nS。
3%+(5● 2+5α+￨)
●3%+(1/・ +5)
03%+(10′ +5α+￨)
●r////Л部分の確度は規定 してい ません。
● 。l E S R : 1 % + ( 3 / α + 5 / α2 ) + 2
G : o 5 2 ち + ( 2 0 γ+ 3 )
。2 E S R : 1 % + ( 4 / α + 3 )
瀾
定 周
波
数
表 1-1 仕
1-6
G:o5%+(15γ
+3)
様 (つ づ き )
4275A
第 1章
L‐D, L‐ Q預1,竜
概
ま 示
。
●
左
却
す
匠甕]を
● Lの 確 度 は D≦ 01の 場 合 に適用 され る。
0.1く Dく 1の 場 合 は次 の 誤 差 をカロ
算 す る。
D/10(%) (≦
像
100mH
麟聯
中
¨
¨
中
¨
一
¨
¨
︵
工︶ ヽ λ ゝコ
ー ジの 確度 係 数 の グラ フ に お い
ー
ー
て,① の カ プ をαスケ ル で 読 む。
●Dの 測定魚姻 :00001∼ 9.999
●γ :1-5ペ
輻
0Qの
難
￨+面
%+tO∞
号Eり
哉J手
t03ギ
Ⅲ9%+い +調
10μ
H
Ⅷ
15+り%+喘年 十:
03%+3
けり % + : 諦
普
100kHz
定
周
波
約81111以
下 ∼1999
(D≦ 1)
0∼19999
+“
( 1 +)号
●左 表 はL ― E S R , L ―
聖Ш」キ￨
0∼19999
Gお よび R一 L測 定
の L の 確 度 に も適用 され る。
● L の 有 効 表示 桁 数 は, 測 定 レベ ル . レ ンジ,
200kHZ1 400kHz
瀾
・
43・
-
+
1
loonH
10kHz 1 20kH2 1 40kHz
し1/Dの 演
∼
6∞
99
以
Ю
下
:華
醐約
￨)%+
(2+≒
05%+5
ヒ
1000nH
311定範 囲 :0.01-9000,但
算 表示 (ノ ーマルモー ドで は0.ol∼ 1200)
●Lの 表 示 範 囲 (ノーマルモー ドでのカウ ン ト数 ):
01%+3
100μH
/
を参 照 。
難
000μH
l MHz)
D/2(%) (>l MHz)
‐ ,1/α :1-5ベ ー ンの 確 度 係 数 の グ ラフ
2M Hz
IMHz
10MHz
4MHz
周波 数 に よ っ て 変 る。
最大 5 桁 。最 大 分 解 能 L : 0 0 0 1 n H 。
数
● Z////m部 分 の 確 度 は規 定 して い ませ ん 。
ESR,L‐
ESR
G測 定
G
r警囲
10M0
1000k Q
轟蓬
墨蠅 晰 躊 靱
00″
S
靭 蝠 雅1::菫
華:影
盤構轟
甜 一
一
一
一
一
一
一
一
一
一
一
¨
一
一
一
一
一
一
一
一
一
一
一
´
躙
●γ :1-5ペ ー ジの 確疲 係 数 の グラフ に お い
て,① の カ ー プ をαスケ ー ル で 読 む。
●ESR,Gの
表 示 範 囲 (ノー マル モー ド‐ ヵ
徹
]轟
mi轟 :
﹁
0004
蒻
１
111,%￨
11■
11彗
1120H
″■■一
一
10k Q
¨一
︹¨
︵
∽︶ヽ ヽ ３ ０＼ ︵Ｇ︶ヽ ヽ ゝ α∽回
●Lの 確 度 はL― D/Q測 定 の 項 を参 照
薇 ,α l 1/α ,1/α ・:1-5ベ ー ジの 確 度 係
数 の グラ フを参 聰
￨レS
100k Q
￨●XIQ
10mS
1000
00nS
祉
彫
ふ
0.2%+(5a+3)
t)
o-3%+(2/d+2/a+
-l 00sll ---------ir--
i_」 [:`illili:“
2)
橘
ウン ト数 ):
ESR
G
ESRレンシ:
0∼19999
10000∼
1 0‖
Ю 1500以
下∼1999 但し40L400L
Gレンシ:
(D≦1)
`MH=で1ま
1 0 0 0 n S1∼
S
0口
0∼10000
E S R レンク:
∼
1000餃 10m
1250以下
0∼19999
-1999
G レンシ:
(D≦1)
1011nS-10S
1耀
→塩i」
帯ル
墨野憮υ
￨ぃ1協
●ESR,Gの
03%+(5α +3)
03%+(2/′ +2/α十1)
10kHZ 1 20kHz i 40kHz l100kHz
有 効 表示 桁数 は 測 定 レベ ル, レ
ンジ,周 波 数 に よっ て変 る。
0.5%+ (6a+3)
t)
0.5%+(s/d+2/a+
----J|
to(hH
200kHz 1400kHz l l MHz
最 大 5桁 。最大 分 解 能 ESR:o ol叔
:0 01nS。
2MHZ 1 4MHz l10MHz
, G
●r////」部分の確度 は規定 してい ません。
:1%+(20α 2+20ア)+2
C :05%+(5/α
+3)
・2 E S R
:05%+(6α +5)
C :05%+(2/α 2+3/α +2)
● Ⅲl E S R
瀾
定 月
波
強
表1́ - 1 仕
4275A
様 (つ づき )
1-7
要
第 1章
概
要
R¨X/B, R…
L/C渕 Jラ
置
を示す。
●左表 は
●Rの 確度はQ≦ 01(D≧ 10)ι'裁 舘こi劇電
ー
される。Qゝ 0.1の場合は参考デ タを参照
ー
●“ a2,1/“ 1/a2:1_5ペ ジの 確度係数
のグラフにおいて Oの カー プ を参照
●狂 高分解能モー ド ■2 壺奎立= をJ ユ
︵
０︶ヽ ヽ ヽ ｍλ ｑ︶ヽ ヽ さｘλ α︶ヽ ヽ ュ α
ノーマルモー ド Xの 読 み (カウン ト)
10000
●Lの確度は,L― D/Q測 定 の項 を参照
●Cの 確度は,C― D/Q測 定 の項 を参照
ー
●R,X,B,Lお よびCの 表示範囲 (ノ マルモ
ー ドでの カウ ン ト数 ):
R・Xレ ンジ :
R・Xレ ンジ :
∼100Ω
101111ttΩ
1000Ω∼10MΩ
Bレ ンジ :
Bレ ンジ
100mS∼ 10S
101111ns-10mS
約 360以 下 ∼ 1999
X
約5 0 0 以下 ∼1 9 9 9
Rp
0∼19999
0∼19999
(Q≦ 1)
B
Ls
0∼19999
約 560以 下 -1999
約 360以 下
∼ 1999
0 ∼1 9 9 9 9
(D≦2)
約 5 6 0 以下 ∼ 1 9 9 9
CP
0∼1999
但 し, 4 0 k , 4 0 0 k ,
4MH2で は
約 1 4 0 0 以下 ∼1 9 9 9
添 字 8:直 列 等 価 回 路
P:並
列等価 回路
●R , X ま たはB の 有効表示桁数 は, 測 定 レ
ベ ル, レ ンジ, 周 波数によつて変 る。
最大 5桁 。最大分解能 R・X10 01mQ,
B:0 01nS。
部分の確度は既定 してい ません。
●1 / / / / 〃
● 。l X : 1 % + ( 2 0 α 2 + 2 0 α+ 1 )
2 + 3 / α+ 1 )
B:05%十
(3/α
。2 X : 1 % + ( 2 0 α 2 + 2 0 α+ 1 )
測
定
周
波
表 1-1
1-8
+3)
B:05%+(2/α
。3 X 1 0 5 % 十
+5)
(10α
+3)
B:05%+(2/α
数
様 (つ づき )
4275A
第 1章
概
θ測 定
左
●
表
は 示
す
[EEE匡
]を
● α, 1 / α: 1 - 5 ペ ー ジの 確 度 係 数 の グラ フ に お
い て, ① の カー プ を参 照。
● θの 測定 範 囲 : - 1 8 0 0 0 0 ° ∼ + 1 8 0 0 o O °
● I Z , θ の 表 示 範 囲 ( ノ ー マ ル モ ー ドでの カ
ウ ン ト数 )
IZI
θ
約360以下∼1999
0∼18000
0∼19999
0∼18000
● IZI, θ の 有効 表 示 桁 数 は,測 定 レベ ル , レ
ン ジ,周 波数 に よ って 変 る。最大 5桁 。最大
分解 育日 Z卜 0 01mΩ 。
●r////1部 分 の 確 度 は規 定 して い ませ ん 。
瀾
定
周
波
数
オ プシ ヨン002:0∼ 99.9V内 部 DCバ ィ ア ス (C≦ 0.lμF)
レンジ :土 (00.OV∼ 99.9V),o.lVス テ ップ
DCバ イ ア ス
裏面 パ ネルの スイ ンチに よ リバ イア スモー ドを切換 える
確 度
内 部 D レ くイ ア ス :
オプシ ョン0 0 1 : 0 ∼3 5 V 内部 D C バ ィアス
レ ン
ジ
ス テ ップ
土 (.000∼ .999)V
土 (1.00∼ 900)V
10mV
土 (10.0∼ 35.0)V
O.lV
lmV
確
度
*
土 (読み の0.5%+2mV)
土 (読み の0.5%+4mV)
土 (読みの0.5%+20mV)
■ス イ ッチ位 置が C≦ 0,lμFの 場合 。C≦ 200μ Fの ときι
ま土(読みの 2%+
20mV)
出 力抵 抗 :220Ω ± 10%,最
1050Ω ± lo%.輝
:土 (読 み の 2%+40mV)
出力抵 抗 :50kΩ ±10%,最 大 電流 2mA
コン トロー ル :オ プ シ ョン001に 同 じ
大 電 流 40mA(C≦
流 10mA(C≦
0 . l μF )
200μ F)
コネ ク タ :オ プ シ ョン001に 同 じ
外部 DC′ ｀イア ス :裏 面 ノヾネ ルの BNCコ
ネ クタに 最大 ±200Vの 直
流 電圧 を`助1で きる。
±35V MAXの
±200V MAXの
とき, 内部 直列オ
抵抗 :loo Ω± 10%
とき, 内部 直列抵抗 :150kΩ ±10%
モ ニ タ 出 力 : 裏 面 パ ネ ルの B N C コ
ネ クタか ら内部 または鵜 レ ヾィ
ア ス 電圧 をモニ タで きる。
出力抵 抗 : 3 0 k Ω
コン トロー ル : 1 6 0 2 3 B 直 豫 ｀イア ス コン トロー ラ またはH P ―
I B に よる リモ ー トコン トロー ル
コネ ク タ : コ ン トロー ル入 力用 コネ クタ ( 1 6 0 2 3 B 側 ) : Y H P 部
品番号 1 2 5 1 - 0 2 9 3 , ア ンフ ェ ノー ル 5 7 - 3 0 2 4 0
適 合 コネ ク タ : Y H P 部 品番号 1 2 5 1 - 0 2 9 2 ,
ア ンフ ェ ノー ル 5 7 - 4 0 2 4 0
表 1-1 仕
4275A
様 (つ づ き )
1-9
要
第 1章
要
概
一
般
仕
i J l lイ
サ
j ii角
ォ プシ ョン9 0 7 : フ ロ ン ト ・ハ ン ドル キ ント。4 2 7 5 A の B ‐
つて
する。 Y H P 音 障詰番号 5 0 6 1 - 0 0 9 0
ドに運搬 用 ハ ン ドル をI T x り
様
C∼ 5げC, 4ぴ Cで ‖は1,1〃
鯰95%1■ ド.
動イ
乍温度 :0°
-10%, 48-66H z
電 源 :10Q 12α 220V± 10%, 240V+5,ぢ
lLブ」は165VAmax
i青
でセ
さ) ×5 7 4 ( 奥` i き) n l l n 。
外形寸法 : 約4 2 5 5 ( 幅) ×1 8 8 ( 高
重 量 :率4J18kg (標 準∴∴)
ー
付属 ア クセサ リ : 1 6 0 4 7 A テ ス トフ ィ クスチ ャ, 電' 原コ ド
オ プシ ョン
テ ップ に変 更 す る
3M. 5ヽ ■ 10
MHz± 001%
オ プシ ョン 101:HP― IBデ ー タ出力お よび リモー トコ ン トロー ル
よびANSI一
MCl lに 準拠 )。
RLl:リ
波
数
1
10 0kHz∼
990kHz
/iオ
特
l R□□,
z∼
鳳ム
“
よ121S品
T!!,
l . 0 0 M H z - 9 . 9 0 M H 2|
オプシ ョン
AHl:受 信 ′ヽン ドシ ェー ク機能
T5 :ト ー カ (り
、本的 トー カ, シ リア ル ポー ル, ト ー クオ ン リ
ー, ト ー クア ドレス解除 )
SRllサ
周
プ シ ョ ン 番 号
□□に指電1lTl警
〔 胤 慌 '1:
tt, ta.>3>Ats
周波数 を 3桁 て十旨定 す る場 合
HP― IBイ ンター フェ ー ス機能 :
SHl:送 信 ハ ン ドシェー ク機能
L4 :リ
一
オ プシ ョン9 1 P : 和 文 取扱 説 明書 部追加
周 波数 の 指定 方法 ( オプシ ョン番号 ) :
周波数 を 2桁 て寸旨定 す る場 合 は次表 に よる。
モ リ ・ バ ック ア ップ
キ ー ス イ ッチ の 状 態 , 偏 差 根1 定の 基 準 値 お よ び 治 具 等 の オ フ セ ァ
ー
現 で きる 。
ト量 を不 揮 発 記 憶 し電 源 オ ン ま た は キ 操 作 に よ リドニ
(IEEE-488お
オ
4275Aに ハ ン ドル を取 りつ け, か つ ラ ックに組 み 込 み可 能 とす
る。YHRttfl番 号 5061-0084
プシ ョン9 ! 0 : 英 文 取扱 説 明書 一部 追加
で きる。
オ プ シ ョ ン0 0 2 : 0 ∼ ±9 9 9 V 内 部 直 流 バ イ ア ス
10k, 30k, 50k, 100k, 300k, 500k, lM、
ラ ックに組 み
品番号5061-0078
込 み 可能 とす る。 YHP部
ハ
ォ ブシ ョン909:ラ ンク ・フ ラ ンジお よび フ ロ ン ト ン ドル キ ント
選 択 で きる周 波数 範囲 : 1 0 k H z ∼ 1 0 7 M H z ± 0 . 1 %
オ プ シ ョ ン0 0 1 : 0 ∼ ±3 5 V 内 部 直 流 バ イ ア ス
オ プ シ ョ ン0 0 4 : 測 定 周 波 数 を 1 - 3 - 5 ス
ンク ・フ ラ ンジ キ フト。 4275Aを
任 意周 波数追加 の 特 注 オブ シ ョン . 1 点 または 2 点 の 周波数 を追加
オブ ション001と002は[‖■に装備 す ることはで きませ ん。
ォ プ シ ョ ン´003: メ
ォ プシ ョン908:ラ
周 波
数
オプシ ョン
周 波
数
F01
15
7kHz
F04
3 58MHz
F02
32
8kHz
F05
4 19MHz
F03
455kHz
F06
10 7MHz
スナ (米本的 リスナ, リ スンア ドレ ス解除 )
ー ビス リクエ ス ト機能
モ ー ト/ロ ー カル機育ヒ, ロ ー カ ル ロ ックア ウ ト櫂賄ヒ
バ イ ス ク リア機能
DTl:デ バ イス トリガ機能
リモ ー トプ ログラ ム で きる機能 : O S C L E V E L の
DCl:デ
パー ニ ヤ を除
くフ ロ ン トパ ネ ルの 全機能 お よび内音6 直流 バ イア ス ( オプ シ ョ
ン) 。
ア ー タ出力 : L ・C と D ・Q ・E S R ・ G , R と X ・B ・L ・C , Z I ― θ,
△ または△% , △ 測定 の 基準 イ
蔵 涸J 定電 F t / 4 電流 フ ロ ン トパ
ネル キー の状 態 。
記
オプシ ョン 0 0 3 バ ッテ リ ・メモ リ ・バ ックア ップ とオプ シ ョン
101 HP―
I B イ ン タ ー フェー スの 機能 は , 計 器番号 2 0 4 5 J 0 1
2 4 3 以降 の機器 に は, 標 準装 備 され てい ます。
表 1-1 仕
1-10
様 (つ づき )
4275A
第 1章 :概
参 考 デ ー タ
って変 る。
→ Ｅ︶Ｅ 歯 製 頭
測定確 度 :
‖1定 レベ ル が ×001レ ンジの最大 レベ ルの ときの確 度 :
C―D・Q測 定 :αを含む項 を全 て1010Lする。
C ― E S R ・ G I R I 定 : ￨ 卜様 と l u l じ
。
L ―D ・Q 測 定 : αを含む項 を全 て1 0 倍す る。
: f t i 様と同 じ。
L ―E S R ・ G r l定
lり
R ―X ・B ・L ・C 測 定 : α γ δを含む% 誤 差 の項 を全 て1 研書す る。
1 0 倍す る。
I Z I ―鉗 1 定 : Z : α を含 むl l t を
θ : 仕 様 の 2 倍 の言
呉差 に な る。
ー ニ ャ が 1 以 外 の ときの確 度 :
OSC LEVELバ
10K
100K
IM
loM
測定周波数( H 2 )
確 度 は下 図 に示 した係数 1 音に な る。
に さ らに 3 0 m s 加 算 す る。
I Z I ―釧 1 定では_ 1 1 図
高分 解育ヒモー ドでは上図 の 約 8 倍 に な る。
間 : 1 0 0 m s ∼ 3 0 0 m s / レンジ切 換
周 波数切換時 の信 号安 定時 間 : 約 2 0 0 m s , f t l し2 0 0 H z t t T に 切 換
＝ 準 Ю 卜 鞍 里牽 週 撻 骰
レンジー
る場 合 は 糸りlKXXlms
測定 レベル 切換時 の 信 号安 定時 間 :MULTIPLIER:約
0 1
0 5
10
0 S C レ ベルのパー ニヤの 目盛
残留インピー
高周 波 誤 差 f(MHz):使
用周 波 数 ,f≧
%誤 差の追加(各パ ラメー タ)
ダンス
16047A
5t\*)
0.02'(-r0/
使用)
Om×
m2
Ix02‰g
16047C
16048A
16048B
￨
Dの オフセッ ト
%rtc
(2MHz以 下
a02×
m2
s"(ft)",as
C く 約5 p F
16048C しく約 2 0 0 n H
し
なお周 波数 ,レ ベ ノ
初 換 時 には200msは 内部 で 自動 的 に待 ち ます。
DCバ イアス印カロ
時 の信 号安 定 時 間 :
バ イア ス電 圧 の 落 ち着 き時 間 と,下 表 に ょる安 定 時 間 の うち長
￨ ヽ方 。
測定用 ケ ー プルや 治具 に ょ る遣カロ
誤甚 : 治 具 等 の 残 留 イ ン ピー ダ ン
スに よる誤差 と, l M H z 以 _ 1 1 で
影響 す る高 周波誤 差 が あ リます 。
16034B
200ms
'1しXO_olレ ン ジに した時 は約 10oOms
イ
バ ー ニヤ
:2∼
3s
D C バ イア ス 印カロ
時の信 号安 定時間 :
OSC LEVEL
安 定 時 間 (E :バ イア ス電 圧 )
×￨
200+E(V)ms
×0 1
300+E(V)ms
×0 0 1
400+E(V)ms
バ イア ス電 圧 の 落 ち着 き時 間 :
オシ ョン001:201ns
オう
オプ シ ョン∞ 2:300 ms(C≦
F)
0 l μF )
HP‐IBイ ン ター フ ェー スケ ー プル :
(100kHz以 下 で使 用 )
R く 約 1 帥短
10833A (糸 ウlm)
10833B(約
02pF
s"(j6)"
z,os
ms(C<200μ
関 連 ア クセサ リ 0 保 守 部 品
C く 約0
L く 約3 0 n H
( C ≦0 1 ″ F )
600+6Cx(μ F)
o *^(*)
R く 約5 m o
D > 1 の ときのC o L の 確皮 : 確度仕様を( 1 + D 2 ) 倍す る。
Q > 0 . : ( D < 1 0 ) の ときのR の 誤を : 確度仕様 を( 1 + Q 2 ) 倍す る。
10833C(約 4m)
2m)
10833D (率 Ю 5m)
フ ロン トハ ン ドル ・キ ッ ト : Y H P t t Ь品番 号5 0 6 1 - 0 0 9 0
ラ ック フ ラ ンジ ・キ ッ ト : Y H P 吉 5 品番号5 0 6 1 - 0 0 7 8
ラ ックフ ラ ンジ , ハ ン ドル ・キ ッ ト : Y H P 音 5 品番号 5 0 6 1 - 0 0 8 4
電 源 ヒュ ー ズ : Y H P 部 品番号 2 1 1 0 - 0 0 5 9 ( 1 0 0 / 1 2 0 V )
Y H P 部 品 番号a 1 0 - 0 3 6 0 ( 2 2 0 / 2 4 0 V )
治具等 の残 留 イ ン ピー ダ ンスと試料 とで共 振 す る場合 は ,
信号 の上 限周波 数 が 制限 され るこ とが あ ります。
LEVELモ
ニ タの 測定 範 囲 お よび確度 :
測定 範囲
確
度
電 圧
001V∼ 100V
士(読み の 3%+￨カ
ウン ト)
但 し: M H z を
越 える場 合 は, 士 ( 読み の 1 % +
電 流
001mA― 10 0mA
2mV or 2″A)
表 1-2 参
4275A
過 電圧 ( バイア ス ) 保 護 用 ヒュ ー ズ : Y H P 部 品 番号 2 1 1 0 - 0 2 0 1
測 定 回路保 護 用 ヒュ ー ズ : Y H P 部 品番号 2 1 1 0 - 0 0 1 2
考 データ
1 - - 1 1
要
第 1章
概
要
ァ
ク
セ
サ
概
リ
A鑢ヽ51
制″
要
ス
測定端子 に直接取 り付け て使用 する 4端 子対構成 の テ
ー
トフ ィクス テ ュアで, 2本 の リ ド線 を もつ小型 部品 の
ル が付
測定 に適 しています。次の 3種 類 の電 極 モ ジ ュ
綱鰤榜fllll豊
属 しています。
① ァキ シ ャル ・リー ド部品用 (部 品番号 16061-70022)
② 一 般 ラジアル ・リー ド部品用 (部 品番号 16061-70021)
ー
③ 短 い ラジアル ・リ ド部 品用 (部品番号 1∞47-65001)
バ
±35V以 下 の直流 イア ス電 圧で使 用 します。
ヶ ― ブル を測定 端子 に接 続 して使 用 す る 4端 子対構成 の
ー
テ ス トフ ィクス チ ュアで , 2本 の リ ド線 を もつ小型 部
品 を 2 MHz以 下 の周 波数 で測定 する用途 に適 しています。
ー
16047Aと 同 じ 3種 類 の電 極 モ ジ ュ ルが 付 属 します.
ーが取 り付け られ て
バ
ー
ッ ル ドを兼 ね た開閉す る安 全 カ
16047B
お り,± 200Vま での 直流 バ イア ス電 圧が かけ られます.
カバー を開け る と演1定信号 ,直 流 バ イア ス と もrC切 り離
され ,試 料 の電 荷 は速か に放電 され ます 。
９ ︲
ノ
\q t,'i?f\
16047C
め ネ ジに よって しっか りと電 極 に接 続 され ます。
± 3 5 V 以 下 の直 流 バ イア ス電圧 で使 用 します .
ο
θ
?
φθ
任意 の特製 テ ス トフ ィクス テ ュアを 4275Aの 演1定端子に
ー
接 続 す るた めの BNCコ ネ ク タ付 き 4端 子 対測 定 ケ プ
ル で ,± 300Vま で の 直流 パ イア ス電 圧が かけ られます.
ケ ー ブル長 設定 値 :lm
測定器 接続端 子 か ら末 端 までの長 さ :約 95 cm
警
表 1-3 ア
1-12
クセ サ リ
4275A
第 1章
ア
ク
セ
サ
リ
概
概
要
要
特 に シス テ ム用途 に適 した ミニ チ ュア R F コ ネク タ付 き
4 端 子 対 測定 ケー ブ ル で, ± 3 0 0 V ま で の直 流 バ イ ア ス
電 圧が かけ られ ます 。
ケ ー ブル長 設定 値 : l m
測定 器 接続 端 子 か ら末 端 までの長 さ : 約 9 3 c m
多様 な形状 の部 品 を 100 kHz以下 の周 波数 におい て簡便
に測定 す るため の ク リップ付 き演1定 ケ ー ブル で,以 下 の
測定 範 囲 で使 用 します 。
キ ャパ ツタ ンス :1000 pF以 上
イ ン ダ ク タ ンス :1∞ μH以 上
± 35V以 下 の 直流 パ イアス電 圧 で使 用 します。
ケ ー ブル 長設定 値 :lm
測 定 器 接続 端子 か ら末 端 まで の長 さ :約 128 c m
fS7"ouB +Eh,JS.-FLF*
リー ド線 の ない小型 の 部品 素 子 を測定 す るための ビンセ
ッ ト型演1定治具 の付 い た濃1定 ケー ブル で ,± 42V以 下の
直流バ イ ア ス電圧 で 使用 し ます。 ゼ ロ 。ォ フセ ッ ト調 整
用 の 補正 用 ブ ロ ックが 付属 され て い ます。
ケ ー ブル 長設定 値 :lm
測定器 接続端子 か ら末端 までの 長 さ :約 133c m
オ プ シ ョン 0 0 1 ま た は オ プ シ ョン 0 0 2 と 併 用 して内部 直
流 バ イアス電 圧 を 3 桁 の サ ミー ル ・ス イ ッチで設 定 す る
直流 バ イア ス ・コ ン トロー ラです。 パ イアス電 圧 は ポ タ
ン ・ス イ ッチを押 した時 か ら印加 され ます。
16023B
ン
(24ピ
)離
(I:`多
貫
::;:)
IIE ::]二
‐
表 1-3 ア
4275A
クセサ リ (つ づ き )
1-13
第 1章
概
要
電極 寸法 図 (単 位 mm)
1-14
4275A
第 2章
2-1.概
説
2-5.電
2-2 本
章 には , 検 査 こ ん 包, 保 管 お よび使 用前 の 注
意に関す る情 報が述 べ られ てい ます。
2-6 本
.使用 前 の 注意
源
器 は 100,120,220(■
(+5%,-10%)48 Hz∼
10%),ま
たは 240Vrms
66 Hzの Ac電 源 で 動作 します。
本 器 の電 源電 圧の選 択方 法 は図 2-1に
説明 され ています。
ま た電 源 ヒ ュー ズは ,機 器 の 動作電 源電 圧 に応 じて適 切 な
ヒ ュー ズ を使 用 しなけれ ば な りませ ん 。電 源電圧 を変更 し
2-3.検
た 時は,裏 面 パ ネル に ある ヒ ュー ズ ホ ル ダ 内 の ヒ ュー ズ を
表 2-1に 示 され た ヒ ュー ズ と交換 して くだ さい。
査
2-4.本
器 は,工 場 を出荷する前に,機 械的 ならびに電
気的 に十分 な検査 を受け,正 常 な動作が保証 され ています。
お手 もとに届 きま した ら,す ぐに こん包 を解 き,輸 送中に
損傷 を受け てい ないか ど うかを確認 して 〈だ さい。
損傷 を受けてい た り,仕 様 どか りの動作 を しない ときは,
ただ ちに もよ りの YHP営 業所,代 理 店に ご連絡 〈ださい。
注 意
電 源 を投 入す る前 に, 必 ず本 器 の電 源 切 り換え ス ィ ッ
チ の設 定電 圧 お よび使 用 され てい る ヒ ュー ズ が, A C
電 源 電圧 に適 してい る こ とを確 認 して くだ さ い。
ヒュー ズは ヒュー ズ ホ ル グの 溝 に ス ク リュー 。ドライ バ を
住所,電 話番号 は巻末 に記載 され ています。
さし込んで押しながら反時計方向に90°
まわすと取り出す
こ とがで きます。
本器 の電 源電 圧はェ 場 出荷時 に 100Vに 設定 され ています。
100V設 定
1.
電源電圧 の選択
本器 の裏面 パ ネルに左図 に示す電源電 圧選択
ス イ ッチが付い ています.
図 の斜線部で示 したス ィ ッチの溝 にス ク リュ
ー ・ドライパをあてが
って上 方または下方に
ず らし,希 望す る電 源電 圧を選択 します。
120V設 定
左図は電 源電 圧 をそれぞれ 100vと 120Vに
設定 した場合 のス ィ ッチの位 置 を示 します。
2つ の ス イ ッチの溝 の位置を結ぶ線上 に記 さ
れ た電圧値が選択 した電 源電 圧です。
図 2-1 電
4275A
源電 圧 の 選択
2-1
第 2章 使 用 前 の 注意
電 源電 圧
AC電 源
ヒ ュ
ズ
100Vま
た は 120V
220Vま た は 240V
1.5A
0.75A
ー ・プ ロ ー )
(ス ロ
ー ・プ ロ ー )
(ス ロ
(HP 2110-0059)
(HP 2110-0360)
表 2-1 電
か し, オ プ シ ョン 9 0 7 , 9 0 8 あ るいは 9 0 9 の 指 定 された製
品 には表 2 - 2 に 示す よ うな金具 が 付属 して い ます か ら,
ラ ック マ ウン トヘ の取付 け ある い は ハ ン ドル の取 付け が簡
単 に で きます 。
源 ヒュ ー ズ
2 - 1 4 . 保 存 お よび 輸 送 の 環 境
2-7.3芯
電源 コー ド
2 - 8 本 器 には, 取 りはず しので きる 3 芯 電源 コー ドが
付属 してお り, コ ー ドの先端には平形 プラグと3 極のN E M A
プ ラグが付 いています。平形 プラグは, 裏 面 パ ネルの電源
モ ジ ュール コネクタに, N E M A プ ラグは, 接 地端子 を持 っ
た 3 極 の電 源 コンセ ン トに接続 します。 こ うす る と, 本 器
は電 源 コー ドの接地線 を通 して接地され, A C 電 源に よる
2 - 1 5 本 器は次 r C 示す範囲内で保存 され輸 送され なけれ
ば な りません 。
温 度 …………… ・- 4 0 ℃ ∼ + 7 5 ℃
湿 度 ……………・相対湿 度 9 5 % ま で
局 度 ……………・ 1 5 , 0 0 0 m
本器 は器内に水滴 を生 じさせ る ような温度限 界か らは保護
され なければ な りません。
電撃事故 を防 ぐことがで きます。
注 意
接 地端子 を もた ない 2極 の電 源 コンセ ン トを使 用 す る
・
場 合 には, 3極 -2極 変換 ア タ プタ (部 品番号 50803149)を 使 用 します。 この場 合 ,ア ダ プタか らで てい
る短 い リー ド線 を接 地すれ ば,本 器 を接 地 して安 全 に
使 用す る ことが で きます 。
2-16.輸
送 と こん 包
2-17 本 器 を輸送 した り,修 理 のために YHPに 返送す
る場合 は ,最 初 に か届け した ときの こん包材料 を お使 い 〈
たさい。したがって, こん包材料は保存 しておかれること
を かす すめ します。 しか し,す で に な 〈な ってい た り,役
に立 た な くなっ ている場 合 は ,下 記 の 方法 で こん 包 して く
だ さ い。
2-9.動 作環境
2-10.温
度 : 本 器 は 0 ℃∼ + 5 5 ℃ の 範囲 で動 作 で き る
よ うr C 設計 され てい ます。
2-11 湿
度 : 本 器 は 4 0 ℃ に おけ る相 対 湿度 9 0 % ま で
の環 境 で使 用 で きますが, 機 器 内 に水 滴 を生 じさ せ る よう
な湿度 限 界か らは で き るだ け保護 して くだ さい 。
ー
a.本 器 を じ ょうぶ な紙 ま たは ビニ ル な どで包ん で く
だ さい (突 き出 てい る部分 には,ク ッシ ョンを当 て
が って くだ さ い )。
b。 木 箱 ま たは グ ンポ ー ル箱 を使 い ,そ の 大 きさ は少 な
くとも本 器 の 各 方 面か ら 10 cmほ ど余裕 の あ る もの
に して 〈だ さ い。
ム な ど確 実 に シ ョックを吸収
c.ポ リウン タ ン ・フ ォ
す る材量 を十 分 に つめ て 〈だ さ い。
ー
d.箱 の外 側 を接着 テ プな どで しっか りととめ,さ ら
に必要 な場合 は バ ン ドをかけ て くだ さい。
こん 包 につい てご不 明 の 点が あ りま したら,も よ りの YHP
。
営 業所,ま たは代理店 に お問 い合 わせ くだ さい (住 所 電
2 - 1 2 . オ プション ( 9 0 7 , 9 0 8 , 9 0 9 ) の 取付け
話 番号 は 巻末 に載 せ て あ ります )。
2 - 1 3 . 工 場か ら出荷される製品は, 全 て卓上形です。 し
2-2
4275A
第 2章 使 用前の 注意
a>
t/2
キ ッ ト名
部 品番 号
ｎυ
ハ ン ドル ・キ ッ ト
5061-9690
ラ ック ・フ ランジ 。キ ッ ト
5061-9678
ラ ッ ク ・フ ラ ン ジ ・ハ ン ドル ・キ ッ ト
5061-9684
表 2-2 ラ
ッ クマ ウン トの 部 品表
1
表 面 パ ネルの フレー ムの側面 には ってある化粧板①
(フ レー ムに粘着 しています )を はが します.
︸
み⑫ご
フ ロン ト ・ハ ン ドル③ に トリム材④ が つい ていれば
それ をはず します。 ハ ン ドル を フレー ムの みぞ に合
わせ ます。卓上形のままで, フ ロン ト ・ハ ン ドルの
み を取 り付け て使用する場合 は ,ハ ン ドル をネ ジ止
め して, ト リム材④ をはめ込 みます。
フ ロン ト ・ハ ン ドル③ とL形 金具 (フ ランジ )⑤ を
組み合わせ て フレー ムにネ ジ止 め します。取 り付 け
ネ ジは セル ア ・ロッキ ン グになってい ますか ら, ワ
ッシ ャは不要です。右側のハ ン ドル と金具 も同様に
して取 り付けます.
4個 の プラステ ックの足 をはず します。足 の前後 を
強 くつ まみ,前 足は後 方へ ,後 足 は前 方へ ず らせて
はず します。 これで本器は, EIA規 格 の標準 ラ ッ
クに組み込めます.フ ロン ト ・ハ ン ドル な しの ラッ
ク マ ウン トも可能です (表 2-2参 照 ).
ご不 明の 点 は , も よ りの Y H P の
営 業所 , ま たは代理 店
に お問 い合 わせ 〈だ さい 。
図 2-2 ラ
4275A
ッ クマ ウ ン トの 方 法
2-3
第 3章
3 - 1 . ま えが き
3-2 こ
の章 では 4275Aを正 しく使用 していただ くため
に,使 用上 の必要 な情報につい て述 べ ます。表面 パネ ルの
操作機能,操 作手 llF,各種 の応用測定 につい ての代表的 な
使
用
法
b.表 示 点 灯試験 (セ ル フテ ス ト第 1ス テ ップ ):セ ル
フテ ス ト ・ボタ ン を押 す と,BIAS oNの
表示 ラン
プ以 外 の す べ ての表示 ランプが 約 1秒 間点 灯 しま す
(数 字 表示 器 と単 位 を表示 す る ドッ ト表 示 器 も点灯
が記載 され ています。本文 中に記載 され ている注意事項は
します )。
ナ ログ動作試験 (セ ル フテス ト):表 示 点 灯試験
の 後 に,ア ナ ログ測定 部 の 動作 試験 が行 われ ます 。
使用者 と機器 の安全 のために必ず守 って ください。
この 試験 機 能 は 測定 端子 を開放 ま たは短 絡 状態 に設
測定法,基 本的 な動作試験 お よびォプ シ ョンに関す る情報
3-3.パ
ネ ル の説 明
3-4.4275Aの
c.ア
定 して,ア ナ ログ回路 の基 本 的 な試験 がで きる よ う
に設 計 さ れ てぃ ます 。 この ようにアナ ログ試験 は ォ
ー プ ン試 験 シ ー ト
と ョ
試験 か ら成 り,ォ ー プ ン試験
の 時 には OP,シ
ョー ト試 験 の 時 には SHの 表示 が
左上の デ ィス プ レー に現 われま す。
表 面 パ ネル と裏面 パ ネルの操作機能を図
3-1と 図 3-2に 示 します。説明図に添え られた番号 は
説明欄 の 見出 し番号 と対照されます。操作 機能 と操作手 順
の詳細 は 3-8項 以降に説明 され ています。
セル フテス トを行 うには 1 6 0 4 7 A テス トフィタス チ ュァ
を使 用 しま す。 ォー プ ン試験 の場合 には 測定 端子 の
H I G H 側 とL O W u l k 何 も接 続 せず に, ま た シ ョー ト
試験 の 場合は 低 インピーダンスの短 絡板 を接続 します 。
OSC LEVELツ
3-5.セ
ル フテ ス ト
3-6 4275Aは
基本的 な動作 を確 認す るために次 の 3種
類の 自己診断機能を備 え ています。
a.デ ィジタル動作試験
b.表 示 ランプ点灯試験
c.ア ナ ログ動作試験
デ ィジタル動作試験 は電源 ス イ ッチ を ONに す る毎 に 自動
的に行 われ ます。表示試験 とアナ ログ動作試験は セル フテ
ス ト ・ボタンを押す こ とに よって行 われ,測 定 の前 に これ
らの試験 を行 って本器 の動作 を確認す る ことがで きます。
a.デ ィジタル動作試験 :こ の試験 は電 源 ス イ ッチを
ONに す る毎 に 自動的に行汐 ■
ます。この試験 は本器
が記憶 している自動演1定プ ログ ラム (記 憶 内容 )に
誤 りが ない ことを確認 す るために行 われます。異常
が ない場合は本器の左上 の デ ィス プレー部に 5つ の
に現 われ ます。 も しも何 らかの異常
英 文字 Pが llF番
ー プン試験は20の試験 ス テ プ
ッ を含みます。各
ステ ップ毎 に診断 試験 はそれぞれ 異なる回路部 (種 々の 動
作状態 )に つい て実 行 され ます。20ステ ップの検査 は再度
セルフテス ト ・ボタン を押すまで,表 示点灯試験 か ら順 番
に繰 り返 され ます。20ステ ップの試験 中に異常が ある場合
は DISPLAY― Aに 例えば OP3と 表示 され, これは 第 3
ス テ ップrC異常が ある こ とを意味 します。
3-7 オ
シ ョー ト試験を行 うには Lま たは Rの ポタンを押 します。
シ ョー ト試験は第21か ら第27ステ ップまでの 7ス テ ップか
らな ります。 7ス テ ップの検査が 終わ ってもセルフテス ト:
ボタンを再度 押すまで試験 は繰 り返され ます。 この 7ス テ
ップの試験 中に何 らか の異常 が ある場合 には,そ の 異常が
あるス テ ップの番号が DISPLAY Aに
例えば SH 23と表
示 されます (こ れは第 23ステ ップに異常 が ある こ とを示 し
ます ) 。
が ある場 合 には ,表 示 され る文字 Pが 5番 目まで進
まず に異常 の あるス テ ップで止 ま ります。 しか し表
もしも試験 の結果 に異 常が ある場合 は 次の点につい て調べ
て くだ さい。
示器が不 良で あ っても停止 せず に調 験が行われ ます
(こ の試験 の詳細は 3-"項 に説明されています )。表
a 。 測定端 子 に接続 している 1 6 0 4 7 A テス トフ ィクス テ
ュアが適切 に短 絡 または開放 され ている ことを確 認
示器 の不 良は次の試験 で発 見す ることがで きます。
4275A
マ ミを最 大位置 に設 定 します。
します。
3-1
第 3章 使 用法
①
イッチ :本 器 の電 源 を ONに
LiNE ON/OFFス
し
⑤
て,演 1定が で きる状態 に します 。
②
を伴った2-1/2桁 の数字で表示されます.測 定単
位は数字表示の右隣に単位表示ランプで示されます
トリガ ・ラ ンプ :試 料 を測定 中 に点 灯 し,測 定 中 で
な い時 間 (ホ ー ル ド時 間 )は 消灯 します。 そ れ ゆえ
測 定信 号電 圧 また は電 流 は, そ れぞ れ T E S T S I G
タ ン⑩ が押 され てい る間 の み
LEvEL CHECKボ
1回 の 測定 サ イクル で 1回 の 点滅 が行 なわれ ます
が INTに
TRIGGER ⑫
設定 され てい る時 は繰 り
表示 され ます。
返 し点滅 します 。
③
ン グク タン ス,キ ャパ シタンス ,
・
ー
/ピ
タ ンスの ull定
値が 00000か ら
抵抗 ま たは イ
DISPLAY A:ィ
⑥
199999まで 5-1/2桁
の 数 字 で,小 数点 と単位を
伴 って表示 され ます (表 示桁数は機器 の設定に よっ
1 - 2 - 4 ス テ ップ ( ォ プ シ ョン 0 0 4 で は 1 - 3 - 5 ス
テ ンプ ) で さ らに 高 い周波 数 へ 移 ります 。 D O W N
ボ タ ン を押す と測定 周波 数 は逆 の 順序 で低 い周波数
へ 移 ります 。 選択 した測定周波 数 は F R I n U E N O Y
ィス プ レー⑤ に表 示 さ
′T E s T s I G L E V E L デ
示が現 われ ます。同様 に もし試料の 値が小 さす ぎる
とUF(Under F10w)表
示が現 われ ます。不適 当な
操作 を行 なった場合 は,そ の操作 に よる命令入力が
れ ます。
○
セー ジの うち 1つ が表示 されます。
④
PLIERボ
ま - 1 / 2 桁の数字で,
ら1 9 9 9 9 9で5
値が0 0 0 0 0 か
小 数 点 と単 位 を伴 って表示 され ます (表 示 桁 数 は機
器 の設 定 に よ って変 わ りま す )。 DISPLAY A③
たは Errが 表示された墜 はDISPLAY
ます。
③
MULTIPLIERボ
3-2
タン :こ れ らの ボタィに よって
測定信 号 レベルの可変範囲 を ×0.01(lmV-10mvp
×0.1(10 mv-100 mV)ま たは ×1(100mV-1つ
のいずれかに設定 します
Bは プ ラ ン ク (何 も表 示 され ない )に な ります 。
図 3-1 表
マ ミ :こ の ツ マ ミは MULTI―
タン③ に よってil■
択 した レン ジにおい て
OSC LEVELツ
濃1定信号 レベルを最 小 値 か ら最大値ま で10倍比で変
信号 レベルに設 定 し
え ることがで き,希 望す るull定
DISPLAY B:損
失係 数 ,Q係 数,等 価彦 囁 抗,
コングクタ ンス, リアクタ ンス,サ セ ブタンス, イ
・
ンタク タンス,キ ャパ ツタンスまたは位相角 の測定
に oF,uFま
タン :これ らの 2つ のポ
FREQUENCY STEPボ
ン
の
タ に よって,12点 測定周波数 (10点の標準周波
数 と2点 のォプシ ョン周波数 )か ら希望する周波数
を選びます。 UPボ タンを押すたびに測定周波数は
て変わ ります )。 も しも試料 の値が選択 された レン
ジの フルス ケー ルを越え る とOF(over F10● )表
自動的 に解除され るか,ま たは誤 った設 定 を取 り除
〈まで Err lか らErr 9ま での 9つ の エ ラー 。メッ
ィスプ レ
FREQUENCY/TEST SIG LEVELデ
ー : 濃1 定周波 数 , 測 定信 号電 圧 または電 流 が 小数 点
面 パ ネ ルの 説明
第 3章
◎
時 に組み合わせ て設定す る,従 属的 な演1定パ ラメー
タを選 びます。それぞ れ の ボタンに よって次の よ う
に測定 ′くラメー タを設定 します。
H P ― ! B ス テ ータス ・インデ ィケータ とL ∝ A L ボ
4
REMOTEの
タン :SRQ, LISTEN, TALKと
つの ランプは本 器に I‐
IP―IBオ プシ ョン 101を内蔵
した場合 に本器 とHP一 IBラ インとの インター フ ェ
D:ィ
ー スの状態 を示 します。 L00ALボ
タンを押す こと
に よって,HP― IBラ インか らの リモー ト ・コン ト
ロー ル信号 に よらず に本器の操作機能 を表面 パ ネル
Q:イ
E S R / G : イ ングクタンスまたはキャパシタンス
ンが押 され てい る間 は ■もEQUENCY/TEST SIG
LEVELデ ィス プレー⑤ に演1定信号電圧 または電 流
測定 におい て等価直列抵抗 (ESR)ま たは コ
ング・
クタンス (G)を 選 びます。 直列等価 回
が (Hll定
周波数 に代 わ って )表 示 され ます.
路 に よる測定 では ESRに ,並 列等価回路測
定 ではGに 設定 され ます。
た損失係数 値 の逆数 として演算表示 されます。
抗測定において リアクタ ンス (X)ま
たはサ セプタンス (B)を 選びます.直 列等
X/B:抵
算 され る ことに よって測定分解能が 1桁 高め られま
す。通常 の桁数 にさ らに下位 1桁 が加わ った測定値
価回路 に よる源1定ではXに ,並 列等価回路 測
が 約 8倍 の繰 り返 し測定周期 で表示 され ます.
定 では Bに 設定 されます。
TR:GGERボ
L / C : 抵 抗演1 定においてイングクタンスまたは
キャパツタンスを選びます. 直 7 1 1 等
価回路に
タン :こ れ らの ボタンは測定 の トリ
ら
たは HOLD/MANUALか
ー
モ
ト
INTト
ドでは,本
は内部
リガ
器
選 びます。
ガ信号 を INT,EXTま
よる演1定では Lに ,並 列等価 回路 では Cに 設
定 され ます。
リガ信号 に よって自動的 に測定 を繰 り返 します 。
EXTボ タンを押 した 時 は ,裏 面 パ ネ ル の EXT
TRIGGER端
θ表示 ラ ン プ :イ ン ピ ダ ンス測定 を 行 な っ てい
子 に外部 トリガ信号 を加え ることに
る間 は この ラ ン プが 点 灯 し,同 時 に位 相 角 を
リ
よって測定が 開始 します. HOLD/MANUAL ト
ー
。
ガ モ ドでは, この ポタンを押 した瞬間 に トリガ
がかか り, 1回 だけ測定が行 なわれます。
⑬
測定 してい る こ とを示 します 。
⑮
AUTOモ ー ドで は試 料 の 値 に応 じて最 適 な レン ジが
がそれぞ れ の ボタンを押す ことに よって選択 されま
す。 AUTOモ ー ドで は本器は適切 な並列等価回路
には,測 定 端子 に接 続 す る試料 を変 え て も測定 レン
SELF ttESTボ
自動 的 に選 ばれ ます 。 MANUALぶ
ァン クション選択ボ タン :こ れ ら
ァンク シ ョン選択 ボタ
の ポタンは DIsPLAY Aフ
ン⑬ に よって設定 された主要 な測定 パ ラメー タと同
DiSPLAY Bフ
図 3-1 表
タ ン を押 した時
ジは固 定 され ています .DOWNま
たは UPボ タン を
レ
1回 押 す 毎 に 測定 ン ジが 1つ 移 り,希 望す る測定
レ ンジを選 ぶ こ とが で きます (前 もって MANUAL
タン :こ の ボタンを押す と本器 の
ンを押 して解除す るまで繰 り返 され ます。
4275A
タン :こ れ らの ボ タンに よ って
タン :こ れ らの ボタンに よっ
て希 望す る測定等価 回路 モー ドを選 びます。並列等
価回路 ( ・ F l ・ ) ま たは画 時 価回路 ( ` □ 躊 。)
CIRCUIT MODEボ
基 本的 な機能 と動作 を検査 す るための 自己診断が 自
動的 に行 なわれます。 この 自己診断 は もう一 度 ボタ
⑮
LCRZ RANGEボ
イ ング ク ノ ンス,キ ャパ ン タ ンス,抵 抗 または イン
ピーダ ンス測定 におけ る潰1定 レン ジを選択 します。
または直列等価回路 を 自動的に選 びます。
⑭
/ダ クタ ンス または キ ャパ シタンス測定 に
おい てQ係 数 を選 びます。 Qの 値は演1定され
タン :こ れ らの
ボタンに よって試料 に実 際 に加わ る測 定信号 の レベ
ル をモ ニ タす る ことがで きます。 Vま たは mAボ タ
丁EST SIG LEVEL CHECKボ
H:GH RESOLUT:ONボ
タン :こ の ボタ ンを押
す と,lo回 測定す るごとにそ れ らの演1定値が平均演
⑫
ングクタ ンスまたは キ ャパ ツタンス測定 に
おいて損失 係数 (Dissipation FactOr)を 従
ヾラメー タに選 びます。
属演1定′
の ボタンで設定す るこ とがで きます。
⑩
使 用法
ボ タ ン を押 す必 要 は あ りません ).
⑭
差測定 ボ タ ン :こ れ らの ポタンに
よぅて イ ング ク タ ンス, キ ャバ ン タ ンス,抵 抗 また
は イ ン ピー ダ ンスの 偏 差測定 を行 な いま す。偏 差 測
D:SPLAY A偏
定 値 は DISPLAY A③
測定 は DISPLAY Bフ
に表示 され ます .こ の偏差
ァン ク シ ョンについ ては 行
面 パ ネ ルの 説 明 ( つ づ き )
3-3
第 3章 使 用法
ー
って,テ ス トフ ィク ス テ ュアや測 定 ケ ブ ル に存 在
す る浮 遊 容量 ,残 留 イ ングク タ ンス ,残 留抵 抗,残
なわれ ませ ん .そ れ ぞ れの ボタ ンは次 の機 能 をもち
ます .
留 コング クタ ンス を打 ち消 して正 しい測定 値 を得 る
Z:こ の ボ タ ンを押す と,試 料 の 演1定値 と基 準 に
た めの補正 を行 ない ます.測 定 を始 め る前 に測定 端
な る浪1定値 との差 の 値が表示 され ます。
タ ン を,短 絡 して SHORT
・
ボ タ ン を押す と,測 定 値 は これ らの 寄生 イ ン ピー タ
子 を開放 して OPENポ
の ボ タ ンを押 す と,試 料 の 測定 値 と基 準
に なる測定 値 との 差 が ,基 準 値 に対す るパ ー
Z%:こ
セ ン ト偏 差で表示 され ます 。
RECALL:こ
ンス に対 して 自動的 に補 正 され ます .
④
A③ に表示 されます。
を ±35V MAXに 設 定 した時 には 試料 に加 わ る直流
バ ィア ス電 圧が最大 ±35Vに (保 護 回路 に よって )
の ポンンを押 した時に DISPLAY A
③ に表示 され てい る測定値が基準値 として記
憶 され ます。
⑬
ァ ンクシ ョン選択ボ タン : これ ら
の ボタンに よってイングクタ ンス, キ ャパ シタンス,
抵抗, イ ン ピ ダ ンスか ら希望す る測定 パ ラメー タ
制 限 され ます .±200V MAX FC設 定 した時 には標 準
テ ス トフ ィク ス チ ュア と標準 測定 ケ ー ブル の うち,
±35V以 下で使 用 す べ きもの はその構 造上接 続 で き
DISPLAY Aフ
を選 びます。
ません 。
④
イ ンダ ク タ ンス測定 を行 ないます 。 同時 に
DISPLAY Bフ
数 (D),Q係
数,等 価 直列抵抗 (DsR)
・
コ
ン
タ ク タ ンス (G)の 演1定パ ラメー
また は
伝送損 失や測定信号 の位相変化が適切に補償 され て
測定誤差の 増加が非常 に少 な くな ります。
キ ャパ ツ タ ンス演1定 を行 ない ます 。 同 時 に選
択 で きる DISPLAY Bフ
ァンク シ ョンは イ
ング ク タ ンス測定 と同様 です .
UNKNOWN端
子 :試 料 (あ るいはテス トフィクス
チ ュアや測定 ク‐ブル )を 接続す るための測定端子
抵抗 測定 を行 ない ます。 同時 に DISPLAY
Bフ ァン ク シ ョン⑮ か ら リアク タ ンス (X),
です。HIGH傾 電 流端 子 と電 圧端子 (Ц3uRと HPOT)
お よび LOW側 電 流端 子 と電 圧端子 (L cuRとLPOTh
か らな り, 4端 子対構成 のテス トフ ィクス テ ュアや
測定 ケー ブルを用 い て4端 子対演1定を行 ないます。
ング ク タ ンス (L),
サ セ プ タ ンス (B), イ
パ
シ
ンス
タ
または キ ャ
(C)の 演1定 パ ラメー
タ を選 ぶ こ とが で きます 。
ク トル ・イ ン ピー ダ ンス を表 現 します 。
⑩ ZEROオ
フセッ ト調整ボ タン :こ れ らの ボタンに よ
図3-1 表
3-4
④
ァン タ シ ョン
か ら位 相 角が 自動 的 に選ば れ ます .こ の 2つ
の測 定 パ ラメー タ値 の 組み合 わせ は試 料 の ベ
イッチ :lmの
ては このス イ ッチを 「0」 に設定 します。 lmに 設
ケー ブルの
定 した時,高 い測定周波数に おけ るull定
タを選 ぶ こ とが で きます 。
ます .同 時に DISPLAY Bフ
標準 測定 ケ ー
ブルを使 用す る場合 に,ブ リッジが最 良の 状態 で パ
ラ ンス し,測 定誤 差が最 小 に なる よ うに この ス イ ッ
CABLE LENGttHス
チを 「lm」 に設 定 します。 llNKNOWN端 子 に直
接取 り付け て使用するテス トフィクス チ ュアについ
ァン ク シ ョ ン⑮ か ら損失 係
ー
・
IZI ベ ク トル イ ン ピ ダ ンスの 絶 対値 を測定 し
イッチ :こ の ス イ ッチは直流 パ イア ス
電 圧の制 限値 を ±35Vま たは ±200Vに 設 定 し,ま
た直 流 バ イア ス を加え る場 合 に使 用 す るテ ス トフ ィ
ク ス テ ュアや 測定 ケ ー ブル を限定 します .ス イ ッチ
の ボ タンを押 してい る間 は ,本 器
が 記憶 した基 準 に なる測定 値 が DISPLAY
STORE:こ
DC BIASス
GUARD端 子 :こ の端子 は本器の シ ャー ンに接 続 さ
れ ています.特 に 接地 を 必要 とす る測 定 のため に
接地接続端子 として使用 し ます。
②
B:ASイ ンジケ ータランプ :直 流 バ イァ ス を使用す
る場合 に点灯 し,試 料に直流 パ イアス電圧 が加え ら
れ てい る ことを示 します。
面パネルの説明(つ づさ )
4275A
第 3章 使 用 法
①
EXT±
択 ス イッチ :こ の ス イ ッチは 内部 直流
パ イア ス と外部 直流 パ イア ス の いず れか を選択 し,
DC B:AS選
動作 特性 が 得 られ る よ うに設 定 します。
ッチは ■200V MAXに
l μF ) : オプション0 0 1 ま
。
INT 35V/100V(く
②
③
2 0 0 Fμ) : ォ プション0 0 1 ま
I N T 3 5 V / 1V∞
(≦
〔
oFF :内
④
部 直流 バ イア ス ,外 部 直流 バ イア ス の
35V MAX(1∞
面パネ
mA MAX):裏
± 200V MAXコ
ネ ク タ :最 大電 圧 土"ovま
バ
での外 部 直流 イア ス電 源 を接 続 して直流 パ イア ス
EX丁
ネ クタ :電 源 コー ドを接 続 し
て適 当 な交流電 源 ライ ンの コンセ ン トか ら電 源 を と
LINE 48-66 Hzコ
⑤
LINE VOLttAGE SELECttORス
イ ッチ : こ れ
らの ス イ ッチ を適 切に設定 して 100,120,220V
ルの コネク タ② に接続 された最大電 圧 ±35V
までの外部直流 パ イアス電 源か ら直流 バ イア
±10%ま たは 240V+5%-10%, 48-66 Hzの
ス電圧が試料 に加 わ ります。表面 パ ネルの
い ず れ か の電 源電 圧 を選択 します 。
DC BIASス
イ ッチは±35V MAX(ま
±200V MAX)に
たは
設定 します
図 3-2 裏
4275A
ネ クタ :最
ります 。
ど ち らも試料 に加 わ りま せん 。
EXT±
35V MAX(100mA MAX)コ
電 圧 を試料 に 加え るた めの端子 です 。
た は 002を 内蔵 した場合 に,最大 20い Fま での
キ ャパ ツタ試料 に内部 直流 バ イア ス電 圧 を加
え る ことが で き る設 定 で す。
EXT±
設定 します。
大電 圧 ±35Vま での外 部直流 パ イア ス電 源を接続 し
て直流 バ イアス電 圧 を試料 に加え る ための端子‐ .
の キ ャパ ツタンス値 が 0 1μF以 下 で あ る 必
要 が あ り,パ イア ス電 圧 の落 ち着 き時 間が短
い設定 です.
面 パ ネ ル の コ ネク タ③
に接 続 され た最 大電 圧 ±200Vま で の 外 部 直
流 バ イアス電 源 か ら直 流 パ イア ス電 圧 が 試料
に 加わ ります 。表面 パ ネ ル の DO BIASス イ
また そ の パ イア ス電 圧の 応用測 定 に適 した バ イア ス
または 002を 内蔵 した場合 に設定す る と内部
直 流 バ イア ス電 圧が 試 料 に加 わ ります.試 料
200V MAX :裏
面 パ ネ ル の 説明
3-5
第 3章 使 用法
ル ダ : 本 器 の電 源 ヒ ュー ズ が この
⑥ LINE FUSEホ
ホ ル ダに 収 め られ てい ます。 ヒ ュー ズの定格 は 次の
とお りです。
ン
ア
100/120V:1.5AT(部 品番号2110-0059)
220/240V:75ClmAT(部
⑨
コ
ネ クタ : オ プ シ ョ
lNT DC B!AS CONTROLコ
0 0 1 ま た は 0 0 2 を 内蔵 した場合 に, 内 部 直流 パ イ
ス電 圧 を任意 に設 定 で きる 1 6 0 2 3 B 直 流 バ イア ス
ントローラを接続するためのコネタタです。
品番 号 2110-0360)
ネクタ :内部直流
⑦ !Ntt DC BIAS MONITORコ
バ イアスおよび外部直流バ イアス電圧のモニタ出力
端子です。出カインピー ダンスは 30k Ωです.
⑩ HP― :Bコ ネクタ:ォ プション 101を内蔵 した場合
,他 の HP―IB機 器 とデータ送受信を行な うた め
HP― IBケ ープル を接続 します .
の
に
ネ クタ:外 部 トリガを使用する
① EXT TRIGGERコ
場合に外部 トリガ信号を入力する端子です。表面パ
ネ ルの E x T T R 1 0 G E R ボ
ガ 。モ ー ドに設 定 します。
タ ン を押 して外 部 トリ
図 3-2 裏
3-6
面 パネ ル の 説 明 (つ づ き )
4275A
第 3章 使 用法
b.裏 面 パ ネ ルの DO BIASス
盗登
一
イ ッチが OFFの
状 態に
―一
「
も しも正 し く検 査 を行 ってい る に もかか わ らず異 常が表示
ー ビス部 も しくは代 理
業 所 ,サ
され た場合 には ,YHP営
4275Aの デ ィス プ レー A・ パ ラメー タにつ い ては偏 差 測定
の 機 能 が あ り, Z(デ ル タ )キ ー に よ って選 択 で きます。
4275Aが 「ス トア」 モ ー ドに設 定 され る とDISPLAY A
に表示 され てい る濃1定値 を基 準 値 と して記 憶 します。 そ の
後 の 測定 結果 は基準 値 か らの 差 (′ 測定 )ま たは %偏 差
□
杓回
ます。操 作 ボ タ ンの 色 は後 に述 べ る よ うに,デ ィス プ レー
B。 パ ラメー タ との適 切 な組み 合 わせ を表 わ してい ます。
《 罵 卜 のみ
□
□
麒
示部
艤
定 パ ラ メー タの 選択
表 3-1 測
3-10.表
のみ
︺鏃
グ ク タンス (L),キ
抗 (R),
ャパ シタ ンス (0),抵
ー
パ
ピ
ンス
ラ メー タで ,
イン
ダ
(IZI)か らなる主 要 な 測 定
そ の測定 値 は表 面 パ ネ ル左 上 の DISPLAY Aに
表示 さ れ
…
ν鏃
3つ は基 本的 には重 複 しています )は ,測 定 値 の 表示 部 に
よ っ てデ ィス プ レー Aと デ ィス プ レー Bの 2つ の パ ラ メー
タ群 rC分け られ ます。 デ ィス プ レー A・ パ ラメー タは イ ン
￨… 硼
同
回υ
υ
は ,測 定 試 料 の抵 抗性 お よび リア ク タンス性 の 特性 を表 わ
して い ます。 合 わせ て13に 及ぶ 浪1にパ ラメー タ (そ の うち
ァ ィス プ レー B
同
□υ
υ
2つ の 測定 パ ラメー タにつ い て同時 に測
します。 この 測定 パ ラメー タの 組 み合 わ せ
□
Ｌ□ し□ Ｒ晰 □
3 - 8 . 測 定機能
3-9 4275Aは
ー
ます 。デ ィス プ レー B・ パ ラメ タにつ い ての 演1定値 は表
面 パ ネル 中央上部 の DISPLAY Bに
表示 され ます。
ディス プ
レー A
店 に ご連 絡 くだ さ い。
定 を行 ない表 示
る よ うに,直 列 等価回 路 キー と合 わせ て選 択 で きる ESR,
Xと Lの 操作 キ ーは明 るい グ レーの ラベル で機 能 を表 わ し
´
の大型 の表示部 とユニー クな第 3の 表示 部が
演1定値 と,併 せ てその測定条件 を表示 します。
3-11 2つ
くンタンス,抵 抗,
DISPLAY Aは
インダクタンス, キ ャノ
・
イ ンピー タ ンスの測定値 を最 大 6桁 の数 字,小 数 点,単 位
で表示 します。 もしも不適 当 な操作や試 料 の接続 方法 の誤
りのた めに測定 が で きない場合 には,OF,uF,Errな
ど
の文字 が現 われ て,正 しい損1定を行 な うための注意 を促 し
ます。
くシタンス演1
ィンダクタンスまたは キ ャノ
ー
定 に おいてその従属測定 パ ラメ タで ある損失係数,Q係
DISPLAY Bは
(Z%演 1定 )と して表 示 され ます。
デ ィス プ レー B・ パ ラメー タは デ ィス プ レ ー A・ パ ラメー
タの選 び方 に よ って,そ の 選択 す べ き適切 な パ ラメー タが
自動 的 に決定 され る ような従 属 的 な測 定 パ ラメー タ群 で,
損失係数 (D),Q係 数 等価直列抵抗 /コ ングクタンス
(EsR/G),リ アクタ/ス /サ セプタ/ス (X/B), イ ン
ダタタンス /キ ャバンタンス (L/C),位 相角(θ )を含
みます。D,Q,ESRと Gは インダクタンスまたはキャ
パ シタ ンス測定 にお い て選 択 します。x , 3 , L と
0は 抵
抗 測定 を行 な う場合 に合 わせ て選択 す る こ とが で きます。
これ らのデ ィス プ レ ー B ・ パ ラ メー タの うち, ス ラ ッシ ュ
数,等 価 直列抵抗 または コンダ クタンス を,抵 抗測定 に お
いて リアクタンス,サ セプ タンス, イ ンダク タンスまたは
キ ャパ ツタンスを,ま た ィンピー ダ ンス演1定に おいては位
相 角 を表示 します。 DISPLAY Bの
最大 6桁 の表示 は,
もしデ ィス プ レー A・ パ ラメー タについて測定が行 なわれ
なぃ ときには プランタ (何 も表示 され ない )に な ります。
測定値 の無 効数値 に あた る桁 に は ゼ ロが 表示 され ます。 大
きな ゼ ロ ( 口 ) で 表 わ され る有 効数 字 の ゼ ロ と区 別 す るた
め, 無 効 数字 の ゼ ロは小 さ なゼ ロ ( 日 ) で 表示 され ます。
( / ) で組み合わされた ものは, 測 定等価回路の選び方に関
係があります。ディス プレーA と ディスプレーB ・ パ ラメ
ー タの選 択 可
表 3=2は
能 な組み 合 わせ は 表 3-1に 示 され てい ます。
各 々の 測定 バ ラメー タに つ い て一 般 公 式 を示 し
ます。二重 の機 能 を もった ES R/G,x/B,お
の 操 作 キ ー は測定 等価 回路 が並列 (・ ED・
直 夕1等価 回路 (…
よび L/0
)で あるか
)で あ るか に よ っ てそ の機 能が
無 効数字 の デ ー タ とは, 測定 結果 の 不確か さに よる意
味 の ない数値 の こ とをさ します 。
決 ま ります。適 切 な操作 キ ー を容 易 に判 月」
す る こ とが で き
4275A
3-7
第 3章 使 用法
DISPLAY B
DISPLAY A
ωCx
―t a n 1 ( T )
DISPLAY B
DISPLAY A
OLX
ran-r(l;)
1
tan 1( ω
LxGx )
DISPLAY B
DISPLAY A
1
‐t a n 1 ( ω
cxRx )
-tan- I (oCxRx)
2cx'+ Rx2
ω
―tan‐
ωCx
1(T)
t'-rlx
tan- r( l;)
=
lzl (coso + jsin o), l7'l lffi
表 3-2 測
定 パ ラメ
ー タの計 算式
1
tan 1(LxGx
ω 〕
第 3章
表面 パ ネル右上の FR EQUENCY/TEST sIG LEVEL
デ ィス プ レーは試料 に加え られ る測定信号 の電圧,電 流,
または測定 周波数 の設定 値 を表示 します。 3桁 の数字で表
わされる これ らの デー タは測定条件の調整,記 録 やモ ニ タ
に便利です。測定信 号電 流 をモ ニ タ してい る とき,非 常 に
低 い イ ン ピー ダ ンスの 試料 を測定端子に接続 した場合 には
周 波 数 やMULTIPLIER,ま
の 時 間 が か か りま すも
=Yl-e')v
安 定 時 間
× 1
MULTIPLIER
×0.1
× 0.01
200 ms
1000 1ns
OSC LEvEL
3 - 1 2 . 測定 信号
Frequen cy
200 1ns
周波数 精度 を もつ 10点 の 測定 周 波数 が
選 択 で きます。表 3-3に 標準演1定周波数 点 と演1定信 号 レ
ベ ルの 可 変範 囲 を示 します。 測定 周波数 は FREQUENCY
STEPボ
たは OSC LEvELの
設 定 を変 え た 場合 は,演 1定信 号が 安定 に なるまで ,次
OF(over― FIOw)が 表示 され る ことが あ ります。
3-13 001%の
使 用法
タンに よ って lo kHzか ら 10 MHzま で 1-2-4
ス テ ップで選 択 します。 設 定 した周 波数 は FR ttUENCY
ィス プ レ‐ に 3桁 の数 字 で示
され ます。 4275Aの 特長 で あ る マル チ ・フ リケ ン シー測 定
/TEST SIG LEvELデ
は, 2点 まで ォ プシ ョンの 周 波数 を追 加 す る こ とに よ って
一 層拡 張 す る ことが で
きます o
測定 信号 は IEE波 で,OSO LEvELツ
マ ミ と 3つ の
WLTIPLIERボ
タ ンに よ っ て, lmVか ら l Vrmsまで
の 任 意 の 振 幅 (ン ペ ル )に 設定 す る こ とが で きます。 高 い
レベ ル の測 定 信 号 は 一 般 の キ ャバ ツタ,抵 抗器,ま た通 常
試料 を接 続 してT E s T S I G L E V E L C H E C K ボ
タンを
す
押 と, 実 際 に試料 に加 わ る測定 信号 電 圧 または電 流 値が
FREQuENCY/TEST SIG LEVELデ
ィスプレー に 自
動 的 に レ ン ジが選 ば れ て表示 され ます。 v ま た は 熙ヽポ タ
ン を押 してい る間, 源 1 定信 号 レベ ルが表示 され てい ます 。
そ の間試 料 の 演u 定は 中断 され , 押 しボ タ ンが解 除 され るま
で前 回の測定値が 継続 して表示 さ4 て います。 測定信号 を
モ ニ ′ しなが らその 値 を試料が実際 に動作する状態 に近づ
け る ことが で き, この 方法で試料 の実動 作条件に基づ いた
測定 デ ー タが 得 られます。 この ことは回路設計 などのその
よ うな演1 定デー タを必 要 とす る 目的 に大変役立 ちます。
そ の よ うな高 レベ ル で動 作 す る イ ング クタ な どの 測定 に用
い ます。 低 レベ ル の測定 信 号 は低電 力で動 作 す る微 小 な部
品 や非 直線 イ ン ピー ダ ンス 素 子 ,特 に半 導 体 素子 の測定 に
適 してい ます 。 さ らに,適 当 な測定 信号 レベ ル と周 波数 を
測定 パ ラメー タrCと り,動 作 条件 の変 化 に よる 部 品 の 値 の
各 々の 測定 パ ラメー タ につ い て最 小 か ら
最 大 演1 定値 まで を基 本的 に 8 レ ン ジで カバ ー します 。
変 化 や特性 を グ ラフに表わす ことが で きます。
MULTIPL:ER
の 設 定
lmV-10 mV
× 0.1
レ ベル
3-15.4275Aは
OSC LEVEL
の 可 変 範 囲
XO.01
測定 信号
10 mV∼
100 mV
100 mV-lv
× 1
3 - 1 4 . 測定 レンジ
キ ャパ シタ ンス とイ ング ク タ ンス測定 では 測定 レン ジは 周
波数 に よ って変 わ り, 全 演1 定範 囲は 9 レ ン ジにわた ります。
各 レン ジは 最 大 1 0 0 0 0 0 カウン トの フルス ケ ー ル につ い て,
1∞ %の ォ ーパ ■ レンジ (最大 199999カウント)が あ りま
す。表 3-4は 並列 と直列等価回路 において選択で きる測
定 レン ジと測定 値の 表示FfT数
を示 します。 LCR RANGE
が AUTOに
100 kHz, 200 kHz, 40.OkHz, 100 kHz,
測定周波数
200 klL, 400 kHz, 100A41Hz, 200MHz,
4 00MHz, 10.oヽ
表 3-3 測
4275A
]Iz
定 信号 レベル と周 波数
設 定 された時,最 適 な レン ジが 自動的に選ば
れ ます。 MANUALレ
ンジ 。モ ー ドで レンジの手 動選択 が
で きます。 デ ィス プレー B・ パ ラメー タ演1定は完全に 自動
的 に ンンジが選 ばれます。 もしレン ジの設定が不適当であ
る と, OF(over Flow)ま たはuF(under Flow)が
DISPLAY Aま
たはDISPLAY Bに
表 示 され ます。
3-9
第 3章 使 用 法
1か ら 7ま で の表 は 4275Aの 測定 パ ラメー タの そ れ ぞ れ
4 ・
3(桁
)
に つい て表示 され る演1定値 の 有 効桁 数 を示 しま す。表 中
で 3つ の数 字 に よる組み合 わせ は,そ の測定 レン ジ と周
波数 の 範 囲 に おけ る表示桁 数 を表 わ します。 そ して組み
合 わされ た数 字 の それぞ れ は,次 の よ うに測定信 号 レベ
ル のMULTIPLIERの
設定 (× 1,× 01,xO.01)に
対応 した表示 桁 数 を表 わ して い ます。
× 1の 設 定 で 3桁 表示 の 測定 レン ジ
では,測 定 値が アル ス ケ ー ル よ りも小 さ い場 合 に,表 示
桁 数 が 自動 的 に増 加 します (下 図 を参 照 して くだ さい ).
MULTIPLIERが
卜 Ｚ Ｄ０ ０
。
０
¨
¨
¨
０
０
´
曇
″
イ
991
¨
ヨ
／Ю
。 。 。
。 。 。
０ ８ ６
＞ く コ Ｌ Ｏ 一〇
。
／。
６
/
︲
蹴 器暉
Fu‖ scc:e
:ノ2
例えば 10oO nFの キ ャパ ッタ ンス測定 レン ジでは,測 定
結果 は 500 nFか ら 1999 nFまで 3-1/2桁 で,160.OnF
Upper rOnge
:im"
3桁 表示 の濃1定レン ジでは表示 され る測定値 は原理
か ら 499.9nFま で 4桁 で,演 U定 レン ジの 下限 か ら159.99
nFま で 4-1/2桁
で表示 されます (測 定 レ ン ジが変わ
るのではなく,分 解能が高め られ ます )。 従 って 3桁 表示
の測定 レン ジにおいて,実 質的 に 4桁 表示 の レン ジに相
当す る測 定確度 と分解能が得 られます。MULTIPLI―
的 にそ の測定 パ ラメータの 逆数 を測定 す るこ とに よ
って得 られ てい ます。そのため (選 択 した レンジ内
で )小 さな測定 値 についてull定
分解能が高 くな りま
この
す。
利点を生か して高確度 で有効 な測定 デー タ
を得 るために表示桁数 を 自動的 に変化 させ ています
ERを XO.1ま たは ×001に 設定 した場合 も同様 の表示
方法が とられ ます。
1か ら 7ま での表 には表示桁数 を示す数字 の下に ライン
(ア ンダ ー ライン )を 添え て, この ような方法でHll定
値
を表示 す る レンジを区男りしています.
表 3-4 測
3-10
定 レンジと最大表示
4275A
第 3 章 使 用法
C一 D,C―
Q測 定のC表 示有効桁数
1001;.F
口ＯＺく “ ０
FREQUENCY(HZ)
C一 ESR測 定 の ESR表 示 有 効桁 数 C―
ESR
10MΩ
G測 定 の G表 示 有 効桁 数
G
3・ 2・ 1(4,3・ 2)
(1000ns)
1000kΩ
(10 μS)
100kΩ
(100 μS)
10kΩ
(1000 μ S)
1000Ω
(10mS)
100Ω
(100mS)
輿
4 ・4 。3 )
4・4:3(3・3・D
10Ω
1000m Ω
(1000ms)
4 ・3 ・2 ( 3 ・2 ・1 )
(10S)
10k
20k
40k
100k
200k
Not useable
400k
lM
2M
FREQUENcY(Hz)
じて 自動的 に選 ばれ ます 。
E S R と G 測 定 レ ンジは C 測 定 レンジ 1 / C 応
( )内
の 数字 は G 沢1 定に適 用 します 。
測定 レン ジ と最大表示
4M
10M
第 3章 使 用法
L一 D,L―
Q測 定の L表 示有効桁数
￨
日ＯＺく∝ 目
FREQUENCY(Hz)
L一 ESR測 定 の ESR表 示有効桁 数 L一
E S11
G
∽目ＯＺく “ ０ ● “∽日
10M`2
(1 0001lS)
lMΩ
(10μ S)
100kΩ
(100 μS)
10kΩ
(1000 μ S)
1000Ω
100Ω
G測 定 の G表 示 有効桁 数
3 ・2 ・1 ( 4 ・3 ・2 )
聾
4 ・4 ・3 )
(l0nrS)
(100mS)
4・ 4・ 3(3・ 3・2)
10Ω
1000n】 Ω
(1 000nls)
Not useable
4 。3 ・2 ( 3 ・2 ・1 )
(10S)
10k 1 20k 1 40k 1100k1200k:400kl lM
2M
4M
10M
FREQUENCY(Hz)
E S R と G 測 定 レン ジは L 測 定 レン ジに応 じて 自動 的 に選 ばれ ます 。
( )内
の数字 は G 測 定 に適 用 します 。
表 3-4 測
3-12
定 レンジ と最大表 示 (つ づ き )
4275A
第 3章 使 用法
RTL/C沢
1定の C表 示有効桁数
1 0 0y rF
10μ F
口ＯＺく “ ０
「REQUENCY(Hz)
C 測 定 レン ジは R 測 定 レンジ の設定 に応 じて 自動的 に選 ばれ ます 。
* 使 用 で きない レンジ です.
R 一 L / C 測 定 の L 表示有効桁数
目ＯＺく に 日
FREQUENCY(HZ)
L 測 定 レンジは R 演1 定レンジの設定 に応 して 自動的 に選 ばれ ます.
表 3-4 測
4275A
定 レンジ と最大表 示 (っ づ き )
3-13
第 3章 使 用法
IZI一 θ,R― X/B,R一 L/C測 定の R,IZI,X,B表
示有効桁数
RXIZI
B
1000nS
10′lS
∽口ＯＺく “ ｍ Ｏ 一
Ｎ一
ヽ
Ｘ ヽ
“
I 001rS
1000 μ s
10MΩ
3・2・ 1
1000k`2
【￨
100kΩ
10kΩ
￨
10nls
1000Ω
100n〕 s
100Ω
1000n〕 s
10Ω
4・ 4・ 3
10S
1 000nlS2
Not useable
4・ 3・2
10k
20k
40k
200k
400k
lM
2M
4M
10M
FREQUENCY(HZ)
表 3-4 測
3-14
定 レンジ と最大表 示 (つ づ き )
4275A
第 3章 使 用法
TEST SIG LEVEL CHECK機
レ ン ジは MULTIPLIERの
能 の 電 圧,電 流演1定
設 定 (電 流測 定 で は LCR IZI
ほ とん ど同 じです。 損失係数 は同 じ周波数 な らば どちらの
測定等価回路 につい て も同 じ値です。
の レン ジに も依 る )に よ って 自動的 に選ば れ ます。 表 35に 測定 信号 電 圧,電 流 の測定 レン ジが 示 され てい ます。
測定等価回路は試料の実際の等価回路に近似するように選
ばれるべ きです。 しか し一般の部品について適切な測定等
価回路を合理的に選択する基準は ない ようです。通常は 直
列等価回路は低 インピーダンスの試料に,並 列等価回路は
高 イン ピー ダンスの試料の測定に用い られます。例えばセ
ラミック ・コンデ ンサの ような/Jヽ
容量 キャパ ンタは,並 列
コンダクタンスが損失係数の主な要素です。一方,電 解 コ
ンデ ンサの ような大容量 キ ャパ ンタは, リー ド抵抗,電 極
測 定 信 号 レベル
V
o.oo ^.ffil.oo
.000- .100
.000- 0.010
測定 範囲
表 3-5 測
mA
.0 ^i90.0
.00- 2.99
.000- . 200
抵抗,誘 電損などの等価直列抵抗が損失係数の主な要素で
す。中間 インピーダンスの試料rcついて も同様に考え られ
定信号 レベ ル ・モ ニ タの レンジ
ますが,等 価回路の的確 な選択の基準rcはな りかねます。
試料の値 と適当な測定 等価回路の大まかな関係
図 3-4は
を示 します。
測定等価回路 を選択する妥当な方法は,試 料を試 しに測定
した結果か ら試料の実 際の等価回路を推定することです。
3 - 1 6 . 等 価回路モ ー ド
3-17 あ
損失係数 の周波数に関する依存性か らこれ を推定すること
がで きます。直列 キ ャパ シタンス損失 の損失係数は より高
い周波数で増加 します。並列損失は逆の傾向をもちます。
・
インタクタンスについて も同様に考え られます。それゆえ
適当な測定等価回路は,希 望する測定周波数 rcかける損失
るイ ン ピーダンス素 子 は抵抗性 素子 と リアクタ
ンス性素子 の 直列 または並列回路 であるよ うな簡単 な等価
回路 で表わす こ とがで きます。 この直列 と並 列等価回路は ,
それ らの等価回路素子 (例 えば抵抗 とキ ャパ ツタンス )の
係数測定値 とその周波数に近い他の周波数において得 られ
値 を適 当に決 め る ことに よ り,選 択 した測定 周波数 で同 じ
イ ン ピー ダンス を もつ こ とが で きるので, ど ちらの等価 回
た損失係数値を比較することに よって決め られます。
路 を用 いて もそれぞ れについ て正 しい浪1定結果が得 られま
ーに よって選 び
す。測定等価回路 は CIRCUIT MoDEキ
ー を AUTOに 設定すると4275
ます。 CIRCUIT MODEキ
Aは 自動的 に測定 パ ラメー タ とレン ジの設定 に適 した直列
等価 回路
または並列等価回路 を選択 します。 等価回路 を操作 ボタン
︲ 一Ｑ
3-18 直
+
ｐ
Ｒ
ｐ
︲
一Ｃ
ｆ
π
２
に よって (手 動 で )選 ぶ ことに よ り,LOR IZIInと
θの全
ー
レン ジで どち らの 等価回路 モ ドで も演1定が行 なえ ます。
他 の 等価 回路
へ の 変換
損 失係数
Cs = (1 + D2)cP
Rs = _7 li5T Rp
Rp
列等価回路 におけ る潰1定値 と並列等価回路で得
CP =
Ｓ
Ｒ肝
Ｓ
Ｃ﹃
られ る測定値 とは異 な ってい ます。 この源1定値 の違 いは試
料 の損失係数 に関係 します。 も し直列 抵抗 お よび並列 コ ン
D=2nfCsRs=I
a
グクタンスが存 在 しなければ,明 らかに 2つ の等価回路 は
図 3-3は さま ざま な損失 係数 の値 につい て並列 と直列等
価回路 パ ラメー タの 関係 を示 します。例えば損失係数 0.5
の 1000 pFの 並 列等価回路 キ ャパ ツタンス (Op)は ,同 じ
損失係数 をもつ 125o pFの 直列等価回路 キ ャパ ンタンス
(Os)に 等 しくな ります。図 3-3か
らわかる ように,損
Ls = 寺
Lp
一Ｑ
考慮 した簡単 な変換式に よって,直 列等価回路 の 測定値 と
関係づけ られ ます (表 3-6を 参照 して くだ さい )。
Rp = _11:r21
︲
しか し,並 列等 価回路 で測定 された試料の値 は損失係数 を
ｐ
Ｌ
ｐ
ｆ 一Ｒ
π
２
ｐ
ｐ
︵
一
︸
Ｌ
Ｒ
全 く同 じですo
1 + D2
Rs =
1 + D2
Rp
L
Ls Rs
…
Lp=(1+D2)Ls
D= Rs =_1¨
2πfLs
Q
RI = ギ
Rs
表 3-6 損
失 係数 の 計 算式
失 係数が 0.03よ りも小さい場合 には,ど ち らの等価回 路 を
用い て測定 して もキ ャパ ジタ ンスや イングクタンスの値は
4275A
3-15
第 3章 使 用法
Lp (H'
Aヽ
Rs
Xs
」
Rs
Rs2 + xs2
/
= G
∧
f/
―
/
Zs = Rs + jxs
Yp = 十 = G + jB
(Ds = Xs/Rs)
(Dp = 3/G = Xs/Rs)
/
/
ノ
/ /
/
//
ンス を もち ます 。 どち らの等 価回路 で表 わ され
/
/
/
/
/
/
て も損 失 係数 は 同 じ値 です .
図 3-3 並
ノ
//
上の等式 が成 り立つ場 合 に,並 夕鴨 価 と直列 等
価 回路 は (特 定 の 周波 数 で )等 しい イ ン ピ ーダ
∠
／ ノ
= j3
／ ／
J Rs2 + xs2
列等 価 と 直列等 価 との 変換
Hz
10M
:M
:00K
10K
:OM
iM
iOOK
:OK
:pF
:00nH
:OpF
:000nH
ioom iooom
iOn
loopF
io"H
iOon
図 3-4 並
3-16
:ooOpF
:OnF
:00JH :000JH
i000n
:00nF
:ooodF :oり
:OmH
loomH :ooomH :oH
:oKユ
:CЮ Kn i000Kn
F
:ooJF
:OMn
列等 価 と直列等価 の 適 用範 囲 (概 略 )
4275A
第 3章 使 用法
3 - 1 9 . 初期 自動 ファンクション ・テス ト
3-20 4275Aは
電 源が投 入 され た 直後 にす べ ての 自動 測
定 プ ログ ラ ム (記 憶 内容 )に 誤 りが ない ことを検査 す るた
め の 自己診 断 を 自動的 に行 ない ます。 この診断 の 間,検 査
に バ ス した ことを意味 す る文 字 Pを 左 か ら右 へllF番
に 5文
字表 示 します。
3 - 2 3 . 測 定端子
3-24 試 料 を接続 す るた め の 端 子 には,4275Aは 高 周 波
に おい て高 確度 を要 求 され る演1定に大 きな禾U点を もつ 4端
子 対構成 の 測定端 子 を採用 してい ます 。 一 般 の 端 子 構成 に
よる測定 回路 に あ りが ち な相互 誘導 や浮遊 容量 ,そ の 他の
接 続 方法上 避 け られ ない残 留 パ ラメー タ要 素 は ,周 波数 が
高 くな るほ ど測定 に大 き な影 響 を与え ます。 4端 子対 構成
の 測定 では この よ うな効果に よる測定 確度 の 限 界 を取 り除
い て,容 易 に 安定 で正 確 な演1定が 行 なえ ます。 この 4端 子
ブ ランク
文字 P の 表示 が左 か ら右 へ
進 行 します。
も しも診 断結 果 Pの 表示 が 不完 全 で あ る と,そ の機 器
は 正常 に動 作 しなレ勁ヽ
もしれません。 そ の 場合 はYHPの
サ ー ビス 部 で機 器 の検査 を受 け て くだ さい 。
対 測 定 を行 な うには, 4端 子対 演1定用 に設 計 され た テ ス ト
フ ィク ス チ ュァゃケ ー ブル を用い なけれ ばな りませ ん。
UNKNOWN端
子 は ЦttR(ハ イ ・カー ンン ト ),HPOT
ー ・ポテ ン シ ル
(ハ イ 。ポテ ン シ ャル ), LPOT(ロ
ャ ),
・
ー
L cuR(口
カ レン ト )の 4つ の 端子か ら成 りた ちま
す 。 カー レン ト端子は試 料 に測定信 号 を流す た めの端 子 で
す。 ポ テ ン シ ャル端 子 は 試料 を流 れ た測 定信号 の 電圧降 下
(試 料に 加え られ た測定信 号電 圧 )を 検 出す る端子 です 。
ハ イ側 とは内部信号 源 か ら供給 され る駆 動電 圧 を表 わ しま
す 。 4端 子 対 測定 回路 を構 成す るた めに ,HcuRと
3-21.自 動初期設定
3-22 測
定 を容 易 に す る便 利 な機 能 の 1つ に 自動 初 期 設
定 が あ りま す。 電 源 投 入 後 ,表 面 パ ネ ル の コ ン トロー ル 機
能 は 自動 的 に次 の よ うに設 定 され ます 。
・
¨…………………………・
¨¨¨………… C
DIsPLAY A・
……………………………………・AUTo
LORZ RANGE・
・
・
・
・
¨ Off
・
¨・
¨・
¨・
…・
・
……………・
…………… …・
・
……………・ D
DeviatiOn measurement
DIsPLAY B・
HIGH RESOLUTION …
SELF TEST・
TRIGGER・
…
・AUTO( ・
…………・
omouIT MoDE…
HPOT,
LPOTと L cuRの 端 子 をそ れ ぞ れ 相互 に接 続 し,ま たす べ
ての シー ル ドを図 3-5に 示す ように接 続 します。 4端 子
対 測定 の原理 を図 3-6に 示 しま す。 一 見 して, この 構成
10m」. )
……………………… Off
は ガ ー ドを伴 って拡張 され た 4端 子 測定 法 の よ うです。 ま
・
さ し 〈4端 子 対 rll定
は ,低 イ ン ピー タ ンス測定 におけ る 4
端 子 演1定法 の 利 点 を持 ちなが ら, 高 イ ン ピーダ ンス濃J定に
必要 な シー ル ドの 効果 を兼ね備 え てい ます。 4端 子 対測定
法 の きわ立 った特 徴 は, シ ー ル ド導体 が 演1定信号 の帰路 に
な ってい る こ とです。 測定 ク ー プルの 中心導 体 と シー ル ド
導 体 に方向が 逆 で大 きさの 等 しい電 流 が 流 れ ますか ら, ケ
ー ブ ル導体 の まわ りに外部
磁 界 を生 じません (中 心導体 と
シー ル ド導 体 を流れ る電 流 に よる磁 界 は互 い に完全 に打 ち
・
¨……………・
…………………・Off
……・
・
…… ……………… ・
……… ……………・INT
・
・
…・
¨・
………・
・
…・
……・
¨・ 1 00 MHz
Frequency … ……・
MULTIPLIER・
……………………・
・
………………… × 1
この 初期 設 定 は 広 範 囲 の キ ャパ ツ タ ンス 試料 に適 した 一 般
的 な キ ャパ シ タ ン ス測 定 に用 い られ る設 定 です 。使 用 す る
テ ス トフ ィ ク ス チ ュア に つ い て z E R O ォ フセ ッ ト調 整 ( 3
-29頂 参
照 ) を 行 な った 後, キ ャパ ン タ ン ス は 通 常 た だ 単
に 試 料 を テ ス トフ ィク ス テ ュア に 接 続 す るだ け で 測定 で き
ま す 。 イ ン グ ク タ ンス , 抵 抗 ま た は ィ ン ピー ダ ン ス も適 切
な L,Rま
た は I Z I ボタンを押 す こ とに よ って測 定 す る こ と
が で き ま す 。 異 な った 測 定 を行 な うに は適 当 な ボ タン を 押
し, 希 望 す る 演1 定 パ ラ メ ー タ を選 び ま す 。
図 3-5 4端
4275A
子 対法 に よ る試 料 の接 続
3-17
第 3章
使 用法
ベ ク トル
電 流計
OSC
試料 を流 れ る ベ ク トル
電 流 を検 出 します .
試料 に加 わ る ベ ク トル
電圧 を検 出 します 。
図 3-6 4端
消 し合 い ます )。 濃1定信号電 流は誘導磁界を伴 い ません か
ら,測 定 ケー ブルの 自己 インダクタンスや ケー ブル間 の相
子 対測定 法
この理 論的 な演1定上 の制 限 に反 して,4275Aは 接 地 され た
試 料 が接続 され て もほ とん どの場 合 に測 定 を行 ない ます。
互 インダクタンスが な く,そ れ らに原 因す る測定誤差が生
じません。それ ゆえ 4端 子対測定法はテス トフィタステ ュ
・
アや測定 ケー ブルの浮遊容量 や残 留 イ ンタ クタンス を最 小
実 際 には試料 の接 地点 と 4275Aの 接 地 点 の 間 に,あ る大 き
さ の イ ン ピー ダ ンス (試 料 の イ ン ピー ダ ンス よ りも大 きい
に して,高 い確度 で測 定 を行 な うことがで きます。
そ れ ゅえ,例 に あげ た よ うな演1定が 可能 です。接 地 され た
ー
試 料 の 測定 は接 地 イ ン ピ ダ ンス に左右 され ます か ら,測
も しも測定 ケー ブル に 残 留 イ ン グク タ ンスが 存 在す る
と測定 に影 響 を与 え, キ ャパ ツタ ンス測定 では 付 加的
誤差が 演1 定周波数 の 2 乗 に比例 して増 加 します。
こ と )が 存 在 していれ ば,測 定 を行 な うことがで きます。
定 確度 は仕様 に規 定 され ません 。 また測定 を行 なえ る レン
ジ も制 限 され ます (測 定 不能 の レン ジでは エ ラー ・メ ッセ
ー ジが 表示 され ます )。
3 - 2 7 . 測 定 ケ ー ブル長の選択
3 - 2 5 . 接地された試料の測定
3-26 接
地 され た 端子 ( ガ ー ド端子 を除 〈) を 持 つ 試料
は , 理 論的 には通 常 4 2 7 5 A で測定 され る ことが で きまt 想
そ の よ うな測 定 は, 例 えば接地 され た シー ル ド導 体 を もつ
同軸 ケー プルの 分布容量 や シン グ ル ・エ ンデ ッ ド増 幅器 の
入 出カ ィ ン ピー ダ ンスの測定 です 。 も しも接地 され た試 料
を測定端子 に接続 す る と, 4 2 7 5 A は エ ラー ・メ ッセー ジや
誤 った測定 結 果 を表示 します 。 これ は いず れかの測 定 端 子
が接 地 され る と 4 2 7 5 A の プ リッジが バ ラ ンスす る こ とが で
き ない こ と, さ らに 4 端 子 対構成 が成 り立 た な くなる こ と
に よ ります。
3-28 伝
本 条件で ある相等 しい電 流が流 れ な 〈な ります。
示 す よ うに
2点 間 に位相差が あ ります。 この 位相 差 は 2点 間 の距 離 と
ー
伝 播 信号 の 波長 の比 に相 当 します。 それ ゆえ ケ ブル の長
ー
さに よ って,測 定 ケ ブ ル は測 定 信 号 の 伝播 損失 と位 相 の
変 化 を生 じます。 例えば 10 MHzの 測定 信 号 の 波長 は 20m
で , lhの 標準測定 ケー ブルの 20倍 に あた ります。 そ の た
め 測定 ケ ー ブ ル端 に おけ る測定 信号 の 位 相は 他 の 端 で の位
ー
相 を基 準 と して約 18°(360°÷ 20)異 な ります。演1定 ケ
ブル の長 さが 測定 に与え る効 果 と結果的 な測定 誤 差は測定
周波数 に比例 して増加 す るので ,高 周波演1定に おい ては 測
定 ケ ー ブル の 長 さを考慮 しなけれ ば な りません 。 CABLE
標準 測定 ケ ー ブ ル と測定端
子 に直接取 り付 け て使 用す るテ ス トフ ィク ス チ ュアのそれ
ぞ れ につ い て演1定回路 を選択 します。 標準 測定 ケー ブル を
使 用す る場合 には,演 1定回路 を測定 ケー プル に適 合 させ て
にす るため, CABLE LENGTHス
イ ッチ
測 定誤 差 を最 イヽ
LENGTHス
もしもいずれかの測定端 子が接地され る と,測 定 ケー
プ ルの 中心導体 とシール ド導体 に, 4端 子対測定 の基
送 線路 を伝播 す る信 号 は図 3-7に
イ ッチは , lmの
を 「lm」 に設定します。テス トフィクスチュアを直接取
り付けて使用する場合には 「0」 に設定します。
3-18
4275A
イ
￨
￨
第 3 章 使用法
3 - 2 9 . ゼ ロ ・ォ フセ ッ ト調整
ス トフィク スチ ュアはそれぞ れに固有の浮遊容
量 や残留 イ ングクタ ンス,残 留抵 抗があ ります ので,演 1定
結果は測定 レンジ とこれ らの残 留 パ ラメー タ値 の大 きさに
3-30.テ
コー
ｏ ，ひ
の増加 を最小に します。そのため使用す るテ ス トフィクス
厘
テ ュアに特有 な測定誤差が取 り除 かれます。次の手順で
Wove iengfh λ
Oz-9t =
一
神
入
、
ＦＩ Ｉ Ｌ Ｉ ド ト ー
しト
よ っては無視 で きない影 響 を受け ます。 4275Aの ZEROォ
フセ ッ ト機能はテス トフ ィクステ ュアのその ような残留 パ
ラメ‐ 夕につ いて自動 的に最適 な補償 を行 ない,測 定誤差
Z ERoォ フセ ッ ト調 整 を行 ないます。
(rodion)
(irad 8 572958° )
Z B R O オ フセ ッ ト調整 を行 う前 に B I A S 表 示 ラ ン プ
が 点灯 してい な い こ とを確 認 して 〈だ さ い。 も し点 灯
していれ ば, 裏 面 パ ネ ル に あ る D O B I A S ス
の設 定 を O F F に
図 3-7 測
定 ケ ー プルに生 ず る位相差
1
テ ス トフ ィク ス チ ュァまたは測定 ケー ブルを 4 2 7 5 A
16047Bテ ス トフィクスチュアを用いる場合 には OABLE
の UNKNOWN端
LENGTHス
ない ( 開 放 ) 状 態 に お きま す。
イ ッチを 「lm」 に設 定 します。
定 等 価 回路 な どを選 びます。
短 い あるいは長 い ときには ,付 加的 な測 定誤 差が 測定
測定信 号 レベ ル を最 大 に します。
周波数 の 2乗 に比 例 して増 加 し, 10 MHzで は 10 cm
の 長短 につ い て 3%に な ります 。測定 ケー ブ ルの特性
インピーダ ンス もまた伝播 損失 と位 相差 (結 果 的 に演1に
誤 差 )に 関係 します の で,異 な った タ イ プの ケー ブ ル
を演1定 ケ ー プル に用い る こ とは避 け なけ れば な りませ
ん o必 ず YHPの 標準 測定 ケー ブル を使 用 して ください。
l m 測 定 ケ ー ブル 使用 時 の , 周 波 数 4 M L 以
zER0 0PENボ
タンを押 します。 4275Aは 自動的
パ
に C― G(キ ャ ンタンスー コングクタ ンス )測 定
モ ー ドにな ります。 測定周波数 の表示が 10 MHzか
ら 10 kHzまで順次に移 り変わ り,DISPLAY Aに
は 自動 オ フセ ッ ト調整 中であることを力 院 卜「
OAL」
の文字が表示 されます。 ボタ/を 押 してか ら約 5秒
後 にオ フセ ッ ト機能は解除 され て,選 択 した測定周
波数 に おけ る浮遊容量 と残 留 コングクタンスの測定
値が一 瞬間表示 され,第 2の 手llPで
選択 した設定 に
戻 ります。
上 での
追 加誤差 を最小 にす るに は , 次 の 図 に示 す よ うに : ケ
ー ブル端 で低 イ ン ピー ダ ンスの 金属片等 を用 いて 4 端
子対 構造 を 3 端 子 に変換 し ます。 この と きの残留 誤差 ,
図 の よ うにな ります 。 ただ し, 4 M H z ∼
1 0 . 7 M H z で の イ ン ピー ダ ンス測定 ( 4 o o n H ∼ 3 μH )
で は , ケ ー ブル は延 長 せず , 本 器 の I I N K N O W N 端
子
Lo,COは
で測定 す る必要 が あ ります 。
子 に接 続 して, 何 も試 料 を接続 し
表面 パ ネ ル の 操作 ボ タンや ツマ ミを操 作 して希 望 す
る 測定 パ ラメー タ ( L , 0 な ど ) , 測 定 周 波数, 測
も しも測定 ケー ブ ルが lmの 標準 測 定 ケー ブ ル よ りも
ブ ラ ケ ット
イ ッチ
切 り換 え て くだ さ い。
4.
テ ス トフィクステ ュアまたは測定 ケー プル を きわめ
・
てイ ン ピ=夕 ンスの低い短絡板 を用 い て成端 (短絡 )
します。
zERO SHORT栄
タンを押 します。4275Aは 自動
EsR(ィ
ング
クタ ンス ー等価直列抵抗 )測
的 に L―
ー
定 モ ドにな ります。第 3の 手順 と同様 に演1定周波
数 の表示力V贋番に移 り変 わ り,「 OAL」 の文字が表
示 されます。約 5秒 後 には選 択 した演1定周波数 にお
・
け る残 留 イング クタ ンス と残留抵抗の測定値が一 瞬
間表示され ,第 2の 手順で選択 した設定 に戻 ります。
これで正確 な測定 を行 な う用意が で きま した。
4275A― -1
3-19
第 3 章 使 用法
Rm=Rx+Rrё
小 さ な値 の試 料 を高確度 に測 定 す るため高分解 能 モ ー
ドで Z E R O ォ
s
Om=Gx+Gres
こ こで添 え字は 次の 意味 を もちます 。
フセ ット調 整 を行 な った場合 は , 「C A L 」
m:測
の 文字が 約 1 5 秒 間表示 され ます。
・
res:残 留 イ ンタ クタンス,
定値
残 留抵抗 ,ま た は
残留 コ ンダク タ ンス
x:試 料 の値
st:浮 遊 容 量
これ以 後 に行 な う測定 では ,使 用 してい るテ ス トフ ィク ス
テ ュアまたはNll定ケー ブル に存在 す る浮 遊容量,残 留 イ ン
・
タ ク タ ンス, コ ング ク タ ンス,抵 抗 分 に つい て演1定値 が常
残 留抵 抗 と残留 コングク タンスは 付加的損失 として演1
定 値 に含まれ るので,損 失係数 とQ係 数の 演1定に も影
次 の とか りです。
キ ャパ シタ ン ス…… ……… ……最 大 20 pFま で
イ ング ク タ ンス…… ……… … …最 大 2000 nHま で
・
……… …… …・
・
…・
最大 500 mΩ まで
抵 抗 ………・
・
・
…… ……… 最大 5μSま で
コ ング ク タン ス…・
も しもオ フセ ッ ト調整 を行 なわ ない場合 には,次 の よ うな
2種 類 の 演1定誤 差 を生 じます。
2
と大 きなイングクタ ンスの測定へ の影響。
大容量■ll定
大 きな イ ング タ タ ンス (大 容量 )を 測 定 す る場 合 に も
残 留 バ ラメー タは 演1定誤 差 を生 じます。浮 遊容 量 と残
・
留 イ ン タ ク タ ンスが 濃1定に与 え る影 響 は下 表 の よ うに
な ります 。
浮遊 容量 ・
大 きな イング クタ ンスの 濃1定
残 留 イ ング ク タ ンス… ……… …… … … 大容量測定
これ らの 測定誤 差 は 測定 周波 数 の 2乗 に比 例 して増 加
します 。 残留 バ ラメー タの影 響 を図 3-8に 示 します。
1 単 純 な付 加的誤 差
測定 値 は 試 料 の 値 と残 留 パ ラメー タ値 との 和 に な り,
定 で測 定誤 差 を 0.1%以 下 に抑 え るには ,Ox
lML測
Om=Cx+Cst
と Lresの 積 (Lxと Ostの 積 )は 25× 1018(FoH)
ー
以 下 で なけれ ば な りま せん 6残 留 バ ラメ タ値 と演1定
Lm=Lx+Lres
確 度 との 関係 を図 3-9に
演1定値が小 さい ほ ど誤 差が 大 き くな ります。
示 します 。
浮遊 容量 が 存在 す る場合 に測定 され る イ ン グク タンス は
次 の 式 で表 わ されます 。
Lx
Lm -1_ω
2LxCst
または
『 七計
上 ―
― ω2 L x C s t l
埋 留 イ ン グク タ ンスが 存 在す る場 合 に沢1 定され る容量値 は
次 の式 で 表 わ され ます .
Cm――
漁
︲ ︲ Ｊ
ｓ
ｅ
ｒ
Ｌ
Ｘ
ω
3--2Cl
℃
図 3-8 残
ヽ
素は
昨
留 パ ラメー タの影響
4275A
・
zEROオ
フセ ッ ト調整 が可 能 な残 留 バ ラメー タ値 の 範 囲 は
響 を与え ます。
︱﹁ 司 ︲
︲ ﹁
”¨ ﹁ に 自動 的 に補 正 され ます。 演1定を行 な うた びに 4275Aは 記
ー
憶 してい る残 留 パ ラメ タ値か ら適切 な補 償 値 を計算 して,
ー
残 留 パ ラメ タに原 因 す る誤 差 を測定 値か ら取 り除 きます。
第 3章
10mH 100●F
＼
使用法
＼
ヽ
ヽ
rGNALI llvll|z
＼
＼
ヽ
ヽ
＼
ヽ
＼
ヽ
＼
ヽ
＼
ヽ
ヽ
ヽ
ヽ
ヽ
＼
ヽ
↑＼
ゝ
ヽ
ヽ
ヽて
ΦＯＣＯｔ ００α Ｏじ
００Ｃ〇一０コＯＣ 一
＼
ヽく , ´
＼
ヽ
＼
ヽ
ヽ
＼
ヽ
０
0.01
１
・
‐
残留 イン タク タンス
1
10011H
lPF
浮遊容量
図 3-9 残
留 パ ラメ ー タと測定確 度 との 関係
フセ ッ ト調整 は , 任 意 の 1 点 の 周 波 数 で も行
え , 使 用可能 周波 数範 囲が あ まり広 くな い テ ス ト ・フ
ZEROオ
ィクス チ ャ ( 1 6 0 3 4 B , 1 6 0 4 7 B 等 ) を 使用 す る際 な ど
に有効 で す 。以 下 の手 順 を 実行 す ると, あ る 1 点 で の
フセ ット調 整 が行 え ます 。
1 測 定 を行 う周波 数 に設定 し ます。
ーを押 し ます
2 sELF TESTキ
。
3 ZER0 0PEN, ま
た は ZERO SHORTボ
ZEROオ
タン
を押 し ます 。 ZERO調
整 中 ,デ ィス プ レイ Aに
"CAL″
と表 泰 され ます。
ー を押 して ,セ ル フ ・テ ス トを
4 SELF TESTキ
解 除 し ます。
5、 HP― IBに よ って ,ZEROオ
フセ ッ ト調 整 を実行
"&9Zo"コ
し ます。 ZER0 0PENの
実行 には
マ ン ドを送 り,ZERO SHORTの
実 行 には
"&9ZS"当
マ ン ドを送 り ます 。
4275A
3-21
第 3章 使 用 法
3-31.実
際 の測 定 回路
3-32.試
料 を UNKNOWN端
試 料 の イ ングク タ ンス と共 振 (並 列共振 )し ま
ー
す。そ のた め試 料 の イ ン ピ ダ ンスは図 3-12に 示 す よ う
に,共 振峰 に相 当す るい くつ か の 極 値 を もちます。測 定信
し,Ooは
子 に接 続す る測定 回路 は,
一
実 際 には 測定 さ れ る試料 の 部 に な ります。演1定端子 と試
゛
料 の 間 の 測定回 路 に存 在す るさ ま ざま な寄 生 イ ン ピー タ ン
ス は 測定 に影 響 します。 これ らの望 ま し くな い寄 生 イ ン ピ
ダ ンス は
,試 料 に 直列 や並 列 の 抵抗 性 や リアク タンス性
の 要 素 と して存在 します。図 3-10に 寄生 パ ラメー タ (通
常 は残 留 バ ラメー タ と呼 ば れ る )を 含 む測定 回路 の 等価回
路 モ デ ル を表 わ します。 残 留 イ ン ピー ダ ンスの リアタ タン
ス性 要素 は,高 い周波数 に かい て測定 に大 きな影 響 を与 え
ます。 4275Aに 用 い られ た 4端 子 対測定 法 では,測 定 回路
の 残 留 イ ン ピー ダ ンスが 非 常 に小 さ くな ってい ます。 け れ
ど も一 般 に部 品や 素 子 は 2端 子 です か ら, 4端 子 対構成 を
試料 の近 くで 2端 子 構 成 に変換 しなけれ ば な りませ ん。
号電 流の 位相 は共 振 周波数 の まわ りの広い周波数 範 囲にわた
Ooが 存 在 す る ことに よる 測 定 誤
って変 化するのC Loと
の
差 を生 じます。 こ 共振 に原 因す る測定 誤 差 は (共 振 周 波
数以 下 で )測 定周 波数 の 2乗 に比 例 して増 加 し,理 論 的 に
次 の 式 で近 似 す る こ とが で きます。
Cの 測定 誤 差 ∼ ″ L00x。 100(%)
Lの 測定誤 差 ∼ ω20。Lx。 1∞ (%)
ここで, ω
=2π f(f:測
定 周波数 ),
Cx:試
量 の 容 量値
Lx:試
料 の イ ン グク タン ス です。
さ らに試料 を テ ス トフ ィタ ス チ ュアに接 続 す る こ とに よ っ
低 い 周波数 では LOと COは そ れぞ れ 演1定 さ れ る イ ング ク
タ ンス値 とキ ャパ ンタンス 値 に単 純 に 加 わ る測定誤 差 に な
て新 し く他 の浮遊 容量 が測定 回路 に現 われ ます。図 3-11
は 部 品の リー ドの 周囲 に現 われ るそ の よ うな浮遊容 量 を示
ります 。 これ らの 測定誤差 は (テ ス トフ ィクス チ ュア等 の
ー
残 留 パ ラメ タ につ い て補 償 をす るための )ォ フセ ッ ト調
します。
整 に よ って完全 には取 り除 くことがで きませ ん 。 なぜ な ら
おい て L o は 試 料 の リー ドの
残 留 イ ングク タンス を表 わ します 。R O は リー ドの 抵 抗を,
・
O o は 試料 の リー ド間 の コ ンタ ク タ ンス を, そ して 0 0 は図
3 - H に 示 した浮遊 容量 を表 わ します 。 一 般 に特定 の高 い
ば ,Loと
測定 等価 回路 ( 図 3 - 1 0 ) に
周波 数 で L 。 は 試 料 の キ ャパ ツタ ンス と共振 ( 直 列 共振 )
い７
`・上ユ
1 2
２
お一
讐 ,■ =
―
- 1 皐
６▼︰、 、く‘
7
Coは 測 定 され る試 料 に 特 有 な値 で あ るか らで
す。 これ らの値 は部 品 の リー ドの長 さや試料 とテス トフ ィ
ク ス チ ュア との距 離 に よ ります。測定結 果 はそ れ ゆえ,試
ー
料 を接 続 した状 態 の もとで存 在 す る寄 生 イ ン ピ ダ ンス を
含 ん だ実 質的 な試 料 の 値 で ある といえ ま す。
測定 され るイ ン ピー ダ ンス R m t t j X m は次 の式 で表 わ され ます 。
=「
Lギ
+ Ro
Rm = ―
Z‐
J≒
Fπ
百
ぎ :景
卜
さ
:戸
ttETア
頂
要
J}!1-lt:肯
可 瓦
て
―
l ―
立￨マ
―
F+ ωLol}
jXm = j{π￢I「
≒
「
=ニ
π
粟
両
:ド
に
1ド
ギ
岩
:;薔耳
」
;[≒
1ま
「
戸
リ
ド ●イ ン ピーダ ンスが C ― G 測 定 に与 え る影 響
2LoCx - 2RoGx ‐
Cm公ョCx(1 + ω
LoGx2/cx)
2LoCx ―RoGx + 2RoCx2/Gx)
Gm公しGx(1 + 2ω
ω
浮 遊 ア ドミ ッタン スが L ― E S R 測 定 に 与え る 影響
―
一
―
2coLx ―CoRx2/Lx)
Lm公しLx(1 - 26oRx + ω
2coLx +ω2Lx26o/Rx)
Rmへ多Rx(1 - GoRx + 2ω
―
申
LX_
Rx
図 3-10 寄
3-22
生 イ ン ピー ダ ンス を 含む等 価回路
4275A
第 3章
使用法
θ
・
料
料 に 固有 な寄生 イ ン ピー ダ ンス
図 3-11 試
3-33.試
︲ ．
︲
一
試
3-34 測 定 され る試料 の抵 抗 性 や リアク タ ンス性 の パ ラ
メー タ値 は常 にそれぞ れ の公 称 値 に近 い とは限 りません。
あ る種の電 気 的効 果 は測定 され る値 を大 き 〈変 化 さ せ る こ
とが あ ります。 測定 値 は, よ 〈知 られ た導 体 の 表皮効 果 や
イ ングク タの 強 磁性 体 コ アにつ い ての一 般的性 質,ま た コ
ンデ ンサの強誘電 体材 料 に特 有 な性 質 の よ うに,電 磁気 的
な効果 のた め にそ の値が変 化 す る要 素 を含 ん で い ます 。 こ
こで は部 品の リア ク タンス性 パ ラメー タ要 素 (L,0な ど)
の 相互 作用 に よる効果 を考 え てみま し ょう。
部品 や 素 子 の イ ン ピー ダ ンスは図 3-13に 示 す よ うに,複
素座 標止 の ベ ク トル で表 現 され ます。 この ベ ク トル表現 で
は ,実 効抵 抗 と実 効 リア ク タ ンス は イ ン ピ ダ ンス ・ベ ク
トル IZI∠θの実 数軸 (R)と 虚数軸 (jx)へ の 投 影 に な り,
次 の よ うに表 わ され ます。
効抵 抗
Xe:実 効 リアタタ ンス
Z:イ ン ピーダ ンス (Re+jXe)で
す。
位相角 θが変化す ると,上 の定義に従 ってReと xeも 変化
します。測定 パ ラメー タL,0,R,Dな
ど も イ ン ピーダ
ンス ・ベ ク トルに関す る部品の表現ですか ら,位 相角 θは
それ らの値 を左右 します。 その よ うな例 と して, ィ ング ク
タの 自己共振周 波数 の近 くにおける イングタタンス と損失
・
係数 を調べ てみま し ょう。図 3-14に イ ンタ クタの等価回
路 を示 します。 イングクタンス Lxは 分布容量 00と 周波数
foに おいて共振 します。動 作 周 波 数 が共振周波数 に近づ
くと,ベ ク トル ・ィン ピーダ ンスの位相角 θは 0°に 近 づ
きます (ベ ク トルは R軸 に近づ きます )。 それ ゅぇ ィンタ・
タ タンスは減少 し,抵 抗 (損 失 )は 増加 します。共振周波
・
数 foで は,こ の インタタ タは 純 粋 な抵抗 にな ります。た
とえ この イ ンダク タが直流に おい て理 想的 に抵抗が ゼ ロで
あ って も,共 振 に よって実効抵抗が増加 します。そ のため
Re= IZl cos θ
損失 係 数 ( D ) = 器
料 の共振 (例 )
ここで,Re:実
料 の 特 性 と測 定 値
Xe=IZl sin θ
図 3-12 試
損失係数 は共振点 のまわ りの周 波数 で急激 に変 化 します。
、
=岩
号
JX
f:〈
f 2 〈f o 〈f 3 くf 4
JX
JXo
fo 8鵜
―JX
図 3-13 イ
4275A
ン ピー ダ ンス の ベ ク トル 表 現
図 3-14 共
振 によ るベ ク トル ・イ ン ピー ダンスの 変化
3-‐ 23
第 3章 使 用 法
3-35.測
3 - 3 7 . 測 定 信 号 レベ ル の 確 度
定 確度
3-36.4275Aの
演1定確度 は図 3-15の グ ラフに示 さ れ て
い ます。 グ ラフか らの確度 の読 み は,与 え られ た■ll定
条件
の も とで測定 値 の最 大誤差 (カ ウ ン ト)を 表 わ します。測
定 値は低 レベ ル の 演1定信 号 や高 い 周波数 を用 い る時 には低
い 確度 に な ります 。 確度 は機器単 体 につい て適 用 され ,実
際 の 測定誤差 は測定器 本体 の誤 差 に,使 用す るテ ス トフ ィ
ク ス チ ュアや 測定 ケー ブルに特 有 な誤 差 が 加 わ ります 。 テ
ス トフ ィ ク ス テ ュア等 に原 因す る誤 差 につ い ては 3-39項
に説 明が あ ります。 4275Aの ■ll定
確度 は次 の 測 定条 件 の も
とで規 定 され て (仕 様 に示 され て )い ます。
1.ウ
ォー ムア ップ : 30分 以上
21測 定 信 号 レベル の設 定 :
MULTIPLIER :
0SC LEvEL: 最
3.CABLE LENGTHス
4.Z EROォ
1 ま たは ×0 1
×
大位置
イ ッチの設定 : 0
フセ ッ ト調 整 を適 切 に行 な う。
51動 作 環境温度 : 23℃ ± 5℃
6.有 効 数 字 の 表示 が 20カ ウ ン ト以上 で ある こと。
7 ノ ーマル ●モ ー ドで測定 。
タ ン を押 し
3-38 TEST SIG LEVEL OHEOKボ
た時 に表示 される演1定信号電圧 お よび電流 の確度は表 37に 示され ています (こ れ らの確度 は仕様 では な く代表特
マミ
性 です )o測 定信号電 圧の表示 値は OSC LEVELツ
い
ンの
です。
タ
設定 に通常は近 値
とヽ側 LTIPLIERボ
しか し低 イ ン ピー ダ ンスの試料 (約 lkΩ 以下 )を UNK―
子 に接続 した場合 には測定信 号電 圧は本器 の 内
NOWN端
ダ
ンスの ために低 下 し,実 際 に試料 に加わる信
部 イン ピ
マ ミの設定 よ りも低 い値 にな り
号電 圧は OSC LEVELツ
ます。 この 場合に も表示 され る電圧 または電 流値は正 しい
測定信号 レベ ルです。
ケー ブル を使用す る場合 には
高 い測l定周波数 に おい て■ll定
表示 され る測定信号電 圧 の確度が低 下 します。 これは測定
ケー ブルの伝送損失 に よ って試料 に加わ る測定信号の電圧
が小 さ くなるためです。表 3二 7に 示 されたlMHz以 上 の
子 にテ ス トフ
演1定周波数 に かけ る確度は,UNKNOWN端
ィクスチ ュアを直接取 り付 けた場合 の代表特性 です。
測定範 囲
電 圧
く(11こ
0.001V-100V
電 流
0 001mA-10.OmA
記 :21
MULTIPLIERの
設 定 が ×0 . 0 1 の場合 の 演1 定確
度 は規 定 され ませ ん。
5 「 0 ℃ か ら 5 5 ℃ までの温度 範 囲 で は誤 差が 2 倍 に な
ります。
周波数
lz
確
度
士 (読 みの 3°
/O■1カ ウン ト)
≧ INIHz 土 (読みの 10%+2mV)
く(lⅣ EIz
士 (読み の 3%+1カ
≧ IMHZ
士 (読 みの 10%+2μ
表 3-7 測
定 信号 レベル の 確 度
ウン ト)
A)
第 3章 使 用法
C― D,C―
Q測 定のC確 度
― グ ラ フ を読 む うえで の注 意‐
① グ ラ フは MULTIPLIERを
× l1/C設定 した場合 の 確度 で す
有 効 表示桁 数 が同 じで あれ ば X01に
設 定 した場 合 に も適 用 し
ます
② グ ラ フ横 軸の 表示 カ ウン ト数 は DISPLAY Aの
読 み を表 わ し,
3桁 表示 レ ィ ジで は 10KXlカ ウン トカヽ 4桁 表示 レ ン ジで は
10000カ ウン トが アル ス ケ ー ル に対 応 します
③ 確 度表の影 のレンジ (3桁 表示 レンジ )で は, フルスケー ルの
1/2懸 ヽ 測定値について有効表示 FfJ数(分解能 )が 1桁 増加
するため,許 容誤差 カウン トも増加 します グ ラフが不連続で
あるのはこのためです.
測定 の確度 :C,L,R,IZ Iの
④ C,L,R,ZI,θ
トに対する許容誤差をカ ウン ト数 で示 します
表示 カウン
∽いＺコＯυ “〇“名口 ＝
(2000) (3000)
(4999)500
0°
1°
NUMBER OF C COUNTS
NUMBER OF C COUNTS
∽い Ｚ つ〇 〇 “ 〇 “ “ 国 引
∽いＺつＯ Ｏ “ 〇““ 国 判
NUMBER OF C COUNTS
∽ い Ｚ コ Ｏ Ｏ “ 〇“ “ 国 ＝
NUMBER OF C COUNTS
図 3-15 測
4275A
定確度
3-25
第 3章 使 用法
C― D測 定 の D確 度
100JIF
○
― グラフを読む うえで の注意=
①
10jlF
1000nf
①
○
￨∞ nF
③
②
①
①
%
① 颯
① ①
①
10nF
000pF
①
⑫
①
①
①
100pF
①
Xlに 設定 した場合 の確度です
① グ ラフはMULTIPLIERを
有効表示桁数 が同 じであれば ×01に 設定 した場合に も適用 し
① 輻
① ① 颯
① ①
①
:OpF
000fF
10kH2
20kH2
(2000)
①
①
40kH2
OOkH2
(3000)
NUblBER
咆
①
①
①
聰
lMH2
2MHz
①
①
ます
.
読みを表わ し,
② グ ラ フ横軸の表示 カウン ト数は DISPLAY Aの
3桁 表示 レンジでは 10tXlカウン トが, 4桁 表示 レンジでは
ウン トがフルスクールに対応 します.
l lX100カ
③ D測 定 の確度 :Cま たは Lの 表示 カウン トに対応す るDの 読み
の%誤 差 と残留誤差 カウン トを示 します.
残留誤差 カウン トは無効数値のゼロを含みます.
①
3MH2
( 4 9。
909 ι
0F C
COUNTS
∽ い Ｚつ 〇 〇 “〇“ “ ］
(2000) (3000) (4999)500
( 2 0 0 0 ) ( 3 0 0 0 ) ( 4 9 9 9 t 000° 1 °
1°0°
NUplBER OF C CouNTS
NUllBER OF C COUNTS
図 3-15 測
3-26
定確度 (つ づ き )
4275A
第 3章 使 用法
C一 D測 定 の D確 度
2000
5000
10000
NUMBER OF C COUNTS
ｏ
① ① ① ① ①① ｏ
図 3-15 測
4275A
定確 度 (つ づ き )
3-27
第 3 章 使 用法
L確 度
― グ ラ フ を読む うえで の注 意―
〇 グ ラ フは M U L T I P L I E R を
Xlに
設定 した場合 の 確度 で す
有 効 表 示桁 数 が同 じで あれ ば × 0 1 に 設 定 した場 合 に も適 用 し
ます
② グ ラフ横軸の表示 カウン ト数は DISPLAY Aの 読みを表わし,
3桁 表示 レンジでは 10KXlカウン トが, 4桁 表示 レンジでは
10000カウン トがフルスケールに対応 します
ー
③ 確 度表の影 のレンジ (3桁 表示 レンジ )で は, フルスケ ルの
1/以 下の測定値について有効表示 桁数 (分解能 )が 1桁 増加
するため,許 容誤差 カウン トも増加 します グ ラフが不連続で
あるのはこのためです。
測定 の確度 :C,L,R,IZ Iの 表示 カウン
④ C,L,R,IZ,θ
トに対する許容誤差を カウン ト数 で示 します
∽ い Ｚ つ Ｏ Ｏ “ 〇 “ “ 国 コ
∽Ｗ ¨¨ ¨証
一
コ〇〇 “０““口 ＝
∽いワ
○
/
≦
多
/
①
/
//
ク
(2000) (3000)
洲
０
。 Ｃ
０
NUMBER
ヽ﹂
Ｆ
いＯ
(2000) (3000)
/
/
(4999)500
/
/
1000
NIJMBER OF L COUNTS
∽自Ｚつ Ｏ Ｏ “ 〇““ 国 ＝
①
①
①
NUMBER OF
∽ ︻ Ｚつ 〇 〇 “ 〇“ “ 国 引
NUMBER OF L COUNTS
図 3-15 測
3-28
定確度 (つ づき )
4275A
①
第 3章 使 用法
L一 D測 定 の D確 度
一 グラフを読む うえでの注意‐
:00H
①
:OH
②
①
颯
①
000
rnI
①
00
mH
①
鰊
①
①
①
①
①
①
①
%H
OJJ H
ます
② グ ラフ横軸の表示 カウ/ 卜 数は D I S P L A Y A の 読みを表わし,
3 桁 表示 レンジでは 1 0 0 0 カ ウン トが, 4 桁表示 レンジでは
1 0 0 0 0 カウン トがフルスケールに対応 します。
魏
①
OmH
000
11H
O グ ラフはM U L T I P L I E R を X l に 設定 した場合 の確度 です
有効表示桁数 が同 じであれば ×0 1 に 設定 した場合 に も適用 し
①
鰊
①
①
①
①
①
○
①
①
輌訃
④
m_lo
100
④
④
①
④
OkHz
20kHz
00kHz
100
m
颯
③ D 測 l 定の確度 : C ま たは L の 表示 カウン トに対応するD の 読み
の% 誤 差 と残留誤差 カウン トを示 します。
残留誤差 カウン トは無効数値のゼロを含みます
:MHz
2MHz
4MHz
10MH2
∽ い Ｚ つ Ｏ Ｏ “ 〇 “ “ ］
∽■ Ｚい Ｏ Ｏ ヱ 〇名 ヱ ロ
NUMBER OF L COUNTS
{.rtt)roo
NUIIBER OF L COUNTS
l ooo
NUMBER OF L couNTS
図 3-15 測
4275A
定確 度 ( つ づ き )
3-29
第 3章 使 用法
ｈυ ６ ４ っ
∽い Ｚつ 〇 〇 “ 〇“ “ 国
∽
自
っ
Ｏ
“国
Ｚ
Ｏ
“〇
“
︵
ツ
L― D'貝
1定
確度
“〇““ 口 ヽ
NLTDIBER OF L COUNTS
NUMBER OF L COUNTS
∽ い Ｚ つ Ｏ Ｏ “ 〇“ “ ロ
① ④ ④ ①① ④
∽い Ｚ つ 〇 〇 “ 〇“ “ ロ
NUllBER OF L COUNTS
NUMBER OF L COUNIrS
∽ ︻ Ｚつ Ｏ Ｏ “ 〇“ “ ロ
④
①
NUllBER OF L COUNTS
NUMBER OF L COUNTS
測定確 度 ( つ づ き )
第 3章 使 用法
R―X/B,R―
L/C沢 1定の R確 度
― グラフを読む うえでの注意‐
×1に 設定 した場合 の確度です
① グ ラフはMULTIPLIERを
有効表示桁数 が同 じであれば×olに 設定 した場合 にも適用 し
ます
② グ ラフ横軸の表示 カウン ト数は DISPLAY Aの
読みを表わ し,
3桁 表示 レンジでは 10KXlカウン トが, 4桁 表示 レンジでは
レに対応 します.
10000カウン トがアルスケーィ
③ 確 度表の影 の レンジ (3桁 表示 レンジ )で は, フルスケー ルの
1/以 下の測定値について有効表示 桁数 (分解能 )が 1桁 増加
するため,許 容誤差 カウン トも増加 します グ ラフが不連続 て
あるのはこのためです。
潰定 の確度 :C,L,R,IZ Iの
O C,L,R,IZ I,θ
ト1/C対
する許容誤差をカウン ト数で示 します.
表示 カウン
NUMBER OF R COUNTS
図 3 二 1 5 測 定確 度 ( つ づ き )
4275A
3-31
第 3章 使 用法
I Z I 一 θ測定 の I Z I 確 度
― グラフを読む うえで の注意‐
×1に 設定 した場合 の確度 です。
① タ ラフはMULTIPLIERを
有効表示桁数 が同 じであれば ×01に 設定 した場合 に も適用 し
ます
② グ ラフ横軸の表示 カウン ト数は DISPLAY Aの 読 みを表わ し,
3桁 表示 レンジでは 1000カ ウン トが, 4桁 表示 レンジでは
10000カウン トがアルスケールに対応 します。
ー ルの
③ 確 度表の影 のレンジ (3桁 表示 レンジ )で は, フルスケ
数 (分解能 )が 1桁 増加
1/2以下の測定値について有効表示 F●
するため,許 容誤差 カウン トも増加 します。グ ラフが不連続で
あるのは このためです.
測定の確度 :C,L,R,lZIの
④ C,L,R,IZ,θ
トに対する許容誤差を カウン ト数で示 します
表示 カウン
∽ い Ｚ つ Ｏ Ｏ “ 〇 “ “ ロ コ
ｔ
∽︻ＺつＯＯ “〇““口 ＝
NUIIBER OF lzl COllNTS
NUMBER OF iZi coUNTS
∽いＺつ〇 〇 “〇““ 口 ＝
NUMBER OF IZI COUNTS
図 3-15 測
3-32
定確 度 ( つ づ き )
4275A
第 3章 使 用法
I Z I 一 θ測定 の θ確 度
OkΩ
①
一 グ ラ フ を読む
000
うえで の注 意‐
① グ ラ フ は MULTIPLIERを
○
Xlに
有 効表 示桁 数 力‖司 じで あれ ば Xolに
設定 した場合 の 確度 で す
設 定 した場 合 71‐
も適 用 し
ま ￨
00k0
② グ ラ フ横 軸 の 表示 カ ウン ト数 は DISPLAY Aの
10kn
①
000に
①
①
①
○
読 み を表 わ し,
3桁 表示 レン ジで は 1000カ ウン トが, 4 rFi表/jNレン ジで は
10000カ ウン トが フル ス ケ ー ル に対 応 します.
13T C,L,R,IZ,θ
ttl定の 確度 :c,I′ ,R,IZ Iの 表示 カ ウン
トに 対 す る許 容 誤差 を カ ウン ト数 で示 します
100n
①
10n
000
○
10kHz120kHzi4okH2
IMHz
2MH2
4 MHz‖ OMHz
∽ い Ｚつ Ｏ Ｏ “ 〇 “ “ ロ ロ
① Ｏ
∽﹄シ］コＯ Ｏ “〇““口 ＝
NUMBER OF IZI CouNTS
NllMBER OF IZi couNTS
∽いＺつＯ Ｏ Ｍ Ｏ““ 国 引
∽い２つＯ Ｏ “〇“∝ ［ ＝
＼
＼
＼
＼
＼
①
Nu4BER
OF IZl coUNTS
NUMBER OF iZICoUNTS
図 3-15 測
4275A
定確 度 ( つ づ き )
3--33
第 3 章 使 用法
3 - 3 9 . テ ス トフィクスチュアの特性
3-40.標
3 - 4 3 . 一 般的な測定方法
準 テ ス トフ ィク ス チ ュア と標準測定 ケー プルの
特性 お よび適 用 で き る測定範 囲が表 3 - 8 に
3-44 -般
的 な測定 方法 の 手 順が 図 3-16に 示 され てい
すo ull定
を容易 に し, 測 定 誤差 を最 小 に す るた め に, ■ l l 定
ます。 特殊 な形状 の 部 品 を除 い てほ とん ど大部 分 の部 品が
この 方法 で 測定 で きます 。 特殊 部 品 の測 定 には 16047Aテス
用途 に適 した テ ス トフ ィク ス チ ュア を豊 富 な専 用 の アク セ
トフ ィタス チ ュアに替 え て 16048A,16048B,16034Bな
サ リか らわ選 び くだ さ い。
の アク セサ リや用途 に合 わせ た特製 の テ ス トフ ィクス チ ュ
示 され てい ま
ど
アを使 用 して 〈だ さい。
半 導体部 品の代 表的 な測定 と して接 合 容量 の測定 方法 が図
3-17に 示 され てい ます。 4275Aの 最 小 lpFフ ルスタール
3-41. LCRZ偏 却 ]定
3-42.DISPLAY A偏
の 低 容量 測定 能 力 と 5桁 の 高分解 能,そ れ に l hvか ら可
差測 定 ボ タ ンの うち sToREボ
タ ンを押す と,そ の 時 に DISPLAY Aに
表示 され てい る
イ ンダ ク タ ンス, キ ャパ シ タ ンス ,抵 抗 ま たは ィ ン ピー ダ
ンス の演1定値が 本器 の内部回路 に記 憶 され ます。 次 に ∠
(デ ル タ )ボ タ ン を押 し,試 料 を換 え て測定 す る と 4275A
はそ の試 料 の 演1定値か ら記 憶 した 値 (基 準 値 )を 差 し引 い
た偏 差分 の み を示 します。 Zボ タ ンの代 わ りに Z%ボ タ ン
を押す と%偏 差 が 計算 され て表 示 され ます。 本器が 記憶 じ
た基 準 値 は RECALLボ
タン を押 す とDISPLAY Aに
表
変 の 測定 信 号 レベ ルは半 導 体測定 に特 に有 用 です。
3-45.警
告 表示
3-46 表
面 パネルの操作 ボタンやス イッチの設 定が適 当
で ない場合,あ るいは試料の 値が測定 範囲 を超え てい る よ
うな場合 にはデ ィス プレーに警 告表示 が現 われ ます。表 3
示 され ,そ の値 を 確か め る ことがで きます。基 準 値 を変更
す る場 合 は , Zボ タ ンま たは `%ボ タンを も う一 度 押 して
-9に 警告表示 とその意味 を示 します。 この ような警告 表
示が現 われ た時には表 中に記述 された原因につい て本 器 の
偏 差 測定 を解 除 します。 その後 に新 し〈基 準 と して用 い る
設定や測定 方法を検査 し,正 しい処置を して 〈ださい。
タ ン を押 します。
試 料 を演1定 してSTOREボ
適
用
範
高周 波誤 差 f(M Hz):使 用周 波数,f≧ ￨
囲
モ デ ル
パ ラ メ ー タ値
%誤 差 の 追 加 (各 ハ ラ メ ー タ)
測定 周波 数
16047A
ftvz2
160473
.+vv,
16047C
全レンジ
ftv2,2
16048A
16048B
-lv:/ t
ftvzl
16048C
C>1 000pF
L > 1 0 0 口H
10okHzル 人下
16334A
ev>')
全 レンジ
Qvz
g
±5x lギ
Dの オ フセ ッ ト
±
0.02 x 12
l希
ト 12%
2MHz以 下
±
0.01 x12l希
一
０
︲
±0.02
Ｘ
±
lxl寺12%
±
5xl寺12%
残留パ ラメー タ値 :
C く5 p F , L く2 0 0 n H , R く1 0 m Ω
±2 x Iギ
計12%
*
2x *l希
±
0.02 〕
記 : f は 演1 定周波 数 ( M I I z ) . 表 中 の 式 か ら計算 さ れ る追 加誤差 が l M H z 以 上 の 測 定 周波数 に おい て, 測 定誤
差 に 加 わ ります .
* : 場 合 に よ って , こ の 範囲 を越 え る誤差 を生 じる こ とがあ ります。
クス チ ュア と測定 ケ ー プ ルの 代表特性
第 3章
使用法
Aピ
「普司
=器選ぜ写
離出39
□□□ □
i
電ξ
□□□□
DO BIASス
イ ッチを ±3 5 V M A X に , O A B L E
`、F円=干励
寵ょ
□ □ □□
TRIGGER・
0●
00□
―…………………………………………・ INT
………………………………・ 1 0 0 M H z
L E N G T H ス イ ッチ を 0 に 設定 します。1 6 0 4 7 A テス
トフ ィク ス チ ュアをl I N K N O W N 端 子 に接 続 します
MULTIPLIER ¨
他 の テ ス トフ ィタ ス テ ュア を用 い る船
本器 の 基 本 的 な動作 状 態 を検査 す るため , セ ル フ
Frequency …
に は ,ス
イ ッチ を適 切 に設 定 して くだ さい 。 高 イ ン ピー ダ
ンス試 料 の 浪1定には必 要 に応 じて ガー ドを接 続 し
…………………………………… × 1
テ ス トを行 な って 〈ださ い ( 3 - 5 項
を参 照 ) .
SELF TEsTボ
タン を再度 押す と解除 されます。
DISPLAY Aフ
ァン ク シ ョンの ポ タンを押 し,希
た は IZIの測 定 パ ラメータを選ひ較す
ます 。
2.LINEボ
タンを押 して 4 2 7 5 A の電 源 をO N に
望す る L,0,Rま
します
測定 が 開始 され る前 に 自動 測定 プ ログ ラム ( 記 憶 )
に誤 りが ない こ とを確 認す るため の 自己診断が 自動
も し必要 な らば CIRCUIT MODEボ
的 に行 なわ れ ます 。
直列 ま たは並 列等価回路 を選択 します。
B I A S イ ン ジケ ー タ ラ ン プが 点灯 してい ない こ と
DISPLAY Bフ
ァ ン ク シ ョンに つ い て希望 す る
ー
バ
ラメ
よっては, 適 当 な C I R C U I T
タに
測定
を確 認 して くだ さい 。 も しも点灯 していれ ば, 裏
イ ッチ を O F F に します。
面 パ ネルの D O B I A S ス
タンを押 して,
M O D E を 選択 しなけ れ ば な りません . 詳 しくは 3
- 8 項 を参照 して 〈だ さい 。
トリガ ・ランプが 点 滅 してい る こ とを確 認 しま す 。
ァン ク シ ョ ンの ボ タンを押 し, 希
ー
パ
望 す る測 定 ラ メ タ ( D I S P L A Y A フ
ァン ク ン
DISPLAY Bフ
4275Aの 操 作 機 能 は 自動 的 に次の よ うに設定 され ます
DISPLAY A・
・
¨¨・
・
……………・
●
…… ……… C
……・
LORZ RANGE・
・
……………………… AUTO
¨¨¨・
Deviation meaSurement
DISPLAY B・
7
¨¨¨・
AUTO( ・
HIGH RESOLUT10N …
43・ )
・
……………・
・
¨ Off
・
FREQUENOY STEP DOWNま
たは U P ポ タ ン
を押 して希望 す る測定 周波数 を選 びます。
●
¨ off
……………………………………●
図 3二 16 -般
4275A
あ る こ とが必要 です ) を 選 びます。
¨¨・off
・
・
・
・
・
・
¨・
¨・
¨¨……………………………¨………・ D
CIRCUIT MODE・
SELF TEST・
・
ョンで設定 した測定 バ ラメー タ と同 時 に選択 可能 で
的 な 測定 方 法
3--35
第 3章 使 用法
8
MULTIPLIERを
× 1に , OSC LEVELツ
マミ
1 4 . 4 2 7 5 A は 自動 的 に試 料 の 演1 定値 を表 示 します。
を最 大位 置 に設定 します.
記
マ イナス記 号 が現わ れ た り,何
も しもOF,uFや
16047Bテ ス トフィクスチ ュァ を用 い る時 には,保
護 カバ ー を開 め て くだ さい 。 カパ ー を閉 じる と フ
ィク ス チ ュアは電 気的 に UNKNOWN端
子 に接 続
され,開 け る と切 り離 され ます。
も表示 され ない場 合 は 表 3-9の
警 告表 示 を参照
して くだ さい。半導 体 測定 に つい ては ,信 頼 の か
け る測定 デー タを得 る ための 注意が 図 3-17に 説
明 され てい ます 。
テ ス トフ ィタ ス チ ュアに何 も試料 を接 続 せず に
ZER0 0PENポ
タンを押 しますl キ ャパシタンス と コ
ング ク タンス に つい て 自動 的 に オ フセ ッ ト調整 が 行
"CAL"の
なわれ ます . D I S P L A Y A に
文字 が 約
4 秒 間 表示 され て, 次 に小 さ な数 値 ( 0 に 近 い 値 )
に変 わ ります.
15.表 示 さ れ た演1定値 を読 み ます 。
記
ほ とん ど同 じ値 を も った 多数 の 試料 を測 定 す る時
タ ン を押 し
は, LCRIZI MNGE MANUALボ
ー
て最 適 な測定 レ ンジに ホ ル ドす る と,や や 演1定
時 間 を短 縮 す る ことが で きます。
テ ス トフィタ スチ ュアに短贅 板 を接続 して測定端 子
を OΩ (OμH)に 短 絡 します.
ァンク シ ョンをDま たは Qに 設
DISPLAY Bフ
ZERO SHORTボ
タンを押 します。イ ングクタン
ス と抵抗 につい て 自動的 にォ フセ ッ ト調整が 行 なわ
"CAL"の
れ ます。 DISPLAY Aに
文字が約 4秒
定 した場 合 には ,オ フセ ッ ト調 整 が 終了 した後 に
CFの 文 字 が DISPLAY Bに
表示 されま す が ,試
料 を接続 す る と文 字が 消 え て測定 値 が表示 され ます 。
間表示 され て,次 に小 さな数値 (0に 近 い値 )に 変
わ ります.
記
短 絡板 を テス トフィク ス チュアか ら取 り除 きます。
マ ミで
MULTIPLIERボ
タン とO S C L E V E L ツ
希望す る測定信号 レベ ルに設定 します.
記
演1定信号 レベル を正確 に設定す る場合は,TEST
SIG LEvEL CHECK vま
たは mAボ タンを
しなが
ら,
押
FREQUENCY/TEsT sIG
LEVELデ ィスプレーの表示値 が適 当 な電圧 または
マ ミを調整 し
ます。
数 の極 めて小 さ な (無 視 で きる )試 料 を基 準 に と
る と,本 器 の秀 れ た直線性 に基 づい て,小 さな損
失 係数 を高 い確度 で求 め る こ とが で きます .よ り
正 確 な損失 係数 の値 は次 の式 で求 め られ ます 。
D∼ D2
(Dl―
Ds)
ここで, Dは 試料 の正 しい損 失 係数 ,
D2は 4275Aで 演1定 され た試 料 の損失 係数,
Dlは 4275Aで 測定 され た既知 の 試料 の 損失 係数,
Dsは 光知 の試 料 の損 失 係数 です (損 失 係数 が極小
の試料 を基 準 にす る場合 は Dsを ゼロと します ).
図 3-16 -般
3-36
(測 定 誤 差 の許 容 範 囲 内 で )負 の測定 値 が例 えば
-0.00011の よ うに表示 され る こ とが あ ります 。
損失 係数 の 値 が既 知 の低損失 試料 ,ま た は損失 係
13試 料 をテス トフ ィクス チ ュアに接続 します.
電流値になるようにOSC LEVELツ
非 常 に損失 が小 さい試料 の損失 係数 を測定 す る と,
的 な測定 方 法 (つ づ き)
4275A
第 3章 使 用 法
半導体部品の測定 では,部 品の電 圧や温度 に対す る強 い
依存性,非 直線 イン ピー ダ ンス特性 のために,意 味 の あ
る測定 デー タを得 るには測定条件 を明確に しなければ な
選 び,な るべ く小 さな測定信号 (電 圧 )を 用 い てその動
作点 を中心 とす る狭 い動 作範囲 につい て正確 な測定 を行
りません 。部品 の動作特性 を詳細に調べ るために試料 の
特性 曲線 を プ ロ ッ トす るには,何 点かの適 当 な動作点 を
導体接合容量 を測定す る代 表的 な方法を説 明 します。
一 留ｏ口
”・ｏ
ｏ
鳳 □¨
∫ □ ρ
造 の 部品 の半
:60238
B:03 Cattdけ
.冽
嶋喘
==Ψ 彗 "輩
□□ □ □
攣口・
ピ
ない ます。 ここでは P一 Nお よび MOS構
―
―
占
腫
Ⅳ
2.テ ス トフ ィク ス チ ュアまたは 測 定 ケ ー ブ ル を本器 の
測定 回路 構 成
ランジス タの ベ ー ス ・コ ン ク タ容量
(Oob)を 測 定 す る 一 般 的 な接 続 方法 を示 します。 試料
を接続 す るテ ス トフ ィク ス チ ュア には この 演1定のため に
上 の 図 は NPNト
特 に設計 した もの を使 用 して もか ま い ません 。正 確 な直
流 パ イア ス電 圧 を試料 に 加え るため に,ォ プ シ ョン 001
(ま たは オ プ シ ョン ∞2)を 内蔵 した 4275Aが 適 してい
ます。も しも直流 パ イアス が不 要 な らば, こ れ に関連 し
た演1定手 順 を省 略 して測 定 を行 な って くだ さ い 。
UNKNOWN端
子 に接 続 します。
LINEボ
タン を押 して本 器 の電 源 をONに します 。
初期 自動 フ ァン ク シ ョン ・テ ス トの後 に, 自動初 期
設 定 によって4275Aは C―D演1定で演1定周波数 l MHz
に設 定 されます ト リガ 。ランプが 点滅 を始 め ます 。
ZEROォ
フセ ッ ト調 整 を行 ない ます (図 3-16,一
般 的 な測定 方法 ,第 8項 か ら第 12項 を参照 して くだ
さ い ).
測定方 法
l DC BIASス
イ ッチ を ±35V AIAXに
, OABLE
ス
LENGTHス
イ ッチ を使 用 す るテ トフ ィ クス チ ュ
アま たは 測定 ケー ブル に よ り適 当 に設 定 します.
オ プ シ ョン OC12(最 大 99.9V)ま たは外 部 直流 パ
イア ス を用 い て±35V以 上 の パ ィァ ス電 圧 を試 料
に加え る場 合 は, DC BIASス
MAXに
イ ッチ を ± 200V
ルの E X T ±
35V MAXコ
ネ ク タ ( 高 い直流 バ イ
ア ス電 圧 を用 い る時 は ±2 0 0 V M A X ヨ ネクタ ) を
通 して外 部直流 パ イアス を加え ます。外 部直流 パ
イア ス電 源は安定で低雑音で あることが必射
.
裏面 パ ネルのD O B I A S ス
チ
ィ ッ を適切に設定
します。
設定 します。
図 3-17 半
4275A
必要 な らば内部 直流 バ イア ス を, ま たは裏 面 パ ネ
導体部品の測定
3二 -37
第 3章
使 用法
注 意
裏面 パ ネルの D O B I A S ス
半導 体 素子 の c― v特 性 の 測定 で は ,実 際 に試料
に 印カロされ る OCバ イ アス電 圧 は ,試 料 の 直 流 も
イ ッチを操 作 す る前
に, テ ス トフィクス チ ュアに何 も接続 され てい な
い こ と, ま たは直流 バ イアス電 圧が ゼ ロボル トに
れ電 流 に よ って若 干 低 い値 にな る ことが あ ります。
これ は ,試 料 の直 流 もれ電 流 が L cuR端 子 か ら レ
設定 され てい る ことを確認 して ください。
ンジ抵抗 を 流れ て ,直 流電 圧 を生 じるため です 。
演1定中 に測 定 レンジが 変 わ る と,試 料 に 印カロされ
MULTIPLIERボ
タンとO S O L E V E L ツ
マ ミを
操作 して,測 定信 号電 圧 を適 当に設定 します。必要
に応 じて希 望するull定
周波数 を選 びます。
る DCバ イ ア ス電圧 も変化 し ます 。
試料 に 印 加 され る DCバ イ アス電 圧 を設定 した値
に保 つ には ,試 料 の 直流 もれ 電流 が , L∞ R端 子
に 流 れ な い よ う,コ ンデ ンサ とイ ン ダ ク タを 下図
の よ うに接続 し ます 。
必要 な演llt確度 が得 られ る最 も低 い 測定 信 号電 圧
XO.1に は
を選 びます 。通常 はMULTI PLIERを
た は ×001に )設 定 します。 TEST SIG
LEVEL Vボ
タ ン を押す と測定 信号 電圧 が
FREQUENCY/TEST SIG LEVEL デ
レー に表示 され ます.
ィスプ
直 流阻止 用 コンデ ンサ
6.半 導体試料 をテス トフィタステ ュアrC接続 します。
信頼 のかけ る測定値 を得 るために,次 の 点に注意 し
て くだ さい.
C > 1000CX
直 流電 流 の バ イパ ス用 イ ン ダ ク タ
L>4f2cx
測定信号 の ピー ク電 圧で P一 N接 合 に順 方向電流
が流れ る と,正 しい測定値が得 られません。
実際 に試料 に加 わる演1に信号電 圧 を正確 に設定す
タンを押 し
るには, TEST SIG LEvEL Vボ
7
ー ・コン トロール と測
HP― IBに よ って 4275Aの リモ ト
定 デ ー タの集録 を行 うと,半 導 体 の不純物 濃度 ,キ ヤ リ
ア密度 や空乏 層領 域 におけ るさ まざ まな物 理 現 象 を対 象
て測定信号電 圧 をモ ‐夕 しなが らOSC LEvEL
ツマ ミを離 します。
ること
とす る一 般 に時 間 のかか る測 定 を完 全 に 自動化 す
ー
が で き,あ わ せ て測 定 デ タの統計 的処理 や演 算 を行 な
ぃ ,そ の結果 を任 意 の形 式 で グ ラフに表 わす ことが で き
ステ
一
ます 。 この 連 の 自動 測定 を可能 にす る IIP―IBシ
表示 されたキ ャパ ンタンス値 を読み ます.試 料 の損
同時 に表示 され ます.
失係数 もDISPLAY Bに
ムの 構成 に つ い ての お問 い合 わせ は最 寄 りの YHP営
所 も し くは代 理 店 まで お寄 せ くだ さい。
△注意
試料 を取 り去 らない間は B N O コ ネ クタの 中心導
体 に危険 な電 圧が現 われ てい るか もしれ ません。
図 3-17 半
3-38
導体部 品の測定 (つ づ き )
4275A
業
第 3章 使 用法
一
不
表
表
示
の
意
味
ァンク シ ョンが正 しい測定 パ ラメー タ
に設定 され てい ない場合 に現 われ ます。
CIsPLAY Aフ
(プ ランク )
測定 された L , C , R ま
たは Z I の 値が選択 した測定 ンン
ジの 上限 を超え ている場合に現 われ ます。
測定されたL,0,Rま たはIZIの値が選 択 した測定 ンン
ジよりも小さす ぎる場合に現われます。
DISPLAY Bの
測定 パ ラ メー タにつ い て測定 値が 測定
レン ジを超 え てい る場 合 に現 われ ます。 この 場合 は L ,
0 と R の 測定 確度 は規 定 され ません i C F が 表示 され た
時 はそ の 試料 に適 した他 の測 定 パ ラ メー タを D I S P L 2 W
B フ ァン ク シ ョンか ら選 び ます。
(あ る数値 )
z E R O ォ フセ ッ ト調 整 を行 なった時 に, 測 定 回 路 の残
留 パ ラメー タ値が オ フセ ッ ト調整 の限界を超え てい る と
現 われます。
(ブ ランク )
DISPLAY Bフ
DISPLAY Aフ
ァンクシ ョンの設 定 の誤 り.
ァンク シ ョンの設 定 とは同時 に選 択 す
る こ とが で きない DISPLAY Bフ
(ブ ランク )
ランク シ ョンの ボ メ
ン を押 した 場合 に現 われ ます。
測定 レン ンの選択 の誤 り.設 定 した周波数では測定で き
ない レンジを選 んだ 場合に現 われ ます。
(プ ラ ィタ )
浪1定回路構成の誤 り(①一①のいずれかの場合 )。
①テス トフィクステュァまたは測定ケーブルの中で沢1定
回路 が短 絡または開放 (切 断 )状 態 にな ってい る場合.
ー
② 16047Bテス トフィクス チュアの 保護 開閉 カバ が演1定
(z')22)
lZVZ'tt74t L"tt3
中に開け られた場合.
① 直流 パ イアスを用 い た測定では選択 す ることが 許 され
2-cCttvr
Dcrs,rp7q\ Azve
ない測定 レンジを選んだ場合 。
表 3-9 警
4275A
告表示
3-39
第 3章 使 用法
表
表
不
示
の
意
味
偏差演1定の操作の誤 り(①か②のいずれかの場合 )。
①OFま たはUFが 表示されてぃる時に STOREボ タン
(プ ラ ン タ )
を押 した場合 .
② ′または∠%測定を解除せずにSTOREボ タンを押 し
た 場合 .
偏 差測定 の操 作 の誤 り.記 憶され ている基 準測定値 とは
パ ラメー タについて測定 中に ∠
異 な った単位 を もつ Ell定
(プ ランク )
または ′%ボ タンを押 した場合 に現われ ます.
の操作の誤り(Oか ②のいず
直流バイアスを用いたIll定
れ か の 場 合 に 現 われ ます ) 。
(プ ランク )
①直流 バイアス電源 を内蔵せずに内部直流 バイアス動作
に設定 した場合.
② オプシ ョィ 001を 内蔵 し,直 流パ イアス電圧を±35V
の電 圧可変範囲を超えた値に設定 した場合.
※表欄外の記 を参照 して ください。
直流 パ イアス を用い た測定 の操作 の誤 夕.表 面 パ ネルま
たは裏面 パ ネル の DO BIASス
イ ッチが希 望 す る内部
(プ ラ ンク )
この エ ラー ・メ ッセ ー ジは ォ ブシ ョン 001
直流 バ イアス動作 に適 した設定にない場合 に現われます
※表欄外 の記 を参照 して くだ さい。
または 002を 内蔵 した機器 に現 われ ます。
￨…
( ブ ランク )
この エ ラー ・メ ッセ ー ジは オ ブ シ ョン 0 0 3
メモ リ・パックアップ機能の異常 (①か②のいずれかの
場合に現われます )。.
①保護されるべき記憶内容 (データ)が消失 した場合.
②継続的に記憶内容を保持するためのスタンパイ電池が
消耗 した場合 .
を内蔵 した機 器 に現 われ ます。
マ イナ ス (― )が 表 示 され ます。
①表示された測定値が ゼ ロに近い場合 に ときど きマイナ
ス記号が 現 われ ます.
② イングク タンス測定 で キ ャパ シタを試料 として接続 し
た場合 ,ま たはキ ャパ ンタ ンス測定で イングクタを試
料 として接続 した場合 にマ イナス記号が現 われます。
表 3-9 警
告表示 (つ づ き )
この エ ラー ・メ ンセ ジ は上 記 の動作 状 態 の もとで直 流 バ イア ス 圧 を加 え る
電
操 作 を行 な った 直後 に現 われ ます
3-40
4275A
。
第 3章 使 用法
3-47.外
部 直 流 バ イア ス
3-50.外 部 トリガ
3-48.容
や イングクタ ンス■ll定
に おいて必要 な,
量ull定
バ
バ
外部電 圧 イア スや電流 イアスのかけ方を図 3-18に 示
します。同図 にはそ れ らに適 した バ イアス回路 と設定が示
外部 か ら トリガ信 号 を入 力 してull定を行
な う場合 に は,適 当 な外 部 ト リガ装 置 を 裏面 パネルの ExT
TRIGGERコ
ネク タ (BNCタ ィプ )に 接続 して,表 面 パ
され ていて,直 流 バ イア スが 本器 を破損 しない よ うに配慮
され ています。測定容量 に直流電 圧 を印加す る時は,印 加
ネ ル の EXT TRIGGERボ
電圧が試料 の 最大定格電 圧 を超え ない よ うに,ま た容 量 の
極性 に も注意 しなけれ ば な りません。直流 パ イアス電 圧は
HCURお
よび HPOT端 子に加わ ります。
3-51 4275Aに
タ ンを押 します 。 4275Aは
ベル の トリガ信号 が L ow(OV)か
らHigh(+5V)
レベル に移 った 瞬間 に トリガされ ます。 トリガ信 号 の パ ル
ス 幅 は 20 μ
S以 上で なけれ ば な りませ ん 。外 部 トリガは
ExT TRIGGERコ
ネク タの中心 導体 を シ ャー シに接地
TTLレ
し,次 に 開放 す る ことに よ っても行 な うこ とが で きます 。
3-49.パ イアス電圧の落 ち着 き時 間 :直 流 パ イアス電圧
を重畳す る演1定では,試 料 に加わ るパ イアス電 圧が設定値
に達す るまで ある程度 の時間 を必要 とします。図 3-18に
直流 バ イアス電 圧がその設定電圧 の 90%以 上 に 達 して,
4275Aの 表示 値が安定 するまで の時 間 を示 します。 もしも
直流 バ イア ス電圧が落 ち着 くために十分 な時間が とられ な
い場合には,表 示値が変動 した リエ ラー ・メ ッセー ジ
(Drr 4)が 現 われ る ことがあ ります。
4275A
EXT TRIGGERコ
ネ クタの 中心導 体 を接 地 し開放
して トリガを行 な う場 合は ,十 分 に低 い抵 抗 (20Ω 以
下 )で 接 地 し,ま た回 路 の 開閉 に伴 っ てチ ャタ リン グ
が 起 こる ことを防止 して くだ さい。
3-41
第 3 章 使 用法
外部 直流 パ イアス動 作 (≦ 200V)
日 日
OO+
lJJF
AC bypc.
Copocilor
ρ◎m5◎Tド 申
響白菖暉瞥
,1.
2こ■ため、
jlllMi;チ,tレヽ
(, C・
歳 ≦2 o ュ
の ct R"も
じ 本 鮮ぅtto)
(6昨
ヽ
すゝ“ も ￨“
Icゝ ヽ そ。に
最 大 ±2 0 0 V ま で の外 部 直 流 バ イ ア ス電 圧 を加 え て キ ャ
パ ツタンス 測定 を行 うに は, 上 図 の よ うに直流 バ イア ス
電 源 とテ ス トフ ィク ス テ ュアを接 続 します. 最 大 パ イア
±35V以 下 の 直流 バ イア ス応 用測定 には す べ ての
ー
標準 テス トフィクステュアまたは標準 測定 ケ ブルが
ス電 圧が ±3 5 V を 超 え る場合 は測定 手 順 A に 従 い ます。
±3 5 V を 超 え ない場合 は , パ イア ス電 圧が短 時 間 で 安 定
での直 流 パ イアスには 16047
使用で きます 。±2CIKIVま
B, 16048A, 16048Bを 使 用 して くだ さい 。
す るE l l 定
手l l I B の
方法 に従 って くだ さい。
±35V以 上 (±200Vま で )の 直 流 バ イアス は小 容量
(0.lμF以 下 )の 試料 を測定 す る場合 にの み用 い て
くだ さ い 。
1.最 大 ±200Vま での パ イ ア ス電 圧 を加え る こ とが で
きるテ ス トフ ィク ス チ ュアを使 用す る場 合 は,表 面
バ ネ ルの DO BIASス
イ ッチを ±2∞ V MAXに ,
パ
また最 大 ±35Vま での イア ス電 圧 を加え る こ とが
子
に接続 します。
3.LINEボ
測定準 備
タンを押 して 4 2 7 5 A の電 源 を O N に
します。
4 . 本 器 を図 3 - 1 6 , 一 般 的 な演1 定方法 の第 5 項 か ら第
1 2 項に従 って設 定 します。
注
意
で きるテ ス トフ ィク ス チ ュア を 使 用 す る 場 合 に は
イ ッチを操 作 する前
裏 面 パ ネ ル の DO BIASス
ス
ス
トフ ィク チ ュアに何 も接続 され てい な
に ,テ
い こ と,ま たは 直流 バ イアス電 圧が ゼ ロボル トに
±35V MAXに
設 定 さ れ てい る ことを確 認 して 〈だ さ い。
設定 します .
図 3-18 外
3--42
希望 す るテ ス トフ ィク ス テ ェアを l I N K N O W N 端
部 直流 バ イア ス
4275A
第 3章 使 用法
測 定 手順 A(≦
3 試 料 をテ ス トフ ィク ス チ ュアに接 続 します。
200V)
1.外 部 直流 バ イア ス電 源 を 4275A裏 面 パ ネ ル の EXT
± 200V MAXコ
ネク タに接 続 します 。
ネ クタに外 部 直流 バ イア ス
35V MAXコ
電 源 を 接 続 し て い る場 合 は,UNKN01州
2 裏 面 パ ネ ルの DO BIASス
イ ッチ を ExT± 200V
パ
設 定 します。 表面 ネ ル の BIAS表 示 ラン
MAXに
注 意
EXT±
HIGH側
端子 とLOW側
の
端子 を誤 って短絡 しない
で くだ さい .
プが点 灯 します。
注 意
意
外 部 直流 バ イア ス電 圧 は ±200Vを 超 え ては な り
ません 。
プ ラス の パ イア ス電 圧 をカロ
え る時 は,電 解 コ ンデ
ンサの プ ラス極 を HIGH側 端 子 に接 続 して くだ
さ い .マ イナス の バ イア ス電圧 を加え る時 は,マ
イナ ス極 を HI GH llll端
子 に接続 して くだ さい 。
表 面 パ ネ ルの D O B I A S ス
イ ッチ を ±3 5 V N 性X
に 設 定 した 場 合 に は, 直 流 バ イ ア ス 電 圧 が
UNKNOWN 端
子 に現 われ ません 。
印 加 した パ イ ア ス電 圧が 安 定 した 後 に,表 示 され た
キ ャパ ンタ ンス測定 値 を読み ます 。
△注意
試料 を取 り去 らない間は B N C コ ネク タの 中心導
体 に危険 な電圧が現われ てい るか も しれ ません.
沢1定手順 Bの あ とに記述 された第 3項 に進みます。
記
測定手順 B ( ≦ 3 5 V )
1 外 部直流 バ イア ス電 源 を 4 2 7 5 A 裏面 パ ネルの E X T
±3 5 V M A X コ ネクタに接続 します。
試料 の値 が 0 1μFよ りも大きい場 合 は ExT± 200
ネタタを通 して直流 バ イア ス電 圧 を加
v MAXコ
える と,表 示 され る キ ャパ ツ タ ンス値が変動 した
り,ま たは Err 4が 表示 され る こ とが あ ります .
2 裏 面 パ ネ ルの DC BIASス
MAXに
イ ッチを EXT±
設 定 します。表 面 パ ネ ルの BIAS表
35V
示 ラン
プが 点灯 します.
記
16047Bテ ス トフィタスチ ュア の保 護 カバ ー を開け
る と試 料 (キ ャパ ツ タ )の 電 荷 は 10Ω の 抵 抗 を
注 意
外部 直 流 バ イア ス電 圧は ±3 5 V を 超 え ては な りま
せ ん。 E x T ± 3 5 V M A X コ ネ ク タに流 れ る最 大
通 して速か に放 電 され ます。
( 尖 頭 ) バ イア ス電 流 は 1 ∞ m A 以 下 に 制 限 して
ー
くだ さ い. 許 容電 流 を超 え る と内部保護 ヒ ュ ズ
が 溶 断 します 。
次 の 第 3項 に進 み ます 。
図 3-18 外
4275A
部 直流 ′ヽイア ス (つ づ き )
3-43
第 3 章 使 用法
パ イア ス電 圧安定 時 間
試料 に加 わ る パ イア ス電 圧 が設定電 圧 の9 0 % 以 上 に達 す るまで に次
の時 間 がかか ります 。
直 流バ イアスの 設 定
± 35 V
MAX
± 200 V MAX
安定時 間
50m s 以 下 (<200 μ F)
4 0 m s 以下 ( < 0 1 μ F )
ExT ± 35V MAXお よび ±200V MAXコ ネ ク タ
に加え られた直流 バ イアス電 圧はそれぞ れ約 100Ω
お よび約 150 kΩの内部保 護抵抗 を通 して試料 に加
わ ります。
図 3-18 外
3-44
部 直流 パ イ アス (つ づ き )
4275A
第 3章 使 用法
4 裏 面 パ ネ ル の DO BIASス
外部 電流 バ イアス
4275Aは 直接 に測定 端子 を通 して試 料 に バ イア ス電 流 を
流 す こ とが で きます 。 イ ンダ ク タ ンス試料 に外 部 直流 バ
MAXに
ィ ッチ をEXT±
35V
設定 します。
イア ス電 源か ら電 流 バ イア ス を加 え て演1定す る方法 を以
下 に説 明 します 。 一 般 的 な電 流 バ イア ス の 印加 方法 は,
5 試 料 を テ ス トフ ィク ス チ ュアに接続 します 。
ネ クタ を通 して最 大
裏 面 パ ネル の EXT± 35V MAXコ
100mAま での パ イア ス電 流 を流 します (ま た, ExT
6 電 流計 をモ ニ タ しなが ら外部 直流 パ イァス電源 の出
力電 圧 を増加 させ, 希 望す るパ イアス電流が得 られ
±200V MAXコ ネタ タ を通 して最 大 1 3mAま で のだヽ
電
バ
ス
る
こ
で
ます
イア
).
を加 え
とも き
流
電 流 バ イ アス (≦ 100 mA)
1.表 面 パ ネル の DO BIASス
る ように調整 します。
注 意
直流パ イアス電 流が 100n試宅 超え てはなりませι
また,直 流 パ イアス電 源 の 出力電 圧が ±35Vを 超
え ては な りません.
イ ッチ を ±35V MAX
設 定 し,希 望す るテ ス
(ま たは ±200V MAx)に
子 に接 続 します。
トフ ィク ス テ ュア を UNKNOWN端
LINEボ タ ンを押 して電 源 をONに し,図 3-16,
一 般的 な測 定 方法 の第 2項 か ら第 12項に従 っ て本器
ァン タ シ ョン を L
を設定 します (DISPLAY Aフ
に設 定 します ).
裏 面 パ ネ ルの ExT± 35V l□ Ⅸ コ ネク タに外 部直
流 バ イア ス電 源 を接 続 します.
注 意
イ ッチを 操 作す る前
裏面 パ ネ ル の D O B I A S ス
に , 外 部 直流 パ イア ス電 源 の 出力電 圧 を ゼ ロボル
トに設 定 して くだ さ い。
AMMETER
3
8認需
…
申
寵 白 苫 暉 瞥 T T ∵∵ 出
i
l
︱卜Ｌ
闘¨
¨
・
幽
¨ ¨ｏ
¨﹂ □
ρ ◎D O ◎ T 「
r
:5
DC POWEn
国 □
ポ:sb
ハ
Lヌ
図 3-18 外
4275A
部 直流 バ イアス (つ づ き )
3--45
第 3 章 使 用法
ブ シ ョ ン 0 0 1 : 直 流 バ イア ス ( 0 - ± 3 5 V )
3 - 5 7 4 2 7 5 A オ プ シ ョン 0 0 1 は Ю0 0 V か ら±3 5 . O V ま で
ル 直流 バ イア ス電 源 を内蔵 し
可変 の リモ ー ト ・コン トロ
ます。最 小 l m V ス テ ップの 電 圧 変化が 可能 で, ま た基 本
バ
確度 0 . 5 % ( 大 容 量測定 では 2 % ) の 正確 さで イア ス電
3-56.オ
3 - 5 2 . オ プション
器 の ォブ シ ョンに つ い て使 用法 と関連 す る情報
を以下 に記述 します (ラ ック マ ウン トとハ ン ドル取 り付 け
3-53 本
オ ブ シ ョンにつ い ては第 2章 を参照 して くだ さ い )。
3 - 5 4 . オ プションの表示
3 - 5 5 機 器 に備 わ ったオ プ シ ョンが何 で あるか を確 認 で
き る よ うr C , そ の オ ブ シ ョンの 内容が 初期 自動 フ ァン ク シ
ョ ンテ ス トの 直後 に表 示 され ます。 表 面 パ ネ ルの デ ィス プ
レー 部 に, 内 蔵 オ ブ ツ ョンの それぞ れ の 略記 号 が 図 3 - 1 9
バ
圧 を設 定 す るこ とが で きるォ プシ ョン 0 0 1 は , 直 流 イア
ス を応 用す る半導 体 測定 には最 も適 して い ます 。 パ イア ス
ー
・
電 圧 の設定 は 1 6 0 2 3 B 直 流 バ イア ス コ ン トロ ラまた は
H P ― I B コ ン トロ ル 信号 に よ って行 う ことが で きます。
こ こでは 1 6 0 2 3 B コ ン トロー ラを 用 い た オ ブ シ ョン 0 0 1 の
ル に よる直流 パ
操作 方法 を述 べ ます。 H P 一 I B コ ン トロ
イア スの設 定 方法は 3 - “ 項 のオ プ シ ョン 1 0 1 H P ―I B を
参 照 して 〈だ さいo
の よ うに現 われ ます。
直流電流 バ イアス については, この項 の あ とに述 べ て
あ ります。
図 に説 明 されたもの以 外 の オブシ ョンは表示 され まt想
1
イ ッチ を ±35V MAX(ま
表面 パ ネ ルの DO BIASス
設 定 して,希 望 す る テ ス トフ ィ
たは ±200V MAX)に
ス
子 rC接続 します。す べ て
ク チ ュアを llNKNOWN端
ー
の 標準 テ ス トフ ィク ス テ ュ アお よび標準測 定 ケ ブ ル
が使 用 で きます 。
LINEボ
① I I P ―I B オ ブ シ ョン .
オプ シ ョン 1 0 1 .
③薗充バイアスオプション.
オブ シ ョン0 0 1 または
002.
・
② H P ― I B ア ドレス コ
ー ド 17.
④ メモ リ 。パ ソクア ップ
タン を押 して電 源 をONに します 。本 器 を図
般 的 な測定 方法 の第 5頂 か ら第 12項 に従 っ
て設 定 します 。
16023B直 流 バ イ アス ・コ ン トロー ラを裏 面 パ ネ ルの
INT DC BIAS 00NTROLコ
オ ブ シ ョン.
ォ ブ シ ョン 0 0 3 .
① この文字は HP― IBオ ブシ ョン 101を備 え てい る場
合に現われ ます。
② 本器に設定 したHP― IBア ドレス番号が 10進数 で表
示 され ます。他 の HP― IB機 器 とイ ンター フ ェー ス
を行 な うために, この表示 されたァ ドレス番号 を
IIP一IBプ ログラムに用 い ます。
ノ
③ この文字は直流 パイアス内蔵 オブシ ョン0 0 1 または
o o 2 を備えている場合に現われます.
④ この文字は メモ リ ・パ ックア ップ 。ォブシ ョン0 0 3
を備え ている場合 に現われます。
図 3-19 オ
3-16,一
プシ ョ ンの 表示
ネタタに接続 しまJ 略
注 意
イ ッチを 操 作 す る前 に,
裏面 パ ネ ルの D O B I A S ス
テ ス トフィク ス チ ュアに何 も接 続 さ れ てい な い こ と,
または 直流 バ イアス電 圧 が ゼ ロボ ル トに設 定 され て
い る こ とを確 認 して くださ い。
0.lμF以 下 の 小 容量 を測 定 す る場 合 に は,裏 面 パ ネ
ルの DC BIASス
1
イ ッチ を INT 35V/1∞ V(≦ 。
パ
μF)に 設 定 します 。 この 設定 で は イア ス電 圧 の 安
F以 上 200 μFま
定 す る時間 が短 くてす み ます 。 0.l μ
での 大 容 量 を測定 す る場 合 は,ス イ ッチ を INT 35v
′100V(≧ 200μF)に 設定 します。
イ ッチ を 希 望す る パ ィ
レン
ジに設定 しま す (× 0.1,×1
ア ス電 圧が 得 られ る
また は ×10)。 希 望 す る パ イア ス電 圧 (正 また は 負 の
16023Bの MULTIPLIERス
電 圧 )を 3桁 のサ ミー ルス イ ッチ に設 定 します。
3-46
4275A
第 3章 使 用法
直流電 流 バ イア ス
直流 パ イアス電 圧 の応 用測定 と同様 の操 作手 順で,電 流 パ
6 試 料 を テ ス トフ ィ クス チ ュアに接続 します。
注 意
プ ラス の パ イア ス電 圧 を加 え る時 は, 電 解 コ ンデ ン
サの プ ラス極 を H I G H 側 端 子 に接 続 して くだ さいo
マ イナ ス の パ イア ス電 圧 を加 え る時は, マ イナス 極
を HIGH側
端 子 に 接 続 して くだ さ い。
イア ス を イ ングク タ ンス試 料 または抵 抗 試料 に加え る こと
ァンタ シ ョン をLま たは R
が で きます (DISPLAY Aフ
に設 定 します )。 試 料 に流 れ るパ イア ス電 流 の 値 は DC
BIASス イ ッチの 設定 ,パ イアス電 圧の 設定 値 Ebiasお よ
び レン ジ レジス タの 値 ,試 料 の 直流抵 抗 Rxに よ って 次 の
ょ うに な ります 。
タ ンを押 しますo押 した直後 に
16023Bの ENTERボ
バ ィア ス電 圧が 試料 に加え られ ます。
8.
INT 35V′ 100V(≦
01μ F):
パ イアス電 流 =Rx+2"(A)
バ イア ス電 圧が 安 定 した後 に,4275Aが 表示 した測定
最大 電流 :40 mA(±
値 を読 み ます。
:10 mA(±
裏面 パ ネ ル の DO BIASス
10.lV以 上 35.OV以 下 )
I N T 3 5 V / 1 0 0 V ( ≦2 0 0 μF ) :
イ ッチを INT 35V/100
v(≦ .lμF)に 設定 した場 合 は,0 1μ F以 上 の 大き
パ
な容量 を もつ 試料 を浪1定す る と,表 示 され るキ ャ
ツタンス値が 変動 した り,ま たは Err 4が 表示 され
る ことが あ ります。 (
10.OV以 下 )
バ イア ス電 流 = Rx+1050(A)
最大電 流 :10 mA
￨
プシ ョ ン 002:直 流 バ イア ス (0-± 99.9V)
プシ ョン 002は 000Vか ら±999Vま で
3-59 4275Aオ
ー
・
コ
ン トロー ル直流 バ イア ス電 源 を内蔵 し
可変 の リモ ト
3-58.オ
16023Bに ±35.0以 上 の パ イ ア ス電 圧 を設 定 すると,
Err 7が 表示 され,直 流 バ イ ァ スは試料 に 加え られ
ませ ん。
直流 バ イア ス電 圧 を モ ニ タす る場合 は DVM(電
計 )を 裏面 パ ネ ルの INT DO BIAS MONITOR
圧
コネ ク タに接 続 します。
ます。 2%の 基本確 度 で バ イ ア ス電 圧 を設定 す る ことが で
一
き,電 圧可変 範囲が広 い ため 般 の キ ャパ シ タ ンス部 品に
バ イア ス電 圧 を加え る応 用演1定に適 して い ます 。 バ イ ア ス
ー
・
電 圧の設 定 は 16023B直 流 バ イア ス コン トロ ラまたは
ル
HP― IBコ ン トロ
信 号 に よ って行 うこ とが で きます。
ン
トロー ラを用 いた オ ブ シ ョン 002の
ここでは 16023Bコ
バ
操 作 方法 を述 べ ます。 IIP―IBコ ン トロ‐ル に よる直 流
イア ス の設 定方法 は 3-“ 項 の オ プ シ ョン 101 HP― IBを
参 照 して くだ さい。
バ イアス電圧安定時間
試料 に加わ るパ イア ス電 圧が設定値 の90%以 上に達す るま
でに以下 に示す時間がかか ります。
DC B:ASス
イ ッチの設 定
INT BsV/rooV( (.1 pF )
rNT 35V/toov(<zoopP)
*注
F 以 下 のキャ
オ プシ ョン 0 0 2 内部 直 流 パ イアスは 0 1 μ
バ ンタンス演1 定に用い て ください。
安 定 時 間
2 0 m s 以下
*Cx ms
6001-6・
1 表 面 パ ネルの D O B I A S ス
イ ッチを 上2 0 0 V M A X
に設定 します。
:Cxは 試料 のキ ャパ ツタンス値 (μF)
注 意
最 大 ±3 5 V ま で の 直流 バ イア ス電 圧 を加 え る こ とが
記
直流 パ イア ス は 220Ω (く ユμFの とき )ま た は
1.05 kΩ(≦ 200μFの と き )の 内 部保護 抵抗 を通
して 印加 され ます。
4275A
で きるテ ス トフ ィク ス テ ュアを使 用 す る場 合 には,
設 定 して 〈
パ
だ さ い 。 この設 定 で は, ±35V以 上 の イ アス電 圧
を加え る操作 を行 うと,Err 7が 表示 され て バ イア
ス電 圧 が試料 に加 わ りません (そ の前 に適当 なパ イア
DO BIASス
イ ッチ を ±35V MAXに
3-47
第 3 章 使 用法
表示 され るキ ャパ ンタ ンス値 が変動 した り,
Err 4が 表示 され る ことが あ ります。
希 望 す るテ ス トフ ィク ス チ ュ アを UNKNOWN端
接 続 します。 16047B,16048A,16048Bが
子に
使用 でき
ます。
LINEボ
3-16,一
タ ン を押 して電 源 を ONに
します 。本器 を図
般 的 な部 品浪1定の 第 5項 か ら第12項に従 っ
直流 バ イア ス電 圧 を モ ‐ 夕す る場合 は DvM(電
計 )を 裏面 パ ネ ルの INT DO BIAS MONITOR
圧
コ ネク タに接 続 します。
て設 定 します。
16023B直 流 バ イア ス ・コ ン トロー ラを裏面 バ ネ ルの
INT DC BIAS 00NTROLコ
ネ クタに接続 しま九
注 意
裏 面 パ ネルの D O B I A S ス
イ ッチ を 操 作 す る前 に,
16047Bテ ス トフィクス テ ュアを使 用 している場合
は,安 全保護 カバ ー を開けた時に,試 料 の キ ャパ ツ
タに蓄え られ ている電 荷が 10Ω の 抵 抗 を通 って放
電 します。
テ ス トフ ィ ク ス チ ュアに何 も接 続 され てい な い こ と,
ま たは 直流 パ イアス電 圧が ゼ ロボル トr C 設定 され て
い る こ とを確認 して 〈だ さい。
バ イア ス 電圧安定 時 間
試 料 に加 わ るパ イア ス電 圧 が設定 した電 圧値 の9 0 % 以 上 に
裏 面 パ ネ ル の DO BIASス
イ ッチを I N T 3 5 V / 1 0 0 V
達 す るまでに最 高 3 0 0 m s の時 間がか か ります 。
F ) またはI N T 3 5 V / 1 0 0 V ( ≦
.lμ
200μ
F)に
(1≦
直 流 パ イア ス は 5 0 k Ωの 内部 保護 抵抗 を通 して印加 さ
設定 します。
1 6 0 2 3 B のM U L T I P L I E R ス イ ッチを ×1 0 に 設定 し
ます。希望す るパ イアス電圧 (正 または負の電 圧 )を
3桁 のサ ミールス イ ッチに設定 します。
れ ます。
［
¨
一［
一
［
¨
一］
一
︹
¨
一［
¨
こ］卜〓ｕ
注 意
プ ラス の パ イアス電 圧 を加え る時は , 電 解 コ ンデ ン
Ｆ Ｅ 田 ド に 厘
ント︻
αくＪＯ一
7 試 料 を テ ス トフ ィク ス テ ュアに接続 します。
サの プ ラス極 を H I G H 側
８ 喪 α口〓 αロ ゴ 〓
つｇコ●、０
16023Bの ENT ERボ タン を押 します。 押 した直後 に
パ イア ス電 圧が 試料 に加え られ ます。
図
端 子 に接続 して くだ さい 。
マ イナ ス の パ イア ス電 圧 を加え る時は, マ イナ ス極
をH I G H 側 端 子 に 接 続 して くだ さい。
ЪЪ Ъ Ъ Ъ Ъ
パ イア ス電 圧が 安定 した後 に,4275Aが 表示 した潰1定
値 を読 み ます。
図 3-20 1NT DC BIAS CONTROLコ
ネ クタ
記
F 以 上 の 大 き な容量 を もつ試 料 を測定 す る と,
0.lμ
3-48
4275A
第 3章 使 用法
3-60.オ
プ シ ョ ン 003:
パ ッテ リ ・メモ リ ・バ ッ クア ップ
3-61 4275Aォ
プ シ ョ ン 003は 機 器 の 任意 の設 定 を記 憶
ス タ ンパ イ電 池 の平均寿命時間 (記 憶保 持 のために電
定 は ,同 じ設定 を いつで も簡単 に行 なえ る よ うに機器 に記
池が作動 した時間の合計 )は 40000時間 です。電 池が
消耗 す ると保持 され ていた記憶 が消失 し,Err 9の 警
告が表示 されます。電池は早 めに交換 して くだ さい.
交換方法 については最寄 りの YHP営 業 所,サ ニ ビス
憶 させ てお くことが で きます。 この設 定 に関す る記 憶 は機
部または代理店に お問 い合 わせ 〈だ さい。
してそ れ を継続 的 に保 持 す る機 能 を もちます。 特定 の ■ll定
目的 に特 に用 い る よ うな,あ るい は通常 しば しば用 い る設
器 の電 源が 遮 断 され た場 合 に も保 たれ て,正 常 な電 源 が再
び投 入 された時 に同 じ設定 が 自動 的 に行 われ ます。 ま た ,
2つ の ボ タ ン (LOCALと
REcALL)を
押 す こ とにより,
記憶 され てい る設 定 をい つ で も実 際 に再 現す るこ とが で き
ます。 希 望 す る設定 を機器 に記 憶 させ るには次の よ うに し
ます。
オ プ シ ョン 0 0 3 バ ッテ リ ・メモ リ ・バ ックア ップの
機 能 は , 計 器 番号 2 0 4 5 」0 1 2 4 3 以降 の機器 には , 標
準装 備 され てい ます 。
表面 パ ネ ル の 操作 ボタ ンや ツ マ ミを希望 す る設定 に し
ます。
3 - 6 2 . オ プシ ョン 0 0 4 : 1 - 3 - 5 ス テ ップ測定周波数
3 - 6 3 4 2 7 5 A ォ プシ ョン 0 0 4 は1 0 点の標準 ■l l 定
周波数 の
タ ンを (少 な くと も )1秒 間押 し続 けます。
bbの 文 字 (MemOry back― upを 意 味 します )が
代 わ りに次の測定周波数 を備 えます ( 単 位はH z ) 。
L00ALボ
DISPLAY Aに
点滅 しま す。
表 示 の 点 滅が終 わ る前 に REF vALUE STOREポ
タン を押 します。 も しもSTOREボ
タン を押 さ ない と,
約 5秒 後 に 4275Aの 記 憶 モー ドが 自動的 に解 除 され て
点滅 す る表 示が 消え,機 器 は通 常 の 演1定動 作 に戻 りま
す。 も う一 度記憶 モー ドにす るた めには L00ALボ
タ
10k
100k
lM
30k
300k
3 ヽ1
50k
500k
5M
10M
*
FREQUENCY/TEsT sIG LEVELデ
ィスプレーの表
示窓には上記の周波数がプ リン ト￨れ ています (*は 2点
までの特別オプション周波数が追加され うることを表わ し
ン を押 します。
ます )。 これ らの10点のオ プ シ ョン周波数 は,標 準 の測定
4275Aは そ の設 定 を記 憶 しま した。 この設 定 は機 器 に
周波数 を備 え た 4275Aの 周波数 選択 方法 と同様 に,表 面 パ
タン (EЮ wNと UP)
ネ ル の FREQUENCY STEPボ
電 源が 投 入 され た時 に,い つ も標準 の 自動 初期 設定 に
を押す ことに よっ て選 ば れ ます。 そ の 他 の 機 能 と性 能 は標
代 わ って再現 され ます。 あ る任意 の (一 時的 な )設 定
準 の 4275Aに 準 じます (測 定 確度 は仕 様 を参照 して くだ さ
で 測定 を行 な った 後 に,記 憶 され てい る設 定が必要 に
い )。
な った場合 に は, LOCALボ
にREF vALUE RECALLボ
タンを約 1秒 間 押 し,次
タ ンを押 します。
自動 オ フセ ッ ト調整 の 結果 (テ ス トフ ィクス テ ュア
に関す るオ フセ ッ ト補償値 )が よび偏差濃1定におけ
る基準演1定値 も機 器の設定 と共に記憶 され,保 持 さ
れ ます。
3-64.特
別周波数 オプション
3-65.特 別周波数 ォ プシ ョンは 10」厖 か ら 10 7 MHzま
での周波数範囲 にある任意 の測定 周波 数 を 1点 または 2点
追 加 します。追 加された特別測定周波数は 標準 の測定周波
タ
数 を選択す る方法 と同様 に, FREQUENOY STEPボ
ン (DOWNと
UP)を 押す ことに よって選ばれます。その
TEsTポ
タンの 設定 は記 憶 され ませ ん。
周波数 (値)に無 関係 に,特 別■ll定
周波数はUPボ タンを押
して順 次に高 い測定 周波数 を選んだ場 合に,10 MIIzの 次
に現われ ます。 これ は FREQUENCY/TEST SIG
LEVELデ ィスプレーの表示 窓 に プ リン トされ た測定 周波数
表 の ホの位置 にあた ります。特別測定周波数 を選ん だ時に
も,そ の周波 数が FREQUENCY/TEsT sIG LEVEL
デ ィス プ レーに表示 されます。
4275A
3--49
第 3章
使 用法
ー
ま す。 た だ し, こ の機 能 は 4 2 7 5 A が コン トロ ラに よ って ,
ロー カ ル ・ ロ ック ア ウ トに設 定 され て い る場合 に は使 用 で
3 - 6 6 . オ プション 1 0 1
H P ― I B イ ンタ= フ ェ‐ス
デ ル 4 2 7 5 A ォ プシ ョン 1 0 1 は , 4 2 7 5 A を H P ―
I B バ ス に接 続 して, コ ン トロー ラ ( 例 え ば Y H P デ ィス
ク トップ ・コン ピュー タ ) に よ り■l l 定
条件 を リモ ー ト ・コ
ー
ン トロ ル して測定 を行 な うと ともに, 4 2 7 5 A に よって測
定 され た デ ー タ を処 理す る こ とが で きます。
3-67 モ
きま せ ん。
! B コ ン トロ ー ル ・ス イ ッチ
I B ボ ー ド上 の S l H O P ― I B コ ン トロ
3-75 A22 HP―
ー ル ・ス イ ッチ は 7 ビ ッ トの ス イ ッチで 以 下 の よ うな 3 つ
3-74.HP―
の 機 能 を持 って い ます。
( 1 ) ビッ ト 1 ∼ 5
HP一 IBは , IEEE
s t d . 4 8 8 - 1 9 7 5 の規 格 を ヒ ュ
― レ ト ・パ ッ カ ー ド(HP)社 が実現 した イ ンター フ
ッ
ェ ス ・ハ ス で す。
0 0 0 0 0 ∼ 1 1 1 1 0 ( 0 ∼ 3 0 ) の 3 1 通 りの I I P ―I B ア ドレ
ス が設 定 さ れ ま す 。
(2)ビ ッ ト6(Denmiter FOrm Bit)
デ ー タ 出 力 の フ ォー マ ッ トが 次 に示 さ れ て い る よ うr C
設 定 され ま す。
オプシ ョン 101 HP―IBイ ンター フ ェー スの機能 は ,
計器番号 2045J01243以降 の機器 には ,標 準装備 され
てい ます
0:コ
ンマ
1:キ
ー
ャ リ ッ ジ ・リタ ー ン, ラ イ ン ・フ ィ ド
( 3 ) ビッ ト 7 ( T a l k O n l y b i t )
ス 機
フ
ェ
4275Aオ プ シ ョ ン 101の HP― IBイ ン タ
能 が 次 に示 され てい る よ うに設 定 され ま す 。
3-68.HP一
0 : Add ressable
!Bと の接 続
ブ シ ョン 101は , コ ン トロー ラ (例 え ば
3-69.4275Aォ
YHPデ
ィス ク トップ ・コ ン ピュー タ )の 付 属 した HP―
IBシ ス テ ム に お い ては, ト ー カ と リス ナの 両方 の 機 能 を
ー
使 用す る こ とが で きます。 また ,コ ン トロ ラの付属 して
い ない HP― IBシ ス テ ムに おいては ,TALK ONLYと
し
て使 用 す る こ とが で きます (3-74項
IBス テ ー タス ・インジケ ー タ
ンプの
3-71.4275Aの
表 面 バ ネ ル には, 4個 の LEDラ
HP― IBイ ン ジケー タが あ りますoこ れ らの ラ ンプはそ れ
ぞ れ HP― IBシ ス テ ムに おい て 4275Aオ プシ ョン 101が ,
次 の よ うな状 態 に ある ことを示 してい ます。
:4275Aか らHP― IBの パ ス ・ラインヘ SRQ
(サ ー ビス ・リタ エス ト )信 号 が送 られ てい
TALK:4275Aが
瓦EMOTE:4275Aが
リス ナに設定 さ れ ています。
トー カに設 定 され てい ます。
リモー ト・コン トロー ル され ています。
｀
HP― IB経 由 で re m Ote" コマ ン ド(REMoTEま
ン プは点
たは re m)が 送 られ た場 合 は ,LISTENラ
タン
3 - 7 3 4 2 7 5 A の 表面 パ ネ ル の L O C A L ボ タ ン を押 す こと
ー
ー
に よって, 4 2 7 5 A を H P ― I B の リモ ト ・コ ン トロ ルか
ー
ー
ら表 面 バ ネ ル の キ 操 作 に よ る コ ン トロ ルに切 り換
え る こ とが で き ま す。 この 時, R E M O T E ラ
3-50
TALK ONLY
CR′LF
coMMA
ADDRESSABLE
日
日
日
日
lll日
HP― IB
ADDRESS
ビ ッ ト1∼ 5:17
ビッ ト6:コ
ンマ (')
ビ ッ ト 7 :Addressable
図 3-21 HP一
IBコ ン トロール ・ス イ ッチ
警 告
200V l直 X DC
・
バ イアス コネク タに外 部 DOバ イア ス電 源 が接続 さ
れ てい る 4275Aォ プシ ョ ン 101に おい て, HP― IBコ
ン トロー ル ・ス イ ッチの設 定 を変 更 す る場 合 には ,電
気的 な シ ョック を避 け るため に以 下 の よ うな操 作 を行
な って くだ さい 。
1.外 部 DCバ
イア ス電 源 を OVに 設定 す る。
イアス電 源 を 4275Aか らは ずす。
3 4275Aの 電 源 コー ドをはず す。
4.4275Aの ト ップ ・カバ ー を はず す。
5 A22 Sl HP― IBコ ン トロー ル ・ス イ ッチの 設
2.外 部 DOバ
灯 し ません 。
3-72.LOCALボ
よ うに設定 され てい ます。
4275Aの 裏 面 パ ネ ル に ある EXT±
ます。
LISTEN:4275Aが
4 2 7 5 A ォ ブ シ ョン 1 0 1 は , 工場 出荷時 には図 3-21の
を参照 )。
3-70.HP一
S鴫
l:Talk Only
ンプは 消 え
定 を変更 す る。
6.ト ップ °カバ ー を取 り付 け て,電 源 コー ドを接
続 す る。 ,
4275A
第 3章 使 用法
ExT ± 200V MAX DC パ
イアス ・コネクタに
外部 DCバ イア ス電 源 を接続 す る。
外 部 DOバ イアス電 源 を浪り
定 に必要 な DCバ イ
ア ス 値 に設 定 す る。
以 上 の よ うな手順 に よ り,ふ た た び DC′ (イア
ス を使 用 す る こ とが で きます。
IBイ ンター フ ェー ス機 能
3-76.HP―
プシ ョン 101のHP― IBイ ン タ ー フェー
3-77 4275Aオ
3-82.デ
ー タ出 力
デ ル 4 2 7 5 A ォ プ シ ョン 101に は ,以 下 の よ うな
ー
5 通 りの デ タ出 力が あ りま す。
3-83.モ
示値 A お よびB
(1)表
差 測定 の基 準値
(2)偏
定 信号 レベル のモ ニ メ
(3)測
( 4 ) 操作 キ ー の設定状 態
ー ビス ・リタエ ス トの ス テー タス ・パ
(5)サ
イト
ー
の
おい
れ
て, そ
以 下 各項 に
ぞ れの デ タ 出力 につ い て説
され てい ます。
明
「
ス機 能 は,表 3-191c 示 され てい る よう7c 8通夕あ ります。
デー タ
3-34.DISPLAY A,Bの
コー ド
SHl
AHl
T5
L4
SRl
RLl
ー
ォ マ ッ トA :
A 2 2 ポ ー ド上 の H P ― I B コ ン トロー ル ・ス イ ッチの
a.フ
ビッ ト6(Delihiter FOrm Bit)が
oに 設定 さ
れ ている場合 には,以 下に示 され ている ように
DISPLAY Aお
よび DISPLAY Bの
デー タが
",(コ ンマ
)"で 区切 られ 連続 して出力されます
(3-74項 を参照 )。
リス ナ (基 本的 リス ナ,リ ス ンア ドレス解除)
サ ー ビス リクエス ト機育ヒ
リモー ト/ロ ーカル機能, ローカルロッタア
ウト機能
表 3-10 HP―
¨XXXXttN
NNNNN EttNN
(lX2X314x5)
士N
∞ 一
田
デ バ イ ス ク リア機 能
デ バ イス トリガ機 能
■ に
DTl
送信 ハ ン ドシェー ク機 能
受信 ハ ン ドシ ェー ク機 能
トー カ (基 本的 トー カ,シ リアル ポー ル, ト
ー クオ ン リー, トー クア ドレス解除 )
3 - 8 5 . 4 2 7 5 A ォ プ シ ョン 1 0 1 に おい ては , 2 通 りの 出力
フ ォー マ ッ トが 利 用 で きます。
Ｘ帥
Ｘ一
DCl
イン タ ー フ ェー ス機 能
NNNNN EttNN
l B イ ンタ ー フェー ス機 能
4 2 7 5 A ォプ シ ョン 1 0 1 は, 工 場 か ら出荷 され る時 には
3 - 7 8 . リ モ ー ト ・プ ログ ラ ム ・コー ド
通常 フ ォー マ ッ トA に 設定 され てい ます。
3 - 7 9 . 4 2 7 5 A ォ プ シ ョン 1 0 1 で使用 され てい る リモ ー ト
・プ ログ ラ ム ・コー ドは表 3 - 1 1 に 示 され てい ます。
フ ォー マ ッ トB :
b。
3-80.DCバ
A22ポ ー ド上 の pelimiter FOrm Bitが 1に 設定
されている場合には,以 下に示されているように DIS―
PLAY Aと DISPLAY Bの
データハ 2つ に分け ら
れ て出力され ます (3-74項 を参照 )。
イアス の設 定
プ シ ョン 0 0 1 と 0 0 2 の D O バ イア ス を
T 二 I B に よ って リモ ー ト ・コ ン トロー ル す る場合 の プ ロ
3-81.4275Aォ
グ ラ ムは以 下 の とお りです。
B IttN.NNEttNNV
(1)
｀ (21
(2)2ク タの 指数部
仮数 部 あ るいは 指数部の極性 を指定 しない場 合 には,
正 ( 十 ) に 設 定 され ます。
4275A
番番
土N . N N N N N t t N N 《
(8X9)
０ 幼 ０ ４ ０ ０ η
(1)3ク タの仮 数部
= 薔番番番I N o N N N N N t t N N C D ⊂
(ll12X3X4X5)
(6)
ulll
D
l11)
菫) ( 亜 )
llll
ス ペ ー ス
測 定 回路 モ ー ド
演1 定周 波 数
DISPLAY
DIsPLAY
DISPLAY
コンマ
A の デ ー タ ・ス テ ー タス
A の 測定項 目
Aの 測定値
3-51
第 3章 使 用法
設
プ ログ ラム 0
コー ド
定
D:SPLAY A
L
フ ァ ン クシ ョ ン
C
A2
R
A3
IZI
A4
D
Bl
Q
EsR/G
X ノB
L/C
B2
DiSPLAY B
フ ァ ンク シ ョン
Al
MODE
DISPLAY A
B2
L― ES R/G
0-D
0-Q
C―EsR/G
R― x/B
R― L/C
I Z I―
θ
IZI―θ
R― X/B
IZI― θ
・
ED・
03
OFF
D0
これ らの プ ログ ラ ム ・コー ドを実 行 す る場合 には ,
△
Dl
△%
あらかじめ基準値を入力しておく必琴があります。
D2
F ll
か っこの 中の値 はオプシ ョン004に おけ る測定周波
20(30)kHz
F12
数です。 ´
40(50)kIIz
F13
F14
kHz
400(5oo)kHz
F15
F16
F17
l MHz
DATA READY
L― Q
02
l∞
10N
L― D
…
200(300)k地
HIGH RESoLU丁
3
01
10 kHz
STEP
4
1
AUTo
偏 差 測定
FREQUENCY
＼
Bl,B3
Bl,B2,B3
考
Aと Bの 組合 わせ は下 表 の とお りで す。
B3
θ
CIRCUIT
備
2(3)MHz
F18
4(5)MHz
F19
10 MHz
F20
1
F21
2
F22
OFF
H0
ON
Hl
OFF
Io
ON
ll
KEY STAttUS
K
OUttPUT
表 3-11
DATA READYが
O N に 設 定 され てい る場合 には
測定 が 終了 した時 に S R Q 信 号 が 出力 され ます 。
この プ ログ ラム ・コ ー ドを実 行す る と, そ の 時 の
K E Y の 設定状 態 を知 る ことが で きます 。
プ ログ ラム ●
第 3章 使 用法
設
プ ログ ラ ム ・
コー ド
定
Ｖ Ａ
丁E S T S : G L E V E L
CHECK
MULTIPL!ER
LCRZ RANGE
SELF TEST
EXECUTE
の UNKNOWN端
M2
× 1
M3
AUTO
R31
MANUAL
R32
1000 fF/100nH
R ll
10pF′ 1000 nHノ 1000 mΩ
R12
100pF/10 μ H′ 10Ω
R13
H/100Ω
1000 pFノ100 μ
R14
10nFノ 1000 μH/1000Ω
R15
10kΩ
R16
100 kΩ
1000 nF/100 ndH′
R17
10 μ
H/1000mH/1000kΩ
R18
l ∞ μF / 1 0 H ノ 1 0 M Ω
R19
100H
R20
RE
子にか か って い る測 定 信 号 電 圧
( 電 流 ) の レベル を知 る こ とがで きます。
R32を 実 行 す る と,ン ン ジは 固定 され ます。
R ll∼ R23を 実 行 す る と,指 定 され た レン ジに固
定 され ます。 ただ し,設 定 され た測 定 パ ラメー タや
測 定 周波 数 に よって,測 定 で きない レンジが指定 さ
れ る と,最 も近 い レン ジに設 定 され ます。
この プ ログラム , コ ー ドを実行す る場合 には, あ ら
か じめ基準値 を入力 してお く必要が あ ります。
oFF
S0
ON
Sl
ST
INT
Tl
EXT
T2
HOLD/MANUAL
ZERO
LA
Ml
SttORE
REFERENCE
VALUE
丁RIGGER
これ らの プ ログ ラム ・コー ドを実 行す る と, そ の 時
× 01
RECALL
REFERENCE
VALUE
考
LV
× 001
100nF/10mHノ
備
T3
oPEN
Z0
sHoRT
ZS
ー ,も
外部 トリガで使 用 す る場 合 には , L O C A L キ
し くは , プ ログ ラム ( L O C A L 7 1 7 ) に よ って
4 2 7 5 A を ロー カル に設定 して くだ さい。
E
表3-11 リ モー ト・プログラム ・コー ド(つづき)
4275A
3--53
第 3 章 使 用法
(8)DISPLAY Bの
デ ー タ ・ス テ ー タス
(9)DISPLAY Bの
測定 項 目
設
定
回
・
ED・
路
測
Ｐ
Ｓ
uO DISPLAY Bの
測定値
(lJキ ャ リッジ ・リター ン, ラ イ ン ・フ ィー ド
コー ド
定
-
形 で 出力 され てい ます。
測 定 周 波 数
Ｈ Ｉ Ｊ Ｋ Ｌ Ｍ Ｎ Ｏ Ｐ Ｑ Ｒ Ｓ
測 定 回路 ,測 定周 波数 ,デ ー タ ・ス テー タス,測 定 項 目は
表 3-12に 示 され てい る よ うな 1文 字 の ア ル フ ァペ ッ トの
10 kHz
20(3Cl)kHz
( ) は オ ブシ ョン
0 0 4 の 測定 周波数
40(50)kIIz
100 kHz
3 - 8 6 . 基 準値 の デ ー タ
3 - 8 7 プ ログ ラム ・コー ド" R E " を
用 い る と, 以 下 の
よ うな フ ォー マ ッ トで ス トアされ た基 準 値 の デ ー タが 出力
2∞ (300)kHz
400(500)kHz
l MHz
され ます ( 図 3 - 2 5 参 照 ) 。
2(3)MHz
士No NNNNEttNN(コ
=番
(lX2)
(3)
ペ ー ス
(2)DISPLAY Aの
t
(3)基
10MHz
(4)
１ ２
(1)ス
4(5)MHz
)く 亜)
測定 項 目
デ ー タ ・ステ ー タス
準値
.'l -<
( 4 ) キャリッジ ・リター ン, ライン ・フィー ド
3-88.測
3-89.プ
定信号 レベル の デ ータ
"LV"や
ログ ラム ・コー ド
"LA"を
(lX2X3)
(4)
t-.<-7
e'
7 7/-7
p -
7t/9.77y?'7
O
U
jy
測
定
項
目
セル フ ・ァ ス
L
コ) ( 亜 )
(5)
スペース
L
C
C
R
R
Z
Z
%
P
△L
H
( 3 )演1 定項 目
△C
F
(4) 演1 定値
△R
W
( 5 ) キキ リッジ ・リタニン, ライン ・フィー ド
△Z
Y
V
V
ーの 設定 状 態 の デ ー タ
3-91.プ ログ ラ ム ・コー ド・K"を 実 行 す る と,以 下 の
よ うな フ ォー マ ッ トで,キ ー の 設定 状態 の デ ー タが 出力 さ
れ ます (図 3-24参 照 )。
A
D
G
X
(1)121 131 141 151 161 171 181 191 10 uJ 02 o3
B
( 1 ) スペ ー ス
θ
DISPLAY
Ｒ Ｇ Ｘ Ｂ Ｔ
Q
ESR
二塾 聖 製 理 型 翌 型 塑 型 翌 里 〇 〇
(鋤 Al∼ A4
Ａ Ｄ Ｑ
( 1 )ス ペ ー ス
(2) レベ ル測 定 の状 態 ( デ ー タ ・ス テ ー タス )
3-90.キ
A フ ァン タ シ ョン
(3)Bl∼ B3
DISPLAY
B フ ァ ン タ シ ョン
(4)Cl― o3
OIROUIT
MODE
( 5 1 D O ∼D 2
偏差 測 定
3-54
0
用いて
測 定 信号 レベ ル を モ ニ タす る と, 以 下 の よ うなデー タが出
力 さ れ ます ( 図 3 - 2 5 参 照 ) 。
中X X tt N.NNEttNN《
N
*
表 3-12 デ
ー タ出 カ コ ー ド
4275A
︲． ヽ
．１
■
一一
Ｌ 〓
第 3章 使 用法
'1●
.
F23 FREQUENCY STEP
(6)Fll二
HIGH REsOLUT10N
これ らの サ ンプル ・プ ログ ラムに お い て使 用 され てい
(8)10, 11
DATA READY
る機器 は以 下 の とお りです 。
(9)Ml∼ M4
MULTIPLIER
4275A マ ル チ ・フ リケ ンシ ー LCRメ
10R31, R32,
Rll― R23
4275Aオ プ シ ョン 101 Ⅲ P―IBイ ンタ フ ェ ス
HP-85パ ー ソナル ・コン ピ ユー タ
(7)HO,Hl
LCRZ RANGE
tll S O, S l
T3
121 T l∼
sELF TEST
00085-15003 1/0告 1御 ROM
TRIGGER
・
ジ
ター ン, ラ イン ・フィー ド
リッ
リ
〔9 キ ャ
82937A HP― IBイ ン タ ー フ ェ ー ス
また は
，■■
・
9 8 1 6 2′6 / 3 6 デ ス ク トップ コン ピュー タ
3-92.サ ー ビス 0リ クエス トの ステー クス ・パ イ ト
クエス ト・
3-93.4275Aオ ブシ ョン 101では RQS(リ
サー ビス )の 信号は ,4種 類 の サ ー ビス ・リクエネ トの状
98601A/9861lA BASIC 2 0
態 の うちの 1?に な った場合 に出力され ます。 4275Aオ ブ
シ ョン 101の ステー タス ・パ イ トの 内容は図 3-22に 示
サ ンプル ・
プ ログラ ム
図
されてい ます。
3--23
1
ログラ ミング ・ガイ ド
3-94.4275Aプ
ー
3-95.シ リー ズ 80お よびシ リー ズ 200コ ン ピュ タを用
い たサ ンプル ・プ ログラムが図 3-23か ら図 3-25に 示
3-24
3-25
示 され ています 。
ー
HP― IBプ ログ ラ ミングの詳細 な説明は ,各 コンピュ
タの取扱説明書 を参照 して くだ さい。
0/1
情 報
表 3-13 9825Aを
0
0
容
4275Lo&*tJ& tJ+zIp-tu'Lf-,EJJ.
l' ' =
゛
プ ログ ラ去 ・コー ド K " の 使
"RE",
プ ログ ラム ・コー ド
"LV", "LA"の
使用 方法 .
用いたサ ンプル 0ブ ログ ラム
2
4
6
8
内
用 方法 .
されて います。 プ ログラムの 内容 については ,表 3-13に
ビ ット
ータ
o/1
0/1
o/1
l
0/1
号 )は ,サ ー ビス ・ リクエ ス トの 状態 に あるか どうか を示 して い ます 。
ー
ビ ット1か ら 4ま では ,以 下 に示 されてい る よ うなサ ビス ・リク エス トの 状態 を示 して い ま す 。
ビ ット7(RQS信
(1)ビ ット1:DATA READYが
ONの 場 合 に ,測 定 が 終 了 して 出カデ
ー タが 用意 さ
れ る と 1に 設定 されま す .
ド や
ブシ ョン 101が ,誤 ま った リモー ト ・プ ログ ラ ム ・コ
DCバ イア ス設 定 命 令 を受け取 った時 に 1に 設定 され ま す 。
(2)ビ ット 2:4275Aオ
“)ビ ット3:ZEROオ
(4)ビ ット 4:4275Aが
フセ ント調 整 や SELF TESTが
次の よ うな状態 に な った時 に 1に 設 定 され ま す .
① Err l,5,6,7,8に
4275A
終了す る と 1に 設定 され ます .
なった場合
② SELF TESTに
パ ス しな か った場 合 .
図 3-22 4275Aオ
プシ ョン 101の ステ ータス ・バ イ ト
3-55
第 3章 使 用法
サ ンプル ・プ ログラム 1
この プ ログ ラムは , 4 2 7 5 A の 基 本 的 な り千 = 卜 ・コ ン トロ ル とデー タ出力 の 方法 を示 した プ ログ ラ
ム です。 プ ログ ラムの持 つ機 能 は, 以 下 の とお りです 。
( 1 ) H P ― I B に よる 4 2 7 5 A の リモ ー ト ・コ ン トロー ル.
( 2 ) I I P ―I B に よる 4 2 7 5 A への トリガ命 令 .
I B に よる 4 2 7 5 A か らの デー タ出力.
(3)IIP―
プ ログ ラム :
(3)
40 0UTPUT
717
:'lE:・
(4)
50 ENttER1 717 ; A,3
60 DISP A,B
7o PRINT A,B
80[ND
4275Aの ア ドレス ・コー ド.
4275Aの プ ログ ラム ・コー ド (表 3-Hを
参照 ).
(4) この ライ ンは,次 の よ うな プ ログラ ム と同 じ意
味 で HP一 IBに よる 4275Aへ の トリガ命領 す・
TRIGGER 717
文 字 列 を用 い る と, 4 2 7 5 A の 完全 なデ ー タ出 力が得 られ ます。 そ の場合 の プ ログ ラムは 以 下 の と お りで
す。
プ ログ ラ ム :
10
20
30
40
D I M A 奪[ 5 0 ]
REMOTE 717
CLEAR 717
0UTPUT 717
・
; ・A 2 丁3 1 '
(1)
:E・
・
5 0 日U T P U T 7 1 7
:・
60 ENttER 717 ; AS
ー
( 1 ) ト リガ 。モ ドは, ｀ T 3 ( H O L D / M A N U A L ) "
に設定 して くださ い。
70 DISP AS
30 PRINT AS
90 END
図 3-23 サ
3-56
ンプル ・プ ログラム 1
4275A
１ ，
.A2T3'1
;う
H P ―I B イ ン ター フ ェ ー ス ( 8 2 9 3 7 A ) の セ
レク ト ・コー ド.
２ ３
20 CLEAR
30 0UTPUT
７一
②７ ７
１
︲
７一
〇︲ ７
７
1 0 R E M □ 丁E
疹 謬 場﹂
第 3章 使 用法
ド
と
サ ンプル ・プ ログ ラ ム 2
この プ ログ ラムは, リ モ ー ト ・プ ロ グ ラム ・コー
ー ト ・プ ロ グ ラ ム ・ コ ー ド " K " を
実行する
K " の 使用方法 を示 したプ ログ ラムです。リ モ
そ の 時 の 4 2 7 5 A のキ ーの設定状態 を知 る こと
が で きます.
"K"を
リモ ー ト ・プ ログ ラム ・コー ド
"R31(AUTO)"
実 行 した場 合 に, LORZ RANGDが
"R31"に
よるキ ー の 設定状 態 の情 報 も
な って しまい , そ の時
に設定 され てい る と, " K " に
の 実際 の L C I t t R A N G E を
RANGEを
記
知 る こ と が で き ま せ ん 。実 際 に 測 定 を行 な って い る L C R Z
知 るためには , ( K " を
実 行 す る前 に, "R32(MANUAL)"に
設 定 しておい て
くだ さ い 。
プ ログ ラ ム :
10
20
30
40
50
60
DIM A$[50]
R E M □ 丁E 7 1 7
0UttPU丁 717 :1'K''
ENttER 717 ; 合 $
DISP As
END
ヽ 一 、 ′ ，Ｌ ７
記
ライン 30と 40の ス テー トメ ン トは続 け てプ ログ ラム して くだ さ い 。
， ■ ● ． ︲ 一
図 3-24 サ
4275A
ンプル ・プ ログ ラ ム 2
3-57
繭冬藤
第 3章 使 用法
サ ンプル ・プ ログ ラ ム 3
"RE", ・
この プ ログ ラムは, リ モ ー ト ・プ ログ ラム ・コー ド
LV", "LA"の
使 用方法 を示 し
た プ ログ ラ ムです。こ れ らの リモ ー ト ・プ ログ ラム ・コ ニ ドの 機 能 は,以 下 の とお りです 。
R RE":入
力 さ れ てい るDIsPLAY Aの
基準 値 の デ ー タ 出力が得 られ ます 。
t LV":演
1定端 子 にかか ってい る測定 信 号 電圧 値 の デ ー タ出力 が得 られ ます
"LA":■
ll定
端 子 を流れ てい る測 定信 号電 流値 の デ ー タ出 力 が 得 られ ます 。
記
リモ ー ト ・プ ログ ラム ・コー
RE"を
実行する場合 には,あ らか じめ基準値が入力され てい
なけれ ば な りませ ん .
プ ログ ラ ム :
７
７
７
30 ENTER 717
40 PRINT n
50 END
1
;''RE。
(1)
:A
(1)tRE''ま
たは
"LV"ま
たは
ｉ〓
７
1 0 F・
■
EMOTE
20 0UttPuT
曖
LA"
記
ライン20と 30の ステー トメン トは続 け て プ ログ ラ ム して くだ さい.
文字 列 を用 い る と, 4 2 7 5 A の完 全 な デ ー タ 出 力が得 られ ます : そ の場 合 の プ ログ ラムは以 下 の とか
りです。
プ ログ ラム :
10
20
30
40
50
60
70
80
DIM AS[601,BS[60]
R E M O 丁E 7 1 7
CLEAR 7:7
0UTPUT 717 ;・・
A2T3''
(1)
ー
(1)ト リガ 。モ ドは, "T3(HOLD/MANU―
A L ) " に 設 定 して くだ さ い.
・
1 DUTPUT 717 ;"E・
E NttER 717 : AS
D ISP AS
''
0 UttPUT 717 ;"L望
(21
90 ENttER 7,7 ; B$
100 DISP BS
l10 END
( 2 ) ・R E " ま
たは
"LV
"ま
たは
"LA"
ラ イ ン 6 0 の ステ ー トメン トは , ラ イ ン 8 0 の ス テ ー トメン トよ り も前 に 実 行 して お く必 要 が あ
リます. さ も な い と, H P ― I B の パ ス ・ラィ ンヘ 誤 った デー タ出 力が 送 られ る場合 が あ ります.
図 3-25 サ
3-58
ンプル ・プ ログ ラム 3
4275A