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Vaporizer Unit
VU-D450/T450
新発想 プレミックス方式気化器登場
RoHS対応
特長
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プレミックス方式気化技術搭載 (特許申請中）。
液体マスフローメータLM­2100Aとの組み合わせにより、3種類までの液体
材料を精密流量制御、気化する直前でプレミックス。
プレミックスされた液体は単一気化部で同時に気化。
設置面積と導入コストを大幅低減。
常圧プロセスから減圧プロセスまで対応。
キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション(800SCCM～130SLM)。
最高200℃の高温加熱が可能。 VU-D450/T450
Vaporizer Unit
Model VU­D450/T450 項目
コントロールバルブ 型式
VU­D450 仕様
2 x ノーマリークローズ、ダイアフラム、ソレノイドアクチュエータ キャリアガス流量 VU­T450 VU­D450/T450­01 3 x ノーマリークローズ、ダイアフラム、ソレノイドアクチュエータ
0.8～1.5 SLM VU­D450/T450­02 1.5～3 S LM VU­D450/T450­03 3～6 SLM VU­D450/T450­04 6～10 SLM VU­D450/T450­05 10～14 SLM VU­D450/T450­06 14～20 SLM VU­D450/T450­07 20～40 SLM VU­D450/T450­08 40～80 SLM VU­D450/T450­09 80～130 SLM 標準継手
液体入口 3.2 mm VCR メス
キャリアガス入口 6.35 mm VCR オス
気化ガス出口 12.7 mm VCR メス
VU­D450/T450­L1 120V 800W VU­D450/T450­L2 240V 800W 最高使用温度 200°C 最大消費電力 熱電対 K タイプ
サーモスタット 230°C ± 10°Cでオープン
接液・接ガス部材質 SUS316L、 Au、 Ni­Co、ポリイミド
取付方向
垂直
標準付属品 LM­VU接続ケーブル CC­LV­3­3M 熱電対コネクタ CMP01­K (RKC) SRCN6A16­7S (JAE) ヒーター・サーモスタット用コネクタ C O NT R OL
C ON TROCO
L N TROHE
L AT E RT HE RM O ･S TAT
V AL VE V AL VE VA LV E
HEATER AND THERMOSTAT
CONNECTOR
SRCN6A16-7S(JAE)(ATTACHED)
型式のご指定方法 VU­D450/T450­AA­BB 35 35
132
PRE . -1 PRE . -2 P RE .- 3
T .C.
160
LIQUID INLET(Precursor-3)
3.2(1/8)VCR female
LIQUID INLET(Precursor-2)
3.2(1/8)VCR female
LIQUID INLET(Precursor-1)
22
3.2(1/8)VCR female
160
CONTROL VALVE CONNECTOR 6
148
6
HR10-7R-4P(HIROSE)
PLUG:
THERMOCOUPLE CONNECTOR
MINIATURE-TYPE CMP03-K(RIKA
SRCN6A16-7S(JAE)
KOUGYOU) PLUG:MINIATURE-TYPE SRCNA16-7P(JAE)
CMP01-K(ATTACHED)
8
105
130.1
311
52
271
PRE C UR SO R-2
PR E CU RS O R- 3
C AR RI E R G AS
CAUTION
72
52
P RE C URSO R -1
HIG H
* 本カタログの記載事項は、2008年9月時点のものです。 * 本カタログの記載事項は、製品の改良のため、断りなく変更する
場合があります。 * 第三国に出荷される場合は、リンテックにご相談ください。
140
150
TEMPERATURE
20
78
CARRIER GAS
INLET
6.35(1/4)VCR
male
GAS
OUTLET
12.7(1/2)VCR
female
BB: ヒータータイプ * L1: 120V 800W * L2: 240V 800W 171
109
109
20
61.5
UP
AA: キャリアガス流量範囲 * 01: 0.8～1.5 SLM * 02: 1.5～3 SLM * 03: 3～6 SLM * 04: 6～10 SLM * 05: 10～14 SLM * 06: 14～20 SLM * 07: 20～40 SLM * 08: 40～80 SLM * 09: 80～130 SLM 4-φ5.5 6
(FOR FIXING)
92
108
120
6
注意!! 安全のため、ご使用前に取扱説明書をよくお読みください。
http://www.lintec­mfc.co.jp
本社・工場 滋賀県大津市関津四丁目1番23号 〒520-2277
滋賀営業所 TEL.077-536-2210 FAX.077-536-2215
東京営業所 東京都新宿区四谷4-30-14 服部ビル3F 〒160-0004
TEL. 03-5366-2801 FAX. 03-3341-3513
LINTEC
KOREA
#822 Sicox Tower, Sangdaewon-dong, Jungwon-gu,
Seoungnam-si,Gyeonggi-do, 462-726, Korea
TEL. +82-31-732-2191 FAX. +82-31-732-2194 Pub. No. LC041J0809A4