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System Gauge 701CMP Quick Reference
Rev.1.01
1.
開梱及び付属品の確認
2.2.
① 製品が届きましたら、製品に損傷がないかご確認ください。
・
② 構成部品が過不足なく添付されているかご確認ください。
1.1.
・
(a) コントローラ基板
1台
(b) コンビネーション測定子
1個
(e) ピラニ用センサケーブル
2.1.
センサケーブルのカップリングを回して測定子固定金具のネジ
と勘合させて固定してください。
カップリング
ガイド
0～3 個
(d) コンビネーション用センサケーブル
2.
ガイドに合わせて測定子固定金具にセンサケーブルを差し込ん
でください。
システムゲージ構成
(C) ピラニ測定子
センサケーブルを取り付ける
1本
0～3 本
(f) 取扱説明書
1部
(g) クイックリファレンス（本紙）
1部
(h) 修理依頼書
1部
(i) 電源ケーブル（オプション）
(1 本)
(j) 信号ケーブル（オプション）
(1～2 本)
(k) コンビ用フランジ（オプション）
(1 個)
(l) ピラニ用フランジ（オプション）
(0～3 個)
(m) 測定子固定金具（オプション）
(1～4 個)
(n) Ｏリング（オプション）
(1～4 個)
(o) 取付ネジ（ｵﾌﾟｼｮﾝ、M3×14 ｷｬｯﾌﾟﾎﾞﾙﾄ）
(4～16 個)
(p) ワッシャ（オプション M3 用）
(4～16 個)
・
コントローラ基板の CN4,5,6 にコンビネーション用センサケーブ
ルを、センサコネクタ P1～P3 にピラニ用センサケーブルを取り
付けてください。
コ
ン
ビ
ネ
ー
シ
ョ
ン
測
定
子
へ
CN6
CN4
P1
P2
CN5
P3
設置方法
測定子を取り付ける
オプション付の場合：①測定子の位置マークと測定子固定
.
金具のネジ穴又はガイドの位置を合わせて、測定子固定金
ピラニ測定子 P1～3 へ
具に測定子を挿入し、六角レンチ(1.5mm)で測定子を固定し
てください。（図はピラニ測定子の場合）
ネジ孔
2.3.
・
位置マーク
電源接続
測定子やコントローラの設置、接続が正しく行われたことをご確
認ください。
・
DC24V 電源をコントローラ基板の CN1 に接続します。
CN1
ガイド
②フランジと測定子の間に O リングを入れて、六角レンチ
(3mm)を使用して取付ネジでフランジと測定子固定金具を
取り付けてください。
ピン
名 称
1
DC24V+ input
2
DC24V- input
3
FG ※
※
AmpEre
備 考
通常は接続しないでください。
装置のアースがとれない場合のみ接続してください。
ＴＳ－Ｄ４００５０
3.
測定方法
3.1.
測定開始
CN2
コントローラ基板に DC24V 電源が入力されますと自動的に起
動し、数秒後に測定を開始します。測定中はピラニゲージと
BA ゲージを自動的に切り替えます。
BA ゲージ動作中はフィラメントだけでなく、グリッド・コレクタ
電極も加熱されます。（タフモード）
・コンビネーション用（CN2 下段 A1～A14）
ピン番号
名 称
CH1(COMBI)
3.2.
大気圧調整
A１
Ready output
正常測定時出力
測定子の圧力を大気圧（１０ Ｐａ）にして電源を入れ、
A2
Alarm1 out put
アラーム信号出力 ※1,3
３０分以上放置します。
A3
Combi Set point 1
セットポイント出力 1 ※1,2
調整したい CH(1~4)のピラニ調整信号を入力します。
A4
Combi Set point 2
セットポイント出力 2 ※1,2
Signal common
A1,A2,A3,A4,A6,A7,A8 信 号
+５
①
②
※ ピラニ調整信号については、
「4.IO 信号表」をご参照
A5
ください。
3.3.
高真空調整
測定子の圧力を１０－３Ｐａ以下にして電源を入れ、３０分以
①
上放置します。
②
調整したい CH(2~4)のピラニ調整信号を入力します。
（CH1（コンビネーションゲージ）のピラニは、
BA ゲージ動作中に自動的に調整されます）
※ ピラニ調整信号については、
「4.IO 信号表」をご参照
ください。
3.4.
内容
状態の確認
LED(1~4)の表示により、各 CH(1~4)の状態を確認できます。
コモン
A6
Measure On
測定開始信号入力 ※2
A7
Degas On
デガス ON 信号入力 ※2
A8
Tough mode On
タフモード ON 信号入力 ※2
A9
Analog out1
アナログ出力(0-10V)出力
A10
Analog GND
アナロググランド
A11
TXD1
RS232C 出力
A12
Pirani1 Settings
ピラニ大気調整入力
A13
RXD1
RS232C 入力
A14
Signal GND
信号グランド
・ピラニ CH1～3 用（CN2 下段 A15~A26、上段 B1~B26）
ピン番号
内容
CH3
CH4
(P1)
(P2)
(P3)
A15
B１
B15
Pirani Setting
ピラニ大気・高真空調
A16
B2
B16
GND
整入力
A17
B3
B17
Alarm out
アラーム信号出力
A18
B4
B18
Common
※1,3
A19
B5
B19
Analog out
アナログ出力(0-10V)
LED1~4
A20
B6
B20
Analog GND
出力 ※4
遅い点滅：測定中
]
A21
B7
B21
TXD
早い点滅：アラーム発生
A22
B8
B22
GND
点灯：測定停止
A23
B9
B23
RXD
A24
B10
B24
GND
A25
B11
B25
Set point
セットポイント出力
A26
B12
B26
Common
※1,2
-
B13
-
Reserved
何も接続しないでくだ
-
B14
-
Reserved
さい
電源表示灯
1 4
～
4.
名 称
CH2
I/O 信号表
Ｉ／Ｏコネクタ（CH1,2 用：XG4A-2634（26 ピン）／オムロン、
CH3,4 用：XG4A-2639-A（26 ピン x2 段）／オムロン）
コネクタ銘板：CN2（適合コネクタ：XG4M-2630-T／オムロン）
RS232C 出力
RS232C 入力
※1. フォトカプラ絶縁オープンコレクタ出力(100mA 以下)
※2. ノーマルオープン(NO)信号、※3. ノーマルクローズ(NC)信号
※4. 出力インピーダンス 440Ω
AmpEre
ＴＳ－Ｄ４００５０
5.
接続例（１／２）
CH1,2 用信号
※1,2
※1,3
※1,2
※1,2
※4
※1,3
※4
※1,2
※1. フォトカプラ絶縁オープンコレクタ出力(100mA 以下)
※2. ノーマルオープン(NO)信号
※3. ノーマルクローズ(NC)信号
※4. 出力インピーダンス４４０Ω
AmpEre
ＴＳ－Ｄ４００５０
接続例（２／２）
CH3,4 用信号
※1,3
※4
※1,2
※1,3
※4
※1,2
※1. フォトカプラ絶縁オープンコレクタ出力(100mA 以下)
※2. ノーマルオープン(NO)信号
※3. ノーマルクローズ(NC)信号
※4. 出力インピーダンス４４０Ω
AmpEre
ＴＳ－Ｄ４００５０