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TMP SYSTEM CONTROLLER
ＴＭＰ−０２ＰＦ
取扱説明書
(1350
APPLICATION
OF
ELECTRONIC
改訂1)
DEVICES
ツ ジ 電 子 株 式 会 社
本
社／〒300-0013 茨城県土浦市神立町3739
TEL.029-832-3031㈹ FAX.029-832-2662
URL
http://www.tsujicon.jp
E-mail [email protected]
目 次
TN9509
１．本器で制御できるシステム
2
２．はじめに ∼本製品を使用する前に∼
１）排気システムの仕様
２）本器を発注するにあたって
３）本器が納入されたら
４）各コンポーネントを接続する
【 モード変更 】
2
2
3
3
3
3
３．排気手順
１）被排気槽が大気の時
２ ） 被 排 気 槽 が 低 中 真 空 の 時 （ ＞ １ ０ −２Ｐ ａ ）
３ ） 被 排 気 槽 が 高 真 空 の 時 （ ＜ １ ０ −２Ｐ ａ ）
4
4
4
4
４．停止手順
4
５．動作説明
１）フロントパネル面 スイッチ群
① OPERATION SW
② RP ON/RP FAIL SW
③ TMP ON/NORMAL SW
④ PUMP OFF SW
⑤ ILK OFF SW
⑥ ENABLE/OPEN SW
⑦ CLOSE SW
⑧ MV,FV AUTO/CLOSE SW
⑨ TMP RESET SW
⑩警報用ブザー
２）リヤパネル面 コネクタ群
①３φ ＡＣ２００Ｖ コネクタ
②ＴＭＰ ＣＯＮＴＲＯＬ コネクタ
③ＲＰ コネクタ
④ＴＭＰ ＰＯＷＥＲ コネクタ
⑤ＭＶ コネクタ
⑥ＦＶ コネクタ
4
4
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5
5
5
5
5
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6
6
6
6
6
7
7
7
６．制御シーケンス
8
７．外部接続方法及びコネクタ信号表
１）電源供給部コネクタ
２）ターボ分子ポンプ制御用コネクタ
３）ロータリーポンプ用電源出力コネクタ
４）ＴＭＰ用電源出力コネクタ
５）メインバルブ用コネクタ
６）フォアラインバルブ用コネクタ
８．トラブルシューティング
9
9
9∼ 10
11
11
11
11
12
完成図面
巻末
- 1 -
ＴＭＰシステムコントローラー
ＴＭＰ−０２ＰＦ型
本装置は、ターボ分子ポンプを用いた真空排気システムを統括的に制御するコ
ントローラーです。
本器は、ロータリーポンプ・メインバルブ・フォアラインバルブ・各社ターボ分
子ポンプ制御電源に対応したリモート制御出力を持ち、従来面倒だった排気系の
統括的操作を簡単に行うことができます。例えば、排気系の保護及び油汚染の防
止に必要な時差動作や機器故障、停電などの異常時の自動停止なども容易です。
ハーフラックマウントタイプの本体は付属の取り付けパネルを用いて、各社ター
ボ分子ポンプ制御電源（ハーフラックタイプ）と一体化してラックに取り付ける
事ができます。なお、本器及び本説明書は高エネルギー物理学研究所放射光実験
施設（ＰＦ）の仕様に基づいて製作されています。
１．本器で制御できるシステム
作業者確認用
真空ゲージ
Ｇ
被排気槽
ＭＶ
リークバルブ
２．はじめに
ＬＶ
メインバルブ
ＴＭＰ
ターボ分子ポンプ
ＦＶ
フォアラインバルブ
ＲＰ
ロータリーポンプ
∼本製品を使用する前に∼
１）排気システムの仕様
本器の電源電圧は３相ＡＣ２００Ｖです。使用する場所で電源供給が可能
であることを確認して下さい。
各コンポーネントの電源（動作）電圧が下記の仕様のものを使用して下
さい。
ＴＭＰ：単相ＡＣ２００Ｖ
ＲＰ ：３相ＡＣ２００Ｖまたは単相ＡＣ２００Ｖ
ＭＶ ：ＡＣ２００Ｖ（通電時 ＯＰＥＮ、開閉接点を有するもの）
ＦＶ ：ＡＣ２００Ｖ（通電時 ＯＰＥＮ）
Ｌ Ｖ ： Ａ Ｃ ２ ０ ０ Ｖ （ 通 電 時 Ｃ Ｌ Ｏ Ｓ Ｅ 、 ｽﾛｰﾘｰｸﾀｲﾌﾟの も の ）
セ イ コ ー 精 機 製 Ｔ Ｍ Ｐ （ STP-301,451） を 使 用 す る 場 合 は 、 購 入 時 に オ プ シ
ョ ン の 「 リ モ ー ト コ ン ト ロ ー ル 用 コ ネ ク タ （ ｱﾝﾌｪﾉｰﾙ 24P） 」 を 装 備 す る 必
要 が あ り ま す 。 な お 、 STP-301,451標 準 の 外 部 制 御 用 端 子 台 仕 様 で の 本 器 の
使用については制御動作の保証はできませんので、ご注意ください。
- 2 -
２）本器を発注するにあたって
発注にあたって、下記の事項を指定して下さい。
□ＴＭＰ機種 ※注１※注２
□ＲＰ電源電圧、モーター容量 ※注３
□ 電 源 ケ ー ブ ル の 長 さ （ 標 準 6m 4222Rﾌﾟﾗｸﾞ付 き ）
例 ） Ｔ Ｍ Ｐ ： セ イ コ ー 精 機 製 Ｓ Ｔ Ｐ − ３ ０ １ （ ｵﾌﾟｼｮﾝｺﾈｸﾀ付 き ）
ＲＰ ：３相ＡＣ２００Ｖ
０．７５ＫＷ
※注１：ＴＭＰの機種により接続ケーブルが異なります。必ず指定してく
ださい。なお機種変更の際は、接続ケーブルの変更で対応できま
すので、別途お申し付けください。
※注２：ライボルト製ＮＴ３４０Ｍを使用する時は、リモート端子が２０
ピン仕様と２４ピン仕様があります。接続ケーブルが異なります
ので必ず確認してください。
※注３：内部サーマルリレーの電流値を設定します
（標準設定：３相ＡＣ２００Ｖ １．５ＫＷ）
３）本器が納入されたら
添付品がそろっているかどうか、下記リストを見ながら確認してください。
□本体
□電源ケーブル
□ラックマウント用ラックフレーム
□ＴＭＰコントロール用ケーブル
□ＴＭＰ接続用コネクター
□ＲＰ接続用コネクター
□ＭＶ接続用コネクター
□ＦＶ接続用コネクター
４）各コンポーネントを接続する
この説明書の接続方法の項にしたがって下記の各コンポーネントへの接続
ケーブルを製作して接続してください。
□ＲＰ接続用ケーブル
□ＭＶ接続用ケーブル
□ＦＶ接続用ケーブル
□ＴＭＰ接続用ケーブル
ＬＶ使用時
□ＬＶ接続ケーブル
※ＬＶ制御出力は本器ＲＰ出力コネクターからロータリーポンプと一緒に
パラレル接続してください。
セ イ コ ー 精 機 製 TMPを 使 用 す る 場 合 は 、 Ｔ Ｍ Ｐ 制 御 電 源 の MANUAL/REMOTE切
替 ス イ ッ チ を REMOTE側 に 設 定 し て く だ さ い 。
使 用 す る Ｒ Ｐ 本 体 に ON/OFFス イ ッ チ が あ る 場 合 は ON側 に 設 定 し て く だ さ い 。
すべてのケーブルが正しく接続されていることを確認してから、本器の電
源ケーブルを接続してください。
【 モード変更 】
本 製 品 は 出 荷 時 に 、 使 用 す る ﾀｰﾎﾞ分 子 ﾎﾟﾝﾌﾟの ﾒｰｶｰに あ わ せ た ﾓｰﾄﾞ設 定 が さ
れ て い ま す 。 ﾓｰﾄﾞ変 更 の 必 要 が あ る と き は 、 下 記 の 操 作 を し て 下 さ い 。
・ PUMP OFFを 押 し な が ら 電 源 投 入 し 、 そ の ま ま 10秒 く ら い 待 つ と ｱﾗｰﾑが
鳴 り 、 ﾓｰﾄﾞ変 更 さ れ た 事 を 示 し ま す 。 一 度 電 源 を 切 っ て 再 投 入 を し な い と
動 作 し ま せ ん の で ご 注 意 下 さ い 。 （ ﾓｰﾄﾞは 電 源 を 切 っ て も 保 持 さ れ ま す ）
◇ ﾗｲﾎﾞﾙﾄﾓｰﾄﾞ:電 源 投 入 時 に PUMP OFFが 数 回 点 滅 し ま す 。
◇ ｾｲｺｰ ﾓｰﾄﾞ:電 源 投 入 時 の PUMP OFF点 滅 は あ り ま せ ん 。
- 3 -
３．排気手順
１）被排気槽が大気の時
ILK OFF SWと ENABLE/OPEN SWを 押 し な が ら RP ON SWを 押 す 。
→ＲＰが起動しＦＶ、ＭＶが開となり排気が開始される。
被 排 気 槽 が 数 Ｐ ａ 程 度 の 真 空 に な っ た ら TMP ON SWを 押 す 。
→ＴＭＰが起動。
２ ） 被 排 気 槽 が 低 中 真 空 の 時 （ ＞ １ ０ −２Ｐ ａ ）
RP ON SWを 押 す 。
→ＲＰが起動しＦＶ開となる
ILK OFF SWを 押 し な が ら ENABLE/OPEN SWを 押 す 。
→ＭＶ開となり、排気が開始される。
TMP ON SWを 押 す 。
→ＴＭＰが起動される。
３ ） 被 排 気 槽 が 高 真 空 の 時 （ ＜ １ ０ −２Ｐ ａ ）
TMP ON SWを 押 す 。
→ＴＭＰ，ＲＰが起動される。
Ｔ Ｍ Ｐ が 定 常 回 転 （ NORMAL） に な っ た ら ENABLE/OPEN SWを 押 す 。
→排気が開始される。
４．停止手順
PUMP OFF SWを 押 す 。
→全ポンプ停止、自動バルブは閉となります。（ＬＶのみ開）
注意：ＬＶを使用していない場合は、ポンプ停止操作（異常停止も含む）を行う
とＴＭＰはＭＶ，ＦＶにより真空封止されます。被排気槽をリークして本
システムにより再度真空引きを行う時は、ＴＭＰを手動でリークしてくだ
さい。ＴＭＰをリークせずにＭＶを操作すると圧力差によりバルブが故障
する場合があります。
５．動作説明
１）フロントパネル面
スイッチ群
- 4 -
① OPERATION SW（ ロ ッ ク 形 ト グ ル ス イ ッ チ ）
１ ） ENABLE側 ・ ・ ・ ・ ・ 押 ボ タ ン ス イ ッ チ に よ る 各 種 操 作 が 可 能 に な り ま す 。
２ ） DISABLE側 ・ ・ ・ ・ 押 ボ タ ン ス イ ッ チ に よ る 各 種 操 作 が で き な く な り ま す 。
（誤操作防止）
② RP ON/RP FAIL SW（ 照 光 式 押 ボ タ ン ス イ ッ チ ）
１）スイッチ機構部・・ＲＰを起動するためのスイッチです。
２ ） RP ON 表 示 ・ ・ ・ ・ Ｒ Ｐ 作 動 時 に 点 灯 し ま す 。
３ ） RP FAIL 表 示 ・ ・ ・ Ｒ Ｐ の 異 常 を 示 す 本 器 内 部 の サ ー マ ル リ レ ー が 動 作 し
た時に点灯します。
③ TMP ON/NORMAL SW（ 照 光 式 押 ボ タ ン ス イ ッ チ ）
１）スイッチ機構部・・ＴＭＰ（ＲＰ停止時はＲＰも同時に）を起動させるた
めのスイッチです。
２ ） TMP ON 表 示 ・ ・ ・ Ｔ Ｍ Ｐ 作 動 時 に 点 灯 し ま す 。
３ ） NORMAL 表 示 ・ ・ ・ Ｔ Ｍ Ｐ が 定 常 回 転 し て い る 時 点 灯 し ま す 。
④ PUMP OFF SW（ 照 光 式 押 ボ タ ン ス イ ッ チ ）
１）スイッチ機構部・・全ポンプ停止を行うためのスイッチで、自動バルブは
閉 と な り ま す 。 (Ｌ Ｖ を 接 続 し て い る 時 、 Ｌ Ｖ の み 開 )
２ ） PUMP OFF 表 示 ・ ・ ポ ン プ 停 止 時 点 灯 し ま す 。
⑤ ILK OFF SW（ 照 光 式 押 ボ タ ン ス イ ッ チ ）
１）スイッチ機構部・・ＭＶはインターロック機能により、ＴＭＰが定常回転
している時のみ開けることができます、それ以外の場
合 は ポ ン プ 作 動 時 に 本 ス イ ッ チ を 押 し な が ら 、 ENABLE
/OPEN ス イ ッ チ を 操 作 す る と Ｍ Ｖ を 開 け る こ と が で き
ます。
２ ） ILK OFF 表 示 ・ ・ ・ 本 ス イ ッ チ が 押 さ れ た 時 、 ま た は 上 記 操 作 を 行 っ て
ＭＶを開けたとき点灯します。
上記操作を行ってＭＶを開けた場合、ターボポンプが
定 常 回 転 （ NORMAL） に 到 達 す る か 、 Ｍ Ｖ 閉 操 作 、 ま た
は全ポンプ停止操作をすると消灯します。
⑥ ENABLE/OPEN SW（ 照 光 式 押 ボ タ ン ス イ ッ チ ）
１ ） ス イ ッ チ 機 構 部 ・ ・ Ｍ Ｖ を OPENす る た め の ス イ ッ チ で す 。
２ ） ENABLE 表 示 ・ ・ ・ Ｍ Ｖ が OPEN可 能 で あ る と き 点 灯 し ま す 。
３ ） OPEN 表 示 ・ ・ ・ ・ Ｍ Ｖ の OPENス テ ー タ ス を 受 け て 点 灯 し ま す 。
⑦ CLOSE SW（ 照 光 式 押 ボ タ ン ス イ ッ チ ）
１ ） ス イ ッ チ 機 構 部 ・ ・ Ｍ Ｖ を CLOSEす る た め の ス イ ッ チ で す 。
２ ） CLOSE 表 示 ・ ・ ・ ・ Ｍ Ｖ の CLOSEス テ ー タ ス を 受 け て 点 灯 し ま す 。
⑧ MV,FV AUTO/CLOSE SW（ ロ ッ ク 形 ト グ ル ス イ ッ チ ）
１ ） CLOSE側 ・ ・ ・ ・ ・ Ｍ Ｖ 、 Ｆ Ｖ を 強 制 的 に OFF（ 閉 ） し ま す 。 ※ 注 ４
２ ） AUTO側 ・ ・ ・ ・ ・ ・ 内 部 プ ロ グ ラ ム に 従 い Ｍ Ｖ を 開 閉 可 能 に 、 Ｆ Ｖ を
自動開閉します。
※ 注 ４ ： ⑥ ENABLE/OPEN SWの 操 作 に よ り Ｍ Ｖ 開 要 求 が さ れ て い る 場 合 、
本 ス イ ッ チ を CLOSE側 か ら AUTO側 に す る と Ｍ Ｖ が 開 き ま す 。
⑨ TMP RESET SW（ 照 光 式 押 ボ タ ン ス イ ッ チ )
１ ） ス イ ッ チ 機 構 部 ・ ・ TMP異 常 リ セ ッ ト 用 ス イ ッ チ で す 。 ※ 注 ５
２ ） RESET 表 示 ・ ・ ・ ・ こ の ス イ ッ チ を 押 し た と き に 点 灯 し ま す 。
- 5 -
⑩警報用ブザー
このブザーは以下の異常状態時に作動します。
本装置とＴＭＰ制御電源との接続がはずれているとき。
TMP FAILま た は RP FAILの と き 。
Ｔ Ｍ Ｐ 制 御 電 源 側 が TMP REMOTEに な っ て い な い と き 。 ※ 注 ５
Ｔ Ｍ Ｐ 温 度 異 常 （ OVER TEMP） の と き （ 間 欠 音 ） ※ 注 ５
※ 注 ５ ： ｾｲｺｰ精 機 製 ﾀｰﾎﾞ STP-200,300,400,301,451の み 対 応
２）リヤパネル面
コネクタ群
① ３ φ Ａ Ｃ ２ ０ ０ Ｖ コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 4Pin:ｵｽ）
本器に主電源を供給するコネクタです。
な お 、 電 源 用 の ケ ー ブ ル は 付 属 品 と し て （ 2mm ２ × 4芯 VCTケ ー ブ ル L=6m
先 端 引 掛 型 ｺﾝｾﾝﾄﾌﾟﾗｸﾞ付 き ） 一 緒 に 納 品 さ れ ま す 。
ｺﾝｾﾝﾄ型 式 は ｱﾒﾘｶﾝ電 機 製 の 4222R（ 旧 品 番 R163） ﾌﾟﾗｸﾞを 使 用 し て い ま す 。
② Ｔ Ｍ Ｐ Ｃ Ｏ Ｎ Ｔ Ｒ Ｏ Ｌ コ ネ ク タ （ ｱﾝﾌｪﾉｰﾙ24Pin）
ＴＭＰの各種信号を入出力するためのコネクタです。
標 準 で セ イ コ ー 精 機 製 STP-200,300,400,301,451及 び ラ イ ボ ル ト 製 NT340Mｼﾘｰｽﾞ
に対応しています。（指定機種の専用ケーブル１本、標準添付）
但 し 、 セ イ コ ー 精 機 製 Ｔ Ｍ Ｐ （ STP-301,451） を 使 用 す る 場 合 は 、 購 入 時 に オ プ
シ ョ ン の 「 リ モ ー ト コ ン ト ロ ー ル 用 コ ネ ク タ （ ｱﾝﾌｪﾉｰﾙ 24P） 」 を 装 備 す る 必 要
が あ り ま す 。 な お 、 STP-301,451標 準 の 外 部 制 御 用 端 子 台 仕 様 で の 本 器 の 使 用 に
ついては制御動作の保証はできませんので、ご注意ください。
また、標準対応品以外のＴＭＰ接続については、別途お問い合わせ頂けますよ
うお願いいたします。
③ Ｒ Ｐ コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 4Pin:ﾒｽ）
ＲＰの電源供給用コネクタです。
本器でＲＰを起動すると、ここから３φＡＣ２００Ｖが出力されます。
- 6 -
④ Ｔ Ｍ Ｐ Ｐ Ｏ Ｗ Ｅ Ｒ コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 3Pin:ﾒｽ）
ＴＭＰ用の電源出力コネクタです。
本器の電源を投入するとここから単相ＡＣ２００Ｖが出力されます。
⑤ Ｍ Ｖ コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 6Pin:ﾒｽ）
Ｍ Ｖ を 制 御 す る た め の コ ネ ク タ で 、 Ｍ Ｖ 動 作 出 力 （ AC200V） お よ び OPEN/CLOSE
のステータス信号（無電圧接点）の入力用です。
⑥ Ｆ Ｖ コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 2Pin:ﾒｽ）
ＦＶ作動用のコネクタで、単相ＡＣ２００Ｖが出力されます。
- 7 -
６．制御シーケンス
ＳＴＡＲＴ
TMP ON SW
or
RP ON SW
押す
RP 起 動
RP ON点 灯
←
Y
ILK OFF SW +
OPEN SW 同 時 に 押 す
ILK OFF点 灯
MV,FV 開
N
RP起 動 後 ３ 秒
待ち
FV
開
←
N
す で に TMP ON SW
が押されている？
TMP ON SW押 す
Y
TMP 起 動
TMP ON表 示
←
N
TMPは NORMAL？
Y
Y
ILK OFF表 示 中
ILK OFF消 灯
N
←
ENABLE点 灯
MV動 作 可 能
ポンプ定常状態
・異常時の動作
ＲＰ、ＴＭＰ異常：ＰＵＭＰ ＯＦＦ 動作
ＴＭＰ温度異常 ：アラーム（間欠音）※注６
※ 注 ６ ： ｾｲｺｰ精 機 製 ﾀｰﾎﾞ STP-200,300,400,301,451の み 対 応
- 8 -
７．外部接続方法及びコネクタ信号表
１ ） 電 源 供 給 部 コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 4Pin）
信号名
１
3φ AC200V R相
２
3φ AC200V S相
３
3φ AC200V T相
４
ｱｰｽ（ 接 地 ）
ﾊﾟﾈﾙ取 付 ｺﾈｸﾀ(ｵｽ)
適 合 ﾌﾟﾗｸﾞ
(ﾒｽ)
NCS-304R（ 七 星 ）
NCS-304P (七 星 ）
２ ） タ ー ボ 分 子 ポ ン プ 制 御 用 コ ネ ク タ （ ｱﾝﾌｪﾉｰﾙ 24Pin）
信号名
信号名
１
+24V OUT
１３
POWER OUT
２
+24V OUT
１４
RESET OUT
３
+24V OUT
１５
START OUT
４
+24V OUT
１６
STOP OUT
５
0V (+24V GND)
１７
REMOTE IN
６
POWER ON IN
１８
POWER ON IN
７
0V (+24V GND)
１９
EMERGENCY IN
８
0V (+24V GND)
２０
FAILURE IN
９
0V (+24V GND)
２１
OVER TEMP IN
１０
POWER ON IN(+15V GND)
２２
POWER ON IN(+15V)
１１
0V (+24V GND)
２３
ACCELERATION IN
１２
0V (+24V GND)
２４
NORMAL IN
ﾊﾟﾈﾙ取 付 ｺﾈｸﾀ
適 合 ﾌﾟﾗｸﾞ
57-20240-D35(DDK)
57-30240-D76(DDK)
適合ケーブル型式（指定機種用１本標準添付）
・ STP-200,300,400 用
TYPE： Ｃ Ａ ４ ０ ０
・ STP-301,451
用
TYPE： Ｃ Ａ ４ ５ １
・ NT-340M（ 24ﾋﾟﾝ） 用
TYPE： Ｃ Ａ ３ ４ ０ ２ ４
・ NT-340M（ 20ﾋﾟﾝ） 用
TYPE： Ｃ Ａ ３ ４ ０ ２ ０
- 9 -
ターボ分子ポンプ制御用コネクタ信号詳細
・ POWER OUT COM側 +24V
TMPの 電 源 ONす る た め の 出 力 で す 。
TMP RESET SWを 押 し た 時 の み OFF に な り ま す 。
・ RESET OUT COM側 +24V
フ ロ ン ト パ ネ ル 面 の OPERATION SWが ENABLE側 で 、 か つ TMP RESET SWが 押 さ れ た
時 、 ONさ れ ま す 。
・ START OUT COM側 +24V
TMPを 起 動 す る た め の 出 力 で す 。
・ STOP OUT COM側 +24V
TMP運 転 を 停 止 す る た め の 出 力 で す 。
・ REMOTE IN ※ 注 ７
TMPの 外 部 制 御 モ ー ド ス テ ー タ ス 入 力 に 使 用 し ま す 。
この入力がＯＮでない場合、ポンプは作動しません。
・ POWER ON IN ※ 注 ７
TMPの 電 源 Ｏ Ｎ ス テ ー タ ス 入 力 に 使 用 し ま す 。
この入力がＯＮでない場合、ポンプは作動しません。
・ EMERGENCY IN ※ 注 ７
TMPの 異 常 （ EMERGENCY） ス テ ー タ ス 入 力 に 使 用 し ま す 。
こ の 入 力 が Ｏ Ｎ に な る と 本 器 は PUMP OFF動 作 を し ま す 。
・ FAILURE IN ※ 注 ７
TMPの 異 常 （ FAILURE） ス テ ー タ ス 入 力 に 使 用 し ま す 。
こ の 入 力 が Ｏ Ｎ に な る と 本 器 は PUMP OFF動 作 を し ま す 。
・ OVER TEMP IN ※ 注 ７
TMPの 温 度 異 常 ス テ ー タ ス 入 力 に 使 用 し ま す 。
こ の 入 力 が Ｏ Ｎ に な る と 本 器 の ｱﾗｰﾑ（ 間 欠 音 ） が 鳴 り ま す 。
・ POWER ON IN(+15V) ※ 注 ７
ラ イ ボ ル ト 製 NT340M接 続 時 、 NT340Mか ら の +15V出 力 を POWER ONス テ ー タ ス と し
て入力に使用します。
・ ACCELERATION IN ※ 注 ７
TMPの ロ ー タ 加 速 中 状 態 ス テ ー タ ス 入 力 に 使 用 し ま す 。
・ NORMAL IN ※ 注 ７
TMPの 定 常 運 転 ス テ ー タ ス 入 力 に 使 用 し ま す 。
注７：無電圧接点を接続してください。
本 器 の 内 部 回 路 に つ い て は BOX内 回 路 図 を 参 照 し て く だ さ い 。
- 10 -
３ ） ロ ー タ リ ー ポ ン プ 用 電 源 出 力 コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 4Pin）
信号名
１
ﾊﾟﾈﾙ取 付 ｺﾈｸﾀ(ﾒｽ)
適 合 ﾌﾟﾗｸﾞ
(ｵｽ)
NCS-304RF（ 七 星 ）
NCS-304PM (七 星 ）
3φ AC200V R相
２
3φ AC200V S相
３
3φ AC200V T相
４
ｱｰｽ（ 接 地 ）
3φ 200VＲ Ｐ を 使 用 す る 時 は 、 R,S,T相 を
正しく接続してください。ＲＰが逆回転
する場合があります。
単 相 200VＲ Ｐ を 使 用 す る 時 は 、 R,S,T相 の
いずれか２つを接続してください。
安 全 の た め ｱｰｽは 必 ず 配 線 し て く だ さ い 。
４ ） Ｔ Ｍ Ｐ 用 電 源 出 力 コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 3Pin）
信号名
１
1φ AC200V
２
1φ AC200V
３
ｱｰｽ（ 接 地 ）
ﾊﾟﾈﾙ取 付 ｺﾈｸﾀ(ﾒｽ)
適 合 ﾌﾟﾗｸﾞ
(ｵｽ)
NCS-253RF（ 七 星 ）
NCS-253PM (七 星 ）
安 全 の た め ｱｰｽは 必 ず 配 線 し て く だ さ い 。
５ ） メ イ ン バ ル ブ 用 コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 6Pin）
信号名
１
ﾊﾟﾈﾙ取 付 ｺﾈｸﾀ(ﾒｽ)
適 合 ﾌﾟﾗｸﾞ
(ｵｽ)
NCS-256RF（ 七 星 ）
NCS-256PM（ 七 星 ）
OPEN接 点 入 力 （ COM）
２
OPEN接 点 入 力 （ ＋ ）
３
Ｍ Ｖ 作 動 出 力 （ AC200V）
４
Ｍ Ｖ 作 動 出 力 （ AC200V）
５
CLOSE接 点 入 力 （ ＋ ）
６
CLOSE接 点 入 力 （ COM）
OPEN/CLOSE接 点 は 無 電 圧 接 点 を
使用してください。
Ｍ Ｖ は 通 電 時 （ AC200V） OPENの
ﾀｲﾌﾟを 使 用 し て く だ さ い 。
６ ） フ ォ ア ラ イ ン バ ル ブ 用 コ ネ ク タ （ ﾒﾀﾙｺﾝｾﾝﾄ型 2Pin）
信号名
ﾊﾟﾈﾙ取 付 ｺﾈｸﾀ(ﾒｽ)
適 合 ﾌﾟﾗｸﾞ
(ｵｽ)
１
ＦＶ作動出力
（ AC200V）
２
ＦＶ作動出力
（ AC200V）
NCS-252RF（ 七 星 ）
NCS-252PM（ 七 星 ）
通 電 時 （ AC200V） OPENの ﾀｲﾌﾟを 使 用 し
てください。
- 11 -
８．トラブルシューティング
本器の運転開始時または運転中に異常を認めた場合は、下記のチェックおよび処
置をしてください。
症状
原因
対策
アラームが鳴ってい
る。
本 器 と TMPが 正 し く 接 続
されていない。
TMP型 式 に 合 っ た ｹｰﾌﾞﾙを 使
用する。
ｹｰﾌﾞﾙが は ず れ て い る 。
TMPの MANUAL/REMOTE切 替
ス イ ッ チ が MANUAL側 に な
っている。
REMOTE側 に 設 定 す る 。
TMP
異常
TMPを ﾘｾｯﾄす る 。
TMPﾘｾｯﾄし て も FAILが 消 え
な い 時 は TMPの 取 扱 説 明 書
を参照してください。
アラームが鳴ってい
る。（間欠音）
TMP
温度異常
TMPの 温 度 を 下 げ る 。
RP FAIL点 灯
RPの 過 負 荷 、 欠 相 。
本 器 内 の RP保 護 用 ｻｰﾏﾙﾘﾚｰ
が 作 動 し て い る 。 RPの 状 態
を 確 認 の う え 、 ｻｰﾏﾙﾘﾚｰを
ﾘｾｯﾄす る 。
真空漏れを少なくする。
被排気槽内の脱ガスを少な
くする。
ｻｰﾏﾙﾘﾚｰの 電 流 設 定 不 良
ｻｰﾏﾙﾘﾚｰを RPﾓｰﾀ容 量 に あ っ
た電流値に設定する。
RPが 起 動 し な い
RP本 体 の 起 動 ｽｲｯﾁが OFF
になっている。
起 動 ｽｲｯﾁを ONに す る 。
真空が引けない。
真空漏れがある。
真空漏れを少なくする。
RPが 逆 回 転 し て い る 。
RP電 源 の U,V,W相 を 正 し く
接続する。
TMPの 過 負 荷 。
30分 た っ て も TMPが
NORMALに な ら な い 。
真空漏れを少なくする。
被排気槽内の脱ガスが多い
脱ガスを少なくする。
TMP起 動 後 30分 程 度
で 自 動 的 に PUMP OFF
してしまう。
本製品は改良の為、予告なく仕様変更する場合があります。
従来と異なった使用法をされる場合は弊社までお問い合わせ下さい。
- 12 -