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Planung der prototypischen Realisierung
Ausgehend von beschriebener Nulllage führt eine Rotation um die untere Achse, betrachtet
im kartesischen Koordinatensystem der NMM-1, zu einer Neigung des Sensors auf die X/YEbene zu. Die Rotationskomponenten um X und Y ändern sich hierbei mit der Neigung. Um
eine bestimmte Ausrichtung im Raum zu erhalten, erfolgt zusätzlich mit der oberen Drehachse eine Rotation um die Z-Achse, bis die gewünschte Rotationskomponenten um X und Y
erreicht sind. Dieses System erlaubt einen Rotationsbereich um φX und φY von ± 90°, was
die Erfassung einer vollen Hemisphäre ermöglicht.
Bild 41: Links: Ausrichtung 90°, Rechts: Ausrichtung 45°
Zu erwähnen ist eine resultierende Rotationskomponente um die Sensorachse. Dieser Effekt
ist bei flächig arbeitenden Sensoren zu berücksichtigen, hat bei den anvisierten Punktsensoren jedoch keinen Einfluss. Bild 41 zeigt die Rotation beim Übergang von 90° zu 45°.
Diese kinematische Variante wurde weiter verfolgt und eine Berechnung der erzielbaren
Wiederholpräzision durchgeführt. Für die obere Rotationsachse wurde erneut die Aerotech
ANT95-R gewählt, für die untere wurde nach einer Marktrecherche auf eine Smaract
SR-2812-S zurückgegriffen. Diese besitzt ein Keramiklager mit einem Piezoantrieb, der über
einen integrierten Winkelgeber positionsgeregelt ist. Wie für diese Klasse von Drehtischen
üblich, ist keine Kalibrierung über einen Autokollimator o.ä. vorhanden. Die Abweichungen
wurden auf Basis von Erfahrungswerten des Herstellers bzw. Vergleichswerten der Aerotech
Achse übernommen:
Technische Daten Smaract SR-2812-S und Annahmen
Auflösung
0,0072 arc sec
Exzentrizität gesamt
3 µm (Erfahrungswerte Hersteller)
Planlauf:
0,5 µm (Annahme analog Aerotech)
Taumel
3 arcsec (Annahme analog Aerotech)
Tabelle 5: Technische Daten Smaract SR-2812-S [SMARACT 2011]
Mit Berechnung eines Abstandes Sensorarbeitspunkt-Drehzentrum Aerotech Achse von
43,6 mm und Sensorarbeitspunkt – Drehzentrum Smaract Achse von 29,3 mm ergibt sich ein
mögliches Volumen des Arbeitspunktes von angeschrägter Form mit den Abmaßen ± 1,5 µm
und ± 1,35 µm lateral sowie ± 0,8 µm in Z, dargestellt in Bild 42. Der Haupteinflussfaktor ist
hier die Exzentrizität der Smaract-Achse.