Download Deep-Level Transient Spectroscopy

Contents
1 Introduction
3
2 Some words about third year labs
3
3 Safety notes
3
4 The theory
4
4.1
Semiconductors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4
4.2
Schottky barrier diodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5
4.3
Capacitance and the depletion width . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6
4.4
Defects and Deep-Level Traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
7
4.5
Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9
5 Experimental Work
13
5.1
The Racks of Electronics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2
The Cryostat and Sample Holder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3
SRIM Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.4
Making the C-V measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.5
Analysing the C-V data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.6
DLTS measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.7
Perfoming a C-T measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.8
Analysing the DLTS data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6 Appendix: Important Numbers
20
2