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pompe e controllate le elettrovalvole Vx e VBx per raggiungere l’alto vuoto dell’ordine di 10-7
mbar. Il raggiungimento delle soglie è segnalato tramite le spie presenti nel monitor.
Se la modalità viene selezionata con il canale di trasporto già in condizioni di basso vuoto il
PLC provvede a gestire direttamente i rami delle turbo-pompe con le rispettive elettrovalvole.
Stand by: le valvole di accesso al canale di trasporto vengono chiuse per mantenere il livello
di vuoto raggiunto; lo stato delle pompe rotative e delle turbo-pompe rimane inalterato.
Venting: operazione di rientro, necessaria quando è richiesta la sostituzione della camera
target. Per l’esecuzione di questa operazione è necessario che i sistemi di riscaldamento ed alta
tensione siano spenti, stato segnalato dal PLC#2 che li gestisce. Se le condizioni sono
soddisfatte il PLC#1 controlla le valvole VR1 e VR2 per riportare il canale a pressione
atmosferica; durante l’operazione di rientro le turbo-pompe vengono isolate dal resto del
circuito per evitare di danneggiarle.
Valvole V1 e V2: è possibile controllare manualmente le valvole per isolare il canale di
trasporto. Il controllo è indipendente e non viene modificato dal PLC#1 nell’esecuzione delle
operazioni.
Controllo H20: permette la gestione del flusso d’acqua nel circuito di raffreddamento delle
turbo-pompe.
La scheda Alarms riporta infine una cronologia delle allarmi che si presentano durante il
funzionamento dell’impianto: per ogni segnalazione è presente una descrizione con la data ed il
rispettivo orario di comparsa.
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