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Technisches spezifikation
Arbeitstemperaturbereich
10°C bis 40°C
Reproduzierbarkeit an der
Tastspitze (2σ) in einer Richtuung
ohne Positionswechsel
0.35µm*
Toleranz des tastervorlaufs
in XY
±1µm*
76mm
43mm
Antastkraft an der Tastspitze
(einstellbar)
0.1N bis 0.3N (10gf bis 30gf)
*Diese Angaben sind gültig bei folgender Spezifikation:
Tastereinsatzlänger 21mm, Antastgeschwindigkeit 480m/min,
Antastkraft 0.11N bis 0.13N (11gf bis 13gf)
∅48mm
R54mm
A-Achsen
0° - 90°
21mm
M3 è
5.7mm
B-Achsen
±180°
Abbildung 6 - Abmessung MIP
MIP User’s Guide
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