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付録 D - ADM エラーコード
エラー
コード エラー名
エラーの詳細
赤色タンクコ
WM06
ントローラ
故障
青色タンクコ
WM05
ントローラ
故障
赤色インライ
WM03
ンコントロー
ラ故障
青色インライ
WM01
ンコントロー
ラ故障
リレー 1 に高電流
赤色ホースコ
WM02
ントローラ
故障
青色ホースコ
WM04
ントローラ
故障
赤色冷却装置
WM07
コントローラ
故障
青色冷却装置
WM08
コントローラ
故障
赤色ブラン
WMA6
ケット高温 タンクブランケットが定義さ
れているアラーム上限値を上
青色ブラン
WMB5
回る
ケット高温
WMC6
WMC5
WMC3
WMC1
WMC2
WMC4
WMC7
WMC8
WMH1
エラー
タイプ
アラーム
処置
コンタクタが破損して
いる
コンタクタを交換する
欠陥のある RTD
RTD を交換する
アラーム 欠陥のある高性能温度コ
高性能温度コントロールモジュールを交換する
ントロールモジュール
接続が緩い
接続を締める
赤色タンクコン
トローラ故障
青色タンクコン
トローラ故障
赤色インライ
ンコントロー
ラ故障
青色インライ
ンコントロー
ラ故障
リレー 1 に予期されない電流 アラーム モジュールが短絡した
赤色ホースコン
トローラ故障
青色ホースコン
トローラ故障
赤色冷却装置
コントローラ
故障
青色冷却装置
コントローラ
故障
モーターコン MCM 内で一般的な障害が発生
逸脱
内部ハードウェア障害
トローラ故障 した
無効な設定点 要求制御値 ( 圧力または流量 )
逸脱
要求
がシステムの限界値外にある
WSC0
原因
ゲルタイマのために入力され
たショットは、有効なショッ
無効なゲルタ
トでありません。これは、ゲ 逸脱
イマー定義
ルタイマーが適切に機能する
前に修正する必要がある
3A2978D
温度が無効化されたゾーンよって影響を受けている
場合、加熱モジュールを交換する
電源を切って入れ直して、エラーが続く場合は、MCM
を交換する必要がある
ADM でセットアップ画面 -> システム -> に移動し、
システムが間違ってセッ
すべてのページに適切に定義された値があることを
トアップされている
確認する
ショットが間違って定義 システムの限界値内のコントロールパラメータで
された
ショットを再定義する
ゲルタイマーショットが
最小ディスペンス量未
別のショットを選択するか、既存のショットデータ
満、または無効な圧力 /
を変更する
流量に対して設定されて
いる
MCM が、ACM に入力した ショットがパラメータ内にあることに確信を持って
パラメータに基づいて、 いる場合は、セットアップ画面の較正にある学習
ゲルタイマーショットを モードルチーンの実行を試行してください。エラー
実行できないことを特定 が続く場合、軽減されたコントロールパラメータを
有するゲルショットが必要です。
した
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