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冷凍機ユニット 取扱説明書 付録 F 外径寸法図 1. RM10冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-2 2. RM10T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-3 3. RM20冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-4 4. RM20T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-5 5. RM50冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-6 6. RM50T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-7 7. RM80T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-8 8. RMS10冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-9 9. RMS10T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-10 10. RMS50冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ F-11 11. RMS50T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ F-12 12. RMS80T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ F-13 13. R10・R10R冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-14 14. R10RT冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-15 15. R20・R20R冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-16 16. R20RT冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-17 17. R50・R50R冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-18 18. R50RT冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-19 19. R80・R80RT冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-20 20. RS10冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-21 21. RS10T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-22 22. RS50冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ F-23 23. RS50T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ F-24 24. RS80T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ F-25 25. RS150T冷凍機ユニット・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・F-26 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-1 (223.8) ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 8-M5タップ +0.1 0 4.5 (185.9) REFRIGERATOR φ141.3 13 67.5 (199.9) 0.8 0.8 I.D. ±0.1 φ100 55.4 12.7 468.4 157.2 282.5 バキュームチャンバーフランジ面 11.1 2段ステージ 1段ステージ B 9.5 0.1 6-M4タップ φ66.8(等配) RM10 4 4-M4タップ φ33.3(等配) 2段ステージ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) 2-M2.5タップ 冷凍機ユニット 1段ステージ 3 B部詳細図(1/1) 6.4 45゚ O-リング溝仕上げ 使用O-リング V100 O-リング溝詳細図 (36.8) (25.4) 4 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 安全弁 147.7 30 ゚ 電源コネクター ヘリウムガスリターン RM10 8-φ5.7 (φ141.3) φ1 52. 4 (85.8) 30゚ (67.5) φ76.2 φ53.9 0.8 0.8 φ39.7 0 -0.1 ゚ 30 RETURN ヘリウムガスサプライ 30゚ RETURN SUPPLY F-2 SUPPLY ヘリウムガス流れ方向 外径寸法図 2.8 φ152.4 φ97 O-リング溝内径φ100 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30゚ 8-M5タップ φ141.3 13 4.5 +0.1 0 (185.9) RM10T REFRIGERATOR 30 ゚ 30゚ 安全弁 147.7 30 ゚ 30゚ (223.8) 8-φ5.7 (φ141.3) O-リング溝仕上げ 使用O-リング V100 O-リング溝詳細図 (36.8) (25.4) 0.8 0.8 I.D. ±0.1 φ100 55.4 12.7 468.4 157.2 バキュームチャンバーフランジ面 282.5 2段ステージ 1段ステージ B 11.1 φ76.2 9.5 0.1 6-M4タップ φ66.8(等配) 4 4-M4タップ φ33.3(等配) 2段ステージ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) 2-M2.5タップ RM10T 冷凍機ユニット 1段ステージ 3 B部詳細図(1/1) 6.4 45゚ ゚ 4 3相、200V 電源コネクタ 67.5 4 30 φ1 52. 30゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) ヘリウムガスリターン φ53.9 0.8 0.8 φ39.7 0 -0.1 RETURN SUPPLY ヘリウムガスサプライ 30゚ SUPPLY ヘリウムガス流れ方向 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.8 φ152.4 (199.9) φ97 O-リング溝内径φ100 F-3 30゚ 30゚ ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 8-M5タップ (φ141.3) 13 0.8 12.7 ±0.1 使用O-リングAS568-157 0.8 φ114.5 55.4 O-リング溝仕上げ +0.12 0 3 (185.9) REFRIGERATOR バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ ゚ 安全弁 182 ±0.1 0.8 φ115 O-リング溝仕上げ 使用O-リング G115 +0.1 0 3.6 518.9 バキュームチャンバーフランジ面 φ152.4 30゚ 30 電源コネクター (36.8) (25.4) 0.8 67.5 0.8 ヘリウムガスリターン 333 1段ステージ 6.5 3.5 φ89 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) (85.8) ヘリウムガスの流れ方向 φ63.6 0 -0.12 30゚ (67.5) ゚ 30 RETURN (271.3) RM20 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 22.5゚ 冷凍機ユニット 2段ステージ 6.3 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ50(等配) φ57 0.8 RM20 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 30゚ 0 -0.1 RETURN F-4 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 外径寸法図 2.2 2 195.2 φ152.4 φ101 (247.4) O-リング溝内径 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 13 147.7 F-5 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30゚ 8-M5 タップ (φ141.3) (199.9) 安全弁 +0.12 0 3 12.7 55.4 ±0.1 0.8 (I.D.) φ114.5 +0.1 0 182 0.8 0.8 φ115 (I.D.) ±0.1 333 O-リング溝仕上げ 使用 O-リング G115 3.6 518.9 バキュームチャンバーフランジ面 O-リング溝仕上げ 使用 O-リング AS568-157 (185.9) RM20T REFRIGERATOR 30 ゚ 30゚ 30゚ 30 ゚ 3相、200V 電源コネクタ (36.8) (25.4) 0.8 ヘリウムガスリターン 67.5 φ152.4 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) 30 ゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) RETURN ヘリウムガスサプライ 1段ステージ 6.5 3.5 φ89 0.8 φ63.6 0.8 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ50(等配) 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 22.5゚ RM20T 冷凍機ユニット 2段ステージ 6.3 φ57 0 -0.12 SUPPLY (223.8) 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 30゚ 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 (271.3) 2.4 30 ゚ 30゚ ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 8-M5タップ (φ141.3) 13 安全弁 電源コネクター (185.9) (36.8) (25.4) 12.7 ±0.1 使用O-リング G115 0.8 φ115 O-リング溝仕上げ +0.1 0 3.6 499 182 バキュームチャンバーフランジ面 使用O-リングAS568-157 0.8 φ114.5 ±0.1 55.4 2 O-リング溝仕上げ +0.12 0 3 67.5 0.8 ヘリウムガスリターン 195.2 バキュームチャンバーフランジ(推奨) (φ141.3) 8-φ5.7 φ15 (85.8) (247.4) 0.8 30゚ (67.5) ゚ 30 RETURN ヘリウムガスサプライ REFRIGERATOR 0.8 313 1段ステージ 6.5 3.5 φ89 φ63.5 0 -0.12 RM50 2段ステージ 6.3 φ57 0.8 RM50 22.5゚ 冷凍機ユニット φ50(等配) φ6-90°皿モミ 3-φ3.5 1段ステージ 8-M4タップ φ79(等配) 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 30゚ 0 -0.1 RETURN SUPPLY F-6 SUPPLY ヘリウムガス流れ方向 外径寸法図 2.2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 13 147.7 F-7 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30゚ 8-M5 タップ (φ141.3) RM50T REFRIGERATOR (185.9) (36.8) (25.4) 0.8 ±0.1 0.8 I.D. φ114.5 O-リング溝仕上げ 使用 O-リング AS568-157 +0.12 0 3 55.4 12.7 499 0.8 313 0.8 (3.4) ±0.1 6.5 1段ステージ I.D. φ115 O-リング溝仕上げ 使用 O-リング G115 3.6 182 +0.1 0 バキュームチャンバーフランジ面 φ152.4 30 ゚ 30゚ 30゚ 30 ゚ (199.9) 安全弁 3相、200V 電源コネクタ 67.5 0.8 ヘリウムガスリターン φ89 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.5 (φ141.3) 30゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) RETURN ヘリウムガスサプライ φ63.5 0.8 6.3 2段ステージ φ57 0 -0.12 SUPPLY (223.8) RM50T 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 22.5゚ 冷凍機ユニット 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ50(等配) 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 30゚ 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 8-M5タップ (φ141.3) ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED バキュームチャンバーフランジ(推奨) 13 RM80T REFRIGERATOR (185.9) 0.8 518.9 ±0.1 φ114.5 12.7 使用O-リングAS568-157 O-リング溝詳細図 +0.12 0 3 55.74 182 φ152.4 30゚ 30゚ 12 333 3.5 0.8 ±0.1 φ115 1段ステージ 使用O-リングG115 O-リング溝詳細図 +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 φ108.8 30 ゚ 30 ゚ 安全弁 0.8 電源コネクタ 入力電源3相、200V (36.8) (25.4) 0.8 67.5 0.8 ヘリウムガスリターン 12-M4タップ φ100.6(等配) 1段ステージ 冷凍機ユニット 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ RM80T 2段ステージ 6.3 φ50(等配) 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ 60 ゚ 30゚ 8-φ5.7 (φ141.3) (88.2) ヘリウムガス流れ方向 (φ90.2) 0 -0.12 φ57 0.8 30゚ ゚ 30 30゚ (281.5) 30゚ 0 -0.1 ゚ 30 RETURN (71.5) RETURN SUPPLY F-8 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 外径寸法図 2.2 2 φ152.4 φ110 195.2 O-リング溝内径 (247.4) ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30゚ 8-M5タップ φ141.3 52. 4 13 安全弁 +0.1 0 0.8 0.8 0.8 0.8 φ100 ±0.1 使用O-リング JIS B 2401 V100 O-リング溝詳細図 O-リング溝仕上げ 4.5 (185.9) (36.8) (25.4) 2.8 F-9 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30゚ 30゚ φ1 電源コネクター 67.5 RMS10 REFRIGERATOR ゚ 30 30 ゚ 30゚ RETURN SUPPLY (223.8) 8-φ5.7 (φ141.3) ヘリウムガスリターン (199.9) ゚ 30 (85.8) RETURN (67.5) 55.4 343.1 12.7 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 157.2 バキュームチャンバーフランジ面 1段ステージ 9.5 φ76.2 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ 30゚ RMS10 冷凍機ユニット 1段ステージ φ66.8(等配) 6-M4タップ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) 冷凍機ユニット 取扱説明書 147.7 φ152.4 φ97 O-リング溝内径φ100 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30゚ 8-M5タップ +0.1 0 0.8 0.8 0.8 0.8 φ100 ±0.1 使用O-リング JIS B 2401 V100 O-リング溝詳細図 O-リング溝仕上げ 4.5 (185.9) (36.8) (25.4) 2.8 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ (223.8) φ141.3 13 3相、200V 電源コネクタ 67.5 RMS10T REFRIGERATOR 30゚ 30゚ 安全弁 (199.9) 30 ゚ ヘリウムガスリターン 55.4 343.1 12.7 バキュームチャンバーフランジ面 157.2 φ152.4 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) 30゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) RETURN F-10 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 1段ステージ 9.5 φ76.2 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ 30゚ RMS10T 冷凍機ユニット 1段ステージ φ66.8(等配) 6-M4タップ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) 外径寸法図 147.7 φ152.4 φ97 O-リング溝内径φ100 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-11 30゚ 8-M5タップ (φ141.3) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30゚ 30゚ 30 ゚ 13 安全弁 195.2 ゚ 30 SUPPLY (271.4) 8-φ5.7 (φ141.3) 電源コネクター ±0.1 0.8 182 ±0.1 0.8 φ115 O-リング溝仕上げ 使用O-リング G115 +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 367.9 φ114.5 55.4 12.7 O-リング溝仕上げ 使用O-リングAS568-157 +0.12 0 3 (185.9) (36.8) (25.4) 0.8 67.5 ヘリウムガスの流れ方向 0.8 ヘリウムガスリターン (247.4) 0.8 30゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) RETURN RMS50 REFRIGERATOR 0 -0.12 φ152.4 0.8 6.5 1段ステージ φ89 0 -0.1 SUPPLY ヘリウムガスサプライ RMS50 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 冷凍機ユニット 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 22.5゚ 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 30゚ 30゚ 8-M5タップ (φ141.3) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30 ゚ 30゚ ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED ゚ 30 (223.8) 8-φ5.7 (φ141.3) (85.8) 30゚ (67.5) ゚ 30 RETURN SUPPLY 13 安全弁 3相、200V 電源コネクタ 67.5 ±0.1 使用O-リングAS568-157 0.8 182 ±0.1 0.8 φ115 I.D. 使用O-リング G115 O-リング溝仕上げ +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 367.9 φ114.5 I.D. 55.4 12.7 O-リング溝仕上げ +0.12 0 3 (185.9) (36.8) (25.4) 0.8 ヘリウムガスリターン 0.8 ヘリウムガスサプライ 147.7 0 -0.12 RETURN RMS50T REFRIGERATOR 0.8 SUPPLY F-12 φ152.4 0.8 6.5 1段ステージ φ89 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ方向 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ RMS50T 冷凍機ユニット 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 22.5゚ 外径寸法図 2.2 2 φ152.4 φ101 (199.9) O-リング溝内径 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED F-13 ゚ 30゚ 30゚ 8-M5タップ(下穴深さ9.6) (φ141.3) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30 安全弁 13 195.2 30゚ 8-φ5.5 (φ141.3) 入力電源3相、200V 電源コネクタ ヘリウムガスリターン 67.5 0.8 ヘリウムガスサプライ 12.7 ±0.1 185.8 0.8 ±0.1 φ115 使用O-リングG115 O-リング溝詳細図 +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 371.7 φ114.5 55.74 使用O-リングAS568-157 O-リング溝詳細図 +0.12 0 3 (185.9) (36.8) (25.4) 0.8 88.2 1段ステージ 12 RMS80T 12-M4タップ φ100.6(等配) 1段ステージ 冷凍機ユニット 30゚ ゚ 30 30゚ SUPPLY (281.5) 0.8 ゚ 30 RETURN (71.5) RETURN (247.4) 0.8 SUPPLY RMS80T REFRIGERATOR 0 -0.12 φ152.4 0 -0.1 φ108.8 0.8 ヘリウムガス流れ方向 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ110 O-リング溝内径 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED (223.8) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30゚ 8-M5タップ +0.1 0 4.5 55.4 O-リング溝仕上げ 使用O-リング V100 O-リング溝詳細図 0.8 0.8 ±0.1 φ100 468.4 157.2 φ152.4 φ141.3 13 R10 REFRIGERATOR (185.9) 12.7 282.5 バキュームチャンバーフランジ面 2段ステージ 1段ステージ B 11.1 φ76.2 9.5 0.1 6-M4タップ 4 ※本外形図は、R10冷凍機の場合です。 ※R10R冷凍機は、R10冷凍機と同じ外形寸法です。 4-M4タップ φ33.3(等配) 2段ステージ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) 2-M2.5タップ R10・R10R 冷凍機ユニット 1段ステージ φ66.8(等配) 3 B部詳細図 6.4 45゚ 30 ゚ 30゚ 30゚ 安全弁 147.7 30 ゚ 電源コネクター (36.8) (25.4) 4 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) 30゚ (85.8) ゚ RETURN (67.5) 30 ヘリウムガスリターン RETURN ヘリウムガスサプライ φ53.9 0.8 0.8 φ39.7 0 -0.1 SUPPLY F-14 30゚ ヘリウムガスの流れ方向 外径寸法図 2.8 φ152.4 φ97 O-リング溝内径φ100 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 13 4.5 +0.1 0 (185.9) O-リング溝仕上げ 使用O-リング V100 O-リング溝詳細図 (36.8) (25.4) 0.8 0.8 I.D. ±0.1 φ100 55.4 12.7 468.4 157.2 バキュームチャンバーフランジ面 282.5 2段ステージ 1段ステージ B 11.1 φ76.2 9.5 0.1 45゚ 4 R10RT 冷凍機ユニット 1段ステージ φ66.8(等配) 6-M4タップ 3 B部詳細図(1/1) 6.4 4-M4タップ φ33.3(等配) 2段ステージ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) 2-M2.5タップ 4 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30゚ φ141.3 8-M5タップ (223.8) 30 ゚ 30゚ 安全弁 147.7 30 ゚ 30゚ 8-φ5.7 (φ141.3) 3相、200V 電源コネクタ 67.5 R10RT REFRIGERATOR ゚ 30 SUPPLY .4 30゚ RETURN φ1 52 ヘリウムガスリターン ゚ 30 (85.8) RETURN (67.5) φ53.9 0 -0.1 φ39.7 0.8 0.8 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 30゚ ヘリウムガスの流れ方向 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.8 φ152.4 φ97 O-リング溝内径φ100 F-15 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30゚ 8-M5タップ (φ141.3) 13 195.2 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30゚ (271.3) 安全弁 0.8 12.7 ±0.1 0.8 0.8 φ114.5 55.4 O-リング溝詳細図 O-リング溝仕上げ 使用O-リングAS568-157 +0.12 0 3 (185.9) REFRIGERATOR 30゚ 30 ゚ 電源コネクター (36.8) (25.4) 0.8 0.8 O-リング溝詳細図 O-リング溝仕上げ 使用O-リング G115 +0.1 0 3.6 518.9 182 ±0.1 φ115 バキュームチャンバーフランジ面 φ152.4 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) 30゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) ヘリウムガスの流れ方向 0.8 ヘリウムガスリターン 333 1段ステージ 6.5 3.5 φ89 0.8 φ63.6 0 -0.12 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 22.5゚ 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) ※本外形図は、R20冷凍機の場合です。 ※R20R冷凍機は、R20冷凍機と同じ外形寸法です。 R20・R20R 冷凍機ユニット 2段ステージ 6.3 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ50(等配) φ57 0.8 R20 30゚ 0 -0.1 RETURN F-16 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 外径寸法図 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 13 147.7 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30゚ 8-M5 タップ (φ141.3) (223.8) 安全弁 +0.12 0 3 12.7 55.4 ±0.1 0.8 (I.D.) +0.1 0 182 0.8 ±0.1 333 使用 O-リング G115 0.8 φ115 (I.D.) O-リング溝仕上げ 3.6 518.9 バキュームチャンバーフランジ面 φ114.5 (36.8) (25.4) O-リング溝仕上げ 使用 O-リング AS568-157 (185.9) R20RT REFRIGERATOR 30 ゚ 30゚ 30゚ 30 ゚ 3相、200V 電源コネクタ 67.5 φ152.4 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) 30゚ (85.8) 0.8 ヘリウムガスリターン ゚ 30 RETURN (67.5) RETURN ヘリウムガスサプライ 1段ステージ 6.5 3.5 φ89 0.8 φ63.6 0.8 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ50(等配) 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 22.5゚ R20RT 冷凍機ユニット 2段ステージ 6.3 φ57 0 -0.12 SUPPLY (223.8) 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 30゚ 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 F-17 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30゚ 30゚ 8-M5タップ (φ141.3) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30 ゚ 13 安全弁 195.2 30゚ (φ141.3) 電源コネクター 0.8 55.4 ±0.1 O-リング溝詳細図 使用O-リングAS568-157 0.8 0.8 182 +0.1 0 O-リング溝詳細図 0.8 0.8 ±0.1 313 φ115 O-リング溝仕上げ 使用O-リング G115 3.6 499 バキュームチャンバーフランジ面 (25.4) φ114.5 12.7 O-リング溝仕上げ +0.12 0 3 (185.9) (36.8) 0.8 ヘリウムガスリターン REFRIGERATOR ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (85.8) 30 ゚ (67.5) ゚ 30 RETURN ヘリウムガスサプライ φ152.4 0.8 1段ステージ 6.5 3.5 φ63.5 0.8 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ50(等配) 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 22.5゚ 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) ※本外形図は、R50冷凍機の場合です。 ※R50R冷凍機は、R50冷凍機と同じ外形寸法です。 R50・R50R 冷凍機ユニット 2段ステージ 6.3 φ57 0 -0.12 RETURN F-18 SUPPLY R50 30゚ 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ方向 外径寸法図 φ89 2.2 2 φ152.4 φ101 (271.3) O-リング溝内径 30゚ 13 147.7 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30゚ ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30 ゚ R50RT REFRIGERATOR (185.9) 0.8 I.D. ±0.1 φ114.5 O-リング溝仕上げ 使用 O-リング AS568-157 +0.12 0 3 55.4 499 +0.1 0 0.8 313 0.8 使用 O-リング G115 (3.4) ±0.1 6.5 1段ステージ I.D. φ115 O-リング溝仕上げ 3.6 182 φ152.4 8-M5 タップ (φ141.3) (223.8) 安全弁 12.7 バキュームチャンバーフランジ面 φ89 ゚ 30 30゚ 30゚ SUPPLY 30 ゚ ゚ 30 RETURN 8-φ5.5 (φ141.3) 3相、200V 0.8 電源コネクタ (36.8) (25.4) 0.8 67.5 RETURN (85.8) SUPPLY (67.5) φ63.5 0.8 6.3 2段ステージ φ57 0 -0.12 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 22.5゚ R50RT 冷凍機ユニット 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ50(等配) 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 30゚ 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 F-19 195.2 8-M5タップ(下穴深さ9.6) (φ141.3) ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED バキュームチャンバーフランジ(推奨) 13 REFRIGERATOR (185.9) 0.8 182 518.9 ±0.1 φ114.5 12.7 使用O-リングAS568-157 O-リング溝詳細図 +0.12 0 3 55.74 φ152.4 30゚ 30゚ 333 12 0.8 ±0.1 φ115 1段ステージ (3.5) 使用O-リングG115 O-リング溝詳細図 +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 ヘリウムガスサプライ φ108.8 30 ゚ 30 ゚ 安全弁 0.8 電源コネクタ 入力電源3相、200V 0.8 (36.8)(25.4) 0.8 ヘリウムガスリターン (φ90.2) 30゚ 8-φ5.5 (φ141.3) 88.2 φ6-90°皿モミ(φ50) 温度センサー取付穴(3-φ3.5) 6-M4タップ φ44.5(等配) 2段ステージ 12-M4タップ φ100.6(等配) 1段ステージ ※本外形図は、R80冷凍機の場合です。 ※R80RT冷凍機は、R80冷凍機と同じ外形寸法です。 R80・R80RT 冷凍機ユニット 2段ステージ 6.3 φ57 0 -0.12 (271.3) 60゚ ゚ 30 30゚ SUPPLY (281.5) 30゚ 0.8 ゚ 30 RETURN (71.5) RETURN F-20 SUPPLY R80 30゚ 0 -0.1 ヘリウムガス流れ方向 外径寸法図 2.2 2 φ152.4 φ110 O-リング溝内径 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30゚ バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ (φ141.3) 8-M5タップ 13 0.8 0.8 ±0.1 0.8 0.8 φ100 O-リング溝仕上げ 使用O-リング V100 O-リング溝詳細図 +0.1 0 4.5 (185.9) RS10 REFRIGERATOR 30゚ 30゚ (223.8) 安全弁 電源コネクター (36.8) (25.4) 343.1 12.7 55.4 バキュームチャンバーフランジ面 157.2 φ152.4 ゚ 30 SUPPLY 30 ゚ 30゚ RETURN 8-φ5.5 (φ141.3) ヘリウムガスリターン ゚ 30 (85.8) RETURN (67.5) 1段ステージ 9.5 φ76.2 0 -0.1 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) RS10 冷凍機ユニット 1段ステージ 6-M4タップ φ66.8(等配) 30゚ ヘリウムガスの流れ方向 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.8 147.7 φ152.4 φ97 O-リング溝内径φ100 F-21 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30゚ 30゚ 8-M5タップ φ141.3 13 安全弁 +0.1 0 4.5 0.8 0.8 0.8 0.8 φ100 (185.9) (36.8) (25.4) ±0.1 使用O-リング JIS B 2401 V100 O-リング溝詳細図 O-リング溝仕上げ 3相、200V 電源コネクタ 67.5 2.8 バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30 ゚ (223.8) 30゚ SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) ヘリウムガスリターン RS10T REFRIGERATOR ゚ 30 φ1 52. 4 30゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) RETURN F-22 55.4 343.1 12.7 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 157.2 バキュームチャンバーフランジ面 1段ステージ 9.5 φ76.2 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ 30゚ 3-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ69.7(等配) RS10T 冷凍機ユニット 1段ステージ φ66.8(等配) 6-M4タップ 外径寸法図 147.7 φ152.4 φ97 O-リング溝内径φ100 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30゚ 8-M5タップ (φ141.3) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30゚ 13 安全弁 (271.3) 30゚ 30 ゚ 電源コネクター 195.2 ゚ 30 SUPPLY 8-φ5.7 (φ141.3) 30゚ (85.8) ゚ 30 RETURN (67.5) ±0.1 0.8 0.8 φ114.5 55.4 12.7 O-リング溝詳細図 182 O-リング溝詳細図 0.8 0.8 ±0.1 φ115 使用O-リング G115 O-リング溝仕上げ +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 367.9 (36.8) (25.4) 0.8 O-リング溝仕上げ 使用O-リングAS568-157 +0.12 0 3 (185.9) REFRIGERATOR 0.8 ヘリウムガスの流れ方向 0.8 ヘリウムガスリターン RETURN RS50 0 -0.12 φ152.4 0.8 6.5 1段ステージ φ89 0 -0.1 SUPPLY ヘリウムガスサプライ 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ RS50 冷凍機ユニット 22.5゚ 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 F-23 30゚ 8-M5タップ (φ141.3) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 30゚ 30゚ ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED ゚ 30 SUPPLY 30 ゚ 13 安全弁 3相、200V 電源コネクタ ±0.1 使用O-リングAS568-157 0.8 182 ±0.1 0.8 φ115 I.D. 使用O-リング G115 O-リング溝仕上げ +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 367.9 φ114.5 I.D. 55.4 12.7 O-リング溝仕上げ +0.12 0 3 (185.9) (36.8) (25.4) 0.8 67.5 0.8 ヘリウムガスリターン (223.8) 8-φ5.7 (φ141.3) (85.8) 30゚ (67.5) ゚ 30 RETURN ヘリウムガスサプライ 147.7 0 -0.12 RETURN RS50T REFRIGERATOR 0.8 SUPPLY F-24 φ152.4 0.8 6.5 1段ステージ φ89 0 -0.1 ヘリウムガスの流れ方向 8-M4タップ φ79(等配) 1段ステージ RS50T 冷凍機ユニット 4-φ3.5 φ6-90°皿モミ φ79(等配) 22.5゚ 外径寸法図 2.2 2 φ152.4 φ101 O-リング溝内径 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30 ゚ 30゚ 30゚ 8-M5タップ(下穴深さ9.6) (φ141.3) 安全弁 電源コネクタ 13 入力電源3相、200V 0.8 ヘリウムガスサプライ 12.7 ±0.1 182 0.8 ±0.1 φ115 使用O-リングG115 O-リング溝詳細図 +0.1 0 3.6 バキュームチャンバーフランジ面 367.9 φ114.5 55.74 使用O-リングAS568-157 O-リング溝詳細図 +0.12 0 3 (185.9) (36.8)(25.4) 0.8 (129.6) 1段ステージ 12 12-M4タップ φ100.6(等配) 1段ステージ RS80T 冷凍機ユニット 30゚ バキュームチャンバーフランジ(推奨) 30 ゚ 8-φ5.5 (φ141.3) 30゚ SUPPLY (281.5) 0.8 ヘリウムガスリターン 195.2 ゚ 30 30゚ 88.2 ゚ 30 RETURN (71.5) RETURN (271.3) 0.8 SUPPLY RS80 REFRIGERATOR 0 -0.12 φ152.4 0 -0.1 φ108.8 0.8 ヘリウムガス流れ方向 冷凍機ユニット 取扱説明書 2.2 2 φ152.4 φ110 O-リング溝内径 F-25 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 30 ゚ 30 ゚ 安全弁 8-M5タップ(下穴深さ9.6) (φ141.3) バキュームチャンバーフランジ(推奨) 3 0゚ 30゚ 30゚ 8-φ5.5 (φ141.3) 13 3相、200V 67.5 90 ±0.1 0.8 φ114.5 使用O-リングAS568-157 O-リング溝詳細図 +0.12 0 3 (177.8) (35.2) (27.0) 402.1 12.7 +0.1 0 ±0.1 0.8 φ115 使用O-リングG115 O-リング溝詳細図 3.6 224.3 バキュームチャンバーフランジ面 ヘリウムガスサプライ 0.8 電源コネクター (264.7) ゚ 30 30゚ 88.2 ゚ (70.3) 30 SUPPLY (281.5) 0.8 (319.8) 0.8 ヘリウムガス流れ方向 φ152.4 0 -0.12 RS150T REFRIGERATOR 0.8 20 1段ステージ φ108.8 0 -0.1 SUPPLY RETURN F-26 RETURN ヘリウムガスリターン RS150T 冷凍機ユニット 12-M4タップ、ネジ深さ10 φ100.6(等配) 1段ステージ 外径寸法図 2.2 2 φ152.4 φ110 O-リング溝内径