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50 37 21.5 −0.02 0 12.3 50 φ22 21.5 12 21.3 37 −0.02 21.5 φ20 0 −0.013 φ6 (11.5) 141.4 21.3 179.9 98.9 122.4 ケーブル長 2.5m φ4.8 12.3 空気圧押出しタイプ DK830SR DK830SLR DK830SVR 測定範囲 0.1 µm (0.5 µm分解能も特殊仕様として選択可能) 精度 (20 ℃にて) 測定力 (20 ℃にて) 1.3 µm 1.7 µm 空気圧0.07MPaの時 全方位1.9N以下 空気圧0.09MPaの時 全方位2.6N以下 スピンドル駆動方式 摺動回数 ※1 保護等級 ※2 バネ押し出し 空気圧押出し 6000万回 3000万回 IP53 IP53/IP67 ※3 防滴タイプ DK25NLR5 DK25PLR5 4.9 N以下 上方位:0.4±0.3 N 横方位:0.7±0.35 N 下方位:1±0.4 N 4.9 N以下 IP50 IP64 上方位:0.4±0.3 N 横方位:0.7±0.35 N 下方位:1±0.4 N 250 m/min 上記最大応答速度と同じ A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力(EIA-422に準拠) バネ押し出し IP50 IP64 IP50 耐振動 10〜2000 Hz 150 m/s2 耐衝撃 1500 m/s2 11 ms 20~2000 Hz 100 m/s2 1000 m/s2 11 ms 使用温度範囲 0〜50 ℃ 使用温度範囲 0° C〜50 ° C 保存温度範囲 −20〜60 ℃ 保存温度範囲 −20 ° C〜60 ° C 電源電圧 DC 5 V±5 % 電源電圧 DC +5 V ±5 % 消費電力 消費電力 1W 出力ケーブル長 質量 ※2 約80 g 出力ケーブル長 IP64 1W 約230 g 約300 g 2.4 m 2.4 m 測定子 超硬合金球面付 取付ねじM2.5 測定子 超硬合金球面付 取付ねじM2.5 付属品 取扱説明書 +P M4×5ねじ2本 付属品 取扱説明書 +P M4×5ねじ2本 ※ 1 当社規定の評価方法による ※ 2 インターポレーションボックスとコネクタ部を除く 4.9 N以下 スピンドル移動1 mmの位置 耐衝撃 約70 g φ4.8 標準タイプ DK25PR5 耐振動 質量 ※4 φ20 −0.02 −0.07 φ20 (ステム) φ4.8 φ20 −0.02 −0.07 φ6 防滴タイプ 2 µm 上方位:0.3±0.25 N 横方位:0.6±0.3 N 下方位:0.8±0.35 N スピンドル駆動方式 保護等級 ※1 標準タイプ DK25NR5 25 mm 出力 A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠) 21.5 98.9 122.4 0.5 µm 精度 (20 ℃にて) 測定力 (20 ℃にて) 21.3 10 mm 原点応答速度 上記最大応答速度と同じ 出力 DK10PLR5 原点位置 スピンドル移動1 mmの位置 原点応答速度 防滴タイプ DK10PR5 最大応答速度 80 m/min 原点位置 標準タイプ DK10NR5 最高分解能 上方位:0.5±0.35 N 横方位:0.6±0.35 N 下方位:0.7±0.35 N 最大応答速度 12 179.9 測定範囲 30 mm 最高分解能 機種名 21.5 LY LY ライトアングルタイプ φ20 0 −0.013 (ステム) φ6 主な仕様 ストレートタイプ (11.5) 141.4 ケーブル長 2.5m LT LT 主な仕様 33.8 ケーブル長 2.5m 単位:mm MG MG 12 (26.5) 機種名 ※取付時は、ステム部をクランプしてください。 DK10/25 0 −0.013 DK830S ※ 1 インターポレーションボックスとコネクタ部を除く ※ 2 ケーブル部およびインターポレーションボックスを除く ※ 3 ベローズセット(別売アクセサリ)装着時 ※ 4 ケーブル部およびインターポレーションボックスを除く 14 9 −0.02 φ20 −0.013 50 37 21.5 φ4.8 φ4.8 φ20 −0.02 −0.07 φ20 −0.02 −0.07 (ステム) 26.3 21.5 ※取付時は、ステム部をクランプしてください。 (ステム) φ6 50 37 21.5 φ4.8 −0.02 φ20 −0.07 (ステム) −0.02 12 0 21.5 ケーブル長 2.5m ケーブル長 2.5m 33.8 φ20 −0.07 単位:mm 141.4 φ22 179.9 50 12 (26.5) 121.5 95.2 33.8 (11.5) 12 (26.5) 33.8 37 10.2 (ステム) φ6 12 (26.5) φ6 26.3 160 ケーブル長 2.5m φ4.8 (11.5) 79 12 52.7 21.3 適用チューブ経 ø4 φ6 DK25NLR5/PLR5 U U ※取付時は、ステム部をクランプしてください。 出力 DK25NR5/PR5 RS-232C 合否判定 0 0 24.3 17.9 ø13.6 ø8 ※取付時は、ステム部をクランプしてください。 102.5 34.1 φ8 −0.009 DT(MT) 138.7 ø4.8 出力 ケーブル長 2.5m DT(MT) (ステム) 45.7 8.6 出力 BCD 33.8 φ4.8 12.3 21.5 I/O出力 φ22 12.3 出力 出力 RS-232C 合否判定 12.3 154.5 26.3 φ22 (ステム) 出力 BCD 12 (26.5) 26.3121.5 95.2 33.8 φ20−0.07 0 φ20 −0.013 通信 I/O出力 CC-Link 21.5 160 0 φ6 φ20 −0.013 (ステム) 0 φ20 −0.013 通信 Ethernet 12 98.9 122.4 φ22 通信 出力 出力 出力 I/O出力 CC-Link BCD RS-232C 合否判定 ※取付時は、ステム部をクランプしてください。 16 102.5 (11.5) 79 12 52.7 21.3 12 (26.5) ケーブル長 2.5m ストローク ストローク ストローク 出力 出力 出力 BCD RS-232C 110mm 155mm 合否判定 205mm φ4.8 100mm φ20 −0.02 −0.07 出力 出力 RS-232C 合否判定 ø12 ø8 ø4 出力 BCD ストローク I/O出力 0 通信 A/B出力 Ethernet MT接続時 ※取付時は、ステム部をクランプしてください。 I/O出力 DK10PLR5 ストローク ストローク ストローク 出力 A/B出力 102.5 A/B相 30mm MT接続時 50mm 10mm 25mm 12mm (11.5) 32mm 60mm 79 12 52.7 26.3 21.3 ストローク ストローク 通信 通信 出力 A/B出力 (11.5) Ethernet CC-Link21.3 A/B相 60mm MT接続時 32mm 出力 A/B相 ※写真は DK10NR5/PR5R です。 ストローク φ20 −0.013 DK830SVR ケーブル長 2m ストローク φ20−0.013 10.2 ※取付時は、ステム部をクランプしてください。 21.5 ストローク ストローク φ6 141.4 179.9 ストローク 50 33.8 ストローク 12mm ストローク 155mm 205mm 37 169.7 12 (26.5) ø4.8 ケーブル長 2.5m ストローク ストローク 5mm ストローク 通信 ストローク 21.5 0 φ8 −0.009 ø4.8 (28) 110 101 ストローク 通信 φ20 −0.02 −0.07 45.7 ストローク DK DK 出力 出力 RS-232C 合否判定 ケーブル長 0.3m ストローク DK10NR5/PR5 φ4.8 39.6 ストローク Ethernet 100mm CC-Link 110mm 155mm 205mm 10mm φ32 25mm 12mm 32mm 30mm 60mm 50mm φ4.8 出力 BCD 2-ø4.5穴 ストローク 12mm 32mm 60mm φ20 0 −0.013 (ステム) 通信 I/O出力 CC-Link ø4.8 17.4 φ8 −0.009 0 通信 Ethernet 厚さ:t=15.2mm ストローク ステム 5mm φ20 ストローク DKS DKS 通信 通信 出力 出力 A/B出力 Ethernet CC-Link RS-232C MT接続時 合否判定 ストローク ステム φ20 −0.07 0 φ20−0.013 185.5 CC-Link 32mm A/B相 60mm MT接続時 12mm 出力 A/B相 BCD ステム −0.02 ストローク A/B出力 155mm 205mm 10mm φ32 25mm 5µm ストローク ストローク ストローク ストローク 出力 A/B出力 ケーブル長 2.5m 12.3 A/B相 MT接続時 100mm 110mm 30mm 50mm φ4.8 φ20−0.07 ストローク 出力 ストローク φ6 45.7 ストローク ストローク φ6 ストローク 通信 39.6 ø8.2 ø12 ø8 ø4 10mm 12mm 25mm 32mm 30mm 60mm ストローク ストローク ストローク 出力 出力 出力 BCD RS-232C 50mm 100mm 合否判定 110mm 109.9 17 (ステム) ストローク 195.2 ストローク I/O出力 5mm φ20 1µm ストローク ステム 分解能 φ8 DK830SLR ø12 ø8 ø4 ストローク (ステム) 通信 Ethernet ストローク A/B出力 MT接続時 5mm 12.3 ストローク 50mm 100mm 110mm 155mm 205mm ø4.8 DK830SR ストローク ストローク ステム 分解能 φ8 0.1µm 0.5µm ストロークφ22 ストローク φ32 5µm (ステム) ストローク ステム 分解能 0 ストローク 分解能 φ20 1µm φ20 −0.013 ストローク ステム 分解能 (ステム) ストローク ストローク 通信 通信 Ethernet 30mm CC-Link 25mm 110mm 155mm 205mm ストローク ステム 分解能 φ20 0 −0.013 ストローク ステム ※写真は DK830SR です。 ステム 分解能 ストローク 10mm 25mm 30mm 50mm 100mm 110mm 155mm 205mm 分解能 φ8 0.1µm 0.5µm φ6 ストローク φ32 ストローク 5mm 5µm 1µm φ6 ストローク ステム φ20 −0.02 ストローク ステム 121.5 95.2 26.3 ストローク ストローク 分解能 分解能 φ20−0.07 ストローク ストローク ステム 分解能 出力 A/B出力 A/B相 MT接続時 50mm φ32 100mm 5µm DK DK10/25 φ8 (ステム) ストローク ステム 分解能 φ32 0.5µm 12mm 0.1µm 1µm 32mm 5µm 60mm φ22 5µm φ6 ストローク 0.1µm 0.5µm 0 ストローク 分解能 12 (26.5) 分解能 分解能 33.8 26.3 φ20−0.013 ストローク 分解能 5mm φ8 φ20 10mm φ32 12mm 32mm 60mm 出力 A/B相 ストローク (ステム) ステム ストローク ストローク 分解能 1µm φ6 ステム ストローク ストローク 50 ストローク ストローク 37 10mm 25mm 30mm φ8 φ20 0.1µm 0.5µm 1µm 分解能 21.5 ストローク ステム 分解能 ストローク φ4.8 5mm ストローク 分解能 ストローク 10mm 25mm 30mm 50mm 100mm 110mm 155mm 205mm 5µm ストローク φ20 −0.02 −0.07 分解能 φ20 5mm ストローク (11.5) 79 12 52.7 21.3 φ4.8 ステム 分解能 1µm ストローク ステム 160 102.5 23 17.9 ステム 0.1µm 0.5µm φ32 24.3 ストローク ステム φ20 −0.02 分解能 ステム 分解能 0.1µm 0.5µm φ20−0.07 分解能 I/O出力 分解能 5µm (ステム) 分解能 φ8 分解能 φ20 0 −0.013 (ステム) ø13.6 φ8 ステム 1µm DK DK830S ステム 分解能 分解能 φ20−0.013 分解能 φ6 分解能 0.1µm 0.5µm 15