Download クリーンルーム内ハンドリングロボット MOTOMAN

クリーンルーム内ハンドリングロボット
MOTOMAN-MCL, MFL
シリーズ
EM E N T S YS
QUALITY SYSTEM
QMS Accreditation
R009
AG
TI FIED
M
ER
TE
C
M
MAN
AG
TI FIED
TE
C
ER
MAN
品質及び環境マネージメント
システムの国際規格 ISO9001,
ISO14001を取得しています。
EM EN T S YS
ENVIRONMENTAL
SYSTEM
JQA-0813 JQA-EM0924
大形・重量物ワークを高速搬送
クリーンルーム内作業の自動化・生産性向上を実現します。
MOTOMAN-MCL シリーズ
6 軸 垂直多関節形
搬送物の反転や傾斜移載など，自由な姿勢変換が可能
・豊富な機種をラインアップ
・広い動作範囲で，大形・重量物ワークを高速搬送
MCL series
MCL50
MCL130
MCL165-100
MCL165
50
130
100
165
水平リーチ mm
最小 R500 ／最大 R2046
最小 R729 ／最大 R2650
最小 R950 ／最大 R3001
最小 R729 ／最大 R2650
垂直リーチ mm
（床面より）
2441
3130
3480
3130
MOTOMAN可搬質量
kg
詳細は P.4 へ
詳細は P.5 へ
詳細は P.6 へ
詳細は P.7 へ
水平多関節形ロボットの特長
1 フレキシブルなレイアウトを省スペースで実現
3 大型ガラス基板搬送に対応する，各種機能を搭載
ロボット全体がガラス基板の旋回半径内に収まります。
さらに，広い上下動作範囲と低パスライン，長い引き抜きストローク
が確保でき，多段配置カセットへの最適なレイアウトが可能です。
●ARM（Advanced Robot Motion）制御
ARM 制御の導入により，高速・高精度搬送が可能で，高スループット
を実現します。
210
L
°
振動（蛇行）のない取り出し動作の実現
→製品品質の確保
高精度軌跡制御，振動抑制制御，非干渉化制御
・直進追従性の向上
・動作中の振動抑制
220
21
5
12
5
R
1675
220
S
MFL2200D の場合：
前後有効ストローク
±1675mm を実現
°
旋回軸 (S軸)回転中心
1675
ARM 制御
2 高クリーン度の維持で，ランニングコストを低減
ロボットの駆動軸をすべて高信頼性の密封構造の回転系で構成して
おり，高クリーン度を確保・維持することができます。内部エアの排
気ファンやフィルタなどが不要になり，メンテナンスが容易でランニ
ングコストの低減に貢献します。
2
ロボット過負荷の検出
→安全性の確保
衝突検出機能
・ロボット周辺機器への
衝突を検出し，被害を緩和
高速搬送の実現→スループットの向上
最適加減速制御
・ガラス把持時は低加速
・ガラス無し時は高加速
・ロボット姿勢にあった加減速度
自動設定
残留振動の抑制→スループットの向上
振動抑制制御
・停止時の残留振動を瞬時に抑えます。
MOTOMAN-MFL シリーズ
4 軸 水平多関節形
クリーンルーム内の水平搬送用途で，最適システムを実現
・第 6, 7 世代液晶基板に対応
・旋回半径が小さく，省スペースレイアウトが可能
・広い上下動作範囲と低パスラインを実現
MFL series
MOTOMAN-
MFL2200D -1840/-2440/-2650
MFL2400D -1800/-2400
50/ アーム（シングルアームも準備しています）
80/ アーム（シングルアームも準備しています）
±1675
±2240
kg
可搬質量
前後有効ストローク mm
1840/2440/2650 の 3 種類を準備
mm
上下軸動作範囲
1800/2400 の 2 種類を準備
詳細は P.9 へ
詳細は P.8 へ
●アライメント補正機能（オプション）
・アライメント専用の装置が不要です。
・非接触検出のため，ガラスを傷つけずに位置補正ができます。
カセット
▶
ガラス
基板
▶
▶
●マッピング機能（オプション）
・カセットの下段から上段を高速検出。ガラス基板のない段は取り
出し動作をスキップし，サイクルタイムの短縮が可能です。
・上位計算機器へのインタフェースを取り揃えており，高速通信が
可能です。
▶
ガラス吸着ハンド
センサ
（固定）
センサ
走行台車
X方向
Y方向
待機位置
カセット内へ
ハンド進入
アライメント補正
ハンド上昇
カセットと平行に
ガラスを回転
ガラス引き抜き
Y方向補正量
計測
ガラス吸着確認
進入動作速度100%で
センシング可能！
( 注 ) 走行台車が必要です。
ガラス無し
カラス持ち上げ
取り出し動作
センサにより，ガラスの傾きと
X 方向のズレを高速で算出！
瞬時に補正動作を行います！
スキップ
16
15
14
13
12
11
10
9
8
7
6
5
4
3
2
1
OUT信号表示画面
ガラス搬送ロボット
マッピング用センサ
サーチ動作
( 注 ) マッピング用センサが必要です。
高速検出が
可能！
待機位置
汎用出力
信号
DOUT#1
DOUT#2
DOUT#3
DOUT#4
DOUT#5
DOUT#6
DOUT#7
DOUT#8
DOUT#9
DOUT#10
DOUT#11
DOUT#12
DOUT#13
DOUT#14
DOUT#15
DOUT#16
●
●
○
○
●
●
●
○
○
●
●
●
●
●
●
●
3
MOTOMAN-MCL50
6 軸 垂直多関節形，可搬質量 50kg
動作範囲の広い重量物ハンドリングを実現
自由度が高く動作範囲が広い (R2046mm) ため，重量物ハンドリング作
業に最適です。
省スペース化が可能
クリーン度
ロボットの干渉範囲が狭い (R370mm) ため，省スペースで自由なシステ
ムレイアウトが実現でき , クリーンルームを有効に利用できます。
5
: P 点動作範囲
.D
P.C
7
280
4-M8 深さ : 15
10
ϕ 8H7 深さ : 14
50
R2046
715
180°
6-M8 深さ : 14
ϕ 6H7 深さ : 10
.80
42
0
180°
40
7
R3
ϕ 50H7
ϕ 100h6
外形寸法及び動作範囲 単位 : mm
R5
00
ISO クラス
矢視 A
120
装備ケーブルコネクタ
JL05-2A24-28PC-F0 (キャップ付き)
相手側コネクタ JL05-6A24-28S-F0を
ご準備ください。
2441
° U
R
ロボット内気吸引用ポート (外径：34mm)
(ロボット機内吸引用に内径 ϕ 34mmの
エアダクトをご準備ください。)
S
10
195±0.2
488
529
195±0.2
160°
2046
243
427
499
795
785
663
177
164
0
1106
1756
2-ϕ 12H7
0
455
C
327
65° 30
B
矢視 B
230±0.2
°
0°
895
385
320
90
40°
L
135
540
エア入口A
PT1/8タップ
カバープラグ付き
A
°
1658
870
B T
P点
6°
20
78
0
エア入口B
PT1/8タップ
カバープラグ付き
175
230
400
8-ϕ 22
195±0.2
232
455
195±0.2
77
1025
3547
1413
145
52
110 138
156
230±0.2
687
3802
矢視 C
マニピュレータ標準仕様
名 称
形 式
構 造
可搬質量
繰り返し位置決め精度 *1
動作範囲
最大速度
4
S
L
U
R
B
T
S
L
U
R
B
T
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
MOTOMAN-MCL50
YR-MCL0050-A00
垂直多関節形 (6 自由度 )
50 kg
±0.07 mm
−180˚∼ +180˚
−90˚ ∼ +135˚
−160˚∼ +260˚
−360˚∼ +360˚
−125˚∼ +125˚
−360˚∼ +360˚
2.97 rad/s, 170˚/s
2.97 rad/s, 170˚/s
2.97 rad/s, 170˚/s
3.49 rad/s, 200˚/s
3.32 rad/s, 190˚/s
4.36 rad/s, 250˚/s
許容
モーメント
許容慣性
モーメント
(GD2/4)
R
B
T
R
B
T
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
標準塗装色
本体質量
クリーン度 *2
温 度
湿 度
設置環境
振 動
196 Nxm
196 Nxm
127 Nxm
13 kgxm2
13 kgxm2
5.5 kgxm2
マンセル値 N9.5 相当
550 kg
ISO クラス 5
+15∼ +35˚C
20∼80%RH ( 結露のないこと )
4.9 m/s2 以下
引火性及び腐食性ガス・液体がないこと
その他
水などがかからないこと
電気的ノイズ源が近くにないこと
電 源 容 量*3
JIS B 8432 に準拠しています。
*12 :: クリーン度は
ISO-14644 に準拠しています。ただし，風速 0.4m/s 以上のダウンフローのある環境下でロボット機内を吸収した場合とします。
*3 : 用途，動作パターンにより異なります。
*
( 注 ) 本表は SI 単位系で記載しています。
4.5 kVA
MOTOMAN-MCL130
6 軸 垂直多関節形，可搬質量 130kg
自由度の高いハンドリングを実現
可搬質量 130kg の 6 軸垂直多関節形ロボットで，重量物の方向を自在に
変えながら，高速ハンドリングできます。
広い動作範囲でシステムのレイアウトが容易
クリーン度
ISO クラス
最大リーチ R2650mm，最大高さ 3130mm の広い動作範囲で重量物を
搬送することができ，自在なシステムレイアウトに対応します。
6
: P 点動作範囲
外形寸法及び動作範囲 単位 : mm
8
200
ϕ 160h6
60
5
100
160
エア入口A
PT3/8タップ
カバープラグ付き
4611
2650
エア入口B
PT3/8タップ
カバープラグ付き
3130
320±0.1
8- ϕ 22
50
730
561
401
130
°
六角穴付きボルト
4-M12 深さ：25
51
0
242
540
640
365±0.1
855
1401
523
597
696
727
729
100
1414
1336
C
S
ϕ 12H7
1105
365±0.1
80
B
矢視 B
°
25
86
0
730
95
222
0
JL05-6A24-28Sを
ロボット内気吸引用ポートA
(外径：34mm)
（ロボット機内吸引用に内径
ϕ 34mmのエアダクトを
ご準備ください。）
ご準備ください。
20.8°
°
730
L
相手側コネクタ
A
P点
36
90°
.2°85
76
°
60
2069
1305
B T
R
JL05-2A24-28PC
(キャップ付き)
69
1150
U
装備ケーブルコネクタ
230
725
189
1250
85
285
2388
ロボット内気吸引用ポートB
PT1/8タップ
カバ−プラグ付き
320±0.1
1961
矢視 A
640
540
R7
2
9
150°
126
R2650
六角穴付きボルト
4-M8 深さ：15
6-M10 深さ : 12
6-M10 深さ : 12
62.5
46
六角穴付きボルト
8-M8 深さ：15
R525
2-ϕ 10H7 深さ : 8
2-ϕ 9H7 深さ : 8
25
.1
.D
C
.
P
92
P.C.D.
62.5
46
ϕ 63H7
552.5
60
150°
矢視 C
マニピュレータ標準仕様
名 称
形 式
構 造
可搬質量
繰り返し位置決め精度 *1
動作範囲
最大速度
*
*
*
S
L
U
R
B
T
S
L
U
R
B
T
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
MOTOMAN-MCL130
YR-MCL0130-A00
垂直多関節形 (6 自由度 )
130 kg
±0.2 mm
−150˚∼ +150˚
−60˚ ∼ +76˚
−130˚∼ +240˚
−360˚∼ +360˚
−130˚∼ +130˚
−360˚∼ +360˚
2.27 rad/s, 130˚/s
2.27 rad/s, 130˚/s
2.27 rad/s, 130˚/s
3.75 rad/s, 215˚/s
3.14 rad/s, 180˚/s
5.24 rad/s, 300˚/s
許容
モーメント
許容慣性
モーメント
(GD2/4)
R
B
T
R
B
T
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
標準塗装色
本体質量
クリーン度 *2
温 度
湿 度
振 動
735 Nxm
735 Nxm
421 Nxm
45 kgxm2
45 kgxm2
15 kgxm2
マンセル値 N9.5 相当
1300 kg
ISO クラス 6
+15∼ +35˚C
20∼80%RH ( 結露のないこと )
4.9 m/s2 以下
引火性及び腐食性ガス・液体がないこと
設置環境
その他
水などがかからないこと
電気的ノイズ源が近くにないこと
ロボット据え付け面の平面度は 0.5mm 以下のこと
電 源 容 量*3
1 : JIS B 8432 に準拠しています。
2 : クリーン度は ISO-14644 に準拠しています。ただし，風速 0.4m/s 以上のダウンフローのある環境下でロボット機内を吸収した場合とします。
3 : 用途，動作パターンにより異なります。
( 注 ) 本表は SI 単位系で記載しています。
5.5 kVA
5
MOTOMAN-MCL165-100
6 軸 垂直多関節形，可搬質量 100kg
広い動作範囲で重量物ハンドリングを実現
可搬質量 100kg で動作範囲が広い (R3001mm) ため，重量物ハンドリン
グ作業，自動化がしやすく，作業効率を向上します。
クリーン度
ISO クラス
6
: P 点動作範囲
8
62.5
5
12
D.
.
P.C
.92
P.C.D
6-M10 深さ : 12
6-M10 深さ : 12
R300
1
275
矢視 A
160
エア入口 A
ＰＴ3/8 タップ
カバープラグ付き
150°
5312
285
2311
46
100
5
552.5 275
2-ϕ 9H7 深さ : 8
ϕ 160h6
60
60
5
R9
5
0
2
R5
六角穴付きボルト
12-M8 深さ : 15
126
2-ϕ 10H7
深さ : 8
ϕ 63H7
六角穴付きボルト
4-M8 深さ : 15
46
150°
62.5
外形寸法及び動作範囲 単位 : mm
エア入口 B
ＰＴ3/8 タップ
カバープラグ付き
2716
ロボット内気吸引用
ポート B
PT1/8 タップ
カバ−プラグ付き
3480
装備ケーブルコネクタ
L
8- ϕ 22
1049
°
130
730
384
50
730
°
36
S
B
P点
20.8°
730
0
81
°
JL05-6A24-28S を
ご準備ください。
320±0.1
725
365±0.1
640
540
76
°
相手側コネクタ
230
T
A
矢視 B
85
69
.2 °
2069
1150
60
90°
B
R
0
217
C
540
640
365±0.1
855
1401
853
950
0
89
372
592
1685
1511
ϕ 12H7
320±0.1
1600
85
285
U
1305
ロボット内気吸引用
ポート A ( 外径 : 34mm)
( ロボット機内吸引用に
内径 ϕ 34mm の
エアダクトをご準備ください。)
JL05-2A24-28PC
( キャップ付き )
189
2691
矢視 C
マニピュレータ標準仕様
名 称
形 式
構 造
可搬質量
繰り返し位置決め精度 *1
動作範囲
最大速度
6
*
*
*
S
L
U
R
B
T
S
L
U
R
B
T
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
MOTOMAN-MCL165-100
YR-MCL0165-A10
垂直多関節形 (6 自由度 )
100 kg
±0.3 mm
−150˚∼ +150˚
−60˚ ∼ +76˚
−130˚∼ +240˚
−360˚∼ +360˚
−130˚∼ +130˚
−360˚∼ +360˚
1.92 rad/s, 110˚/s
1.92 rad/s, 110˚/s
1.92 rad/s, 110˚/s
3.05 rad/s, 175˚/s
2.53 rad/s, 145˚/s
4.19 rad/s, 240˚/s
許容
モーメント
許容慣性
モーメント
(GD2/4)
R
B
T
R
B
T
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
標準塗装色
本体質量
クリーン度 *2
温 度
湿 度
振 動
設置環境
引火性及び腐食性ガス・液体がないこと
その他
電 源 容 量*3
833 Nxm
833 Nxm
490 Nxm
75 kgxm2
75 kgxm2
25 kgxm2
マンセル値 N9.5 相当
1325 kg
ISO クラス 6
+15∼+35˚C
20∼80%RH ( 結露のないこと )
4.9 m/s2 以下
水などがかからないこと
電気的ノイズ源が近くにないこと
ロボット据え付け面の平面度は 0.5mm 以下のこと
1 : JIS B 8432 に準拠しています。
2 : クリーン度は ISO-14644 に準拠しています。ただし，風速 0.4m/s 以上のダウンフローのある環境下でロボット機内を吸引した場合とします。
3 : 用途，動作パターンにより異なります。
( 注 ) 本表は SI 単位系で記載しています。
6.0 kVA
MOTOMAN-MCL165
6 軸 垂直多関節形，可搬質量 165kg
大形・重量物の搬送に最適
重量物ハンドリング作業に最適な可搬質量 165kg のロボットです。また，
最大リーチ R2650mm，最大高さ 3130mm の広い動作範囲で重量物を
搬送することができ，自在なシステムレイアウトに対応します。
クリーン度
ISO クラス
6
: P 点動作範囲
外形寸法及び動作範囲 単位 : mm
8
62.5
46
60
5
6-M10 深さ : 12
6-M10 深さ : 12
矢視 A
R26
50
150°
R7
29
5
12
D.
.
P.C
.92
P.C.D
46
六角穴付きボルト
8-M8 深さ：15
R525
エア入口 A
ＰＴ3/8 タップ
カバープラグ付き
エア入口 B
ＰＴ3/8 タップ
カバープラグ付き
4611
1961
2-ϕ 9H7 深さ : 8
ϕ 160h6
200
62.5
552.5
2-ϕ 10H7
深さ : 8
ϕ 63H7
150°
ロボット内気吸引用
ポート B
PT1/8 タップ
カバ−プラグ付き
2650
3130
装備ケーブルコネクタ
P点
0°
13
50
8- ϕ 22
320±0.1
730
561
401
51
0
242
ϕ 12H7
540
640
365±0.1
855
1401
523
597
696
727
729
86
0
C
1414
1336
JL05-6A24-28S を
ご準備ください。
A
1105
S
B
相手側コネクタ
320±0.1
1150
730
222
0
90°
°
°
730
76
°
60
20.8°
L
T
矢視 B
36
2069
1305
B
R
85
69
.2 °
U
ロボット内気吸引用
ポート A ( 外径 : 34mm)
( ロボット機内吸引用に
内径 ϕ 34mm の
エアダクトをご準備ください。)
JL05-2A24-28PC
( キャップ付き )
230
725
365±0.1
640
540
189
2388
1250
85
285
矢視 C
マニピュレータ標準仕様
名 称
形 式
構 造
可搬質量
繰り返し位置決め精度 *1
動作範囲
最大速度
*
*
*
S
L
U
R
B
T
S
L
U
R
B
T
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 旋回 )
軸 ( 下腕 )
軸 ( 上腕 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
MOTOMAN-MCL165
YR-MCL0165-A00
垂直多関節形 (6 自由度 )
165 kg
±0.2 mm
−150˚∼ +150˚
−60˚ ∼ +76˚
−130˚∼ +240˚
−360˚∼ +360˚
−130˚∼ +130˚
−360˚∼ +360˚
1.92 rad/s, 110˚/s
1.92 rad/s, 110˚/s
1.92 rad/s, 110˚/s
3.05 rad/s, 175˚/s
2.53 rad/s, 145˚/s
4.19 rad/s, 240˚/s
許容
モーメント
許容慣性
モーメント
(GD2/4)
R
B
T
R
B
T
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
軸 ( 手首旋回 )
軸 ( 手首振り )
軸 ( 手首回転 )
標準塗装色
本体質量
クリーン度 *2
温 度
湿 度
振 動
設置環境
引火性及び腐食性ガス・液体がないこと
その他
電 源 容 量*3
883 Nxm
883 Nxm
490 Nxm
51.25 kgxm2
51.25 kgxm2
15 kgxm2
マンセル値 N9.5 相当
1300 kg
ISO クラス 6
+15∼+35˚C
20∼80%RH ( 結露のないこと )
4.9 m/s2 以下
水などがかからないこと
電気的ノイズ源が近くにないこと
ロボット据え付け面の平面度は 0.5mm 以下のこと
1 : JIS B 8432 に準拠しています。
2 : クリーン度は ISO-14644 に準拠しています。ただし，風速 0.4m/s 以上のダウンフローのある環境下でロボット機内を吸引した場合とします。
3 : 用途，動作パターンにより異なります。
( 注 ) 本表は SI 単位系で記載しています。
6.0 kVA
7
MOTOMAN-MFL2200D-2650
4 軸 水平多関節形，可搬質量 50kg/ アーム
多段配置のカセットへ高速搬送を実現
第 6 世代 (1500×1850mm 級 ) の大形液晶ガラス基板に対応。
長 い 上 下 ス ト ロ ー ク (1840mm，2440mm，2650mm の 3 シ リ ー ズ )，
低パスライン，ダブルアームを活用し，多段配置カセットへ大型基板を高
速供給・搬出します。
クリーン度
ISO クラス
4
シングルアームタイプも準備しています。
: P 点動作範囲
外形寸法及び動作範囲 単位 : mm
1675
.D
D.2
13
20°
°2
35
°
35
860
ϕ 175h6
180
S軸回転センタ
335
580±0.2
580
10
（リーマ穴寸法）
29
4- ϕ 12H7
2650st
637
803
720
B
8- ϕ 9
矢視 B
(リーマ穴寸法）
A
S
55
矢視 A
2418
ϕ 229h6
169
8
11
11
8
220
旋回軸 (S軸)回転中心
169
S
8- ϕ 9
ϕ 229h6
630±0.2
5°
ϕ 175h6
5°
P.C
.
0°
13
.5°
32
12
R
.2
45°
.5°
32
21
L
8-M8 深さ : 8
45 °
8-M8 深さ : 8
P.C
225
210
220
1675
4- ϕ 18
3477
矢視 C
装備ケーブルコネクタ
JL05-2A24-28PC (キャップ付き)
相手側コネクタ JL05-6A24-28Sを
ご準備ください。
6-エア入口
PT1/8タップ
（カバープラグ付き）
U
388
827
1174
装備ケーブルコネクタ
JL05-2A24-28PCW (キャップ付き)
相手側コネクタ JL05-6A24-28SWを
ご準備ください。
D
140
C
1539
812
362
矢視 D
マニピュレータ標準仕様
名 称
形 式
構 造
可搬質量
繰り返し位置決め精度 *1
動作範囲
最大速度
許容
モーメント
*
*
*
U
S
L, R
U
S
L, R
軸 ( 上下軸 )
軸 ( 旋回軸 )
軸 ( 前後軸 )
軸 ( 上下軸 )
軸 ( 旋回軸 )
軸 ( 前後軸 )
L, R 軸 ( 前後軸 )
MOTOMAN-MFL2200D-2650
YR-MFL050D-A20
水平多関節形 (4 自由度 )
50 kg/ アーム
±0.2 mm
2650 mm
−215˚∼ +125˚
−1675 mm∼ +1675 mm
最大 1330 mm/s
3.14 rad/s, 180˚/s
最大 3250 mm/s
250 Nxm
許容慣性
モーメント
(GD2/4)
L, R 軸 ( 前後軸 )
50 kgxm2
標準塗装色
マンセル値 N9.5 相当
本体質量
約 1020 kg
クリーン度 *2
温 度
湿 度
振 動
設置環境
20∼80%RH ( 結露のないこと )
4.9 m/s2 以下
引火性及び腐食性ガス・液体がないこと
その他
電 源 容 量*3
ISO クラス 4
+15∼ +25˚C
水などがかからないこと
電気的ノイズ源が近くにないこと
ロボット据え付け面の平面度は 0.5mm 以下のこと
3.5 kVA
1 : JIS B 8432 に準拠しています。
2 : クリーン度は ISO-14644 に準拠しています。ただし，風速 0.4m/s 以上のダウンフローのある環境下においてワーク搬送面よりも上の位置とします。
3 : 用途，動作パターンにより異なります。
( 注 ) 本表は SI 単位系で記載しています。
8
MOTOMAN-MFL2400D-2400
4 軸 水平多関節形，可搬質量 80kg/ アーム
トップクラスの動作速度でスループットを向上
第 7 世代 (1870×2200mm 級 ) の大型液晶ガラス基板に対応。
最大動作速度 3600mm/s のダブルアームを活用した高速搬送，低パスラ
インと長い上下ストローク (1800mm，2400mm の 2 シリーズ ) を活用
した広い動作範囲のハンドリングの実現によって，スループット向上に
貢献します。
クリーン度
ISO クラス
4
シングルアームタイプも準備しています。
8-M8 深さ : 9
8-M8 深さ : 9
ϕ 229h6
11
S
9
193
275
ϕ 175h6
矢視 A
A
S
3150
(リ−マ穴寸法)
822
B
1150
1150
2400ST
4-M24
29
633
29 633±0.2
(リ−マ穴寸法)
690
4- ϕ 12Ｈ７
4-22キリ
矢視 C
3355
955
460
171
56
101
56
116
5°
矢視 B
1131
1047
932±0.2
12
ϕ 175h6
29 633±0.2
S軸回転センタ
(リ−マ穴寸法)
267
171
382
275
R
ϕ 229h6
(リ−マ穴寸法)
°
L
3
35° 8- ϕ 9 .21
.D
P.C
882
1047
977±0.2
215
35 °
11
旋回軸 (S軸)回転中心
193
9
260
12.5°
.5°
32
°
35
P.C
.D 8- ϕ 9
.21
3
2240
2240
12.5°3
2.5
°
35
°
: P 点動作範囲
外形寸法及び動作範囲 単位 : mm
装備ケーブルコネクタ
JL05-2A24-28PC (キャップ付き)
相手側コネクタ JL05-6A24-28Sを
U
8-エア入口
PT1/8タップ
(カバープラグ付き)
ご準備ください。
D
装備ケーブルコネクタ
C
1563
1075
1535
JL05-2A24-28PCW (キャップ付き)
相手側コネクタ JL05-6A24-28SWを
460
ご準備ください。
矢視 D
マニピュレータ標準仕様
名 称
形 式
構 造
可搬質量
繰り返し位置決め精度 *1
動作範囲
最大速度
許容
モーメント
U
S
L, R
U
S
L, R
軸 ( 上下軸 )
軸 ( 旋回軸 )
軸 ( 前後軸 )
軸 ( 上下軸 )
軸 ( 旋回軸 )
軸 ( 前後軸 )
L, R 軸 ( 前後軸 )
MOTOMAN-MFL2400D-2400
YR-MFL080D-A10
水平多関節形 (4 自由度 )
80 kg/ アーム
±0.2 mm
2400 mm
−215˚∼ +125˚
−2240 mm∼ +2240 mm
最大 1000 mm/s
3.14 rad/s, 180˚/s
最大 3600 mm/s
410 Nxm
許容慣性
モーメント
(GD2/4)
L, R 軸 ( 前後軸 )
92.5 kgxm2
標準塗装色
マンセル値 N9.5 相当
本体質量
約 1400 kg
クリーン度 *2
温 度
湿 度
振 動
設置環境
20∼80%RH ( 結露のないこと )
4.9 m/s2 以下
引火性及び腐食性ガス・液体がないこと
その他
電 源 容 量*3
ISO クラス 4
+15∼ +25˚C
水などがかからないこと
電気的ノイズ源が近くにないこと
ロボット据え付け面の平面度は 0.5mm 以下のこと
5.0 kVA
*
*
*
1 : JIS B 8432 に準拠しています。
2 : クリーン度は ISO-14644 に準拠しています。ただし，風速 0.4m/s 以上のダウンフローのある環境下においてワーク搬送面よりも上の位置とします。
3 : 用途，動作パターンにより異なります。
( 注 ) 本表は SI 単位系で記載しています。
9
ロボットコントローラ
DX100 ( クリーン仕様 )
最大 72 軸 ( ロボット 8 台 ) の制御が可能なロボットコントローラです。
命令処理速度の高速化，機能の追加及びスリム化の実現により，生産設
備の最小化と生産性向上に貢献します。
徹底的に小形・軽量化したプログラミングペンダントは，マルチウィ
ンドウ表示機能を追加し，操作性を大幅に向上しています。また，減速
機寿命診断機能やトラブルシュート機能により，メンテナンス時間を
短縮できます。
低床型
仕様
構造
外形寸法 *
縦型
機能
防塵構造
座標系選択
縦 型 : 800 ( 幅 ) ×900 ( 高さ ) ×550 ( 奥行き ) mm
関節，直交 / 円筒，ツール，ユーザーの各座標系
教示点修正
変更，追加，消去 ( ロボット軸・外部軸を独立に修正可能 )
インチング操作
可能
200kg
軌跡確認
ステップごとの前進・後退，連続送り
冷却方式
間接冷却
速度調整
マニピュレータ動作中・停止中に微調整可能
周囲温度
通電時： 0∼+25 C，保管時： −10∼+60 C
タイマ設定
最大 90% ( 結露しないこと )
0.01 秒単位で可能
便利機能
ダイレクトオープン機能，マルチウィンドウ表示，タッチパネル
三相 AC200V (+10%∼−15%) 50Hz ( 国内仕様 )
インタフェース
FC1/FC2 用 RS-232C 1 ポート，
コンパクトフラッシュカード，USB メモリ
アプリケーション
アーク溶接，スポット溶接，ハンドリング，
対応
ジグレス，汎用ほか
基本安全対策
JIS 準拠
相対湿度
電源仕様
制御盤本体
接地
入出力信号
三相 AC200/220V (+10%∼−15%) 60Hz ( 国内仕様 )
D 種 ( 接地抵抗 100Ω以下専用接地 )
専用信号： 入力 23，出力 5
汎用信号： 入力 40，出力 40
最大入出力信号 ( オプション )： 入力 2048， 出力 2048
シリアルエンコーダ
制御方式
ソフトウェアサーボ
拡張スロット
ドライブユニット
塗装色
ロボット軸： AC サーボ用 6 軸まとめドライブユニット
外部軸： オプション
ティーチロックモード
ティーチ中は，プレイバックパネル操作を許可しない
干渉監視領域
自己診断機能
S 軸干渉監視 ( 扇状 )，キューブ域干渉監視 ( ユーザー座標 )
アラーム 2 系統 ( 軽故障，重故障 )，エラーに分散して処置・表示
ユーザーアラーム
信号と内容コードの受付，表示
マシンロック
周辺機器のみのテストラン可能
ドアインタロック
保守用機能
LAN ( 上位接続 )
シリアル I/F
JOB：200,000 ステップ 10,000 ロボット命令
CIO ラダー ( 最大 )：20,000 ステップ
PCI：2個 (メインCPU)，1個 (サーボCPU)，1個 (センサ基板専用)
1 個 (10BaseT/100BaseTX)
RS-232C：1 個
メモリ容量
安全対策
位置制御方式
操作
低床型 : 600 ( 幅 ) ×550 ( 高さ ) ×1500 ( 奥行き ) mm
概略質量
マンセル記号 5Y7/1 相当
累積稼働時間表示
発生中アラームとその内容及び対策手段，アラーム経歴
入出力状態診断
模擬出力可能
ツール定数
ツール寸法の自動キャリブレーション ( 自動生成 )
プログラミング機能
プログラミング方式
メニューガイド方式
プログラミング言語
ロボット言語：INFORM
動作機能
関節動作，直線・円弧補間動作，ツール姿勢制御
速度設定機能
パーセント設定 ( 関節動作 )，0.1mm/s 設定 ( 補間動作 )，
角速度設定 ( ツール姿勢制御 )
プログラム
ジャンプ命令，コール命令，タイマ機能，ロボット停止 ( 一時休止 )，
制御命令
マニピュレータ動作中にインストラクション実行可能
作業命令
各種アプリケーションに対応した作業命令を準備
( アークオン，アークオフなど )
変数
グローバル変数，ローカル変数
変数型
バイト型，整数型，倍精度型，実数型，文字型，位置型
入出力命令
ディスクリート入出力，パターン入出力信号処理
海外対応
10
プレイバック時間，移動時間，作業時間
アラーム表示
キャリブレーション
* : 突起物は除く
MCCB 開でドアオープン可能
制御電源投入時間，サーボ電源投入時間，
CE ( オプション )
外形寸法 mm
非常停止ボタン
37
(67)
プログラミングペンダント
35
455
メイン電源
スイッチ
35
37
縦型
838
838
900
空気吸込
ケーブル引込口
(5 か所 )
25
空気吐出
固定金具
( お客様準備 )
800
35
455
525
正面図
35
25
プログラミングペンダント用
コネクタ (-X81)
側面図
低床型
プログラミングペンダント
(60)
瞬時停電保護装置
( オプション )
非常停止ボタン
プログラミングペンダント用
コネクタ (X81)
541
550
空気吸込
メイン電源
スイッチ
3-M10 タップ
( 深さ 14)
60
(70)
30
9
空気吐出
480
600
30
2-M10 タップ
( 深さ 14)
20
固定金具 ( お客様準備 )
560
875
20
固定金具 ( お客様準備 )
60
正面図
側面図
プログラミングペンダント
専用のプログラムペンダントは，アイコンや絵を多用したカラー画面
表示とタッチパネル採用により視認性と操作性に優れていますので，
立ち上げ時のデバッグ効率を飛躍的に向上できます。
仕様
概略質量
169 ( 幅 ) ×314.5 ( 高さ ) ×50 ( 厚さ ) mm
0.990kg
材質
強化プラスチック
外形寸法
選択キー，軸操作キー，数値 / アプリケーションキー，キー付き
モード切替スイッチ ( ティーチモード，プレイモード，リモート
操作キー
モード )，非常停止ボタン，イネーブルスイッチ，コンパクトフ
ラッシュカード I/F 装備 ( コンパクトフラッシュはオプション )，
ディスプレイ
保護等級
ケーブル長
USB メモリ I/F 装備
5.7 インチカラー LCD，タッチパネル 640×480 ドット
( 漢字，ひらがな，カタカナ，英数字，その他 )
IP65
標準： 8m，最大 ( オプション )： 36m ( 延長ケーブル追加 )
11
MOTOMAN-MCL, MFLシリーズ
安全上の
ご注意
正しくご使用ください。
・ ご使用の前に取扱説明書とその他の付属書類などをすべて熟読し，
一般産業用ロボット MOTOMAN
（モートマン）
です。
・ このカタログに記載の製品は，
MOTOMAN の故障や誤操作が直接人命を脅かしたり，人体に危害を及ぼすおそれがある用途に使用
する場合は，
その都度検討が必要ですので当社営業窓口までご照会ください。
・ 本資料中の適用写真は，分かりやすく説明するために安全さくなど法令法規などで定められた安全の
ための機器，
装置を取り除いて撮影しています。
また，
イラストなどはイメージを表現したものです。
製造･販売
株式会社
安川電機 ロボット事業部
北九州市八幡西区黒崎城石 2 - 1 〒806-0004 TEL（093）645-7703
FAX（093）631-8140
東部営業部
埼玉県さいたま市北区宮原町 2-77-3 〒331-0812
第一営業課
埼玉県さいたま市北区宮原町 2-77-3 〒331-0812
第二営業課
埼玉県さいたま市北区宮原町 2-77-3 〒331-0812
国際営業部
北九州市八幡西区黒崎城石 2-1 〒806-0004
第三営業課
埼玉県さいたま市北区宮原町 2-77-3 〒331-0812
欧米営業課
北九州市八幡西区黒崎城石 2-1 〒806-0004
鈴鹿出張所
鈴鹿市算所 3-16-30
ハヤカワビル 3 階 〒513-0806
アジア営業課
北九州市八幡西区黒崎城石 2-1 〒806-0004
TEL（048）871-6892 FAX（048）871-6920
塗装ロボット営業部
埼玉県さいたま市北区宮原町 2-77-3 〒331-0812
TEL（048）871-6891 FAX（048）871-6920
TEL（048）871-6893 FAX（048）871-6920
TEL（048）871-6894 FAX（048）871-6920
TEL（048）871-6895 FAX（048）871-6920
TEL （059）370-3223 FAX（059）370-3225
新 規 ロボット 埼玉県さいたま市北区宮原町 2-77-3 〒331-0812
営 業 推 進 課 TEL（048）871-6896 FAX（048）871-6920
中部営業部
豊田市柿本町 5-2-4 〒471-0855
第一営業課
豊田市柿本町 5-2-4 〒471-0855
第二営業課
名古屋市中村区名駅 3-25-9 堀内ビル 9 階 〒450-0002
第三営業課
TEL（0565）27-8901 FAX（0565）27-8904
西部営業部
大阪市北区堂島 2-4-27 新藤田ビル 4 階 〒530-0003
大阪営業課
大阪市北区堂島 2-4-27 新藤田ビル 4 階 〒530-0003
広島営業課
広島市西区横川町 2-7-19
横川メディカルプラザ 6 階 〒733-0011
TEL （093）645-7745 FAX（093）645-7746
北九州市八幡西区黒崎城石 2-1 〒806-0004
TEL（093）645-7874 FAX（093）645-7746
第一営業課
埼玉県さいたま市北区宮原町 2-77-3 〒331-0812
TEL（048）871-6897 FAX（048）871-6920
大阪市北区堂島 2-4-27 新藤田ビル 4 階 〒530-0003
TEL（06）6346-4533 FAX（06）6346-4555
第二営業課
北九州市八幡西区黒崎城石 2-1 〒806-0004
第三営業課
北九州市八幡西区黒崎城石 2-1 〒806-0004
浜松市中区砂山町 351-1 サニービル 〒430-0926
TEL（053）456-2479 FAX（053）453-3705
TEL （093）645-8036 FAX（093）645-7746
クリーンロボット営業部
TEL（0565）27-8901 FAX（0565）27-8904
TEL（052）581-9661 FAX（052）581-2274
TEL （093）645-7745 FAX（093）645-7746
TEL（093）645-7874 FAX（093）645-7746
TEL （093）645-7874 FAX（093）645-7746
TEL（06）6346-4533 FAX（06）6346-4555
TEL （06）6346-4533 FAX（06）6346-4555
TEL（082）503-5833 FAX（082）503-5834
九州営業課
北九州市八幡西区黒崎城石 2-1 〒806-0004
TEL（093）645-7735 FAX （093）645-7736
◆製品・技術情報サイト http://www.e-mechatronics.com/
“e-mechatronics.com” は，( 株 ) 安川電機が運営する製品・技術・販売・サービス情報を提供するサイトです。
本製品の最終使用者が軍事関係であったり，用途が兵器などの製造用である場合には，
｢ 外 国 為 替 及 び 外 国 貿 易 法 ｣ の 定 め る 輸 出 規 制 の 対 象 と な る こ と が あ り ま す の で，
輸出される際には十分な審査及び必要な輸出手続きをお取りください｡
製品改良のため，定格，仕様，寸法などの一部を予告なしに変更することがあります。
資料番号 KAJP C940580 02A
C
この資料の内容についてのお問い合わせは，当社代理店もしくは，
上記の営業部門にお尋ねください｡
2012年 1月 作成 12-1
11-8-23
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