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9.10 Nachevakuierung
DE
Atmosphärischer Druck
- 0 +
Druckluft
-0.7
5
bar
Vakuum
Prüfgas
Das Prüfgas im Objekt wird bis zum Einstellwert Nac­h­
evakuierung evakuiert, um Störungen aufgrund zu hoher
Hintergrundwerte zu minimieren.
Wenn weitere Evakuierung erforderlich wird, z.B. aufgrund langer Leitungen, kann min. Nachevakuierung
angewählt werden.
Die Prüfsequenz läuft weiter mit Trennung der Werkzeuge nach der Nachevakuierung.
Die Evakuierung erfolgt standardmäßig über beide Testports 1 und 2. Das ILS500 kann auch so eingestellt werden, dass die Evakuierung ausschließlich durch Testport
1 erfolgt.
Siehe auch Spülung Testobjekt und Optimising after
evacuation im Technischen Handbuch.
NFICON - Benutzerhandbuch ILS500
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