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サンプル・プログラム Vth ／容量測定プログラム Vth 測定条件 Vth 測定に使用する E5250A と 4155/4156 の設定条件を以下に示します。 • E5250A/E5252A の設定条件 : チャンネル スロット • 1 10101、10202、10303、10404 2 使用しません 3 使用しません 4 使用しません 4155/4156 の設定条件 : セットアップ・ファイル E5252.MES による 4155/4156 の設定条件を以 下に示します。設定の詳細は、4155/4156 を用いてセットアップ・ファ イルを GET し、画面の設定条件を参照してください。 SMU チャンネル、ソース・セットアップ： SMU V NAME I NAME MODE FUNCTION SMU1 Vd Id V CONST SMU2 Vg Ig V VAR1 Source Setup 5V 0～5 V,50 mVステップ SMU3 Vs Is COMMON CONST Common SMU4 Vsb Isb V CONST 0V ユーザ・ファンクション： NAME UNIT SQRTId SQRT(Id) GRAD VTH BETA DEFINITION DIFF(SQRTId,Vg) V @L1X @L1G^2 Agilent E5250A ユーザ・ガイド 第 11 版 9-5
