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付録C
Open／Short／Load補正の理論
Open/Short/Load補正では、Open/Short補正測定データに加えて、既知の値をもつ標準DUTの測定データが必要になり
ます。図C-1に示すように、テストフィクスチャや、ケーブル、外部回路の残留分は、パラメータA、B、C、Dで表わ
される4端子回路網（2端子対回路網）として表現できます。
図C-1 Open/Short/Load補正のモデル
インピーダンスZ2のDUTをテストフィクスチャなどの外部回路を介して端子に接続した時、測定器はインピーダンス
値をZ1と測定したと仮定します。この時Z1とZ2の関係は次式で表わせます。
Given: Z1＝V1/I1 and Z2＝V2 /I2
AV2＋BI2
AZ2＋B
Z1＝ —————— = —————
CZ2＋D
CV2＋DI2
パラメータA、B、C、Dは、次のように定義した値を式に適用すると消去できます。
Zo ： 測定端子をオープンにした時の測定値
Zs ： 測定端子をショートした時の測定値
Zsm： 標準DUTを測定した時の測定値
Zstd： 標準DUTの定義値
Zxm： DUTの測定値
Zdut： 補正後のDUTのインピーダンス値
数式を解くと、以下のようなインピーダンス測定誤差を補正する式が導き出されます。
Zstd (Zo−Zsm) (Zxm−Zs)
Zdut＝————————————————
(Zsm−Zs) (Zo−Zxm)
（パラメータはすべて複素数です。）
C-1