Download 形EE-SPY801/802

形
EE-SPY801/802
ウエハキャリア着座センサ
フ
ォ
ト
・
マ
イ
ク
ロ
セ
ン
サ
ウエハキャリアの着座検知
●ガイドとの併用で着座位置を設定。
●ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れた
フッ素樹脂を使用。
透
過
形
︵
溝
型
︶
ただし、防水構造ではありません。
●独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで
安定して検知。
●外乱光に強い変調光方式。
透
過
形
●コードはクリーンコード（タルク粉なし）を使用。
反
射
形
■種類
（納期・価格についてはお取引き商社にお問い合わせください。
）
◆本体
赤外光
形状
検出方式
検出距離
出力形態
◆アクセサリ（別売）
形式
名称
形式
形EE9-C01
形EE-SPY801
ガイド
形EE9-C02
ウエハキャリアが
0∼3㎜
あるときにON
（ウエハキャリア）
注. センサとしての機能はありません。
形EE-SPY802
■定格／性能
形式
項目
検出距離
（標準検出物体）
検出物体
形EE-SPY801/802
0∼5㎜
（反射率90％ 白色紙15×15㎜2）
0∼3㎜
（反射率10％ 黒色紙15×15㎜2）
ウエハキャリア（透明体・不透明体）
動作表示灯
光源（ピーク発光波長）
電源電圧
物体検出時点灯（橙色）
GaAs赤外発光ダイオード（940nm）
DC12∼24V±10％ リップル
（p-p）
5％以下
消費電流
30mA以下
制御出力
NPNオープンコレクタ出力、DC5∼24V、100mA以下
残留電圧：0.8V以下（負荷電流100mA時）
残留電圧：0.4V以下（負荷電流40mA時）
応答時間
5ms以下
使用周囲照度
受光面照度 白熱ランプ･太陽光：各3,000rx以下
周囲温度
動作時：−10∼＋55℃、保存時：−25∼＋65℃（ただし、氷結しないこと）
周囲湿度
動作時：5∼85％RH、保存時：5∼95％RH（ただし、結露しないこと）
振動（耐久）
1∼500Hz 片振幅1.0㎜または150m/s2 X、Y、Z各方向 3掃引、11min/掃引
衝撃（耐久）
500m/s2 X、Y、Z各方向 3回
保護構造
IEC規格 IP30
接続方式
コード引き出しタイプ（標準コード長2m）
質量 ※梱包状態
材質
付属品
ケース
底板
本体（センサ）：約43g、アクセサリ（ガイド）：約9g
テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ETFE）
ポリブチレンテレフタレート
取扱説明書
BD-57
フ
ァ
イ
バ
形
用
途
別
EE-SPY
EE-SPX613 801/802
反射形
（変調光）
回
帰
反
射
形
EE-SPY801/802 ウエハキャリア着座センサ
フ
ォ
ト
・
マ
イ
ク
ロ
セ
ン
サ
■出力段回路図
出力トランジスタ
の動作状態 形式
タイムチャート
ウエハキャリア
形EE-SPY801
形EE-SPY802
有
無
動作表示灯
（橙）
動作表示灯 点灯
（橙）
消灯
ウエハキャリアが
あるときON
出力
トランジスタ
透
過
形
︵
溝
型
︶
負荷
（リレー等）
主回路
ON
OFF
動作
＋（茶）
DC
12∼24V
OUT 負荷
（黒）（リレー）
−（青）
0V
復帰
透
過
形
■標準的なご使用方法
反
射
形
・このセンサは、ウエハキャリア専用の着座センサです。ウ
エハキャリアの底部は下図のように脚部がリブ形状で形成
されています。本着座センサはこの脚部を反射形光センサ
で検出するものです。
回
帰
反
射
形
出力回路
・ご使用においては、下図の○印の4つのコーナ部にセンサ
（またはガイド）
を設置してください。
A
D
フ
ァ
イ
バ
形
ウエハキャリア
（概略図）
上面
用
途
別
ウエハキャリア
（概略図）
側面
EE-SPY
EE-SPX613 801/802
センサ
センサ
B
C
ウエハキャリア脚部
AとC
形EE-SPY801または、形EE9-C01
BとD
形EE-SPY802または、形EE9-C02
■正しくお使いください
共通の注意事項をご覧ください。aBD-3ページ
正しい使い方
◆配線時
◆調整時
2
・コードを延長される場合は、導体断面積0.15㎜（AWG26相
当）
以上の線を用い5m以内としてください。
5mを超える配線の場合は、センサから5m以内の電源ライ
ンに10μF程度のコンデンサを入れた配線をしてください。
・電源投入後、動作が安定するまで10ms程度が必要です。
負荷とセンサが別電源に接続されている場合は、必ずセン
サの電源を先に投入してください。
◆使用環境
◆取りつけ時
・センサの取りつけは、ソリのない取りつけ部に確実に取り
つけてください。ねじの締めつけ強度は0.30N･m以下とし
てください。
（ねじの緩み防止のためバネ座金を合わせて
お使いいただくことを推奨いたします。
）
BD-58
・塩化水素ガスなどの腐蝕性ガスおよび塩風が製品にあたる
ところでは、使用しないでください。
ウエハキャリア着座センサ
EE-SPY801/802
■外形寸法（単位：㎜）
フ
ォ
ト
・
マ
イ
ク
ロ
セ
ン
サ
◆本体
形EE-SPY801
形EE-SPY802
動作表示灯（橙）
動作表示灯（橙）
22
22
32＋1.3
−0.3
32＋1.3
−0.3
11
11
35°
30＋1.3
0
35° 8
30＋1.3
0
8
35°
2
3.5
15
15
35°
透
過
形
2
3.5
6
6
検出窓
検出窓
7.4
8
5
ビニル絶縁丸形コード φ3.5、
3芯（導体断面積：0.15㎜2、
絶縁体径：φ1.0㎜）
標準2m
CADファイル
透
過
形
︵
溝
型
︶
5
2
15
15
2-M4（深さ6）
EE_36
反
射
形
7.4
8
ビニル絶縁丸形コード φ3.5、
3芯（導体断面積：0.15㎜2、
絶縁体径：
φ1.0㎜）
標準2m
2
2-M4（深さ6）
CADファイル
回
帰
反
射
形
EE_37
◆アクセサリ（別売）
●ガイド
形EE9-C01
用
途
別
●ガイド
形EE9-C02
22
22
32＋1.3
−0.3
11
11
35°
30＋1.3
0
35°
30＋1.3
0
15
6
5
5
2
EE9_02
35°
15
6
CADファイル
EE-SPY
EE-SPX613 801/802
32＋1.3
−0.3
35°
15
2-M4（深さ6）
フ
ァ
イ
バ
形
15
2
2-M4（深さ6）
CADファイル
EE9_03
BD-59