Download omRon 形F3M・S6251S626 `S8251S826 取扱説明書 オムロン製晶を

omRon
形F3M・S6251S626
'S8251S826
取扱説明書
オムロン製晶をお買いあげいただきありがとうございます。
この製品を安全に正しくご使用いた】ξ…くため、お使も叫こなる前
にこの取扱説明書をお読みになり、十分にご瑠解ください.
お日影あtになった後も、いつもお手元に置いてご手11用くださも㌔
オムロン株式会社
◎OMRONCorporation1997AllRtghtsResθrved.
0699與04D
安全上の要点
・定格電圧範囲を超えて使用しないでください。
・AC電源で使用しないでください。
・市販のスイッチングレギュレータをご使用の際はFG(フレ
ーム・グランド端子)およびG(グランド端子)を接地し
てお使いください。
・二次回路が絶縁トランスで分皿された電源をご使用ください。
使用上の注意
{1)次のような取付け場所は誤動作の原因となりますのでしない
でください。
①塵埃の多い場所。
②蒸気、水、油、略論を使用する場所。
③振動、衝撃のある場所。
(2)ラピッドスタート式や高周波点灯式の蛍光灯の光が直披受光
部に入光しないようにご注意ください。
③高圧線、動力線とセンサの配線が同一配管、あるいはダクト
で行われると誘導を受け、誤動作あるいは破損の原因となる
場合もありますので、別配線または単独配線での使用を原則
としてください。
④センサは電源投入後100rns以内で検出可能状態となります。
負荷とセンサが別電源に接続されている場合は必ずセンサの
電源を先に投入してください。
(5)電源OFF時に出方パルヌが発生する場合がありますので、
負荷あるいは負荷ラインの先行O祀ることをお勧めします,
(6)出力には短絡保護回路を装備しでいませんので、負荷を短絡
させないでください。
■ご使用上の注意
(ユ)感度設定
・.出荷時の設定は.半導体シリコンウエハ、ダミーウエハを検
出する1最大感度設定le二なっておりますので、ご使用の検
出物体に合わせた感度設定をしてください。
感度i設定は、
a)半導体シリコンウエハ、ダミーウエハを検出する、〔最
大感度設定】と
b)透明体を検出する、「ワークなしティーチング】があり
ます。
・感度設定時、検出ヘッド上面200皿mの所に反射物体のない
ことを㎜ください。
なお、感度設定の方法は、「感度設定」を参照ください.
②取付け
・本製品の性能を引君出すために、検出ヘッド部にウエハが当たら
ないように取り付けてください。取付けの際には、M4ビスを
使用し、締め付けトルクはO.7SN-m以下としてください。
センサ検出部に応力がかからないようにしてください。
㈲透明体検出時の注意
・透明体検出時は、以下の点を実施の上ご使用ください。
①オフディレイタイマについて
オフディレイタイマを以下のタイムチャートに沿ってセッ
トしてください。
オフディレdタイマモ・一ドでの、出力保持時間は400msと
なっていますので、この間に制御出力の取り込みをお願い
します。
く入力轡})
■融tンサ1帽センサ写助閣節拍田8出/オ7Sttレ(eイ▼によ6確固
ココ
・蒜㍗…功一「一一
福部`"也万一「醐酊「一ーーーーーー一1-「一一
謂臨。、」〒一[一ーー一一「[一
ティーチング要求{口}
胃白嶺示《創
1`'
く別面出力》
η"
嶋
_∫
一
コココ
タイマセツト包●
;;三影グ齪」セ〆サ鞠■∼
この間にシーケンサAの入力
取り巳み脅閲7する
オフディレdタイマの解除は設定時と同様IOs以上リモー
トティーチング入力することで可能です。
オフデdレイタイマは電源OFF時にも解除されますので、
電源投入後、再度設定が必要になります。
オフディレイタイマ設定中であっても、感度設定の変更は、
可能です。
②センサ移動速度について
センサの光軸が、ウエハ瑞西に挿人する直前の移動速度は、
250mm/s以下となるようお願いいたします。
③七ンサ配置について
できるだけ検出ヘッドの中央になるように、透明ウエハを
配置くださし㌔(最悪ウエハと検出ヘッドの隙間は0.5mm
以上確保してください。)
)微∼ド14)
差綱ウエ'3ノー・一■一■●
_一_1一自』一_。_.`
一●
'
王法9
'=)1
■■疋恰/1=土目E
項目/形式
F3MぺS6251厘3M.S6251F3M.S6261F3M.S826
x螺{発x波長)
亦外発光ダイオード(940nm)
垣諏電圧
OC12∼24V土10%、(リ・ノブ'レ●010%)
消費電浪
120mA以下
チャンネル蝕
臼
鎚
光軸ピッチ
4.凋mml6.詰mm
4.76mm「6.3Smm
光軸郡厚み
1.smm
槌出物休
退過率92%以下のワーウ(A-9相肺)以下●考ワーク・8インチ半恒体シリコンウエ'、・8インチ苔英ウエハ・8インチサフ7イアウエハ
応答速度
10m.以下
訓切出力
NρN7ープンコレクタOC30V、mmA以下残留電圧,1V以下{流入電流20m周全chパワレル出力
アンサーパっフ出力
NPNオープンコレクタDC30V、20mA以「c残留電圧'1V以下(流入徽20mA〕
リモートティーチング時28Pln出力をホ機能にシ7ト
勘作モード
温光品ON
制御出力停止λ力
食出ヵ停止時=GNO−訓仰出力停止λ力周を短路(OV短路字た倒.5V以下流出電流1mA以下)出力停止解除碕=GND−制御出力停止入力間を廟放(オープン字たは9V以上使用電波電圧以下)
`2モートテf−チングλカ ON碑=3NO−リモート入力間を酬([噛箱宮た口1.5V以下派出電流1rrA以下〕OFF時=OND−リモートλ力局在開放(オープン字た{‡9V以上使用宮垣電圧以下)
ティーチング醐庖
畏示灯憤LEO)
表示灯 電源表示灯
電離入時:常時点灯《悼〕
昔合波示灯
ティーチング閉、その他異端的;点灯「聞R)
使用岡田温度
0∼十40℃(たプξし水軍目しないこと)、{呆マ字訓膏:-25∼十60℃
使用岡田湿度
35∼85%RH〔ただし箱宮が恋いこε〕
使用周囲照度
蛍光灯:1goou以下
接続方式
ケーブル引出し式
保■構造
一
耐ノイズ
電源うイン'圭480V(ノーマル『…一ド)
"坦ノイズ:宝θK∨にて誤動作占よぴ破損なし
掴働1固文:10-55Hエ祖槙柏o.已【mX.v、z各方向2h
衙91耐久1300m!♂x.Y、2各方向3回
材質光柏田=PC、ケーユ:ABS
。.1的11。ロ1駒11。。
④センサの配線について
コード延長にはシールドケーブルをご他用ください。
⑤周囲金属の影響
下記の値以上の寸法をとってください。
a(mm)
b(mm) c{mm) d(mm}
150
150
50
150
b
c
−
L
センサ
ー1一
ー
一
一
c
▲11141一-II,
1ch
L
金屋板
26ch
d
■感度設定
●リモートティーチング
1.'ト導体シリコンウエハ、ダミーウエハの検出の仕方1最大
感度設定]
【手順】
①まずセンサが取付け而にしっかり出定されていること、
'検出物体が光軸内になロニど:光明fに応力がかがっていな
いことをご確認ください。
②電源を投入し、モード切替スイッチを[RUN】側に七ッ
トされていることを確認してください。
③リモートティーチング入力に以下のタイムチャートの信号
条件を与えることにより、設定できます.
リモート,・一チ輪講ひ
5∼9s
ll
い
正AC順就迫田
一
`,
自己絃出力1アンサーパ撒ウ)
隔子出力
④自己診断出力(アンサーパック)の状態がL→Hになった
ことで、設定完了となります.
*リモートティーチングで、ティーチングエラーになった
ときは、警告表示灯が点滅し、自己診断出力がLのまま
で復帰しないようにしてあります。この場合、再度、リ
モートティーチングを行ってください。(ティーチング
エラーの時は、しきい値は更新されません。)
*ティーチング回数は、10万回を限度といたします。
*最大感度検出をする場合にあっても、保守用に上記設定を
行える様、シーケンサーとの接続をお勧めいたします。
*タイムチャート時間以外のティーチング入力がされます
と、通常計測(RUNモード)に戻るように設定されて
います。
2.透明体検出の仕方[ワークなしテa−チング1
【手順1
①まず、センサが取付け面にしっかり固定されていること、
検出物体が光軸内にないこと、光軸に応力がかかってな
いことをご石自認ください。
②電源を投入し、モード切替スイッチを[RUNI側にセッ
トされている二とを殖題してください。
③リモートティーチング入力に以下のタイムチャートの信号
条件を与えることにより、設定できます。
0玉の司4`0、5N2SO.5-.4S
'斤一トティ→.励鵠
正ACH褒示灯
書告顕示灯
:
:
』酪
1
`
目ξ…断出力(アンサーパック1
設定完了出力
④自己診断出力(アンサーパック)の状態がL・一・Hにtsった
ことで、設定完了となります。
*リモートティーチングで、ティーチングエラーになった
ときは、警告表示灯が点滅し、自己診断出力がLのまま
で復帰しないようにしてあります。この場合、再度、リ
モートティーチングを行ってください。(ティーチング
エラーの時は、しきい値は更新されません。)
*透明体を検出する場合は、ヒ記設定を毎回あるいは、数
回に一度の割合でされることをお勧めいたします,なお、
ティーチング回数は、10万回を限度といたしますa
本夕ノ￨ムツ一式'一」.口寸IW以ア「bVJ.74一アノ7∧ノJ7Jleイしay
と、通常計測(RUNモード)に戻るように投足されて
います。
●マニュアルティーチング
マニュアルモードでの設定は、確認用の補助機能としてお使
いくださ』㌔
1,-Yur体シリコンウエハ、ダミーウエハの検出の仕方【最大
感度設定】
【刊頂】
①まず、検出物体が光軸内にないこと、光Mlri:応力がかかっ
てないことをご確認ください。
②表示部のプレート、マドをつまんではずしていただきます。
ll40〔o"'oロlu`・1▲`】`Slミ》Wl'・幽∠u``一⊆一'∠5鍋
'.L
趣ロm
[rl[lrln1
ll
`1し
口llll胸
、ノンll川1
llilllllll;1
③電源を投入し、モード設定切替スイッチを[TEACH]側
にセットします。
(この時自己診断出力が、L出力状態になります。)
ティーチングボタン警告書示灯
ティーチング表示灯
モード「設定切替スイッチ(RUト」/「尼ACH)
雷控書示灯
④ティーチングボタンを一回押しtす。(3s以上の保持が
必要です)
警告表示灯……赤点灯
感度調整(ティーチング)OK時
1
感度調整(ティーチング)NG時
↓
再度④を実行してください。
⑤モード切替スイッチを[RUN:側にセットします。にの
時自己診断出力がH状態になります、)
寄書献灯…赤消灯、ティーチング表示灯…1秒間檀点灯後、消灯する。
これで全チャンネルの感度調整設定完了です。
⑥表示窓を本体に取り付けます。
1¶-w¶w1㎜『酬Wl附1†『li−
ll口[‖‖101』‖』Lno011∬10‖U‖1】
[1'3▲567`910■1口口`415玲ロ略1P2D罰2222禍25村
雨/而1=
二ちらの面壱
最初にひつかける
2,透明体検出の仕方[ワークなしテt−チング]
手順は、基本的に1.半導体シリコンウエハ、ダミーウエ
ハの検出の仕方と同じですが、④のティーチングボタンの
保持時間を、05∼2」5sにしてください。
●制御出力停止扱能
①制御出力停1ヒ入力をセンサ供給電源のGNDに短絡させてく
ださい。
②この操作で、全チャンネルの制御出力を停止(OFF)させ
ることができます。
③出力停止を復帰させるには、制御出力停止入力を開放にして
ください。
■出力段回路図
十V
出力Covrl)注
■入・出力配線図
?司●s¶012til口¶6困2カ242●2唱30
出力(O打T2e)建
制仰出力停止入力
リモートティ'チング入力
OV
●●●●●●●●●●●●●●●
●●●」●●●●●●●●●■●
1867911131517「9M)252729
▲
階子配置(PINASS￨GNMEN「D
ピンNo. 瑞子配置
ピンNo, 端子配置
1
GND(DV) 16
OUT14
V⑤3U2・2瑚
17
OUT15
ウ」3
OUTlI18
OUT16
4T5
OUT2
19
臥π17
一.OUT3 20
OUT18
6
01JT4 21
OUT19-OUT20
7
OUT5
2
8
OU「6 圏
OUT21
9
OUT7
24
ouτ22
10
OUTθ 25
OUT23
11
OUT91 26
OUT24
1210UT10
27
OUT25
130UT11
2θ
注
140UT121
29
前脚出力停止入力
150UT13
30
リモートティーチング入力
注・F3Ms625、ss25
自己診断出J」
銘ピンはリモーF十イーチング入IJ時、アンサーパックとして機能する。
・F2M・SSZ6,SS26
0VT26!アンサ一八ツク出力
2Sピンのアンサーーバック出力は、リモートチィーチンダ入力叶のみ機
能し.それ以外はOU怜26の出力として橋節する。
■■7㍗'1多・SJ広凶
●F3M・S625
コ尋クタオムロン
XG4E3031
0A6
8?LfiE.
●F3M・S626
2・R4
可トウタイプビニル絶目
フフットケープル
帽3a.1ピッチ127
〔ISIQDO)30本
●F3M・S825
17s±os
伺
￨
14
⇔一軒O=
075±02
†0025(635×25十?,5,
`凪35土0225.
●
15零
・
コ・'一コ,F.
『T
卜
T「5
1410=0,24土02
一
1†11†Wlllmlll1「nl↑↑『
`2・日1一
IHロoHo1匡0口】‖四u`1■‖`¶1
←
一88
糊2・RO
一[さ叩7●9101`、,日匂■""卿""図25'
ll已,
さ緬
府II川3・1・1`.-1輿卿・
.ユ
、r
,●包lllll旧ll㎜lIIIIIIIII、IIIIII■一■r￨
＼
サイドマーク/酬酬㊨
}、
各φ42【口付穴)
6つ.ツ恥5,1
可トウタイプビニル絶のトケーブルピッチ`27〔1Wφ006)30本
1伯6
情。1
高篭手ムc≧
__170___L.
劇
●F3M・S826
IMOS
166、■(ess×28十15
サイド7ーク
町トウクイプピニ,噛
フうットケープル
1930.1ピツM.27
《LO8)30本
ア
士
コ皐クタオムロン
XG4Slo3T
,・:=浩
ジ
●●
①安全を鞭倶する8的で置捨的または同8書的に人体を積出▼る用途に、2k製品壱使用し
ないでください.同用途には、当社センサカ夕日ヴに掲鈍しても喝安全センサをご研く
ださい。
②下用途に使用される場合、当社宮調圃[当者までご相扱のうえ仕板書などによりご孤
招いただくと之もに、定格4性能に対し合格を縛った使い方や、万一故障〆あっτも危候
を最小にする安全回路などの9ξ全対策を論じτください。
a)塵外の用途、別荘的な化学的汚抑あ番いは電気的妨害を被る用途
またはカタログ、取扱説明書等に記載のない条件や蹴での使用
b}原子力制卿設句、娩却朋、"道・航空・車両設備.医用ぬ械、娯楽機砿
安全装置、および行政根間や個別葛界の規制に従う設備
c}人命や財産に危険が及びうるシステム・橋械・浪置
d)ガス、水道、雷気の供給システムや24時間運紐運転システムなどの
高い情願性が必歪な故備
e)その他、上記剖∼dlに準ずる、高度な安全性が必要とされる用途
申上記は迎合用途の条件の一部ですa当社のベスト、胎合力タログザ一夕シート等最期版
のカクログ、マニュアルに配電の保証・免責事項の内容看よく歴んでご使用ください.
オムロン株式会社昔歳統轄亭嵩部
東京部品lll区=た崎1・1T・:ケートシティ大崎ウエストタワー14F
●営箒にご用の方も、技術的なお荷い含dの方も、〉リーコールLiお駆ください.
音戸ガイダンスが流れ字▼ので.案内に従ざτ操作ください"
0120・919・066(フリーコール)
撫雷噛・PHSOcとe江ご制用いtkl穴「・α九ω巳モのua=下起電敬1陽へ原か付くピ礼、
055ge2-5015(遠眺がeかIJ鉋r)
〔撫付のお問い合わせ時間〕
■密集時間=9=DO∼12カ0/=3つ0∼19カ0(土・日・祝祭日は17:00まで,
■営薬日:年末」早始を除く
上adフリーコール脚トeO55戸982r5002(鴇■tqtibかし,:T)
にの伽(礼、ただくこと邸」.口髄1シング因■の袖㎜コにつな由旬ま†`
〔営第の力闘い合わせ時間〕
■営巣時間:9:00∼12=00/13S〕0∼17コ30
■営業B吐・日・↓兄事日/春期・夏期・年末年始休暇を除く
●FAXによるお向い合わせば
お客様相眼室FAXO55・982・5051
●その他のお伺い合せ完
納m・価格イ頃里・サンプル・示胡国は質杜のお取引先、
または貴社担当オム回ン営巣員にご相談ください。
---------------------[End of Page 5246]---------------------
omRon
M・detF3M・S625/S626
S825/S826
INSTRUCTIONSHEET
τh旧tnkyoutorselectingOMRONproducしTh■sshgeヒpri■
marllydGscIribesprecautlonsrequiredmtnstallmgand
operatin●thepr◎duCt
BotOreoperating廿1epreduct.r●ad廿=eshe●tthoroughtyto
acquircsu価ciontknowled9θoftheprOdUCtFOtyOUrcon・
veAience,keepth白sheetatyourdisposel.
ΦOMRONCorpOrbtion1997AltRightSReserv●也
1
〈1)Donotu.Freoutsidethelimt'tsoftheTatodveltagc.
(2)DonotoseWi廿rACpow￠r9.ロpply.
(3)WhcnustngacommcrciallyavailablcswitchiロgrcgtLlater.
useanFG(￡㎜egroandp輌n)oraG(grou阻dpi皿).
(4)Uscapowcrsul芝plywi由asccon㊤Tycircuit山口tissepa−
廣禽dwi由aninsutatOdlran∫farm百1.
PRECAVTIONSFORCORRECTUSE
(1)Tbavoidma』㎞cdo"、donotiDs血1ハintheldlowingpobl60ロs:
①Placesexpesedr{》1aオgeamoumsofdustordin
②Placesexp◎6￠dtes1cam◆「water、oilorchcrnicals、
③Placessubjeclombrati。norshock.
(2)Maハccsurcthac山ght缶omhigh輪quencyandraPtd・start
fiUOrescentlightingdocsnotha鴨dir巴ctcontacrM血the
lightSCnsor.
(3)τbavoidImlfon《叉ion,inductionorda而ほgecausedwhen
high-valtagccablcsandOpCrationcablcsarcwircd旧thc
samepipi"gassensorwires.。rwiringig.c。ndu《:edina
duct、1》csurctow輌recablcssqparalclyorロsclndepcodo鳳1
コ口
wmmg・
(4)Thcsc口SOT-illbcabl￠tos6nscyvithin100msaftcr口前・
ingONthepowerSUPPly・When由esensorandthc工oad
areconnectedtodcft'crCntpowcrsupP工ics.bcsurctoapPly
powertothesemserfirss.
(5)When血epowersupPlyisOFFoutpu【pulscscanoccur
somakesurclofmsrrumOFFthelQadorleadlinc,
(6)Theoutputisnotinstal)edwithashort-Clrcuitprorectaon
-C音節㎝itsoma」《CSU、「N∋nOtK}±ho"-C輌rCqtil>↓】』含4{》ad、一'一一・一
■PrecautionsForUse
(1)SensitivitySe【1ing
・Thcfac【oryscttingi3scttos㎝slngscmiconductorsilLcan
≠ぶnd血mmyw血S(㎜」皿㎜seロsjtiVirySCtring),
50be3ure10cha血gclhCSettingaccordi血gto:hcobjectfbr
d創cction.
a)Thcseロsitivitysettingprovidesam似imumscn》itヨv・
itysettingIbrsensingscmiconductor1silicoowafcrs、
b)anddummywafers加dworkpiece.freetcachingfor
s凱singttansparento吋ects.
●When血escnsorsensitivityissct、anyobjectsheuldnotbe
旦ocatedat200nmiawayfrom血esensinghead.
RefertoSensitivitySeningfordeailsonsensitivitysetdng
pmcc血陀.
(2)八田ぽ協naUon
・Ferbestpcrfb㎜㏄of直近sprOduσ輪吐resensorsbouldbe
m。unteds。thatthesensingheadd。esnet血kec。mact
wiΦth￠wafer.When口ou戚ng,useM4screws.anda
fasteaingtergucnOg罫ea【erIhanO.78N・m.Makesu陀not
tocax;ses鵬ssthcscnsordCiCCto:.
(3)P匝)cautxonsfOtScnsingTtansp田℃ntObj￠cts
・Whcns㎝桓ng晒spalTentobjecls,maJgeSUfCtolmp』
血entthefbllowingprocedures.
①OFFＬdelayT㎞er
Se1血eO匪−dclaytimerpara皿e,Ltothe血mingch血
illustratedbelew.
Thcoutputhol《1timeinOFFＬdelaytirnermedcis400ms
sobesure口inco叩o【atecontro1四tPutwzthinthi51im{:
《'明目1・b・・1)㎞甜噛卸寓迦噺0一幽・恥」・剛
appllv・41㌦桐,、ll←1幽耶蜘煤刊望』㍗畑ε
惜ご川鋼'一三r「一一ーー一一十一「一
環㌣叩`一一ーーーーーー一「一「一
コリコレコ
蕊.工==
鷲:・-ZFW=≡≡≒=i二
藍」曳1"口1
T'醐㍗・・͡幽
…
Wd∼.1鳳r
ttre"hinsSgttta.
'
L枯声mv・inu
4白田ng■
3{P岬山、
ln-1却
・-duM冨体"■
〈＼
セ
ロの (1)Theoff二delay・timercanbeclcalredbyg1Vlngoremotc
teachinginputfb'10n8巴rthan10SCCOo山LThisisthesame
stepasfbrseningthedmer.
(2)The。f伺e助吐meτisals。dα"dwhenthcpowcris
lu爬do飢It姪thereforenecessarytose【山etimcragain
aftertumiロ8・両叩owcr・
(3)Tbes￠nsilivityscttiDgcanbcmod笛ede∨enwilh血(}oflし
deJay【imer三nacljon.、
②S㎝⑤orMovemcntCoopem目on
rvlal【eSUIrethatthcmovemenrCOOP鋤吐口ndirectlybefOrethesensor'soptieaＬaxisisinsc鵬dinto[hecross-s。c'
tio皿ofthewafヒr,輌saI1]ロ輌㎜of250㎜ノ5SL
③ScnsorP◎sitiOning
POsitiOn也c血ansparentw」㎡brsothati【isinthecenter
。fthescnsinghcadSen・1・gb・・dy・㎞脚、.幽,
■jpeCITIcarlon
1、じm
「3M・泌1ド3Mぷ251「3Vlも口olP謂・S面[
▼口8ht燗r"(Cn]●"mnw回∨elow隠1h)
!1nf側rωLED(仏11,nm)
Plw岬p江
▼1コ10ユ斗V`)C土τ0悌.1も叩1e`PP):IO拓
(L山間1も。姻mPl蜘
▼1コUmAm眠
Numberor也Hn臥1b
2¶
2h
OP`lcn1"胃ls,¶忙h
4?6佃616.ユ5川ll1
4,?&n`2`(1.】賎川`1」
0111{ロ11皿`8同口削W側止
1」rm`
s諫開鳴。bＬed
W`1rヒPLcぱ■「92弘m口置`r∩nハPore⇒《λ一噺m)s民Wur`bdo"・仕口lcl`居h1`創mdu"or》ll蝋nWo血r・』」㎞`』qU岬Zw6rごr・&田c』舳pph燗剛』
−R.r噸r陀quo侃y
一【《㎞s¶血其,
c・巾。1。ut叫
−Nl「Nopc71⇔ollc田or.20mA口口ハo口OVDC蝿岨【●ol哨C:【VrWa■,{`n伽wcur祀mユOm直)Alkhum巳】』po瑚11cloロlpu1
∧n,w。'・bhck恨畠`put
NPNopen四】】しL山r,20mAm",Ol30ΨDCぬハduロlvol旧80.1V■品.{ln伽wcu㎜【2∫)mA)
O町㎞9F巴moに忙"hln品、2&密語rlbco。耶o』
◇酬4"bnmod賠
一・Oト智1問1`1」」IIRIII`》dパ1ωC`cd
・C卯1凶OUIPU口10pl叩U1
羅繊麗㌶繊麗黙黙L(O御礼orgVmin."cdpOWc"upplvma蔦)
Romt●`ead"員‖叩u1
.・-ON'GrゆM醐"自陣('㎞(OVαk回ぴ日山5㍗0制o則Lh㏄14url酬InAm臨[0ドtGND忙脚ICIn叫fC父{【o脚α9VI叫a胤巴d幽門叩国81伽刈
氏●d11n兄eheek旧Rfuκ1bn
1nd`cut研(onlnl聾L帥)
1Ad`c誠or
P酬6τ8叩plyIn山c●M
』CFON・rtob`1`1y印d冨訥10rt即3cn)
AlnnnIl`0』11u7
・一〔e日cl1`11r,orerr所「L】dlun山"101f吋d)
A而b`6nu㎝Po悶山6
0障ロ1`o医㊨0てIo姐C(輪woκ`n酬e`一品'C〔●60'C
・Amb使n1加mω"》一
O斡ω`日9`、¶暢lo"暢R↓4〈w陀hmcond㎝肌1toの
Amhcn口lum,r咄仙
1司uσ""111帥い1.5αllx伽砧
C剛e"・n昆me伽d
一−Pullく肌ooblc
80cl蜘爬1目11n昆
一
No』orOb』杣w
−Powrlmo±4閑》V(NOn"olmedし)
』kCl問101`oo偲士H"袖山mmul∫urCll簡OP出爪㎎e
v`br劇◎㊥r馴山1r☆
D目的CUu`110.ω50HLO血`odoub⊥c岨pbbdc,w占巾2hOnehl"3di即cUo朋
−Shxk隙1、1加ce
撫Wct、o"・3tbm内1,31`頂酪e↓`cねn34}民ct』国鳥
M副em】
OP1畑1劇5ぱ司ooopc馴減}A展
W"8ht
1へPP酬!}081'APP面Ul哨
1
'
⑤Sensor「茜「ir㎞9
UscashioLdeciCableasanextensioncord.
④iEfiEectofSurro皿ndingMetalonthcScns◎T
Ubeclimensionswi也MinimUIロvaluesasfO:10ws・
a(mm) b佃m)
−Ic(㎜)
−d(mm)
」、150i
一150 50
150
一
晶
L
4-一ーー−L-一ー一■−
SENsOR
●
一
一
一
凸ーllL▼l11▼
teh
L-一ー一←
bbOeLrnetAl
輪
【
■
d
■SensitivitySe廿ing
●Remote「rea6hing
1.Serniconductorsi1{conwaferanddummyw㎡erscnsing
methOd:maXimumsenSitiVLrysel血g
【Procedurc】
芭CheckthattheSensorisfirmtyfixcdtO由emountjng
surfkrcc.thesenszng.Dbject元sne:intheopticala」"s,皿d
血ereisnostresscaused【othcoptical"xds.
②ChcckthataftcrturnlngONthcpowcr,thc皿odetog・
gle:w三tcbissetτoRUN.
kgySettingisachievedbygiving由csigロa、1coロdiUoninlhe
timingchartbclowtntherernoteteachinginPllL
−
``
④Self・diagaestico明日;(Answer-back)sla【usissetby
sw:tctLmg丘omLtoH.
*Wh。natcachiDgcrroroccursjnremoteteachir)9,the
al鋼indica【。rltgbtWiLlfiaslaand山ebe】f・diagnOS1ic
outPUtwlll工竃3m工1Lllat][㎡andnetbePt]追et」1ア1thiE;cLaLse,
eXeCutere皿ote{machtngagain.Thethresheldvaユu￠
wiltnetberefresledwbcnatcachis】gerroreeCUTS.
*「『h己numberoftcachingSisli【nited【0100.000吐rnes.
*EvenwithLmaximur]【】、seBSi【i¶ノiξysensing,itisadvisablC
toc。眺c【aseqUcncerωexccutcthcabov。sctting
r(》rmamtenancepurp◎ses.
*IfItachingisiロputoutsidethettmein【hetimmg
chaちaurn》aTinstrU血eot鎚ion(RUNMode)w皿be
reinstated.
2.Tran:parentobjeetscnsi叫9】meユhod:WOtkPiece■f〔ee
teachiDg.
【Proccdu【el
①Checkthatthesensorisfirmlyfixedtothernounling
surfaeq【hescnsingobjcctisnotin日1eeptica1:vtis.and
thCr℃iM。stresscmused【othe〈rpticaユaXis・
②Check出ataf[er白mエロgONthepower,themodct◎g・
glcswi忙hisscuoRUN.
③Settib9・s砥迫by帥9出eSig・al・。・ditiρnin・the
ti・Tung・hurSbe1。wt。⑰・疏。・e蜘匝・9血叫:
l
IO5》04805t"2,05t"4喝
一
'・4
N山叩mp"L
④SclfLdiagnostico岬ut(Answer-back)statusisset『by
SWt"血ngfremいoH.
*Wbenateachingerroroccurs三nrenetClcachlng.the
誕訂mindicarOtlightwillflash、and【heseifLdiagnestic
outputwinrc】叫na[Landno【bereseLInthiscase`
e)cecutercmotc【図dhingagain.'rhcthreLshold∨alue
wi皿nOtbercfrcshedwhenataachingerr{)reOCu応.
*Whensen山9transparentob』ects.itisa【tv:sablcto
usetheabOvcseninge・巴rytirne,orrrequendy・The
numberofteach輌ngsisIimi山edto100,0001imcs.
*1fteachingisi皿pu【outsidedletimeinlhe[irling
cha叫nom回▲ns加血en画oロ(RUNModc)岨Ibe
祀in:uat己d.
●"ld"U引■曽`ul"」y
M江k巴sureteuscthc包CdJngＬnrnanualmodcasanauxdliary」⑩ncUoロfercheckin8purposes・
1,Semjc。nductors1五c。nwaferanddurnmywafeesc品ing
m巴tho{上rnaximums.cnsitiv'ityse:ting.
【Procedure】
①Check山es巴nsiogobjcctismtint】1eopticalaxis,and
thereisnostresscausedtothcoptica【axis.
②RemovcthcplatcandwindowfU》mtheind口catorsec・
UOn.
Llz。⇔ou'。♂】UIり三品樽IO酪"ロ'.4』``占`ω"∠O`コ
:,
〔
〕
一細⑩C日脚
▼¶..,一`
卿可
一一ノ
」`1
③T1ユrnONthepowcr:upply,andset血emodetog91e
switchteTEACHＬntbiscasc,sclf・diagnosticoutputsta・
tuswijlbeL.
④Pre:ttheteach】ngbutrononcc.Al㎡D㎞umoE3sbold・
ing￨Srequitca
SensitiviりFad]usL:nont/VannindLcator=flashjngrcdUght
(Tcachi【lg)NG「「each…ngSn{lic丘1tΩr=i】コdic乏1tOi〔notIlt
l
Rcpeattl】eaboveproccdure4'
⑤Setthem(>det。991eswitChtQTEACH,lnthiscase,seif」
山agnesticoutputstatUswillbeH・
Thesensiti碗1yadjustmentsettingforallcbannctsisnow
CCnnpハete,
⑤ThcindicatorWind,owismountedtothemainbodyof
theunit,
fi
ーが達
:￠・凹lll
剛Φ
1
/
Fix輌`vrf`rcel1N
2.・Tfakls.P昌世nto1[)jectM5r於¶且11gn特出od:work−曲eetcachir19
ThePf㏄edu祀Isb2sical1ythcsamcas廿1eme由odfor
sensingsem丘conduc【。rsilic。nwafersmddummywafcrs,howe鴨r.Ihereachingbu皿onho】din2timeneedsto
bcscta【O.5to2.5s.
●Con加lOutPutStopFunction
①S血ortthcconロ℃lou甲utstopinpUtwithlhesenborpowロ
SUPPlyso山℃cGNI)・
4)Thecontrelvu↓putfbra1ユchannelscanbestoppcd
(10medOFF)Withthis。pc胞tion.
③Toresecthcstoppedovag》uLideaseco且troloutpnts10P
input.
■OutputStageeircuitlayout
mam
an」)t
■Nnputoutputwiring■ayoUt
F3M・S825
十V
OLrrt
ou:'26
Co耐噺ou甲ut蜘pl叩田
A翻o㎞1聞由1叩{叩賦
OV
}40肖lo'2旧16"罰)曽儂●節2●,o
王国====1昔昔=:=::枠工1・.
1、,79)pt3)M71,21M2s272s)
▲
MNASSIaNMIblT
iPmドo, −Plna峰sig㎜ent
正6nNo.P血鍋ig旦ロ瓢t
t
GND(OV) 160UT⊥4
2
Vss(ユ各24V)
170UTl5
3
ouTl
18」OUT16
4
OUT2
19
OUT17
5一
OUT3
20
OUT18
6
一一〇UT4
21
OUT19
7
一一〇UT5
22
OUT20
8
OUT6
23
OUT21
9
OUT7
製
OUT22
10一
OUT8125
OUT23
11
OUT9
26
OUT24
12
・OUT10 .27
0じT25
:13
OUT11
一一28 Note
14
OUT12 29
-Controlout四tsbpmput
15
OUT13 30
Rem咋teachinginpu↓
No【・●F3Ml・S625∼S825
Scl抽a騨鵬。u印uL
「rhc28pヨ∩㎞c【ionsasaosrer・boc1くdロri口gremeCe1己旦chinginpuC・
・F3M・S62硲826
0UT26/AnswcrbackouL叫l
Thenspin"nswcr-backo岬ut。alyfVbCti◎酪dursngremote
LcechinginpntOthcrvv】:c,itfanco。asasOUT26。u:pvt
■■u`mensIon⑤
●F3M頃S625
475
1、、
∼一『『1加ω6×25+凶∵
−r勺
一二.
476
¶竺マR ハ`》-4一寸」"一ーーアー伽CALAXIS
吟
一〇〇 lli"u
rI本書'5●川・船"四rsr¶-"m■胴晒1
2.回4
一
2ユ
[k
`
φ
s
音一−llIl旧
__一一巳、■_`一三IIIIn・」L■
⊇
'
・
1司
・†ロ
L242」」〔MO皿岨NGl皿ES1
,
一
事
L9卵_7巡͡1CO闇"CI口R986
41ll・lllt,_・、・『
FLEX30LETY円VがYL加胆LA冗DFLATぴ一題認器)翌器
1ピ
1鵬
130
●
一
t4
.'三
IUACHINOPUSH
sw㏄H
NOD65f!L珈汎
swrl℃H
(WM㎜」)
●F3tVt・S626
47$
1コ,
ア
一1臼.26(4.70×功+u)
`o●dl冊…一層ー一ち一一ユ。伶酬,鵬ノ
4]5唱一一6"一
・一
コ■一一4澗`酬網綱,
1⇔¶41■m・ロ1-15口唱コロニ昌昌q字
R多食4
一]_
、』
「●
3T-一面01に「』
'
エ、r`'鞠
}亘z'弓
`lllll■遍笥1…,縦3臼lF]ll岬co…Rgw血
}
242dh∨fMOU南r砿HO螂)輌L口Tm1VmL嬬uい!肥ロ礼κrα田1雌WID羽`コ匹lm℃田.27
㌔抽
∨蜘d・‥潮路
一一伽11
130↓
・ 一
●F3M・S825
】t
:R2s
雲
皇桝8一
前口ll5蛾ri‥ 1?5±05
10士02戸一4±02一
一一陶工5隻⊇5×各相ω
L6袖士o,2s
'L
冒●[工
1
miWllw洞
蝸↑ll、
麩川
一・・一]'・■一/
■
.葛一〇i、∩う十
lI‖lHH‖‖o口o‖H‖‖u』‖
⊆3句a ,o抱C礼ぱls2還6
[「雪7さ一45亀76●1D4ual3鴨1!色芦▼竃胃ウo割8玲が251
一
一
T2pR5
≦
`"緬.ドー1m.1.1.IIllll`、、`lln言十
晩
5
]T.』Ul`
-1L恥
×、
・]
・ID・醐・蜘
、
一`2 4ユd旦
nFLD皿山TV配VINrrLlN釦LAm}1FL∧丁仁AOL工S唱πoτH3忠`pn℃Hロ7{■釧聞d噛)10WI岨」
llllllllll]liの...・....1:揃lll!圃1孤1‖一1
lM即耐￠`㈹1』S)XG41白き031
1
一、、,6/逗
`
1聞−i
㎝Mに1やR
一
一170
一
●F3M'S826
■巳,
`?5宝05
、鎖
一一ーー-1͡gx2酬o
_一一一●■」ノ坦
50?5訓2-一_4■一
吋砲却2聾
一
"一1
」.▼
一
n6'
n
`1τ・
lll
‖†1剛1
ll酬
2」
一工
】■町o`↓回o,■u四
り川oo■
.6舗轟: `o㎜
[1ロ・`6・7..¶01口●胎15・η唱棚商=獅1
●,
趣`』_荒__
』竃
、.一工
.42
■s5一
輔,賊…」1:4」亘頭脳・㎜哺iw5…戊ω凡ATCA肌￡s・`lr研㎝鵠1㎜1ぽ「,1(1舛08幽}コow"鵬
糟江:、佃.`伽OUM鴫"Ou紗S矩【臼030
`1鳳6!x
町＼
1面一「
▼
●1-170
lco㎜OR
一
丁巳AQ鴎fTtCl
P口SHS"TrCH
}」1◎o巳s口ORSwnてコト{
一
14
T}・tEPRODUCTSco凧lNεD`NlhHISSHEミεTARENσrSAFErYRA「1…D
τ、4EYARENO了DESIGNEOORRべ『EOFORE…NsurnNGSAFE'rYOF
PERSONS,ANDSHOUしONσ「日ピRELrEDUPONASASAFErv
COMPONEN'「ORPRCFT'ECTIVEOEV`CEFOASUCHPUR民)SES・
Plea飴rθfgeto8θP白rareca曲gstOrOM円ON`⑤s直1白tyratedproduct&
OMRONshallnot加頂S図oslblθ10r◎onbm4ywllh8ny⑲tanderds・cod6s.or
regula伽g由田綱yt。theoornb)n曲nottbep了Od噛lnthOC蜘mg「6
eppllcatiOnorugeotlheprocSUCL
T己㎏dlno缶ss白tystapstOdet●rm肋oth6⑤tiltab‖1tyol:h●Pめ血ettOrISbte
sy唱1θ「「吟嗣う」aehln肩掲,3丁砲eqUlprロ6nlwllhwhlehhWlllbgU694
Kh◎w6nd6b96r∨o邑llpr6hlbSt50h30tu3eeppliCE"⊃∫●to暗hlePtocucし
NEVERUSETHEpmODUCTSFORANAPPＬICAno∼掴VOLVING
SERIOUSR{SK「'◎LIFEo白PR◎PEfτt'YWt'『HOUTεNSURINGTHA'「THE
SYSTEMASAWHOLEHASBE∈NDESIGNεOTOADDRESSTHεRISKS,
ANDT'HAT1'HEOMFt◎NPR◎◎UCTISPROPERLYR頁TEDAND
INSTALLEDP◎n"「HI…INTENDεOUSεW[n{IN'V'HEOVERALL
EOV:PMENTORSYSTEM
Sooabo炉rOductcatal{}9{orYVaTyaAtyandLlfntl血tScmolL砲b旧ty・・
■EUROPE
OMRONl如ROPEB.VSeflsorBusii)ehsUnit
Carl・Ee配S品4,Dご71154Nu`fingeaGe而a叩
Pbonc:49_7032-SllOFax:49二7032」81ト】99
■NeR耐AMERICA
OMIRONELECTRONICSU￡
OneCommerceDttVe&由ユumbur8、皿・6田73一コ302U・S・A
Phonc:1-84丁'843-7900Te」印bOneConKulva疋ian
卜800.SS.OMRONFax=1・847・843・?797
■ASIA-PACImc
OMRONASユAPACIHCP1上1二1D
83Cleme"ceauAwnecstt(・oＬUESqua爬5ingup・rc239卿
Phone:65■6.835・SOS1.日Fox二65・6声835」2711
0MRONCorO「8tlon
`
1
---------------------[End of Page 5247]---------------------