Download 取扱説明書 - ノイズ研究所
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℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ※ ℃ ℃ MODEL※ ESS-6002/6008 1.05 AEC00206-001-0F • • • • • • • • TM ® ※ ※ ※ ※ ※ 1 15 16 16 1. A C B D E ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ A (MODEL※ ESS-6002 ESS-6008) B (HBM) (MODEL※ 01-00054A) C (MM) (MODEL※ 01-00055A) D AC E 1 1 1 1 1 1 2. EMC EMC 2 3. ℃ ℃℃ ℃ ℃ 細関関器操守守廃奈操守守条℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ FAX FAX ※ ※ ※ ※ 3 ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ 4 4. 1. ................................................................ ........................................................................................ ........................................................ 1 2. ................................................................ ........................................................................................... ........................................................... 2 3. ................................................................ ............................................................................ ............................................ 3 4. ................................................................ ................................................................................................ ......................................................................... ......................................... 5 5. ................................................................ ................................................................................................ .................................................................. .................................. 7 ............................................................................................. 7 6. ............................................. ............................................. 8 6 6 1. 2. DANGER※ ................................................................................................ 8 .................................................................................. 11 6 6 3. WARNING※ 4. CAUTION※ ............................................................................... 11 ................................................................................. 13 7. ................................................................ ........................................................................ ........................................ 15 8. ................................................................ ........................................................................... ........................................... 15 9. ................................................................ ........................................................................... ........................................... 16 9 9 1. 2. ............................................................................ 16 ............................................................................ 17 9 9 9 3. 4. 5. .............................................................................................. 18 ................................................................................................. 20 ................................................................................................. 21 10. ................................................................ ................................................................................................ ................................................................ 22 10 10 1. 2. 10 10 3. 4. AC 11. ................................................................................... 22 ................................................................................... 23 ....................................................................................... 25 ........................................................................................ 26 ................................................................ ................................................................................................ ................................................................ 27 11 11 1) 2) 3) 4) 1. 2. ................................................................................ 27 ........................................................................ 27 ESD ± VOLTAGE TEST LEVEL .................................................................................27 ......................................................................................27 ................................................................28 .................................................................28 5 5) 6) 7) 11 INTERVAL COUNT EXT TRIG 3. 1) 2) 3) 8) 9) ....................................................... 29 ............................................................................ 29 ....................................................................... 30 .............................................................................................. 31 MEASURE CALL SWEEP STAGE MANUAL ..................................................................... 31 .............................................................................. 32 ........................................................................... 32 ............................................................................ 34 ........................................................................ 34 11 4. TRIG OUT ................................................................................................. 35 11 11 5. 6. ................................................................................................. 36 ................................................................................................. 36 12. ................................................................ ............................................................................... ............................................... 37 13. ................................................................ ................................................................. ................................. 38 14. ................................................................ ................................................................................................ ....................................................................... ....................................... 39 15. ................................................................ ................................................................................................ ....................................................................... ....................................... 42 16. ................................................................ ............................................................................................... ............................................................... 44 17. ................................................................ ............................................................................ ............................................ 44 6 5. ESS-6002/6008 ESS-6002/6008 ESS-6002/6008 ESS-6002/6008 § 1. 2. 10V 2 kV ESS-6002 HBM MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989 ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001 JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304 IEC 61340-3-1Ed.1.0 2002 IEC 60749-26 Ed.1.0 2003 AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003 JEDEC JESD22-A114D Mar.2006 100V 8kV ESS-6008 MM JEDEC JESD22-A115A Oct.1997 ESDA ANSI/ESD STM5.2-1999 JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Reference Test Method IEC 61340-3-2 Ed.1.0-2002 IEC 60749-27 Ed.1.0 2003 AEC-Q100-003-REV-E※ Jul.2003 7 6. 6 1. 8 9 UP SIDE 15 0.2N 10 m 6 2. DANGER℃ 6 3. WARNING℃ ℃ AC AC ※ ※ STOP DUT DUT Device Under Test DUT 11 DUT UP SIDE 15 100V 240V AC AC220 AC AC AC AC100 120V 240V 性 STOP AC AC ℃ AC AC AC AC AC AC AC 12 6 4. CAUTION℃ 1 0.3s START 1 MEASURE BNC MEASURE ℃ BNC 1.3% AC AC AC AC 5 13 ※ 0.2N m ※ 10cm AC ※ DUT Device Under Test 14 7. 2 CALL 2 24 ※ ※ ℃ ℃ 8. ℃ ℃ ℃ ℃ 15 ※ 9. 9 1. ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ 9 1. 1 2 8 7 3 6 5 4 MODEL MODEL 2. 8kVmax ESS-6008 3. 2kVmax ESS-6002 ※ 4. 5. 6. EXT TRIG IN BNC 7. TRIG OUT BNC 8. STAGE CONTROL MODEL 18-00076A 9. 16 9 2. 10 11 16 12 15 10. 11. AC AC 250V F 2A 12. FG MODEL 18-00076A 13. INTERLOCK STOP 14. 15. MODEL 16. 17 14 13 9 3. MODEL※ 01-00054A HBM MODEL※ 01-00055A※ MM MODEL B A C D F E A HOT GND B HBM HBM-M Middle MM MM-MF Frequency MODEL 06-00064A C MODEL MODEL D MEASURE HBM MM BNC DUT MEASURE MEASURE MEASURE BNC MEASURE BNC 18 1.3% Middle E F 19 9 4. ± ※ ※ CALL 1 5 ※ TEST LEVEL ※ SWEEP ※ EXT TRIG ※ ※ ※ ESD ※ ※ COUNT STAGE VOLTAGE INTERVAL ※ PIN PITCH DUT MANUAL PIN COUNT HOME ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ MEASURE DUT START STOP ※ MODEL 1818-00076A ※ 20 9 5. RL1 RL4 R3 R1 HV RL2 C1 R2 GND PE RL3 BNC HV C1 R1 HBM MM 100pF 200pF 1M HBM MM 1.5k 0 R2 10M RL4 HOT R3 RL1 RL2 RL3 BNC MEASURE MEASURE 21 10. ℃ ℃ ℃ AC 5 10 1. 2 0.8kV 22 ℃ ℃ UP SIDE 15 ℃ 10 2. 1) MODEL 23 18-00075A 2) MODEL 18-00075A MODEL 18-00076A MODEL MODEL 18-0075A 24 18-0076A 10 3. ℃ ℃ ℃ 1) HBM 2) HBM HBM (HBM) HBM M Middle 4 6ns ※ MODEL 06-00064A 4 ※ (HBM) HBM 2 HBM 6 MM (MM) MM MF Middle Frequency 75 83ns F Fast 4ns S Slow 8ns MM MM 25 (MM) MM HF High Frequency 69 75ns MM LF Low Frequency 83 89ns 10 4. AC AC ℃ AC ℃ AC ℃ ℃ AC AC AC ℃ AC 3P AC ℃ AC AC AC AC 26 11. ℃ 11 1. ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ℃ 11 2. 1) ESD ESD VOLTAGE ,INTERVAL ,COUNT ESD STOP 3 2) ESD VOLTAGE ESD INTERVAL ± ± ± ± ± ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ± ± START 27 COUNT 3) VOLTAGE ESD VOLTAGE VOLTAGE ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ VOLTAGE Max Min ESS-6002 2000V 10V 1V ESS-6008 8000V 100V 10V MODEL 4) ※ ※ TEST LEVEL TEST LEVEL LEVEL ℃ ESD STRESS LEVEL HBM MM ※ ESS-6002 HBM Level1 Level2 Level3 Level4 MM 250V 500V 1000V 2000V 100V 200V 400V 800V HBM 250V 500V 1000V 2000V 4000V 8000V 100V 200V 400V 800V ----- ※ ESS-6008 Level1 Level2 Level3 Level4 Level5 Level6 ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ TEST LEVEL 28 MM 5) INTERVAL ESD INTERVAL INTERVAL STOP INTERVAL INTERVAL STOP STOP INTERVAL INTERVAL INTERVAL 6) 10s 0.1s 10s 1s COUNT ESD COUNT COUNT STOP COUNT COUNT 1 STOP STOP COUNT COUNT COUNT Cnt 1 99 Cnt 1 29 7) EXT TRIG EXT TRIG IN ±15V EXT TRIG STOP START ℃ EXT TRIG TTL EXT TRIG IN Type TTL 100us BNC HI LOW LOW ±15V Max EXT TRIG EXT TRIG IN EXT TRIG IN Vcc 4.7kΩ EXT TRIG 10kΩ 240Ω 4.7kΩ 30 ℃ 11 3. 1) MEASURE STOP DUT Device Under Test DUT DUT DUT ℃ ℃ MEASURE BNC MEASURE BNC 1.3% ℃ STOP BNC BNC MEASURE GND MEASURE MEASURE HOT GND BNC BNC DUT ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ MEASURE MEASURE MEASURE MEASURE OFF 31 ON START START 2) CALL 5 ESD CALL 1 5 1 CALL STAGE CALL ESD STAGE CALL ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ CALL CALL 3) SWEEP SWEEP SWEEP 2 SWEEP St SWEEP End StP ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ SWEEP ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ St TEST LEVEL SWEEP St TEST LEVEL SWEEP 32 End ※ ※ ※ ※ ※ ※ StP End StP SWEEP SWEEP 1.00kV 4.00kV 0.50kV ESS-6008 SWEEP SWEEP TEST LEVEL SWEEP SWEEP SWEEP 1.00kV 4.00kV 0.50kV SWEEP CALL 33 1.00kV 8) STAGE STAGE 18-00076A MODEL 18-00076A STOP MODEL STAGE 3 HOME mm PIN PITCH mm STAGE PIN COUNT PIN STAGE 9) MANUAL MANUAL PIN COUNT MANUAL MODEL 18-00076A MANUAL MANUAL PIN COUNT PIN COUNT PIN COUNT 34 MANUAL 11 4. TRIG OUT TRIG OUT ℃ ℃ TRIG OUT TTL TRIG OUT Type BNC TTL HI 5ms 50 TRIG OUT 6ms TRIG OUT 5ms SURGE OUT 6ms TRIG OUT TRIG OUT Vcc TRIG OUT 50Ω 35 11 5. STOP DUT Device Under Test DUT DUT DUT ℃ COUNT COUNT Cnt STOP STOP OFF STOP START 2 START STOP 11 6. 1 0.3s START 1 START START EXT TRIG START 36 12. Err MODEL 18-00076A STOP Err MODEL 18-00076A MODEL 18-00076A 37 13. 38 14. ESSESS-6002,ESS6002,ESS-6008 ℃ 10 2000V±10% ESS-6002 1V 0.10 8.0kV±10% ESS-6008 10V 0.3 99s±10% 10s 1 EXT TRIG IN 0.1s 10s 1s 99 ±15V MAX BNC TTL 100 s 50 TRIG OUT LOW TTL HI 5ms BNC STAGE CONTROL MODEL 18-00076A Dsub STOP INTERLOCK AC100 240V±10%℃ 50Hz 60Hz 250V F 2A℃ 2 25VA 15 35 10 50 25 75%RH 0 85%RH (W)340×(H)199×(D)300 ( ) 6kg ※ ℃ 10-3. MEASURE DUT BNC 100V 250V 39 HBM MODEL:01MODEL:01-00054A ※ ※ ※ 15 35 10 50 25 75%RH 0 85%RH (W)50×(H)242×(D)54 ( 760 C 100pF±10%, R 1.5k ±1% 18AWG 500 ±1% CR 250V 0.17A ±10% Ips 500V 0.33A ±10% 1000V 0.67A ±10% Trs 2 Tds 2000V 1.33A ±10% 4000V 2.67A ±10% 10ns 130 170ns Irs Ips 15% 0.25A 0.5A 1.0A 2.0A +10%/-25 +10%/-25 +10%/-25 +10%/-25 % % % % Ipr Ipr / Ips℃ ℃ ℃ 500 ) 63% Trr 5 Tdr 25ns 200ns±40ns Irr Ipr 15% ESDA※ ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001 HBM ※ MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989 ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001 JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304 IEC 61340-3-1Ed.1.0 2002 IEC 60749-26 Ed.1.0 2003 AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003 JEDEC JESD22-A114D Mar.2006 100V 250V 40 8000V 5.33A ±10% MM MODEL:01MODEL:01-00055A ※ ※ ※ 15 35 10 50 25 75%RH 0 85%RH (W)50×(H)242×(D)54 ) 760 C 200pF±10%, R 0 18AWG 500 ±1% CR 1st Ip1 2nd Ip2 100V 1.75A ±10% 200V 66 Irs 400V 7.0A ±10% 3.15 3.80A Ip1 tpm Ip1 67 90% 90ns 30% 100ns I100ns 0.85 1.1745A 0.29A ±10% 200ns I200ns I100ns 35 45% Ip 500 ( MM ※ JEDEC JESD22-A115A Oct.1997 ESDA ANSI/ESD STM5.2-1999 JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Reference Test Method IEC 61340-3-2 Ed.1.0-2002 IEC 60749-27 Ed.1.0 2003 AEC-Q100-003-REV-E Jul.2003 100V 250V 41 800V 14.0A ±10% 15. ※ ※ ※ ※ 履基※ ※ 2. 3. 4. 5. 42 6. ※ ※ ※ ※ ※ 8 ※ ※ 1. 2. 3. ※ 43 16. 1. 2. 3. OFF 4. OFF 5. 6. ※ 17. ※ ※ ※ ※ ※ ※ TEL (0088)25-3939( ※ ※ 44 ) / (042)712-2021※ FAX (042)712-2020 45 ℃℃ ℃ ℃ 廃持廃器守性廃時℃ 静細補℃守慮廃器時属廃器廃守性属℃℃繰的X℃守慮廃器時属廃器廃守性守℃ ℃ 属器慮器慮℃℃ ℃ ℃ ※ ※