Download xT Nova NanoLab User's Manual - Section for Nanostructure Physics

CORRECTING FOCUS WITH THE MOUSE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
MOUSE CORRECTED ASTIGMATISM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-29
STIGMATING WITH THE MUI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30
DEFAULT FACTORY APERTURE SIZES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-32
ALIGNING THE FINAL LENS APERTURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-33
GENERAL OPTIMAL I-BEAM CURRENTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34
SPECIFIC OPTIMAL I-BEAM CURRENTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-34
USING MOUSE WHEEL MAGNIFICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-37
USING SNAPSHOT FOR IMAGE CAPTURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-40
USING PHOTO FOR IMAGE CAPTURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-41
SET-UP AND RECORDING A MOVIE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-47
IMAGE PRINTING PROCEDURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-53
PATTERN TOOL FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-56
COLOR SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-57
SILICON APPLICATION FILE (NON-GAS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-63
SILICON APPLICATION FILE (GAS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-64
MATERIAL SPUTTER RATES AT 30 kV . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-65
PATTERNING FILE BASIC PROPERTIES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-66
PATTERNING FILE ADVANCED PROPERTIES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-66
SETTING UP THE GIS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-70
SETTING UP THE EPM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-72
MILLING A PATTERN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-77
BEAM CURRENTS/MILLING TIMES BY APPLICATION. . . . . . . . . . . 5-78
MILLING A SPOT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-79
MAKING THE FIRST CROSS SECTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-81
MAKING THE SECOND CUT (OPTIONAL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-82
MAKING THE FINAL CUT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-82
USING MEASUREMENT FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-88
USING ANNOTATIONS FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-90
STAGES 6
FINDING EUCENTRIC HEIGHT MANUALLY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10
ALIGNING BOTH BEAMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10
MAP ELEMENT FUNCTIONS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14
SETTING ALIGN FEATURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
DEFINE USER UNITS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
ALIGNMENT TYPE DIFFERENCES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28
MAINTENANCE 7
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