Download xT Nova NanoLab User's Manual - Section for Nanostructure Physics

Contents
List of Figures
List of Tables
PREFACE
About this Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-i
How to Use this Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-ii
Conventions for Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-ii
Finding What You Need . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-ii
Chapter 1
SAFETY & HANDLING
Site Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
Electron Column Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
Trained Service Personnel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
User Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Terms and Symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3
Symbols and messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
Voltages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Interlocks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
Line Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
Cords/Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
Ground (Earth) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
Cover/Panels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
Fuses. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
Emergency Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6
Emergency Off (EMO) Switches . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
Chemicals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
Solvents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
Nitrogen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
Liquid Nitrogen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
Miscellaneous Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-8
Electric Fans. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Pump Exhaust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Corrosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Chapter 2
SYSTEM OVERVIEW
FIB/SEM Capabilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Control of the Beams . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
X-Ray Analysis Capability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
User Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Computerized Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Optical Camera . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
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