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特長 エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- ユニバーサル シリーズ -3章- 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション Linear motor series 高精度・低速度リップル リニアモータ CLM コアレスフラットタイプ スーパー シリーズ -4章- F A 放熱フィン付き ヒートシンク クリーン シリーズ -5章- 鉄製テーブル 多軸 シリーズ -6章- コントローラ シリーズ -7章- 固定子 LMガイド 可動子 リニアモータ シリーズ -8章- GLM 10 GLM 15 GLM 20AP GLM 25 KLM CLM RDM– mini CCM GLS 特長 1 高精度位置決め LMガイドを採用したアクチュエータを、リニアエンコーダによりフルクローズド制御することで、高い繰り返し 位置決め精度を実現します。 加えてアルミよりも線膨張係数の小さい鉄系のベースを使用することにより、さらに高い位置決め精度を実現し ます。 2 低速度リップル 鉄芯の無い (コアレス)モータにより、コギング力がな く、 低速時でもなめらかな駆動を実現します。 加えて、 LMガイドの防塵用シールに接触摩擦抵抗の小 さいLiCS (Light Contact Seal)を採用しています。 RDM 〔データ測定条件〕 レーザ測長器ML10 (RENISHAW㈱製) 使用 コントローラ最小指令単位 :1μm 速度測定サンプリング周波数:10Hz 駆動速度 :10mm/s 負荷質量 :1.6kg 10.1 10.05 速度 [mm/s] 精密ステージ シリーズ -9章- ±0.11% ±0.11% 10 9.95 9.9 0 50 100 150 200 時間[s] 8章 065 CLM60 Sタイプ 速度リップル評価データ (参考) CLM 604-1J 特長 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション エコノミー シリーズ -1章- 3 高速・高加減速 リニアモータは電磁力をダイレクトに直線運動へ転換できるため、ロングストロークにおいても高速・高加減速 を実現します。 最高速度:4m/s 2 加減速度:Sタイプ 29.4m/s(3G) 2 Mタイプ 49.0m/s(5G) 2 Lタイプ 58.8m/s(6G) ※ 仕様、条件等により異なります。 ユニバーサル シリーズ -3章- スーパー シリーズ -4章- F A 4 熱対策 ロングストロークに対応 -6章- 多軸 シリーズ ことが可能です。 クリーン シリーズ -5章- リニアモータの性能を最大限発揮できるよう放熱フィン付きのヒートシンクを採用しました。 加えて、 モータから発生する熱をテーブルに伝えない断熱構造を採用しているため、テーブルの温度上昇を抑える -7章- -8章- リニアモータ シリーズ リニアモータアクチュエータは、ボールねじ駆動では実現できないロングストロークに対応できます。 ベースをつなぎ仕様にすることで、ストローク4m以上にも対応可能です。 コントローラ シリーズ 5 コンパクト シリーズ -2章- 精密ステージ シリーズ -9章- 適合ドライバ 下記のドライバにて動作可能です。ドライバの詳細については、8章151をご参照ください。 サーボパックSGDV GLM 10 ㈱安川電機製のサーボパックです。 GLM 15 GLM 20AP GLM 25 KLM ㈱安川電機製 サーボパック SGDV SGDV-1R6A05A CLM 三菱電機㈱製 サーボアンプ MR-J3 MR-J3-40B RDM– mini CCM GLS RDM 604-1J CLM 8章 066 特長 エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- ユニバーサル シリーズ -3章- 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション Linear motor series CLM60 基本仕様 モータ形式 項 目 適合ドライバ SGDV Mタイプ 容量 200W 400W 750W 三相 AC200V 三相 AC200V 三相 AC200V 制御回路電源電圧 単相 AC200V 単相 AC200V 単相 AC200V 最大推力※1 [N] 207 427 641 57 127 191 定格推力※1 [N] F A 最高速度 [m/s] 4.0 繰り返し位置決め精度 [μm] ±0.5 クリーン シリーズ -5章- 多軸 シリーズ -6章- コントローラ シリーズ -7章- Lタイプ 主回路電源電圧 スーパー シリーズ -4章- Sタイプ 分解能 [μm] 0.078 位置決め精度※2 [μm] 10/500mm [kg] 最大可搬質量※3 28.1 61.5 93.3 想定可搬質量※4 [kg] 3.5 11.1 17.5 ※1 周囲温度が20℃の環境において、電機子巻線平均温度が100℃の時の値です。 ※2 周囲温度20℃の環境にて運転開始直後の値を、直線誤差補正した値です。 ※3 負荷質量により動作速度・加減速度等の仕様が制限されます。巻末019〜028の「リニアモータの選定方法」 をご参照ください。 最大可搬質量は、 加速度 約0.5Gにて駆動可能な質量です。 ※4 想定可搬質量は、 加速度 約2G、到達最大速度1.0m/sにて、一定のストロークをデューティー比50%で駆動可能な質量です。 動作条件によっては推力・速度特性の影響を受け、動作可能な質量が変わることがあります。 リニアモータ シリーズ -8章- 精密ステージ シリーズ -9章- GLM 10 GLM 15 GLM 20AP GLM 25 KLM CLM RDM– mini CCM GLS RDM 8章 067 CLM 604-1J 特長 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- 特性 モータ形式:Mタイプ ドライバ :SGDV‒2R8A05AY819AA モータ形式:Lタイプ ドライバ :SGDV‒5R5A05AY819AA 500 500 450 427 400 350 350 推 300 力 250 [N] 推 300 力 250 [N] 207 150 100 57 (41) (33) 0 1 2 3 4 900 (2.3, 413) 641 (2.3, 620) F A 400 (118) 127 100 (103) 50 0 -4章- 推 力 500 [N] 200 -5章- 300 (175) 191 (155) 100 1 3 2 0 4 1 速度[m/s] 2 3 4 速度[m/s] -6章- 多軸 シリーズ 速度[m/s] 800 クリーン シリーズ (2.3, 193) 1000 スーパー シリーズ 400 -3章- ユニバーサル シリーズ モータ形式:Sタイプ ドライバ :SGDV‒1R6A05AY819AA 最大領域 連続領域 コントローラ シリーズ -7章- 注1)基本仕様の推力・速度特性は電機子巻線平均温度が100℃時の値です。 注2)連続定格推力は周囲温度20℃でアクチュエータを水平に置いて使用した場合の値を示します。 注3)本アクチュエータはリニアスケール部が下面となる壁掛け姿勢での使用はできません。 注4)基本仕様の推力・速度特性値はアクチュエータを水平姿勢で設置してご使用いただく場合の値です。 -8章- リニアモータ シリーズ リニアスケール部が上面となる壁掛け姿勢、逆さ姿勢などの取付姿勢で使用される場合には、特性が変わりますのであらかじめTHKまでお問い合わせください。 精密ステージ シリーズ -9章- 可搬質量と加速度 50 可搬質量[kg] 45 40 GLM 10 35 GLM 15 30 GLM 20AP CLM60-S CLM60-M CLM60-L 25 20 GLM 25 15 KLM 10 CLM 5 RDM– mini 0 0 5 10 15 20 25 30 CCM 加速度[m/s ] 2 GLS 注)到達最高速度1.0m/sにて、一定のストロークをデューティー比50%で駆動可能な質量です。詳細選定は、巻末019~028の「リニアモータの選定方法」 をご参照ください。 604-1J CLM RDM 8章 068 特長 エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- ユニバーサル シリーズ -3章- F A クリーン シリーズ -5章- 多軸 シリーズ -6章- 形番 システム構成 寸法 オプション 組合わせスライダ数 形番 モータ形式 2 − CLM60 − S ① ② ③ ④ ⑤ CLM60 S:Sタイプ 640L: 640mm A:アルミ押出しカバー CLM60 形番構成 無記号:スライダ1個 2:スライダ2個 アクチュエータ長さ − カバー 4000L − ~ スーパー シリーズ -4章- 仕様 Linear motor series M:Mタイプ L:Lタイプ A N:カバー無し 4000L:4000mm ① スライダ数 例:2 2:スライダ2個 注) スライダが1つの場合はスライダ数は 無記号となります。スライダが2つ以上の 場合についてはTHKまでお問い合わせく ださい。 ※詳しくはCLM60寸法図(→8章 072〜074) をご確認ください。 コントローラ シリーズ -7章- リニアモータ シリーズ -8章- 表1.ストローク一覧 アクチュエータ長さ[mm] ストローク[mm] 精密ステージ シリーズ -9章- 640 880 1120 1360 1600 1840 2080 2560 3040 3520 4000 Sタイプ 327 567 807 1047 1287 1527 1767 2247 2727 3207 3687 Mタイプ ― 457 697 937 1177 1417 1657 2137 2617 3097 3577 Lタイプ ― ― 587 827 1067 1307 1547 2027 2507 2987 3467 GLM 10 GLM 15 GLM 20AP GLM 25 KLM CLM RDM– mini CCM GLS RDM 8章 069 CLM 604-1J 特長 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- リニアエンコーダ − H 7 ケーブルチェーン − ⑥ ⑦ H:LIDA487 7:近接センサ [N.O.接点]3個 B2 動力ケーブル − D06 ⑧ B2:TKE28W36R60 C:TKP0180W40R50 G1:E6.52.040.075.0 N:ケーブルチェーン無し − S03 ⑨ ⑩ D06 S03 D08 S05 D13 S10 D18 S15 -3章- -4章- スーパー シリーズ N:センサ無し シリアルケーブル ユニバーサル シリーズ − センサ F A ⑦7:APM-D3A1 [N.O.接点] 3個 (アズビル㈱製) ⑨動力ケーブル 例:D06 6m ⑩シリアルケーブル 例:S03 3m -6章- 多軸 シリーズ ⑧ 標 準 設 定 以 外 のケーブル チェーンにも対応可能です。詳し くはTHKまでお問合せください。 注)ケーブルチェーン記号B2は アクチュエータ長さ2560mm以 下に、Cは1840mm以下に対応 可能です。 クリーン シリーズ -5章- コントローラ シリーズ -7章- 形番構成例 リニアモータ シリーズ -8章- CLM60 − S − 4000L − A − H − N − N − D06 − S03 ケーブル ・アクチュエータ全長4000mm ・カバー付き ・アナログエンコーダ -9章- ・長さ6m サーボパック ・SGDV (㈱安川電機製) ケーブルイメージ ㈱安川電機製 サーボパック SGDV SGDV-1R6A05A 精密ステージ シリーズ CLM60–S GLM 10 三菱電機㈱製 サーボアンプ MR-J3 MR-J3-40B GLM 15 注)上記の形番構成は、 アクチュエータ + ケーブルがセットになります。 ドライバはTHKまでご注文ください。 GLM 20AP モーションコントローラ、 モーションコントローラ~ドライバ間接続ケーブルは貴社にてご用意ください。 GLM 25 表2.付属ケーブル一覧 KLM ドライバ ⑥エンコーダ 磁極センサ 動力ケーブル エンコーダケーブル 磁極センサケーブル シリアルケーブル SGDV H J:磁極センサ付き JZSP–CLN11–**–E JZSP–CLL00–03–E JZSP–CLL10–03–E JZSP–CLP20/70–**–E CLM RDM– mini CCM 詳細内容ページ ③モータ形式 ⑥リニアエンコーダ ⑦センサ ⑧ケーブルチェーン ⑨⑩ケーブル長さ 604-1J GLS 8章067~068 8章067 8章075 8章075~076 8章071 RDM 基本仕様、特性 基本仕様 センサ取付け時方法 ケーブルチェーン取付け時寸法 システム構成 CLM 8章 070 特長 エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション Linear motor series システム構成 ●サーボパックSGDV (Σ-Ⅴ) ㈱安川電機製仕様 モータ形式:S,Mタイプ ユニバーサル シリーズ -3章- モーションコントローラ サーボパック スーパー シリーズ -4章- 主回路/制御回路電源 F A 電源 三相 AC200V※ クリーン シリーズ -5章- 多軸 シリーズ -6章- JZSP‒CLP20/70‒**‒E (シリアルケーブル) コントローラ シリーズ -7章- リニアモータ シリーズ -8章- シリアル変換モジュール JZSP‒CLN11‒**‒E (動力ケーブル) JZSP‒CLL10‒03‒E (磁極センサケーブル) ケーブル長さ : 3m ●ケーブル長さ 動力ケーブル: 6m、 8m、 13m、 18m シリアルケーブル: 3m、 5m、 10m、 15m JZSP‒CLL00‒03‒E (エンコーダケーブル) ケーブル長さ : 3m 精密ステージ シリーズ -9章- ※ 制御回路電源は、単相AC200Vです。 GLM 10 GLM 15 GLM 20AP CLM-P.3①.ai GLM 25 KLM CLM RDM– mini CCM GLS RDM 8章 071 CLM 604-1J 特長 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション Sタイプ コアレスフラットタイプ メカストローク:327mm〜3687mm 光学式インクリメンタルリニアエンコーダ HEIDENHAIN㈱製仕様 -2章- コンパクト シリーズ CLM60 エコノミー シリーズ -1章- 寸法図 4−M8深サ16 -3章- 50 -4章- スーパー シリーズ 110 180 ユニバーサル シリーズ (首下13) 2×N1−M6用取付穴 F A 100 -5章- クリーン シリーズ 120 200 80 120× (N1−1) (メカストッパ間ストローク) 35 多軸 シリーズ -6章45 233 A L/2 L (ベース長さ) 20 20 -8章- 原点マーク リニアモータ シリーズ AL (アクチュエータ全長) 原点信号検出方向 (スライダ移動方向) S極 -9章- 精密ステージ シリーズ (6) -7章- コントローラ シリーズ 82.5 B部 84 196 40 160 50 A矢視 CLM60–S– 640 (メカストッパ間ストローク) [mm] (327) GLM 10 B部詳細寸法 (S極マグネット取付位置) 880 (567) 1120 1360 1600 1840 2080 GLM 15 2560 3040 3520 4000 (807) (1047) (1287) (1527) (1767) (2247) (2727) (3207) (3687) ベース長さ [mm] L 600 840 1080 アクチュエータ全長 [mm] AL 640 880 1120 1列あたりの取付穴数 N1 5 7 9 スライダ質量 [kg] m2 本体質量 [kg] M 33 44 55 1320 1560 11 13 66 77 CLM-P.3③.ai 1360 1600 1800 2040 2520 3000 3480 3960 1840 2080 2560 3040 3520 4000 15 17 21 25 29 33 98 120 143 164 187 4.0 88 GLM 20AP GLM 25 KLM CLM RDM– mini CCM GLS RDM 604-1J CLM 8章 072 特長 エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- 仕様 CLM60 システム構成 寸法 オプション Mタイプ コアレスフラットタイプ メカストローク:327mm〜3687mm 光学式インクリメンタルリニアエンコーダ HEIDENHAIN㈱製仕様 寸法図 6−M8深サ16 1−M6用取付穴 (首下13) 2×N 110 スーパー シリーズ 180 ユニバーサル シリーズ -3章- -4章- 形番 Linear motor series F A 55 クリーン シリーズ -5章- 100 100 120 310 120× (N1−1) 80 多軸 シリーズ -6章- 35 (メカストッパ間ストローク) 45 343 82.5 B部 コントローラ シリーズ -7章- A L/2 L (ベース長さ) 20 20 AL (アクチュエータ全長) リニアモータ シリーズ -8章- 原点マーク 原点信号検出方向 S極 精密ステージ シリーズ -9章- (6) (スライダ移動方向) 84 196 GLM 10 50 B部詳細寸法 (S極マグネット取付位置) A矢視 GLM 15 GLM 20AP GLM 25 40 160 CLM60–M– 880 (メカストッパ間ストローク) [mm] (567) 1120 (807) 1360 1600 1840 2080 2560 3040 3520 4000 (1047) (1287) (1527) (1767) (2247) (2727) (3207) (3687) ベース長さ [mm] L 840 1080 1320 1560 1800 2040 2520 3000 3480 3960 KLM アクチュエータ全長 [mm] AL 880 1120 1360 1600 1840 2080 2560 3040 3520 4000 1列あたりの取付穴数 N1 7 9 11 13 15 17 21 25 29 33 CLM スライダ質量 [kg] m2 本体質量 [kg] M 100 122 145 166 189 RDM– mini 46 57 68 CLM-P.4①.ai 79 90 5.8 CCM GLS RDM 8章 073 CLM 604-1J 特長 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション Lタイプ コアレスフラットタイプ メカストローク:327mm〜3687mm 光学式インクリメンタルリニアエンコーダ HEIDENHAIN㈱製仕様 -2章- コンパクト シリーズ CLM60 エコノミー シリーズ -1章- 寸法図 8−M8深サ16 -3章- 180 100 100 F A 100 -5章- クリーン シリーズ 60 -4章- スーパー シリーズ 110 ユニバーサル シリーズ (首下13) 2×N1−M6用取付穴 420 120 120× (N1−1) 80 (メカストッパ間ストローク) 35 453 多軸 シリーズ -6章45 A L/2 L (ベース長さ) 20 20 AL (アクチュエータ全長) リニアモータ シリーズ -8章- 原点マーク 原点信号検出方向 (スライダ移動方向) -9章- 精密ステージ シリーズ (6) -7章- コントローラ シリーズ 82.5 B部 84 196 S極 160 40 50 GLM 10 B部詳細寸法 (S極マグネット取付位置) A矢視 GLM 15 CLM60–L– 1120 1360 1600 1840 2080 2560 3040 3520 4000 (メカストッパ間ストローク) [mm] (807) (1047) (1287) (1527) (1767) (2247) (2727) (3207) (3687) ベース長さ [mm] L 1080 1320 1560 1800 2040 2520 3000 3480 3960 アクチュエータ全長 [mm] AL 1120 1360 1600 1840 1列あたりの取付穴数 N1 9 11 スライダ質量 [kg] m2 本体質量 [kg] M 59 70 2080 2560 3040 3520 4000 13 15 17 21 25 29 33 81 92 102 124 147 168 191 CLM-P.4③.ai 7.8 GLM 20AP GLM 25 KLM CLM RDM– mini CCM GLS RDM 604-1J CLM 8章 074 特長 エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション Linear motor series センサ・ケーブルチェーン取付け時寸法 近接センサ 93.5 ユニバーサル シリーズ -3章- スーパー シリーズ -4章- APM–D3A1[N.O.接点]3個(アズビル㈱製) (28.5) F A クリーン シリーズ -5章- 多軸 シリーズ -6章- (11) ケーブルチェーン「C」 -7章- コントローラ シリーズ 62 40 (125.9) 14 リニアモータ シリーズ -8章- TKP0180W40R50(㈱椿本チエイン製) (1.7) 精密ステージ シリーズ -9章- GLM 10 (83.5) GLM 15 GLM 20AP 80 80 ケーブルチェーン「B2」 GLM 25 101 KLM 36 28 CLM CCM GLS TKE28W36R60(㈱椿本チエイン製) (178.9) RDM– mini (1.7) RDM 8章 075 (119) CLM 80 604-1J 特長 仕様 形番 システム構成 寸法 オプション エコノミー シリーズ -1章- コンパクト シリーズ -2章- ケーブルチェーン「G1」 103 ユニバーサル シリーズ -3章- 40 スーパー シリーズ 52 -4章- F A -5章- クリーン シリーズ (244.6) E6.52.040.075.0(igus㈱製) (136) 80 -7章- コントローラ シリーズ (1.7) 多軸 シリーズ -6章- CLMの取付姿勢の注意点 -9章- 精密ステージ シリーズ 水平姿勢 -8章- リニアモータ シリーズ CLMは内蔵するヒートシンクの冷却構造による制限から、取付姿勢が制限されます。 水平以外の取付姿勢で使用した場合は、 推力・速度特性が減少するのでご注意ください。 (1) 水平姿勢・・・・推力・速度特性は100%となります。 (2) 壁掛け姿勢・・・推力・速度特性が減少します(S=100%、M=80%、L=70%)。 壁掛け姿勢の場合は必ず下図のようにリニアエンコーダ側が上にくるように設置してください。 標準仕様では、 逆方向は使用不可です。詳しくはTHKまでお問い合わせください。 (3) 逆さ姿勢・・・・推力・速度特性が減少します(S=100%、M=70%、L=60%)。 逆さ姿勢 GLM 10 GLM 15 GLM 20AP GLM 25 壁掛け姿勢 KLM リニアエンコーダ CLM RDM– mini CCM GLS RDM リニアエンコーダ 使用可 604-1J 使用不可 CLM 8章 076 リニアモータ駆動製品 ■ 安全上の注意 ■ ・本製品を落下させたり、 叩いたりしないでください。怪我や破損の原因になります。 ・本製品を分解しないでください。異物の侵入や精度劣化の原因となります。 また、 ドライバは感電の恐れがあります。 ・GLM10/15/20AP/25:PLシールはユニット本体に貼付されています。 ・マグネットプレート (固定子)は強力なマグネットです。強磁性体 (特に金属類) を近づけないでください。マグネットの吸引力により、マグ ネットと金属片の間に指等をはさまれる可能性があります。 また、心臓ペースメーカを使用されている方は絶対に近づかないでください。 ・通電中はアクチュエータの動作部には、絶対に触らないでください。また、製品の作動中または作動できる状態のときは、アクチュエー タの作動範囲に立ち入らないでください。 ・アクチュエータ本体、 ドライバおよび接続されている関連機器の設置、調整、点検、保守作業を行う際は、必ず全ての電源プラグをコン セントから抜き、作業者以外が電源を投入復帰できないように、施錠、 または安全プラグ等をご用意ください。 また、作業中の旨を明記し た物を見易い位置に掲示してください。 ・複数の人が作業を行う場合は、手順、 合図、 異常等の措置を予め確認し、別途、 作業を監視する人をおいてください。 ・取扱説明書をよく読み、 内容を十分理解し、安全のための注意事項は、 必ず厳守してください。 ・作業の前に、JIS規格「産業用マニピュレーティングロボット−安全性」 (JIS B8433−1) および厚生労働省「労働安全衛生規則」を 精読し、 遵守してください。 ・稼動範囲の両端に取付けてあるストッパにスライダが衝突する恐れがある場合は、ショックアブソーバ等の衝撃吸収機構を設置してく ださい。 ストッパは、 スライダ衝突時の衝撃を吸収するものではありません。稼動中にストッパに衝突すると破損や事故につながります。 ■ 使用環境 ■ アクチュエータとドライバは、使用環境が悪いと故障の原因となりますので、次のような場所でご使用ください。 ・アクチュエータは屋内、 周囲温度0∼40℃の範囲内、周囲湿度80%RH以下 (凍結および結露なきこと) ・ドライバは屋内、 周囲温度0∼50℃の範囲内、周囲湿度90%RH以下 (凍結および結露なきこと) ・腐食性ガスや可燃性ガスがない場所 ・鉄粉等の導電性のある粉体、 塵埃、 オイルミスト、 切削液、水分、塩分、及び有機溶剤が飛散しない場所 ・直射日光、輻射熱が当たらない場所 ・強電界、強磁界の発生しない場所 ・振動や衝撃が本体に伝わらない場所 ・点検や清掃のしやすい場所 ■ 保管 ■ ・本製品は、 弊社の梱包および荷姿で、 高温、 低温、 多湿を避け、水平な状態で保管してください。 ■ 取扱説明書 ■ ・各取扱説明書はウェブサイトからダウンロードできます (ログインが必要な場合もあります) 。 THKアクチュエータサイト http://www.ea-thk.com/ 「リニアモータアクチュエータ GLM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ GLS 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ KLM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ CLM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ RDM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ RDM−mini 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ CCM 取扱説明書」 「リニアモータロッドタイプ 取扱説明書 (RDMモータ単体)」 その他、 CADデータやパソコンソフト等もダウンロードできます。 巻頭 025