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Table of Contents
1
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
2
Carbon - Oxygen Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
2.1
2.2
2.3
3
Select Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3
Analysis Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4
2.2.1
Oxygen / Carbon Methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4
2.2.2
Other Analysis Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6
Analysis Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7
Calculation Algorithms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1
3.2
3.3
3.4
3.5
3.6
3.7
3.8
3.9
3.10
3.11
Calculation of the Wafer Thickness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8
Ratio 1 Method - Oxygen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9
Ratio 2 Method - Oxygen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10
Ratio Method - Carbon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10
Pseudo ASTM Method - Oxygen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12
Pseudo ASTM Method - Carbon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13
ASTM F 1188-93a Method - Oxygen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14
ASTM F 1391-92 Method - Carbon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16
DIN 50438-1 A (93) Method - Oxygen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .17
DIN 50438-1 B (93) Method - Oxygen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19
DIN 50438-2 (82) Method - Carbon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .22
Appendix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25