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CONTENTS
INTRODUCTION
PREPARATION
FOR
MEASUREMENT
FLOW OF
OPERATION
BASIC
SETUP
MAIN
APPLICATIONS
& SETTING
METHODS
Height
Steps
and
Warpage
Double
Sheet
Detection
Thickness
Positioning
Eccentricity
and Surface
Deflection
DETAILED
SETTINGS
TROUBLESHOOTING
SPECIFICATIONS
INDEX
SETTING
TRANSITION
CHARTS
2
CONTENTS
Introduction
Meanings of Signal Words. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Meanings of Alert Symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Laser Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Precautions for Safe Use. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Precautions for Correct Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Precautions for Correct Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
How to Use This Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
PREPARATION FOR MEASUREMENT
Part Names and Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Basic Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Amplifier Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Sensor Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Calculating Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Installing Sensor Heads. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Installing the Amplifier Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Connecting Calculating Units . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Connecting the Sensor Head to the Amplifier Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Wiring Diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Wiring Input/Output Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
I/O Circuit Diagrams . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
FLOW OF OPERATION
FLOW OF OPERATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
BASIC SETUP
BASIC SETUP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Display of RUN Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Simplest Setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
MAIN APPLICATIONS & SETTING METHODS
Height. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Steps and Warpage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
ZX2 User’s Manual